JPS6118145A - 運動導入器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、真空装置における大気側から真空容器内へ運
動を導入する機構で、特に真空内での試料受は渡しに好
適な運動導入器に関するものである。

〔発明の背景〕

従来の技術を第１図により説明する。隔壁１の内圧を真
空とする内壁２を矢印３の方向に転がる複数個の軸受４
を設けたホルダ５と強磁性体からなるヨーク６を固定し
た軸７は、ホルダ８を介して隔壁１に装着した複数個の
軸受９によシ支えて隔壁１内に納めている。大気中には
マグネット１０を、隔壁１の外壁を摺動する滑り軸受１
１とともにツマミ１２に固定する。ここに、マグネット
１０とヨーク６とは、ツマミ１２を矢印３方向に移動し
た時、同方向の推力が発生する磁気回路を形成するよう
に構成する。さらに軸７の先端に試料ホルダ１３を設け
て試料１４を保持する構成である。

以上の構成によシ、従来技術は大気中から真空隔壁を介
して、真空内の試料に直線運動を与える直線導入器で、
特に、真空内での試料受は渡しに用いられる。

一方、基板上に高品質の薄膜を成長させるＭＢＥ（Ｍｏ
ｌｅｃｕｌａｒ　１３ｅａｍ　ｇｐｉｔａｘｙ　）装置
などの半導体製造技術は、高度なプロセス技術とあいま
って真空雰囲気の高清浄化（いわゆる超高真空）、する
いは試料搬送時の清浄化が要求される。このため、試料
の搬出入、前処理、蒸着、計測等台プロセス間の試料移
し換えに用いられる搬送系やマニピュンータは、その構
成部品からの放出ガス量の低減や信頼性の向上が望まれ
る。

従来技術の直線導入器を用いた試料の受は渡しに際して
は、試料を一方向のみに移動させる機構のため、次のよ
うな欠点があった。

■）導入器だけで受は渡しを行なう場合は、試料または
試料を固着したカセットを摺動するので、ゴミの発生や
試料の汚れ、ゴミ付着等による試料の汚染、真空雰囲気
の汚染の問題があった。

２）このため、導入器とは別の掴み機構あるいは上下機
構を持つマニビュンータを介して受は渡す方式がとられ
る。しかし、マニピュレータ構成部材の放出ガス量増加
から、超高真空の達成には問題がおった。

〔発明の目的〕 本発明の目的は、従来技術を解消すべく、試料の清浄化
および超高真空を達成し得る運動導入器を提供すること
にある。

〔発明の概要〕

本発明は、上記目的を達成するために、真空内での試料
受は渡しにおいて、一つの導入器に直進運動と回転運動
を設け、操作性を向上することによって試料の清浄化を
図り、また、放出ガス量に起因する導入系の削減によっ
て超高真空の達成を図った。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。隔壁
１５を介して外側が大気、内側を真空とする真空内に、
内壁１６を矢印１７の方向に転がる複数個の軸受ｌＢを
設けたホルダ１９と中空軸２０とを結合して納めている
。中空軸２０は隔壁１５にホルダ２１を介して装着した
複数個の軸受２２によって転がシ案内されると同時に回
転防止をも兼ねた構造を形成している。

また、ホルダ１９に軸受２３を介して装着した強磁性体
からなる１個または複数個のヨーク２４と隔壁１５の外
壁を摺動する滑９軸受２５およびツマミ２６内に装着し
た１個または複数個のマグネット２７とは、ツマミ２６
を矢印１７方向に移動した時に同方向の推力を、また矢
印２８方向に回転した時に同方向の回転力が発生するよ
うな磁気回路を形成している。

さらに、中空軸２０お−よびホルダ１９を貫通する回転
軸２９は、軸受３０を介して装着し、軸端に継手３１を
介してヨーク２４と連結、他端に固定した部材３２およ
び中空軸２０と試料ホルダ３３とを連結する板バネ３４
を介して、回転運動を矢印３５の上下運動に変換する構
成である。

