JPH04139854A - ウェハーの真空搬送装置 - Google Patents
ウェハーの真空搬送装置Info
- Publication number
- JPH04139854A JPH04139854A JP2263612A JP26361290A JPH04139854A JP H04139854 A JPH04139854 A JP H04139854A JP 2263612 A JP2263612 A JP 2263612A JP 26361290 A JP26361290 A JP 26361290A JP H04139854 A JPH04139854 A JP H04139854A
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- JP
- Japan
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- wafer
- moving body
- vacuum transfer
- subjected
- transfer device
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Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 abstract 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、各種半導体製造装置の製造装置間における、
工程間、工程内のウェハーの移動を、真空容器を介して
行うウェハーの真空搬送装置に関する。
工程間、工程内のウェハーの移動を、真空容器を介して
行うウェハーの真空搬送装置に関する。
［従来の技術］
従来のウェハー真空搬送装置の構造は、第４図のような
構造であった。即ち、第４図において、真空排気をしう
る機構と接続された搬送用構造体３０２は、製造装置Ａ
３１０と製造装置Ｂ５１１間に、搬入口ゲート３０８と
搬出口ゲート３０９を介して取り付けられる。また、外
部の駆動モーター３０３より駆動軸３０４を介して駆動
プーリー３０５を回転させ、回転力を駆動ベルト３０６
に伝える。被搬送体であるウェハー３０１は駆動ベルト
３０６上にあり、搬送用構造体３０２の搬入口ゲート部
より搬出口ゲート部まで任意の距離を移動させうる構造
にある。
構造であった。即ち、第４図において、真空排気をしう
る機構と接続された搬送用構造体３０２は、製造装置Ａ
３１０と製造装置Ｂ５１１間に、搬入口ゲート３０８と
搬出口ゲート３０９を介して取り付けられる。また、外
部の駆動モーター３０３より駆動軸３０４を介して駆動
プーリー３０５を回転させ、回転力を駆動ベルト３０６
に伝える。被搬送体であるウェハー３０１は駆動ベルト
３０６上にあり、搬送用構造体３０２の搬入口ゲート部
より搬出口ゲート部まで任意の距離を移動させうる構造
にある。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の真空搬送装置では、搬送装置搬入前に製
造装置で位置合わせ制御された被搬送体であるウェハー
３０１は、駆動ベルト３０６上における移動時の揺れ、
ビビリ、振れなどにより、搬入口ゲート搬入時における
初期位置姿勢を移動動作終了時である搬出口ゲート搬出
部において、初期の位置姿勢を再現することができず、
次の製造装置に搬出後改めて位置合わせ制御をしなおさ
なけのばならないという問題と、ウェハーが保持固定さ
れない非保持型搬送であるために、高速での搬送動作を
行うと搬送用構造体との接触あるいは搬出口ゲートとの
衝突によりウェハーが破損するという問題点を有してい
た。
造装置で位置合わせ制御された被搬送体であるウェハー
３０１は、駆動ベルト３０６上における移動時の揺れ、
ビビリ、振れなどにより、搬入口ゲート搬入時における
初期位置姿勢を移動動作終了時である搬出口ゲート搬出
部において、初期の位置姿勢を再現することができず、
次の製造装置に搬出後改めて位置合わせ制御をしなおさ
なけのばならないという問題と、ウェハーが保持固定さ
れない非保持型搬送であるために、高速での搬送動作を
行うと搬送用構造体との接触あるいは搬出口ゲートとの
衝突によりウェハーが破損するという問題点を有してい
た。
そこで、本発明は従来のこのような課題を解決するため
搬送用構造体の中に、ウェハーの保持・解放機構を有し
て位置合わせ制御された初期の位置姿勢を再現しつつ次
の製造装置へ搬出するとともに高速で移動することを可
能とした移動体を提供することを目的とする。
搬送用構造体の中に、ウェハーの保持・解放機構を有し
て位置合わせ制御された初期の位置姿勢を再現しつつ次
の製造装置へ搬出するとともに高速で移動することを可
能とした移動体を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明のウェハーの真空搬送
装置は真空排気をしうる機構を持つ構造体において、構
造体内にあってウェハーの保持・解放機構を有しかつ直
接あるいは間接の駆動機構により搬送動作を実現する移
動体を有することを特徴とする。
装置は真空排気をしうる機構を持つ構造体において、構
造体内にあってウェハーの保持・解放機構を有しかつ直
接あるいは間接の駆動機構により搬送動作を実現する移
動体を有することを特徴とする。
［作用］
上記のように構成されたウェハーの真空搬送装置に位置
合わせ制御された被搬送体であるウェハーを搬入し、保
持・解放機構を有する移動体に受は渡しを行う。ウェハ
ーは保持機構により保持固定され、移動体は構造体に付
属する直接あるいは間接の駆動機構より駆動力を受は搬
送動作を任意距離実行し、移動体の停止後にウェハー固
定の解放機構によりウェハーを解放して搬出のための受
は渡しを行うため、非保持型搬送のような慣性力による
影響を受けず初期の位置姿勢を再現することと高速移動
ができるのである。
合わせ制御された被搬送体であるウェハーを搬入し、保
