JPH07111585B2 - 電子写真用感光体の真空蒸発源容器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 電子写真用感光体、特に分留性のある多成分感光体の蒸
着に使用される蒸発源容器に関するものである。

〔従来の技術〕 真空蒸着法は、ある基板上にある物質の膜を形成させる
方法であり、電子写真用感光体の生産にも利用されてい
る。従来から使用されている方法は、第２図の断面図に
示すように材料容器１に感光材料であるセレンを入れ、
それをさらに外側容器２に入れて真空材料加熱用ヒータ
ー３により加熱蒸発させるものである。しかし、電子写
真用感光体において、単一元素、例えば純セレンを使用
した感光体では、光感度や疲労特性には限度があり多成
分（例えばセレンテルル合金）感光体が必要となってき
た。

〔発明が解決しようとする課題〕

多成分材料（例えばセレン−テルル合金など）を真空蒸
着する際に大きな問題となるのは分留という現象であ
る。例えばセレン−テルル合金の場合、セレンはテルル
より蒸気圧が高い。従ってセレンはテルルより優先的に
蒸発する為、得られた膜の組成は膜の深さ方向に対して
均一でなくなり、６重量％Teの材料でも蒸発終了時、つ
まり膜の表面は20重量％Teにまで達することもある。こ
の濃度勾配は感光体特性（光感度や疲労特性など）に大
きな影響を与える。しかもこの濃度勾配は常に一定では
なく微量の不純物や、蒸発温度のばらつきによって左右
されるので特性ばらつきも大きくなるという問題があっ
た。

本発明はこのような分留の起きにくい電子写真用感光体
の真空蒸発源容器の提供を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

多成分材料を蒸発させる際に分留を抑える方法として、
共蒸着法，フラッシュ蒸着法などが挙げられるが、共蒸
着は蒸発速度の制御が困難であり、フラッシュ蒸着法は
電子写真用感光体のように60μｍ以上の厚い膜を形成す
るためには非効率的である。本発明は比較的簡単に分留
を抑制することができる。本発明は材料を入れる材料容
器の底部、つまり蒸着材料加熱用ヒーターによるこの容
器の加熱面から材料の液面へ向かって熱伝導性の良い突
起物を設けた蒸発源である。

〔作用〕

材料容器の底面から材料液面へ向けて突起物を設けた理
由は次のとおりである。材料の蒸発は蒸発液面の温度と
密接な関係があり、セレン−テルルの場合温度が高い程
蒸気圧差が小さくなる。従って液面の温度が高い程分留
が抑えられることになる。これを達成する為に、材料容
器の加熱面から熱伝導性の良い突起物をとりつければよ
いことになる。分留が抑制される上に蒸着材料が材料容
器液面全体から均一に蒸発する。

〔実施例〕

第３図に示すような真空蒸着装置21を用いた実施例につ
いて述べる。まず第１図の本発明に係る突起12を備えた
材料容器11に感光体材料であるセレン−テルル合金（テ
ルル５％，セレン95％：重量％）を約5000g入れ、第２
図の材料容器１のかわりに用い、蒸着される基板である
円筒状のアルミ管22を装置21に取り付け、図示しない油
回転ポンプと油拡散ポンプにより炉内空気を真空度10^-6
Torr程度になるまで排気する。排気が完了してからヒー
ター３により蒸着材料の加熱を開始し、材料容器11の温
度を340℃一定に保ち、蒸着材料を全て蒸発させた。以
上の蒸着を従来の材料容器11と本発明の材料容器11の２
種類でそれぞれ行った。その結果蒸発速度は本発明の方
が約20％速く、従来の材料容器１を使用した蒸着膜はEP
MAによる分析でAl基板近傍のテルル濃度が約１〜３％で
あるのに対し、表面近傍で15〜25％であった。それに対
して本発明の材料容器11の場合Al基板近傍が３〜４％で
表面近傍が10〜15％であり本発明の方が従来に比べて分
留が抑えられていることが判った。また、感光体の光感
度は表面の組成により、大きく影響を受けるので、特性
のばらつきが少なくなるという効果も得られた。

疲労特性（繰り返しの帯電低下）を測定するために、本
発明の材料容器１で作成した感光ドラムを複写機に取り
付け、300枚の連続コピーを行った。その結果、従来の
蒸発源で作成した方は約200枚あたりから濃度低下がみ
られたが、本発明の方は300枚まで濃度低下はみられな
かった。以上の実験を繰り返し10回行ったが再現性良く
結果を得た。

〔発明の効果〕

本発明は以下の多くの効果を得ることができる。

１）分留性のある感光体材料の分留を抑えることができ
るため深さ方向の組成分布のばらつきを抑えることがで
きる。組成分布は光感度特性や疲労特性に大きく影響す
るため特性ばらつきを抑えることができる。

２）本蒸発源は製作が容易であり、従来使用していたも
のに少し手を加えるだけで効果を得ることができる。

３）本蒸発源は分留を抑える効果があると同時に蒸発速
度が速いため製造コストが低くなる。

４）蒸着材料が液面全体から均一に蒸発するために、感
光体の長さ方向の組成分布のばらつき及び膜厚のばらつ
きを抑えることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は従来
の真空蒸発源容器の断面図、第３図は真空蒸着装置の断
面図である。 11…材料容器、12…突起。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多成分から成る真空蒸着材料を充填する材
   料容器と、この材料容器を介して前記蒸着材料を加熱す
   るために底部近くに置かれた蒸着材料加熱ヒーターとを
   収納する外側容器を備えた電荷写真用感光体の真空蒸発
   源容器において、材料容器に、材料容器と同材料からな
   り、該容器の底部から真空蒸着材料表面に向かって材料
   容器開口面近くまで延びる突起が、材料容器を複数に仕
   切ることなく設けられていることを特徴とする電子写真
   用感光体の真空蒸発源容器。