JPS5967368A - 蒸発源構造 - Google Patents
蒸発源構造Info
- Publication number
- JPS5967368A JPS5967368A JP17803782A JP17803782A JPS5967368A JP S5967368 A JPS5967368 A JP S5967368A JP 17803782 A JP17803782 A JP 17803782A JP 17803782 A JP17803782 A JP 17803782A JP S5967368 A JPS5967368 A JP S5967368A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- housing
- heat
- vapor deposition
- evaporation source
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は蒸発源構造に係り、特に被蒸着物の表面にセレ
ン合金材料を真空蒸着させるだめの蒸発源構造に関する
。
ン合金材料を真空蒸着させるだめの蒸発源構造に関する
。
一般に真空蒸着は物体の表面に金属の薄膜を形成する手
段として広く知られてお見金域またはその化合物を真空
中で加熱蒸発させることにより行われる。この真空蒸着
方法は各方面で多用されており、例えば電子写真用感光
体の感光層としてセレンやセレンヒ素合金を導電性基板
の上に形成する際にも使用される。このような真空蒸着
方法を実施するためには、セレン合金等を加熱蒸発させ
ることが必要であって、この種の蒸発源の従来の構造を
第１図および第２図を参照して説明する。
段として広く知られてお見金域またはその化合物を真空
中で加熱蒸発させることにより行われる。この真空蒸着
方法は各方面で多用されており、例えば電子写真用感光
体の感光層としてセレンやセレンヒ素合金を導電性基板
の上に形成する際にも使用される。このような真空蒸着
方法を実施するためには、セレン合金等を加熱蒸発させ
ることが必要であって、この種の蒸発源の従来の構造を
第１図および第２図を参照して説明する。
第１図において、蒸発源となるセレン合金１は、充填ボ
ート２内に収容され、この充填ボート２の外側は断熱壁
３によって包囲されており、さらに充填ボート２０周り
には加熱ヒータ４が配設され、このヒータの電熱によっ
てセレン合＠１を加熱するようになっている。
ート２内に収容され、この充填ボート２の外側は断熱壁
３によって包囲されており、さらに充填ボート２０周り
には加熱ヒータ４が配設され、このヒータの電熱によっ
てセレン合＠１を加熱するようになっている。
また、第２図に示した従来のものは、セレン合金１が加
熱ヒータを内蔵した充填ボート２の内に収容され、この
充填ボート２の上方はカバー５で被われている。このカ
バー５の天壁には蒸気出口６が形成され、さらに蒸気出
口６の直前には突沸防止板７が設けられている。
熱ヒータを内蔵した充填ボート２の内に収容され、この
充填ボート２の上方はカバー５で被われている。このカ
バー５の天壁には蒸気出口６が形成され、さらに蒸気出
口６の直前には突沸防止板７が設けられている。
しかしながら、このように構成された従来の蒸発源構造
は、蒸発源の経時変化により黒色化による放熱が大きく
なって保温が悪くなるという問題がある。また、蒸発源
の経時変化はセレン感光体に熱を多く放熱し、基板の温
度□制御が難しくなる結果として結晶化を惹起する。さ
らに蒸発源の長手方向の温度バラツキが大きくなって蒸
発物質であるセレンの加熱温度が不均一となってセレン
ＪＩ’Ａ厚のバラツキが大きくなるという欠点を有して
いた。
は、蒸発源の経時変化により黒色化による放熱が大きく
なって保温が悪くなるという問題がある。また、蒸発源
の経時変化はセレン感光体に熱を多く放熱し、基板の温
度□制御が難しくなる結果として結晶化を惹起する。さ
らに蒸発源の長手方向の温度バラツキが大きくなって蒸
発物質であるセレンの加熱温度が不均一となってセレン
ＪＩ’Ａ厚のバラツキが大きくなるという欠点を有して
いた。
そこで、本発明の目的は、上述した従来の技術が有する
欠点を解消し、保温効果および結晶防止効果に優れ、蒸
発源長手方向の温度バラツキを小さくして膜厚の分布を
均一化することができるようにした蒸発源構造を提供す
ることにある。
欠点を解消し、保温効果および結晶防止効果に優れ、蒸
発源長手方向の温度バラツキを小さくして膜厚の分布を
均一化することができるようにした蒸発源構造を提供す
ることにある。
上記目的を達成するため、本発明は、充填ボート内の蒸