持・解放機構を有する移動体に受は渡しを行う。ウェハ
ーは保持機構により保持固定され、移動体は構造体に付
属する直接あるいは間接の駆動機構より駆動力を受は搬
送動作を任意距離実行し、移動体の停止後にウェハー固
定の解放機構によりウェハーを解放して搬出のための受
は渡しを行うため、非保持型搬送のような慣性力による
影響を受けず初期の位置姿勢を再現することと高速移動
ができるのである。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。第
１図は直接駆動機構を備えた実施例の１例であり、第１
図において、製造装置Ａ１１１と製造装置Ｂ１１２間に
、搬入口ゲート１０９と搬出口ゲート１１０を介して取
り付けられる真空排気をしうる機構を持つ搬送用構造体
１１３にあって、被搬送体であるウェハー１０１は移動
体１０２に保持・解放機構を有する保持・解放用爪１０
３によって固定される。移動体１０２の移動動作は搬送
用構造体外部の駆動モーター１０４より駆動力を駆動プ
ーリー１０５へ伝え、駆動ベルト１０６を介して実現す
る。
１図は直接駆動機構を備えた実施例の１例であり、第１
図において、製造装置Ａ１１１と製造装置Ｂ１１２間に
、搬入口ゲート１０９と搬出口ゲート１１０を介して取
り付けられる真空排気をしうる機構を持つ搬送用構造体
１１３にあって、被搬送体であるウェハー１０１は移動
体１０２に保持・解放機構を有する保持・解放用爪１０
３によって固定される。移動体１０２の移動動作は搬送
用構造体外部の駆動モーター１０４より駆動力を駆動プ
ーリー１０５へ伝え、駆動ベルト１０６を介して実現す
る。
製造装置Ａ１１１にて位置合わせ制御されたウェハーは
搬入口ゲートを通じて移動体１０２上で受は渡しを行い
、保持・固定用爪１０３によって保持固定される。移動
体１０２は駆動ベルト１０６とガイドレール１０８を案
内として任意距離の移動動作を行い、製造装置Ｂ１１２
側へ移動する。
搬入口ゲートを通じて移動体１０２上で受は渡しを行い
、保持・固定用爪１０３によって保持固定される。移動
体１０２は駆動ベルト１０６とガイドレール１０８を案
内として任意距離の移動動作を行い、製造装置Ｂ１１２
側へ移動する。
移動体１０２が停止すると保持・解放用爪１０３がウェ
ハーの解放動作を行い、位置合わせ制御されたウェハー
の初期の位置姿勢を再現して製造装置Ｂ１１２とのウェ
ハーの受は渡しを行うことができる。
ハーの解放動作を行い、位置合わせ制御されたウェハー
の初期の位置姿勢を再現して製造装置Ｂ１１２とのウェ
ハーの受は渡しを行うことができる。
第２図に間接駆動機構を備えた実施例を示す。
第２図において、製造装置Ａ２１１と製造装置Ｂ２１２
間に、搬入口ゲート２０９と搬出口ゲート２１０を介し
て取り付けられる真空排気をしうる機構を持つ搬送用構
造体２１３がある。搬送用構造体２１３にあってウェハ
ー２０１は移動体２０２に保持・解放用固定爪２０３に
よって固定される。搬送用構造体外部の駆動モーター２
０４は駆動軸２０５に駆動力を伝え電磁石２０７を駆動
軸線上に移動させる。移動体２０２には永久磁石２０８
があり磁石の磁力の作用によりガイドレール２０６に案
内されて連動し移動動作を行うため、高速移動が容易に
実現できかつ低発塵性とすることができる。
間に、搬入口ゲート２０９と搬出口ゲート２１０を介し
て取り付けられる真空排気をしうる機構を持つ搬送用構
造体２１３がある。搬送用構造体２１３にあってウェハ
ー２０１は移動体２０２に保持・解放用固定爪２０３に
よって固定される。搬送用構造体外部の駆動モーター２
０４は駆動軸２０５に駆動力を伝え電磁石２０７を駆動
軸線上に移動させる。移動体２０２には永久磁石２０８
があり磁石の磁力の作用によりガイドレール２０６に案
内されて連動し移動動作を行うため、高速移動が容易に
実現できかつ低発塵性とすることができる。
この部分を第３図によって詳しく説明すると、移動体２
０２はガイドレール２０６にのみにより保持され回転ロ
ーラー２１５によって移動動作を容易にすることにより
高速移動が可能となり、かつ搬送用構造体２１３内に他
の駆動系を取り除くことができるため低発塵機構とする
ことができるる ［発明の効果］ 以上述べたように、本発明のウェハーの真空搬送機構は
、構造体内にあってウェハーの保持・開放機構を持つ移
動体によって移動動作を実現するという構造にしたこと
により、位置合わせ制御されたウェハーを初期の位置姿
勢を再現しかつ高速で移動動作を実現し搬送することを
可能にする効果がある。
０２はガイドレール２０６にのみにより保持され回転ロ
ーラー２１５によって移動動作を容易にすることにより
高速移動が可能となり、かつ搬送用構造体２１３内に他
の駆動系を取り除くことができるため低発塵機構とする
ことができるる ［発明の効果］ 以上述べたように、本発明のウェハーの真空搬送機構は
、構造体内にあってウェハーの保持・開放機構を持つ移
動体によって移動動作を実現するという構造にしたこと
により、位置合わせ制御されたウェハーを初期の位置姿
勢を再現しかつ高速で移動動作を実現し搬送することを
可能にする効果がある。
第１図は、本発明のウェハー真空搬送装置の実施例を示
す一部破断斜視図。 第２図および第３図は、同じく間接駆動機構を持つウェ
ハー真空搬送装置の実施例を示す一部破断斜視図と断面
図。 第４図は、従来のウェハー真空搬送装置の一部破断斜視
図。 １０１．２０１．３０１・・・ウェハー１０２．２０２
・・・移動体 １０３．２０３・・・保持・開放用固定爪１０４．２０
４．３０３・・・駆動モーター１０５．３０５・・・駆
動プーリー １０６．３０６・・・駆動ベルト １０７．３０７・・・従動プーリー １０８．２０６・・・ガイドレール １０９．２０９．３０８・・・搬入口ゲート１１０．２
１０．３０９・・・搬出口ゲート１１１．２１１．３１
０・・・製造装置Ａ１１２．２１２．３１１・・・製造
装置Ｂ１１３．２１３．３０２・・・搬送用構造体１１
４．２１４．３１２・・・排気配管２０５．３０４・・
