JPS6116343B2 - - Google Patents
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- JPS6116343B2 JPS6116343B2 JP56090383A JP9038381A JPS6116343B2 JP S6116343 B2 JPS6116343 B2 JP S6116343B2 JP 56090383 A JP56090383 A JP 56090383A JP 9038381 A JP9038381 A JP 9038381A JP S6116343 B2 JPS6116343 B2 JP S6116343B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation
- container
- vapor deposition
- heater
- heating
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- Expired
Links
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
本発明は電子写真用感光体のセレン系材料から
なる感光層の蒸着に用いる蒸発源に関する。 このような蒸発源の従来の一般的構造は、第１
図に示すように外側容器１の中に内側容器２が存
在し、蒸着材料を内側容器２に投入する。蒸着材
料はヒーター３により加熱されて蒸発し、蒸発口
４から噴出して、蒸発源上方に配置された基体上
に蒸着される。 この場合、蒸着された感光層の外観は、蒸発時
の容器内の蒸着材料の温度に依在し、容器温度が
高くなると外観が著しく悪くなつて商品価値を損
うことが知られている。しかし蒸着材料の温度を
低くすると蒸発速度、すなわち単位時間当たりの
蒸発量が小さくなり、蒸着に時間がかかる。 本発明はこれに対し、低い蒸着材料温度で高い
蒸発速度を得て、外観および電気特性のすぐれた
セレン系電子写真用感光体を短時間で製造できる
ような蒸着源を提供することを目的とする。 この目的は高さにくらべて長さが長く、幅の広
い蒸着材料容器が外側容器の底部に配置され、外
側容器の頂部に蒸着材料容器の長さ方向に平行な
複数のスリツト状蒸発口が設けられ、蒸着材料容
器近傍には容器加熱用ヒーターが、また各蒸発口
の直上または蒸気加熱用ヒーターが備えられるこ
とによつて達成される。 すなわち、本発明による蒸発源は融解した蒸着
材料の表面積を大きくして蒸発速度を増大させ、
蒸発速度が大きくなると悪化する傾向にある繰り
返し疲労特性を蒸発したセレン蒸気に高いエネル
ギーを与えることによつて改善するものである。 以下、図を引用して本発明の実施例について説
明する。 第２図ないし第４図において、外側容器１１に
は頂部にそれぞれ幅20mm、長さ1900mmの寸法のス
リツト状蒸発口１４が２本設けられている。この
外側容器の内部に置かれる蒸着材料容器１２は幅
100mm、深さ25mm、長さ1900mmの寸法を有し、幅
が深さの４倍となつている。蒸着材料容器１２の
周囲には容器加熱用ヒーター３が上側に３本、下
側に２本設けられている。さらに各蒸発口１４の
直下に噴出蒸気加熱用ヒーター５が取り付けられ
ている。蒸着操作の際は、蒸着材料を容器１２に
装入し、容器加熱用ヒータ３によつて加熱して融
解蒸発させ、蒸気をさらに蒸気加熱用ヒーター５
によつて加熱してエネルギーを供給し、蒸発口３
から噴出させる。 本発明の効果を立証するために、上述の第２〜
４図に示す本発明による蒸発源Ａと、第１図に示
す構造を有し第１表に示す２種類の寸法の従来の
蒸発源Ｂ，Ｃを用いて蒸着を行い、蒸発速度を測
定した。 蒸着材料としては10.5重畳％のテルルを含んだ
セレン−テルル合金を用いた。 測定結果は第２表に示す通りで、本発明による
蒸発源を使用すると、従来の蒸発源に比して容器
温度300℃で1.7〜５倍、360℃で1.6〜2.7倍の蒸発
速度を得た。電気特性、外観については三者に有
意差が認められなかつた。
なる感光層の蒸着に用いる蒸発源に関する。 このような蒸発源の従来の一般的構造は、第１
図に示すように外側容器１の中に内側容器２が存
在し、蒸着材料を内側容器２に投入する。蒸着材
料はヒーター３により加熱されて蒸発し、蒸発口
４から噴出して、蒸発源上方に配置された基体上
に蒸着される。 この場合、蒸着された感光層の外観は、蒸発時
の容器内の蒸着材料の温度に依在し、容器温度が
高くなると外観が著しく悪くなつて商品価値を損
うことが知られている。しかし蒸着材料の温度を
低くすると蒸発速度、すなわち単位時間当たりの
蒸発量が小さくなり、蒸着に時間がかかる。 本発明はこれに対し、低い蒸着材料温度で高い
蒸発速度を得て、外観および電気特性のすぐれた
セレン系電子写真用感光体を短時間で製造できる
ような蒸着源を提供することを目的とする。 この目的は高さにくらべて長さが長く、幅の広
い蒸着材料容器が外側容器の底部に配置され、外
側容器の頂部に蒸着材料容器の長さ方向に平行な
複数のスリツト状蒸発口が設けられ、蒸着材料容
器近傍には容器加熱用ヒーターが、また各蒸発口
の直上または蒸気加熱用ヒーターが備えられるこ
とによつて達成される。 すなわち、本発明による蒸発源は融解した蒸着
材料の表面積を大きくして蒸発速度を増大させ、
蒸発速度が大きくなると悪化する傾向にある繰り
返し疲労特性を蒸発したセレン蒸気に高いエネル
ギーを与えることによつて改善するものである。 以下、図を引用して本発明の実施例について説
明する。 第２図ないし第４図において、外側容器１１に
は頂部にそれぞれ幅20mm、長さ1900mmの寸法のス
リツト状蒸発口１４が２本設けられている。この
外側容器の内部に置かれる蒸着材料容器１２は幅
100mm、深さ25mm、長さ1900mmの寸法を有し、幅
が深さの４倍となつている。蒸着材料容器１２の
周囲には容器加熱用ヒーター３が上側に３本、下
