JPS6118303A

JPS6118303A - リニアモ−タを用いた搬送装置

Info

Publication number: JPS6118303A
Application number: JP59137559A
Authority: JP
Inventors: Yoshinobu Imamura; 今村　好信; Makoto Yamamura; 誠山村
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date: 1984-07-02
Filing date: 1984-07-02
Publication date: 1986-01-27
Anticipated expiration: 2010-09-13
Also published as: JPH0785603B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は被搬送物を載置する搬送台を加圧空気、で浮上
させながらリニアモータで移送する搬送装置に関する。

（ロ）従来技術この種の搬送装置の従来例としては、リニアモータの固
定子側に平面状の搬送テーブルを定置しそれに対応した
可動子側の搬送路の底面を平面構成とした板状体の搬送
装置が提案されている。そして、この搬送装置では、搬
送テーブルに複数個の細孔を設け、搬送テーブルに載置
した搬送台の底面に前記細孔を介して、加圧空気をその
下方向より吹きつけ搬送台を搬送路から浮上させながら
搬送せしめるものであった。

しかしながら、上記方式では、リニアモータを構成する
可動子及び固定子が搬送路の下方に配置されているため
、搬送装置全体の高さが高くなりひいては設置場所の制
約等を受けるという欠点があった。さらには、かかるタ
イプの搬送装置では搬送台を浮上させるために多大の加
圧空気が必要であるという問題がある。

（ハ）目的本発明は、上記事情にかんがみてなされたもので、リニ
アモータを用いた小型で効率が良く、しかも搬送台を浮
上せしめる加圧空気の必要量も低減できる搬送装置を提
供することを目的としている。

（ニ）構成本発明は搬送管路と、この搬送管路の両外側または百円
側壁のいずれが一方に相対向してリニアモータの固定子
を配設し、搬送管路を跨ぐように搬送台を配設する一方
、前記搬送台は被搬送物を載置する搬送テーブルとリニ
アモータの固定子と対応して設けたそれぞれのリアクシ
ョンプレートを一体となし、前記搬送管路の上辺及び両
側面に加圧空気を噴射する多数の細孔を設け、さらに搬
送管路両外側または百円側壁いずれか一方の固定子に対
向して磁性体を配設し、搬送台を加圧空気で浮上せしめ
るようにした搬送装置である。

（ホ）実施例第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す断面図、
第２図は前記実施例の平面図である。

図において、１はリニアモータの１次側を構成する固定
子で、図示しないフレームの内側面にそれぞれ相対向し
て搬送方向に所定の間隔で固定されている。

前記固定子１の内側中央部には搬送管路２が搬送路の中
心線と同軸に配設されてあり、この搬送管路２は全体と
して断面口の字形状となっていて、図示しないフレーム
に固定されている。また、該搬送管路２は左右対称に断
面２ａよりなる非磁性体、非導電性体、例えばステンレ
ス鋼板または樹脂板等で構成され、上辺２ｂ、両側辺２
ｃにはそれぞれ適宜の口径を有する細孔２ｄが開口して
いる。ただし、本実施例では細孔２ｄは幾何学的に対称
に配置しであるが、必ずしもこのように幾何学的対称に
配置する必要はない。

そして、搬送管路２の百円側壁には固定子Ｉに対応して
それぞれ磁性体３を配設する。この磁性体は例えば鉄板
等で構成される。なお、図示するように、搬送管路２の
下部には適宜口径の加圧空気吸入口があり、この加圧空
気吸入口がらは加圧空気が導入される。

４は搬送台であって、この搬送台４は例えば断面コの字
の形状を有しており、下方を開口したがたちで前記搬送
管路２を跨ぐように図示しないフレームに配役固定され
ている。搬送台４の少なくとも両側面は、リニアモータ
の固定子１と磁性体３（例えば鉄板等）との間に配置し
、リニアモータのリアクションプレートとして推力を生
じせしめるよう導電性体例えばアルミニュウム又は銅板
等で構成される。なお、５は搬送台４に載置した被搬送
物である。

