JPS61155256A - 酸化ジルコニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
酸化ジルコニウム焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61155256A JPS61155256A JP59274333A JP27433384A JPS61155256A JP S61155256 A JPS61155256 A JP S61155256A JP 59274333 A JP59274333 A JP 59274333A JP 27433384 A JP27433384 A JP 27433384A JP S61155256 A JPS61155256 A JP S61155256A
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- JP
- Japan
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- zirconium oxide
- sintered body
- oxide sintered
- manufacture
- sintering
- Prior art date
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- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、酸化ジルコニウム焼結体の製造法に関する。
更に詳しくは熱衝撃に強い高純度多孔質酸化ジルコニウ
ム焼結体の製造法に関するものである。
ム焼結体の製造法に関するものである。
高純度酸化ジルコニウム焼結体は薄膜形成用ターゲット
などの安定化剤の混入を嫌う分野において特に必要とさ
れている。
などの安定化剤の混入を嫌う分野において特に必要とさ
れている。
［従来の技術］
酸化ジルコニウムは１ｏｏ６〜１２００℃に約９％の容
積変化を伴う相変態（単斜晶０正方品）が存在するため
、純粋な酸化ジルコニウムの焼結体を得ることは困ガ［
であり、一般的にはＣａｂ、 ＨｇＯ又はＹ２Ｏ３など
の安定化剤を添加して結晶を安定化させ、１４００℃以
上の温度で焼結して安定化（又は部分安定化）酸化ジル
コニウム焼結体を得ている。′しかじ、このものは安定
化剤を含むため、純粋な酸化ジルコニウム焼結体が必要
な場合には不適当である。
積変化を伴う相変態（単斜晶０正方品）が存在するため
、純粋な酸化ジルコニウムの焼結体を得ることは困ガ［
であり、一般的にはＣａｂ、 ＨｇＯ又はＹ２Ｏ３など
の安定化剤を添加して結晶を安定化させ、１４００℃以
上の温度で焼結して安定化（又は部分安定化）酸化ジル
コニウム焼結体を得ている。′しかじ、このものは安定
化剤を含むため、純粋な酸化ジルコニウム焼結体が必要
な場合には不適当である。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明の目的は、従来の技術では製造できなかった純粋
な酸化ジルコニウム焼結体の製造法を提供することにあ
る。 □ ［問題点を解決するだめの手段］ 純粋な酸化ジルコニウム粉末を加圧成形後１０００〜１
３００℃で焼結することにより、使用に耐える強度を持
つ多孔質酸化ジルコニウム焼結体が得られることを見□
出し、本発明を完成した。
な酸化ジルコニウム焼結体の製造法を提供することにあ
る。 □ ［問題点を解決するだめの手段］ 純粋な酸化ジルコニウム粉末を加圧成形後１０００〜１
３００℃で焼結することにより、使用に耐える強度を持
つ多孔質酸化ジルコニウム焼結体が得られることを見□
出し、本発明を完成した。
以下、その詳細について説明する。
Ｌ作用］
本発明において使用する酸化ジル−ｌニウム粉末の粒径
に特に制限はないが、成形性、焼結性などの点で平均粒
径４０μｍ以下である方が好ましい。
に特に制限はないが、成形性、焼結性などの点で平均粒
径４０μｍ以下である方が好ましい。
酸化ジルコニウム粉末の成形にあたってはバインダーを
添加しても差支えないが、長１１．Ｉ間のｎ）（バイン
ダー処理が必要なためバインダーを添加せずに加圧成形
する方が好ましい。
添加しても差支えないが、長１１．Ｉ間のｎ）（バイン
ダー処理が必要なためバインダーを添加せずに加圧成形
する方が好ましい。
加圧成形の手段どしては金型成形、冷間静水圧プレス＜
ＣＩｌ〕）成形などがあり、とのＪ：う４丁ｙＪ法を取
っても差支えないが、例えば金型成形では１００に９／
ｃｍ以上、ＣＩＰでは８００）（！７ ／ ｃｉ以上の
