JPH07141638A - 磁気記録体 - Google Patents

磁気記録体

Info

Publication number
JPH07141638A
JPH07141638A JP40503690A JP40503690A JPH07141638A JP H07141638 A JPH07141638 A JP H07141638A JP 40503690 A JP40503690 A JP 40503690A JP 40503690 A JP40503690 A JP 40503690A JP H07141638 A JPH07141638 A JP H07141638A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coercive force
alloy
magnetic recording
magnetic
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP40503690A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3052092B2 (ja
Inventor
Kyuzo Nakamura
久三 中村
Noriaki Tani
典明 谷
Michio Ishikawa
道夫 石川
Yukinori Hashimoto
征典 橋本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ulvac Inc
Original Assignee
Ulvac Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ulvac Inc filed Critical Ulvac Inc
Priority to JP2405036A priority Critical patent/JP3052092B2/ja
Publication of JPH07141638A publication Critical patent/JPH07141638A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3052092B2 publication Critical patent/JP3052092B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】本発明による磁気記録体は、非磁性体上に、C
r、Mo、Wやこれらの合金の薄膜からなる結晶配向用
下地層と、この結晶配向用下地層上にCo合金の薄膜か
らなるCo合金層とが蒸着法やスパッタ法により連続し
て形成されて、HCP相のC軸がほぼ面内方向に配向し
てなる磁性層を備えた面内記録型磁気記録体において、
上記Co合金層の成分に、少なくともPdとBを含んで
いるものである。磁性層におけるPdの組成は、3〜3
0at%が望ましく、Bの組成は、0.5〜15at%
であることが望ましい。上記Pdの一部は、Ptで置換
してもよい。 【効果】本発明の磁気記録体においては、Co合金磁性
層にPdとBを同時添加することにより、安価で高保磁
力の磁気記録体を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録体に関し、更
に詳細には、高い記録密度を有する面内記録型の磁気記
録体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】上記した種類の磁気記録体は、従来、非
磁性体上に、蒸着法やスパッタ法で、Cr、Mo、Wま
たはこれらを主成分とする合金膜を結晶配向用下地層と
して形成し、該下地層上にCoまたはCo合金膜を連続
的に形成して、HCP相のC軸がほぼ面内方向に配向し
てなる磁性層を有するものとして形成され、高密度記録
可能なハードディスク媒体として多用されている。
【0003】現在、上記磁性層の組成としては、その特
性が比較的良好なCoNiCr、CoCrTa、CoC
rPt、CoNiPt、CoCrPtTa等が用いられ
ている。
【0004】ところで、従来の磁気記録体の保磁力の発
生メカニズムは次の通りである。
【0005】すなわち、非磁性基体上にCr等の下地層
を形成すると、そのBCC(110)面が基体面と平行
になるように結晶配向し、かつ下地層厚さ方向に柱状粒
子が成長する。この下地層上に連続的にCo合金磁性層
を形成すると、磁性層のHCP相(002)のC軸の格
子間距離と下地層(110)面の格子間距離がほとんど
等しいため、Co合金磁性層はC軸が基体面に平行にな
るようにエピタキシャル成長する。このCo合金磁性層
のHCPのC軸は磁化容易軸なので、該Co合金磁性層
は、面内磁化膜となる。また、Cr等の下地層は、比較
的明瞭な柱状粒子構造をとるので、このCr膜上に成長