着すべき材料を加熱して蒸着蒸気を発生させる蒸発源構
造において、上記充填ボートをハウジング内に収容し、
このハウジングの天井壁には蒸気出口を形成しておき、
さらにハウジングの外側面の全域に保温カバーを被着し
たことを特徴とづるものである。
着すべき材料を加熱して蒸着蒸気を発生させる蒸発源構
造において、上記充填ボートをハウジング内に収容し、
このハウジングの天井壁には蒸気出口を形成しておき、
さらにハウジングの外側面の全域に保温カバーを被着し
たことを特徴とづるものである。
以下本発明による蒸発源構造の一実施例を第３図を参照
して説明する。
して説明する。
第３図において、セレン合金１１は充填ボート１２内に
収容されておシ、充填ボート１２は例えば石英によって
構成されている。まだ、充填ボート１２は、ハウジング
１３によって囲われると共にこのハウジング１３の仕切
板１５によって底部を支持されている。
収容されておシ、充填ボート１２は例えば石英によって
構成されている。まだ、充填ボート１２は、ハウジング
１３によって囲われると共にこのハウジング１３の仕切
板１５によって底部を支持されている。
この仕切板１５は、中央部を切欠れて開口１６とされ、
仕切板１５の下方には加熱ヒータ１４．１４が装備され
ている。しだがって、この加熱ヒータ１４からの熱は開
口１６ｅ通して充填ボート１２の底部を直接加熱できる
ようになっている。
仕切板１５の下方には加熱ヒータ１４．１４が装備され
ている。しだがって、この加熱ヒータ１４からの熱は開
口１６ｅ通して充填ボート１２の底部を直接加熱できる
ようになっている。
まだ、上記ハウジング１３の天井の一部は切欠れて蒸気
出口１７となっており、この蒸気出口１７の直前にはセ
レン蒸気の加熱加速ヒータ１８が設けられている。この
ヒータ１８はセレン蒸気を突沸なく被蒸着物に蒸着させ
るように機能する。
出口１７となっており、この蒸気出口１７の直前にはセ
レン蒸気の加熱加速ヒータ１８が設けられている。この
ヒータ１８はセレン蒸気を突沸なく被蒸着物に蒸着させ
るように機能する。
しかして、本発明によれば、上記ハウジング１３の周り
の全域には保温カバー１９が被着されておシ、コノ保温
カバー１９ Ｈ１厚さＩ）、３ｔｎｍ のステンレス板
（５ＵＳ３０４）で構成され、ハウジング１３に対して
スホノト溶接で固着されている。
の全域には保温カバー１９が被着されておシ、コノ保温
カバー１９ Ｈ１厚さＩ）、３ｔｎｍ のステンレス板
（５ＵＳ３０４）で構成され、ハウジング１３に対して
スホノト溶接で固着されている。
本発明者らは、本発明による効果を確認するだめに、充
ｊＪＸボーＸ２（長さ２０００＋ｍｎ×ｌｌ’１１８４
０ｍｍ×高さ４０ ｍｍ Ｘ肉厚２）ｎｍ ）内に８重
量パーセントのＴｅを含有するＳｅ−’ｆ’ｅ合金２０
００ｇを充填し、被蒸着物としてのアルミ管を蒸発源か
ら３００＋ｎｍの位置に設置し、充填ボート】２内の”
９ｅ−Ｔｅ合金を：３００’Ｃ−３５０”Ｃに加熱し全
蒸発させてセレン感光体を製造した。その際の放熱状態
、蒸発源長手方向の温度バラツキ、セレン膜厚分布の結
果を不したものが第４図である。
ｊＪＸボーＸ２（長さ２０００＋ｍｎ×ｌｌ’１１８４
０ｍｍ×高さ４０ ｍｍ Ｘ肉厚２）ｎｍ ）内に８重
量パーセントのＴｅを含有するＳｅ−’ｆ’ｅ合金２０
００ｇを充填し、被蒸着物としてのアルミ管を蒸発源か
ら３００＋ｎｍの位置に設置し、充填ボート】２内の”
９ｅ−Ｔｅ合金を：３００’Ｃ−３５０”Ｃに加熱し全
蒸発させてセレン感光体を製造した。その際の放熱状態
、蒸発源長手方向の温度バラツキ、セレン膜厚分布の結
果を不したものが第４図である。
本発明による効果を従来技術と比較するために、第１図
に示しだ蒸発源を使って同一条件下で実験しだ結果を第
５図に示しだ。この結果から明らかなように、本発明に
よれば、放熱が少なく蒸発源の長手方向の温度バラツキ
が小さく、そのうえセレン膜厚分布が従来のものに比べ
優れていることがわかる。
に示しだ蒸発源を使って同一条件下で実験しだ結果を第
５図に示しだ。この結果から明らかなように、本発明に
よれば、放熱が少なく蒸発源の長手方向の温度バラツキ
が小さく、そのうえセレン膜厚分布が従来のものに比べ
優れていることがわかる。
以上の説明から明らかなように、本発明によれは、充填
ボートをハウジング内に収容すると共にハウジングの外
表面の全域に保温カバーを被着したから、蒸着室内の保
温効果を高め、放熱を防いで結晶化を防止できる。また
、蒸発源長手方向の温度のバラツキを小さくしてセレン
の膜厚のバラツキを小さくすることができる。。
ボートをハウジング内に収容すると共にハウジングの外