圧力で成形することが好ましい。これらの成形方法で得
られた焼結前の成形体の密度は操作性などの面から２．
７ＣＪ／ｃｔｌ以りどするのが好ましい。
ＣＩｌ〕）成形などがあり、とのＪ：う４丁ｙＪ法を取
っても差支えないが、例えば金型成形では１００に９／
ｃｍ以上、ＣＩＰでは８００）（！７ ／ ｃｉ以上の
圧力で成形することが好ましい。これらの成形方法で得
られた焼結前の成形体の密度は操作性などの面から２．
７ＣＪ／ｃｔｌ以りどするのが好ましい。
焼結温度は１０００〜１３００ ’Ｃでな（〕ればなら
ない。
ない。
焼結１ｆ１２度が１０００℃よりも低い場合には焼結が
ほとんど進まず崩れやづ゛い。１３００°ＣＪ：りも高
い場合には焼結が進みすぎて緻密質となり前記したよう
な酸化ジルコニウムの相変態に伴う容積変化のために割
れがおき、実用に供し得る焼結体は得られない。
ほとんど進まず崩れやづ゛い。１３００°ＣＪ：りも高
い場合には焼結が進みすぎて緻密質となり前記したよう
な酸化ジルコニウムの相変態に伴う容積変化のために割
れがおき、実用に供し得る焼結体は得られない。
本発明で得られる焼結体は密度が２．７〜４９Ｑ／ｃａ
ｔの範囲にある多孔質焼結体である。
ｔの範囲にある多孔質焼結体である。
本発明の方法を取ることにより、これまで不可能と考え
られていた純粋な酸化ジルコニウムの大型の焼結体が製
造できるようになった。水沫によれば大型の成型及び焼
結装置があれば更に大型化することも可能である。この
ことは多孔性であることにより、焼結体中での相変態や
内部応力を吸収し、割れなどの発生及び伝播を最小限に
食止めているためと考えられる。
られていた純粋な酸化ジルコニウムの大型の焼結体が製
造できるようになった。水沫によれば大型の成型及び焼
結装置があれば更に大型化することも可能である。この
ことは多孔性であることにより、焼結体中での相変態や
内部応力を吸収し、割れなどの発生及び伝播を最小限に
食止めているためと考えられる。
又、この多孔質体のもう一つの利点は、その加工方法に
ある。安定化又は部分安定化酸化ジルコニウム焼結体は
一般的に非常に硬く、切削加工が困難であり研削加工を
行っているが、本発明ににる多孔質酸化ジルコニウム焼
結体は切削加工が可能であり、加工性が向上するととも
に研削液からの汚染もないという利点がある。
ある。安定化又は部分安定化酸化ジルコニウム焼結体は
一般的に非常に硬く、切削加工が困難であり研削加工を
行っているが、本発明ににる多孔質酸化ジルコニウム焼
結体は切削加工が可能であり、加工性が向上するととも
に研削液からの汚染もないという利点がある。
本発明の方法により得られた焼結体は簿膜形成用ターグ
ツ１〜として使用した場合の崩れ、飛１１ハ１とがなく
ターゲットとして最も適したものである。
ツ１〜として使用した場合の崩れ、飛１１ハ１とがなく
ターゲットとして最も適したものである。
Ｕ発明の効果コ
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、
（１） 純粋な酸化ジルコニウムの多孔質焼結体を容
易に製造することができるどどもに、（２） 焼結体
の大型化が可能であり、（３） その焼結体は切削加
工により、精度よく、かつ容易に所望寸法とすることが
できる。
易に製造することができるどどもに、（２） 焼結体
の大型化が可能であり、（３） その焼結体は切削加
工により、精度よく、かつ容易に所望寸法とすることが
できる。
［実施例］
次に実施例をもって本発明を更に詳細に説明１゛るが、
本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明はこれらに限定されるものではない。
実施例１
市販の平均粒径５μｍの酸化ジルコニウム粉末４８０Ｑ
を金型に入れ面圧力３００に９／ｃｍで予備成形した後
、ＣＩＰで２０００に！ｔＦ ／ ｃｉの圧ノコで成形
し、１２．６ｃｍ×５．４ｃｍ×２．２ｃｍの大きざの
成形体（密度３．２１Ｌ’ｏ＋ｆ）を得た。この成形体
を焼結炉に入れ、１２００℃の温度で５時間焼結した。
を金型に入れ面圧力３００に９／ｃｍで予備成形した後
、ＣＩＰで２０００に！ｔＦ ／ ｃｉの圧ノコで成形
し、１２．６ｃｍ×５．４ｃｍ×２．２ｃｍの大きざの
成形体（密度３．２１Ｌ’ｏ＋ｆ）を得た。この成形体
を焼結炉に入れ、１２００℃の温度で５時間焼結した。
得られた焼結体は大きざ１２．４ｃｍＸ ５．３ｃｍＸ
２．１０ｍ１密度３．４８！］／ｃｄであった。該焼
結体は深ざ５ｍｍ５送り速度５ｍｍ／ｓｅｃのフライス
旋盤加工によっ′Ｃし焼結体の破損、その他何らの巽常