したCo合金磁性膜も相互に隔離した粒子構造となる。
更に、Co合金磁性膜にCrを含む媒体においては、磁
性体であるCoを、磁性膜中に含まれる非磁性Crがま
わりを取り囲むように偏析し、磁性層自体も相互に隔離
した粒子構造を形成する。なお、更に、Co合金磁性膜
中にPtを含む媒体においては、磁性層のCoのHCP
(002)相とCoPtのFCT(111)相が共存し
た形になり、磁壁が固着化されて高保磁力を示す。この
ような結晶磁気異方性をもった単磁区粒子構造となる結
果、高保磁力が発生する。
【0006】しかしながら、磁気記録体を作製する際の
諸条件を最適化しても、現在のところ実用できる磁気記
録体の保磁力は、CoNiCr、CoCrTaで190
0Oe程度、CoCrPt、CoNiPt、CoCrP
tTaで2400Oe程度であり、更なる高保磁力化が
望まれていた。
【0007】そこで、本発明者らは、より高い保磁力が
得られる磁気記録体を提供することを目的として鋭意研
究したところ、最近、Co系合金磁性層にPtとBを同
時添加すると、その保磁力が増大し、極めて高い保磁力
が発現されることを見出した。この保磁力の増大は、P
tが同時添加されているCo合金磁性層にのみ認めら
れ、Ptを包含していないCo合金磁性層では、Bを添
加しても保磁力の増大は認められなかった。また、X線
解析の結果、Bを添加した場合は、CoPtのFCT相
の形成が促進されており、このFCT相の混入により保
磁力が増大しているものと考えられる。また、従来この
タイプの磁性層において、保磁力を増大させる効果を有
することが知られていたCr、Ni、Taの元素につい
て検討した結果、このCo−Pt−B系においても従来
通り保磁力の増大に有効であることが分かった。Cr、
Ni、Taの元素の作用については、従来と同様と考え
られる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、Co合
金磁性層にPtとBを同時添加した磁性層は、極めて高
い保磁力を発現し、高記録媒体として有望であるが、P
tが非常に高価であるため、磁気記録体全体としての価
格がアップしてしまうという問題がある。
【0009】そこで、本発明は、低価格で高保磁力の磁
気記録体を提供することを目的とするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性体上
に、Cr、Mo、Wやこれらの合金の薄膜からなる結晶
配向用下地層と、この結晶配向用下地層上にCo合金の
薄膜からなるCo合金層とが連続して形成されて、HC
P相のC軸がほぼ面内方向に配向してなる磁性層を備え
た磁気記録体において、前記Co合金層の成分に、少な
くともPdとBの両者を含んでいることを特徴とするも
のである。
【0011】上記Co合金層の組成として、3〜30a
t%のPdと、0.5〜15at%のBとを含有してい
ることが望ましい。また、上記Co合金層の成分に、少
なくともPdとPtとBの3種類の元素を含んでいるこ
とが望ましい。上記Co合金層の組成として、PdとP
tとを総量で3〜30at%と、Bを0.5〜15at
%含有していることが好ましい。更に、上記Co合金層
には、Cr、Ni、Taを少なくとも1種含有している
ことが望ましい。
【0012】
【作用】今回、本発明者らは、Co系合金磁性層にPd
とBを同時添加すると、その保磁力が増大し、極めて高
い保磁力が発現されることを見出した。この保磁力の増
大は、Pdが同時添加されているCo合金磁性層にのみ
認められ、Pdを含有していないCo合金磁性層では、
Bを添加しても保磁力の増大は認められなかった。な
お、Pdの一部をPtで置換しても、同様に極めて高い
保磁力が発現される。また、X線解析の結果、Bを添加
した場合は、CoPdのFCT相の形成が促進されてお
り、このFCT相の混入により保磁力が増大しているも
のと考えられる。また、従来このタイプの磁性層におい
て、保磁力を増大させる効果を有することが知られてい
たCr、Ni、Taの元素について検討した結果、この
Co−Pd−B系においても従来通り保磁力の増大に有
効であることが分かった。Cr、Ni、Taの元素の作
用については、従来と同様と考えられる。
【0013】更に、発明者らは、結晶配向用下地膜がな
い場合について面内保磁力を測定した結果、Bを添加す
ると、保磁力が低下してしまうことが明らかになった。
したがって、本発明においては、結晶配向用下地層は必
要不可欠のものである。
【0014】
【実施例】以下、添付図面を参照しつつ、本発明の好ま
しい実施例による磁気記録体について詳細に説明する。
【0015】まず、DCマグネトロンスパッタ法によ
り、Al上にNiPを無電解メッキし、その表面をポリ
ッシングした非磁性基板上に、Cr下地層を1500
Å、各種組成のCo合金磁性層を500Å、保護膜とし