・駆動軸 ２０７・・・電磁石 ２０８・・・永久磁石
す一部破断斜視図。 第２図および第３図は、同じく間接駆動機構を持つウェ
ハー真空搬送装置の実施例を示す一部破断斜視図と断面
図。 第４図は、従来のウェハー真空搬送装置の一部破断斜視
図。 １０１．２０１．３０１・・・ウェハー１０２．２０２
・・・移動体 １０３．２０３・・・保持・開放用固定爪１０４．２０
４．３０３・・・駆動モーター１０５．３０５・・・駆
動プーリー １０６．３０６・・・駆動ベルト １０７．３０７・・・従動プーリー １０８．２０６・・・ガイドレール １０９．２０９．３０８・・・搬入口ゲート１１０．２
１０．３０９・・・搬出口ゲート１１１．２１１．３１
０・・・製造装置Ａ１１２．２１２．３１１・・・製造
装置Ｂ１１３．２１３．３０２・・・搬送用構造体１１
４．２１４．３１２・・・排気配管２０５．３０４・・
・駆動軸 ２０７・・・電磁石 ２０８・・・永久磁石
Claims (1)
- 真空排気をしうる機構を持つ構造体により構成される
ウェハーの真空搬送装置において、構造体内にあつてウ
ェハーの保持・解放機構を有し、かつ直接あるいは間接
の駆動機構により搬送動作を実現する移動体を有するこ
とを特徴とするウェハーの真空搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263612A JPH04139854A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | ウェハーの真空搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2263612A JPH04139854A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | ウェハーの真空搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04139854A true JPH04139854A (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=17391958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2263612A Pending JPH04139854A (ja) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | ウェハーの真空搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04139854A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5511930A (en) * | 1992-03-02 | 1996-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Precision positioning apparatus |
| WO2005074020A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | 半導体製造装置およびそれを用いた半導体製造方法 |
| JP2012144048A (ja) * | 2012-03-22 | 2012-08-02 | Seiko Epson Corp | 記録装置 |
| CN103325722A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-25 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 晶圆输送机构及使用方法 |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP2263612A patent/JPH04139854A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5511930A (en) * | 1992-03-02 | 1996-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Precision positioning apparatus |
| WO2005074020A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sharp Kabushiki Kaisha | 半導体製造装置およびそれを用いた半導体製造方法 |
| JPWO2005074020A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2007-09-13 | シャープ株式会社 | 半導体製造装置およびそれを用いた半導体製造方法 |
| JP4542043B2 (ja) * | 2004-01-30 | 2010-09-08 | シャープ株式会社 | 半導体製造装置およびそれを用いた半導体製造方法 |
| US7918939B2 (en) | 2004-01-30 | 2011-04-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method using the same |
| JP2012144048A (ja) * | 2012-03-22 | 2012-08-02 | Seiko Epson Corp | 記録装置 |
| CN103325722A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-25 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 晶圆输送机构及使用方法 |
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