以上の構成により、試料ホルダ３３に搭載した試料３６
はツマミ２６を矢印１７の方向に直進移動することによ
シ同方向に移動し、かつ、矢印２８の方向の回転運動で
矢印３５の方向の上下運動が可能である。

次に、第２図の真空隔壁１５を介して運動を導入する部
分の他の実施例を第３図によシ説明する。

図中、第２図と同じ番号を付した部材は第２図の実施例
と同様の機能を構成する。

ホルダ１９に装着し次ヨーク３７とツマミ２６に装着し
たマグネット３８とは、ツマミ２６を矢印１７方向に移
動した時、同方向の推力が発生するように磁気回路を形
成し、また、ホルダ１９に軸受２３を介して装着したヨ
ーク３９とツマミ２６に装着したマグネット４０とは、
ツマミ２６を矢印２８方向に回転した時、同方向の回転
力が発生するように磁気回路を形成した構成である。

以上の構成のごとく本実施例は、推力と回転力を形成す
る磁気回路をそれぞれ分離して形成したもので、本実施
例によっても第２図に示す実施例と同様の動作可能であ
る。

本実施例の直線・回転導入器を用いて搬送系から試料の
受は渡しを行なう手順の一例を第４図。

第５図によシ説明する。

第４．第５図は本実施例の試料ホルダ３３、搬送レール
４１上を矢印４２方向に試料３６を載せて走るトロッコ
４３よシ構成する。受は渡しは次の手順による。

■）試料ホルダ３３を矢印４４方向に引いておく。

２）試料３６を載せたトロッコ４３を移動して試料ホル
ダ３３の位置に止める。

３）試料ホルダ３３を下に下げてから、矢印４５方向に
移動して、試料３６の下に押し込む（第５図に示す状態
）。

４）試料ホルダ３３を上に上げて試料３６をすくい、ト
ロッコからの試料受取りが完了する。

５）次に、試料３６を載せた試料ホルダ３３をさらに矢
印４５方向に移動して、処理を行なうステーション迄押
し込む。

６）試料ホルダ３３を下げて、ステーションへ試料３６
を受は渡す。

７）試料ホルダ３３を元の位置迄引き込んで、試料受は
渡しを完了する。

８）ステーションからトロッコへの試料受は渡しは、上
記１）〜７）の操作を逆に行なう。

上述した機能により、本実施例の直進・回転導入器によ
れば、大気中から、真空内の試料を傷つけることなく受
は渡しができるようになった。

以上述べたように本実施例は、大気中から真空内へ直進
と上下の２方向の運動が導入できるので、次の効果があ
る。

（１）上下運動により試料をこすることなく、シかも容
易な操作で受は渡しができるので、試料の清浄化が図ら
れ、信頼性が向上した。

（２）他の掴み機構あるいは上下の専用機構を使わずに
簡単な構成で上下運動を導入したので、構成部材の放出
ガス量を低減し、超高真空が達成できるようになった。

（３）上記（２）により高品質な薄膜成長が提供できる
ようになった。

（４）上記（２）により、従来技術に比べて大巾な価格
低減が図れた。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、真空内での試料
受は渡しにおいて、一つの導入器に直進運動と回転運動
を設け、操作性を向上することによって試料の清浄化を
図９、また、放出ガス量に起因する導入系の削減によっ
て超高真空を達成できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の直線導入器を示す断面図、第２図は本発
明の一実施例になる運動導入器の断面図を示す。第３図
は本発明の他の実施例を示す断面図、第４図は本発明を
用いて試料受は渡しを示す部分断面図、第５図は、第４
図の左側面図を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空隔壁を介して磁気回路を形成する部材により構
   成した、大気中から真空中へ運動導入する導入器におい
   て、真空中の運動導入に二重構造の軸を形成し、その二
   重軸の外側の軸を直線導入軸に、内側の軸を回転導入軸
   に形成したことを特徴とする運動導入器。 ２、特許請求の範囲第１項記載の導入器において、前記
   回転導入軸の軸端に、回転運動を上下運動に変換する部
   材を設けたことを特徴とする運動導入器。