てC層を300Å連続的に成膜した。到達真空度は5×
10-6Torr以下、スパッタ中のアルゴン圧力は5m
Torr、基板温度は290℃、バイアス電圧は基板に
−300V印加した。以上のスパッタ条件は、この種の
記録媒体の最も一般的な製造条件である。ここでは、C
o合金磁性層の組成のみを変化させて、以下の実験を行
った。なお、比較のために、Cr下地層の無いものも比
較例として作製した。
【0016】まず、Co−10at%Pdと、Co−1
5at%Pdに、それぞれBをその添加量Xを変えて、
その各種組成割合のCo−10at%Pd−Xat%
B、Co−15at%Pd−Xat%B磁性膜を作製
し、得られた磁気記録体の面内保磁力すなわち磁気記録
体の膜面に平行方向の保磁力を測定した。その結果を、
それぞれ図1のグラフに示す。
【0017】図1のグラフから分かるように、Bを0.
5〜15at%添加することにより、磁気記録体の保磁
力がB無添加のものと比べて増大し、特に添加量3〜5
at%の近傍で保磁力が最大値をとり、B無添加のもの
と比べて、約600Oe向上する。
【0018】次に、磁性層におけるBの添加量を3at
%と一定とし、Pdの添加量Yを変化させて磁性膜を作
製し、得られた磁気記録体の面内保磁力を測定した。そ
の結果を、図2のグラフに示す。
【0019】この図2から分かるように、高保磁力が得
られるPdの添加量Yの範囲は3〜30at%であっ
た。
【0020】次に、Co−15at%(Pt+Pd)−
3at%B(実施例)と、Co−15at%(Pt+P
d)(比較例)の組成で、PtとPdの比を変化させて
磁性膜を作製し、得られた磁気記録体の面内保磁力を測
定した。その結果を、図3のグラフに示す。この図3か
ら分かるように、Bを添加したものは、Bを添加しない
ものに比べて、全ての組成で500〜900Oeも高い
保磁力が得られた。さらに、Ptを半分までPdで置換
しても、Bが添加されたものは、保磁力がほとんど減少
せず、低コストで高保磁力が得られることが分かる。
【0021】次に、Co−7.5at%Pt−7.5a
t%Pdに、その添加量Xを変えて、各種組成割合のC
o−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat%B
磁性膜を作製し、得られた磁気記録体の面内保磁力を測
定した。その結果を、図4のグラフに示す。この図4の
グラフから分かるように、このCo−7.5at%Pt
−7.5at%Pd系磁性層の場合にも、Bの添加とと
もに、保磁力が増加し、添加量3〜5at%で最大値を
取った。
【0022】次に、従来から保磁力を向上させるために
有効とされていたCr、Ni、Taを添加したCo合金
磁性層の代表的な組成、すなわちCo−10at%Cr
−15at%Pd−Xat%B、Co−10at%Cr
−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat%B、
Co−20at%Ni−7.5at%Pt−7.5at
Pd−Xat%B、Co−10at%Cr−2at%T
a−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat%B
のそれぞれのBの添加量XすなわちBの組成を変化させ
て、各組成の磁性膜を作製し、得られた磁気記録体の面
内保磁力を測定した。その結果を、それぞれ図5のグラ
フに示す。この図5から、全ての組成で、Bを添加する
ことにより、保磁力が増加することが分かる。
【0023】次に、比較例として、Cr下地層がなく、
基板上に直接Co−15at%Pd−Xat%B、Co
−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat%Bの
それぞれのBの添加量XすなわちBの組成を変化させ
て、各組成の磁性膜を作製し、得られた磁気記録体の面
内保磁力を測定した。その結果を、それぞれ図6のグラ
フに示す。この図6から分かるように、磁気記録体の保
磁力は、Bの添加とともに低下している。このことか
ら、Bの添加は、Cr下地層が存在する場合に限り保磁
力が増大することが分かる。
【0024】最後に、比較のために、厚さ1500Åの
Cr下地層上に、Pdを含有していないCo−Xat%
B、Co−12at%Cr−2at%Ta−Xat%B
のそれぞれのBをその添加量を変化させて添加して形成
した磁性層の保磁力を測定した。その結果を図7に示し
た。この図のグラフから分かるように、Pdが添加され
ていないCo膜へBを添加すると、添加量が増大すると
ともに、保磁力が低下する。このことから、Bの添加
は、Pdと同時に添加する場合に保磁力が増大すること
がわかる。なお、PdをPtで代替しても、保磁力の増
大という効果は得られるが、Ptは高価であるので、経
済上適さない。
【0025】なお、上記実施例においては、下地層とし