表面の全域に保温カバーを被着したから、蒸着室内の保
温効果を高め、放熱を防いで結晶化を防止できる。また
、蒸発源長手方向の温度のバラツキを小さくしてセレン
の膜厚のバラツキを小さくすることができる。。
第１図および第２図は従来の蒸発源構造を示した縦断面
図、紀３図は本発明による蒸発源構造を示しだ縦断面図
、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明による温度および
膜厚特性を示した線図、第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）は従
来技術による温度および膜厚特性を示した線図である。 Ｊｌ・・・セレン合金、１２・・・充填ボート、１３・
・・ハウジング、１７・・蒸気出口’１１９・・保温カ
バー。 箋２曹 筈３区 ｌ 浮ｇ図 （（Ｚ＝） 泣９Ａａｔ３ｚ（、ＨＮ、４１ｈ＊−ｓ挟
か＋ｔ＝ｗ、）本為帖間□
図、紀３図は本発明による蒸発源構造を示しだ縦断面図
、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明による温度および
膜厚特性を示した線図、第５図（ａ）（ｂ）（ｃ）は従
来技術による温度および膜厚特性を示した線図である。 Ｊｌ・・・セレン合金、１２・・・充填ボート、１３・
・・ハウジング、１７・・蒸気出口’１１９・・保温カ
バー。 箋２曹 筈３区 ｌ 浮ｇ図 （（Ｚ＝） 泣９Ａａｔ３ｚ（、ＨＮ、４１ｈ＊−ｓ挟
か＋ｔ＝ｗ、）本為帖間□
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、充填ボート内の蒸着すべき材料を加熱して蒸着蒸気
を発生させる蒸発源構造において、上記充填ボートをノ
・ウジング内に収容し、このノ・つ・ンングの天井壁に
は蒸気出口を形成しておき、さらにハウジングの外側面
の全域に保温カッく−を被着したことを特徴とする蒸発
源構造。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の蒸発源構造において
、上記保温カバーはステンレス板によって構成されたこ
とを特徴とする蒸発源構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17803782A JPS5967368A (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | 蒸発源構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17803782A JPS5967368A (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | 蒸発源構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5967368A true JPS5967368A (ja) | 1984-04-17 |
Family
ID=16041478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17803782A Pending JPS5967368A (ja) | 1982-10-09 | 1982-10-09 | 蒸発源構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5967368A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1130129A1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-09-05 | Eastman Kodak Company | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
-
1982
- 1982-10-09 JP JP17803782A patent/JPS5967368A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1130129A1 (en) * | 2000-03-03 | 2001-09-05 | Eastman Kodak Company | Source for thermal physical vapor deposition of organic electroluminescent layers |
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