側に２本設けられている。さらに各蒸発口１４の
直下に噴出蒸気加熱用ヒーター５が取り付けられ
ている。蒸着操作の際は、蒸着材料を容器１２に
装入し、容器加熱用ヒータ３によつて加熱して融
解蒸発させ、蒸気をさらに蒸気加熱用ヒーター５
によつて加熱してエネルギーを供給し、蒸発口３
から噴出させる。 本発明の効果を立証するために、上述の第２〜
４図に示す本発明による蒸発源Ａと、第１図に示
す構造を有し第１表に示す２種類の寸法の従来の
蒸発源Ｂ，Ｃを用いて蒸着を行い、蒸発速度を測
定した。 蒸着材料としては10.5重畳％のテルルを含んだ
セレン−テルル合金を用いた。 測定結果は第２表に示す通りで、本発明による
蒸発源を使用すると、従来の蒸発源に比して容器
温度300℃で1.7〜５倍、360℃で1.6〜2.7倍の蒸発
速度を得た。電気特性、外観については三者に有
意差が認められなかつた。
【表】
【表】
以上述べたように、本発明は蒸発源の蒸着材料
容器の幅を高さに比して大きくして蒸発速度を増
加させ、複数の蒸気口により絞られる蒸発蒸気に
高いエネルギーを付加して繰返し疲労特性への悪
影響を阻止して外観良好な電子写真感光体を短い
蒸着時間で得るものであり、電子写真感光体の生
産性の向上に極めて有効である。
容器の幅を高さに比して大きくして蒸発速度を増
加させ、複数の蒸気口により絞られる蒸発蒸気に
高いエネルギーを付加して繰返し疲労特性への悪
影響を阻止して外観良好な電子写真感光体を短い
蒸着時間で得るものであり、電子写真感光体の生
産性の向上に極めて有効である。
第１図はセレン系感光層蒸着用蒸発源の従来例
の断面図、第２図は本発明の実施例の断面図、第
３図は同じく斜視図、第４図はその蒸着材料容器
の斜視図である。 １１……外側容器、１２……蒸着材料容器、１
４……蒸発口、３……容器加熱用ヒーター、５…
…蒸気加熱用ヒーター。
の断面図、第２図は本発明の実施例の断面図、第
３図は同じく斜視図、第４図はその蒸着材料容器
の斜視図である。 １１……外側容器、１２……蒸着材料容器、１
４……蒸発口、３……容器加熱用ヒーター、５…
…蒸気加熱用ヒーター。
Claims (1)
- １ 高さにくらべて長さが長く、幅が広い蒸着材
料容器が外側容器の底部に配置され、該外側容器
の頂部に前記蒸着材料容器の長さ方向に平行な複
数のスリツト状蒸発口が設けられ、前記蒸発材料
容器近傍に容器加熱用ヒーターが、各前記蒸発口
の直上または直下に蒸気加熱用ヒーターが備えら
れたことを特徴とするセレン系感光層蒸着用蒸発
源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038381A JPS57207171A (en) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | Evaporating source for vapor deposition of selenium type photosensitive layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9038381A JPS57207171A (en) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | Evaporating source for vapor deposition of selenium type photosensitive layer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57207171A JPS57207171A (en) | 1982-12-18 |
| JPS6116343B2 true JPS6116343B2 (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=13997042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9038381A Granted JPS57207171A (en) | 1981-06-12 | 1981-06-12 | Evaporating source for vapor deposition of selenium type photosensitive layer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57207171A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005029895A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-02-03 | Agfa Gevaert Nv | 蒸着装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4843941A (ja) * | 1971-10-07 | 1973-06-25 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55164365U (ja) * | 1979-05-15 | 1980-11-26 |
-
1981
- 1981-06-12 JP JP9038381A patent/JPS57207171A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4843941A (ja) * | 1971-10-07 | 1973-06-25 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57207171A (en) | 1982-12-18 |
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