てCr層を用いたが、その上に連続して形成される磁性
層のC軸の結晶配向をほぼ膜面方向に制御するCr、M
o、Wやこれらの合金およびこれらの合金を主成分とす
る合金を用いてもよい。
【0026】
【発明の効果】本発明によれば、非磁性基体上に結晶配
向用下地層を形成し、その上に連続して形成されるPd
を含むCo基合金層にBを添加することにより、得られ
る磁気記録体の面内保磁力を、コストの安い材料で増大
させることができ、高い記録密度を有する面内記録型の
安価な磁気記録体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】非磁性基板上にCr下地層を形成し、その上に
連続して形成されたCo−15at%Pd−Xat%B
で構成される各組成の磁性層において、該磁性層へのB
元素の添加量と、得られた磁気記録体の面内保磁力の関
係を示したグラフ図である。
【図2】Cr下地層と、その上に連続して形成されたC
o−3at%B−Yat%Pdで構成される磁性層にお
いて、該磁性層へのPd元素の添加量と、得られた磁気
記録体の面内保磁力の関係を示したグラフ図である。
【図3】Cr下地層と、その上に連続して形成されたC
o−15at%(Pt+Pd)−3at%B、Co−1
5at%(Pt+Pd)で構成される磁性層において、
PtとPdの組成比に対する保磁力の関係を示すグラフ
図である。
【図4】Cr下地層と、その上に連続して形成されたC
o−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat%B
で構成される磁性層において、該磁性層へのB添加量
と、得られた磁気記録体の面内保磁力の関係を示したグ
ラフ図である。
【図5】Cr下地層と、この下地層上に連続して形成さ
れる各組成の磁性層において、該磁性層へのBの添加量
と保磁力の関係を示すグラフ図である。
【図6】Cr下地層を形成しないで、非磁性基板上に直
接Co−7.5at%Pt−7.5at%Pd−Xat
%BおよびCo−15at%Pd−Xat%Bを形成し
て作製した磁性層において、該磁性層へのB添加量と、
得られた磁気記録体の面内保磁力の関係を示したグラフ
図である。
【図7】Cr下地層上に形成されたCo−12at%C
r−2at%Ta−Xat%BおよびCo−Xat%B
組成の磁性層において、該磁性層へのBの添加量と、得
られた磁気記録体の面内保磁力の関係を示したグラフ図
である。
フロントページの続き (72)発明者 橋本 征典 千葉県山武郡山武町横田523日本真空技術 株式会社千葉超材料研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 非磁性体上に、Cr、Mo、Wやこれら
    の合金の薄膜からなる結晶配向用下地層と、この結晶配
    向用下地層上にCo合金の薄膜からなるCo合金層とが
    連続して形成されて、HCP相のC軸がほぼ面内方向に
    配向してなる磁性層を備えた磁気記録体において、前記
    Co合金層の成分に、少なくともPdとBの両者を含ん
    でいることを特徴とする磁気記録体。
  2. 【請求項2】 前記Co合金層の組成として、3〜30
    at%のPdと、0.5〜15at%のBとを含有して
    いることを特徴とする請求項1の磁気記録体。
  3. 【請求項3】 前記Co合金層の成分に、少なくともP
    dとPtとBの3種類の元素を含んでいることを特徴と
    する請求項1の磁気記録体。
  4. 【請求項4】 前記Co合金層の組成として、PdとP
    tとを総量で3〜30at%と、Bを0.5〜15at
    %含有していることを特徴とする請求項3の磁気記録
    体。
  5. 【請求項5】 前記Co合金層に、Cr、Ni、Taを
    少なくとも1種含有していることを特徴とする請求項
    1,2,3または4の磁気記録体。
JP2405036A 1990-12-21 1990-12-21 磁気記録体 Expired - Lifetime JP3052092B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2405036A JP3052092B2 (ja) 1990-12-21 1990-12-21 磁気記録体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2405036A JP3052092B2 (ja) 1990-12-21 1990-12-21 磁気記録体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07141638A true JPH07141638A (ja) 1995-06-02
JP3052092B2 JP3052092B2 (ja) 2000-06-12