もなられなかった。
２．１０ｍ１密度３．４８！］／ｃｄであった。該焼
結体は深ざ５ｍｍ５送り速度５ｍｍ／ｓｅｃのフライス
旋盤加工によっ′Ｃし焼結体の破損、その他何らの巽常
もなられなかった。
実施例２〜８
実施例１と同一の原料粉末を使用し、各種柔性で成形、
焼結を行った。その結果を第１表に示した。ここで得ら
れた焼結体に割れ、崩れなどはなく、全て切削加工が可
能であった。
焼結を行った。その結果を第１表に示した。ここで得ら
れた焼結体に割れ、崩れなどはなく、全て切削加工が可
能であった。
−〇 −
−７一
実施例９〜１４
実施例１と同一の原わ１粉末をボールミルにＪ、り粉砕
して平均粒径０．１μｍ程度の微粉末とした後、各種条
件で成形、焼結を行った。その結果を第２表に示した。
して平均粒径０．１μｍ程度の微粉末とした後、各種条
件で成形、焼結を行った。その結果を第２表に示した。
尚、この際の成形体の大ぎさは２５φｍｍ×２０〜３０
ｍｍであった。又、ここで得られた焼結体も全て切削加
工が可能であった。
ｍｍであった。又、ここで得られた焼結体も全て切削加
工が可能であった。
比較例１．２
実施例１の成形体を１４００℃で１時間焼結したところ
割れてしまった。
割れてしまった。
同様に実施例１の成形体を９００℃で１０時間焼結した
多孔質体は表面が焼結前成形体と同様の状態であり、焼
結していなかった。
多孔質体は表面が焼結前成形体と同様の状態であり、焼
結していなかった。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）酸化ジルコニウム粉末を加圧成形後、１０００〜１
３００℃の温度で焼結することを特徴とする酸化ジルコ
ニウム多孔質焼結体の製造方 法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59274333A JPS61155256A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 酸化ジルコニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59274333A JPS61155256A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 酸化ジルコニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61155256A true JPS61155256A (ja) | 1986-07-14 |
Family
ID=17540191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59274333A Pending JPS61155256A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | 酸化ジルコニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61155256A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138102A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-26 | Gen Corp | Moisture sensitive element |
| JPS59213669A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | 黒崎窯業株式会社 | ジルコン−ジルコニア耐火物の製造方法 |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP59274333A patent/JPS61155256A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57138102A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-26 | Gen Corp | Moisture sensitive element |
| JPS59213669A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-03 | 黒崎窯業株式会社 | ジルコン−ジルコニア耐火物の製造方法 |
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