加圧空気は、搬送管路２の下部より搬送管路２の内部へ
向けて送られるとともに、前記細孔２ｄを介して搬送管
路２の上辺及び両側辺へ噴出する。

つぎに上述のように構成した本発明に係る搬送装置の動
作について説明する。

■　加圧空気は搬送管路２の下部より、搬送管路２の内
部へ送られ前記細孔２ｄから、搬送管路２の上辺及び両
側辺へ噴出する。

■　前記噴出した加圧空気は搬送台４の水平面の下面４
ａ及び画側内面４ｂを押圧するので、搬送台４は浮上す
る。

■　ここで、リニアモータの固定子２を多相交流により
順次励磁することにより、公知の如く搬送、台４は推力
を得る。このため、搬送台４は第２図に矢符で示す方向
に搬送される。

この場合、搬送管路２の両外側に固定子１に対応して配
設した磁性体３は、固定子ｌより発生する磁束の径路と
して有効なもので、空隙の磁束密度を高める結果、搬送
台４に与えられる推力は大きくなる。

搬送台４が大きい推力を必要としないときは、磁性体３
を省略し、搬送管路２を鉄板製または非磁性体によって
構成するか、或いは固定子１を片側のみに配置すること
も可能である。

第３図は他の実施例を示す図である。第３図において第
１図と同一部分は同一符号を付してしめした。

本実施例が前実施例と異なるところは、リニアモータの
固定子ｌを搬送管路２の百円側壁に搬送方向に所定の間
隔にそれぞれ相対して固設し、磁性体３を図示しないフ
レームの内側壁に固定子１に対応して配設したことであ
る。この場合、搬送管路２は非磁性体で構成する必要が
あり、前記以外の構成は前実施例のそれと同様である。

（へ）効果本発明によれば、前記実施例で説明した如（、下記の効
果を有する。

■　搬送管路の両外側か又は側内側壁のいずれか一方に
配設した固定子に対向して磁性体を配設した構成である
ので、固定子より発生する磁束の径路として有効であり
、空隙の磁束密度を高め、リニアモータで発生する推力
を大きくできるので、リニアモータの小型化が実現でき
る。

■　固定子を搬送管路の両外側か又は側内側壁のいずれ
か一方に配設し、搬送台をリアクションプレートとして
リニアモータを構成し、更に搬送台の水平面の下面及び
両側内面の３面より加圧空気で押圧し搬送台を浮上する
構成である。そのため、搬送装置全体を高さを低くする
ことができる。また、加圧空気を有効に利用できるので
、必要空気量も低減できる。

■　塵埃等を発生させないので、クリーンルーム内等で
の使用が可能である。°したがって、本発明はリニアモ
ータを用いて小型で効率が良く、特にその高さ寸法が小
さくでき、又浮上させるための必要空気量も低減できる
搬送装置が実現できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る搬送装置の実施例を示す断面図、
第２図は前記実施例の平面図、第３図は他の実施例を示
す断面図である。１　・・・固定子、２　・・・搬送管路、２ｄ・・・細
孔、３　・・・磁性体、４　・・・搬送台、５　・・・
被搬送物。特許出願人　日立機電工業株式会社代理人　弁理士　大　西　孝　治第１図第２図第３図手続補正書（自発）昭和５９年　９月　６日２、発明の名称リニアモータを用いた搬送装置３、補正をする者８、補正の内容（１）明細書の第２頁第１７行目の「加圧空気の」を「
加圧空気も使用する効率が向上するので」と補正する。（２）同書第３頁第１９行目〜同第２０行目のｒｔａ送
路の中心線と同軸に」を削除する。（３）同書第４頁第１８行目〜同第１９行目のｒ図示し
ないフレームに配設固定されている。」を「配設されて
いる。」と補正する。（４）同書第５頁第１行目の「配置し、」を「存在し、
Ｊと補正する。（５）同書第５頁第１７行目〜同第１８行目の「多相交
流により」を削除する。（６）同書第６頁第６行目の「搬送台４が・・・ときは
、」を「別の実施例では、」と補正する。（７）同書第７頁第８行目の「リニアモータ」を「装置
」と補正する。（８）図面中、第２図を別紙の通り補正する。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）加圧空気を細孔より噴出せしめる管構造の搬送路
に跨座した搬送台の側面がリニアモータのリアクション
プレートとなり、リアクションプレートに対向して設置
したリニアモータとの間に推力を発生して搬送される空
気浮上型のリニアモータを用いた搬送装置。