Family

ID=18514678

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2405036A Expired - Lifetime JP3052092B2 (ja) 1990-12-21 1990-12-21 磁気記録体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3052092B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6242085B1 (en) 1997-09-17 2001-06-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium and method for producing the same
WO2002039433A1 (fr) * 2000-11-09 2002-05-16 Hitachi Maxell, Ltd. Support d'enregistrement magnetique et appareil d'enregistrement magnetique

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6242085B1 (en) 1997-09-17 2001-06-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic recording medium and method for producing the same
WO2002039433A1 (fr) * 2000-11-09 2002-05-16 Hitachi Maxell, Ltd. Support d'enregistrement magnetique et appareil d'enregistrement magnetique
US6846583B2 (en) 2000-11-09 2005-01-25 Hitachi Maxell, Ltd. Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP3052092B2 (ja) 2000-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0243672B1 (en) A magnetic recording medium
US4743491A (en) Perpendicular magnetic recording medium and fabrication method therefor
US4677032A (en) Vertical magnetic recording media with multilayered magnetic film structure
US4654276A (en) Magnetic recording medium with an underlayer and a cobalt-based magnetic layer
US4632883A (en) Vertical recording medium with improved perpendicular magnetic anisotropy due to influence of beta-tantalum underlayer
US6010795A (en) Magnetic recording medium comprising a nickel aluminum or iron aluminum underlayer and chromium containing intermediate layer each having (200) dominant crystalographic orientation
US5516547A (en) Method for fabricating magnetic recording medium
KR20070047678A (ko) 탄탈륨 합금계 스퍼터 타겟을 이용한 개선된 씨드층의 증착
JPH07118417B2 (ja) 磁気記録媒体
US5023148A (en) Tine film cobalt-containing recording medium
US6242086B1 (en) High coercivity, low noise magnetic recording medium comprising an intermediate cocrtaox layer
JP3052092B2 (ja) 磁気記録体
JPH04221418A (ja) 磁気記録体
JP2004355716A (ja) 磁気記録媒体
JP3663289B2 (ja) 磁気記録媒体及び磁気記憶装置
JPH0817032A (ja) 磁気記録媒体およびその製造方法
JP2000082210A (ja) 下地膜用ターゲット及び磁気記録媒体
JPH0618135B2 (ja) 垂直磁気記録媒体
WO1998016923A1 (en) Magnetic recording medium comprising a nickel aluminum or iron aluminum underlayer
JP2559984B2 (ja) 磁気記録媒体
JPH0322647B2 (ja)
JPH05325163A (ja) 磁気記録媒体
JPH04188427A (ja) 磁気ディスク
JPH06140247A (ja) 磁気記録媒体
JPH05258278A (ja) 磁気記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000208

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090407

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407

Year of fee payment: 11

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407

Year of fee payment: 11