JPS5820783A - 窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS5820783A JPS5820783A JP56118958A JP11895881A JPS5820783A JP S5820783 A JPS5820783 A JP S5820783A JP 56118958 A JP56118958 A JP 56118958A JP 11895881 A JP11895881 A JP 11895881A JP S5820783 A JPS5820783 A JP S5820783A
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- JP
- Japan
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- weight
- parts
- sintered body
- powder
- zro2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、常温下のみならず高温においても優れた機械
的性質を発揮する窒化珪素（ｓｉ、ｙ、 ）焼結体の製
造方法に関する。
的性質を発揮する窒化珪素（ｓｉ、ｙ、 ）焼結体の製
造方法に関する。
５ｉ３ｐｒ、焼結体は、耐熱衝撃性その他の高温下での
機械的強度に優れているので、ガスタービン部品を始め
とする高温構造材料としての応用が期待されている。し
かしながら、５ｉ３Ｊｖ、は焼結性に乏しい為、単独で
は分解温度に近い１９００℃近傍の高温で焼結を行なっ
ても、緻密化しない。そこで、従来から主として次の様
な方法で焼結体の製造が行なわれているが、これ等の方
法にもやはシ欠点がある。
機械的強度に優れているので、ガスタービン部品を始め
とする高温構造材料としての応用が期待されている。し
かしながら、５ｉ３Ｊｖ、は焼結性に乏しい為、単独で
は分解温度に近い１９００℃近傍の高温で焼結を行なっ
ても、緻密化しない。そこで、従来から主として次の様
な方法で焼結体の製造が行なわれているが、これ等の方
法にもやはシ欠点がある。
（１）反応焼結法・・・・・これは、金属シリコン粉体
の成形体を窒素雰囲気中で焼結する方法である。この方
法では、焼結収縮が殆ど生じない為、焼結体の寸法精度
には優れてはいるものの、充分に緻密化した満足すべき
高強度の５ｉ３ｙ４焼結体を得ることは困難である。
の成形体を窒素雰囲気中で焼結する方法である。この方
法では、焼結収縮が殆ど生じない為、焼結体の寸法精度
には優れてはいるものの、充分に緻密化した満足すべき
高強度の５ｉ３ｙ４焼結体を得ることは困難である。
（Ｈ）常圧又は加圧焼結法・・・・・これ祉、Ｓｉ３Ｎ
４粉体に酸化マクネシウム（ＭｇＯ） 、酸化アルミニ
ウム（Ａｔ２０３）、酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ３）等
の金属酸化物を焼結助剤として加え、常圧又は加圧下に
焼結する方法である。この方法によれに１緻密な焼結体
が得られるが、焼結体のｓｉ、ｙ４粒界に比較的多量の
低融点マトリックスが生成するので、高温での機械的強
度及び破壊靭性が低くなるのが欠点である。
４粉体に酸化マクネシウム（ＭｇＯ） 、酸化アルミニ
ウム（Ａｔ２０３）、酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ３）等
の金属酸化物を焼結助剤として加え、常圧又は加圧下に
焼結する方法である。この方法によれに１緻密な焼結体
が得られるが、焼結体のｓｉ、ｙ４粒界に比較的多量の
低融点マトリックスが生成するので、高温での機械的強
度及び破壊靭性が低くなるのが欠点である。
酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）の微細粒子を５ｉ３ｘ。
粒界に均一に分散させる場合には、常温及び高温での機
械的強度及び破壊靭性に優れた５ｉ３７１Ｆ４焼結体が
得られる。しかしながら、本発明者の研究によれば、Ｓ
輸Ｎ４とＺｒＯ２とは、比重を著るしく異にする為、ボ
ールミル尋の通常の混合方法では、Ｓｉ３Ｎ４粉体中に
ＺｒＯ２粉体を均一に分散させることは極めて困難でラ
シ、その結果、組成の不均質化及び焼成中のＺｒＯ２０
粒成長、更に冷却過程中の単斜晶系ＺｒＯ２への転移は
避は離〈なシ、結局のところ５ｉ３７１ｒ４焼結体の機
械的性質の向上も満足すべきものとはなり難いことが判
明した。本発明者は、更に実験及び研究を重ねた結果、
予め一定量のＹ２Ｏ３を固溶させたＺｒＯ２粉体を通常
の粉砕混合により ５ｉ３ｊｖｊ、粉体に加える場合に
は、（α） ＺｒＯ２中に固溶しているＹ２Ｏ３の一部
又は全部が焼結過程においてＳｉ３Ｎ４中又はＳｉ３Ｎ
４と第三成分中に拡散して、新しい化合物（例えば５１
３ｇ、・Ｙ２’３）が形成され、結果としてＳｉ 、Ｎ
４の焼結が促進されること、（ｈ＞更に、残存している
Ｙ２ ’３を固溶した又はＹ２Ｏ３が残存していないＺ
ＴＯ２微粒子をマトリックス中に均質に正方晶系の形で
分散させること、（Ｃ）これ等の結果の総合的な効果と
して、緻密で、常温及び高温での機械的性質に優れた５
ｉ３ｐｒ、焼結体が得られること勢を見出した。本発明
は、この様な新知見に基き完成されたものである。
械的強度及び破壊靭性に優れた５ｉ３７１Ｆ４焼結体が
得られる。しかしながら、本発明者の研究によれば、Ｓ
輸Ｎ４とＺｒＯ２とは、比重を著るしく異にする為、ボ
ールミル尋の通常の混合方法では、Ｓｉ３Ｎ４粉体中に
ＺｒＯ２粉体を均一に分散させることは極めて困難でラ
シ、その結果、組成の不均質化及び焼成中のＺｒＯ２０
粒成長、更に冷却過程中の単斜晶系ＺｒＯ２への転移は
避は離〈なシ、結局のところ５ｉ３７１ｒ４焼結体の機
械的性質の向上も満足すべきものとはなり難いことが判
明した。本発明者は、更に実験及び研究を重ねた結果、
予め一定量のＹ２Ｏ３を固溶させたＺｒＯ２粉体を通常
の粉砕混合により ５ｉ３ｊｖｊ、粉体に加える場合に
は、（α） ＺｒＯ２中に固溶しているＹ２Ｏ３の一部
又は全部が焼結過程においてＳｉ３Ｎ４中又はＳｉ３Ｎ
４と第三成分中に拡散して、新しい化合物（例えば５１
３ｇ、・Ｙ２’３）が形成され、結果としてＳｉ 、Ｎ
４の焼結が促進されること、（ｈ＞更に、残存している
Ｙ２ ’３を固溶した又はＹ２Ｏ３が残存していないＺ
ＴＯ２微粒子をマトリックス中に均質に正方晶系の形で
分散させること、（Ｃ）これ等の結果の総合的な効果と
して、緻密で、常温及び高温での機械的性質に優れた５
ｉ３ｐｒ、焼結体が得られること勢を見出した。本発明
は、この様な新知見に基き完成されたものである。
本発明で主成分として使用する５ｉ３ｘ４粉体は、α相
を５０重量％以上、よシ好ましぐ社７０重量％以上含−
み、且つ結晶−次粒子の平均粒径が１．５μ薦以下よシ
好ましくは１．０μ萬以下のものである。但し、結晶−
次粒子の平均粒径は、粒子の形状を真球と仮定し、粉体
の実測比表面積から求めた計算値である。α相が５０重
量−未満の場合には、焼成過程中にα相５ｉ、Ｎ、から
β相Ｓｉ、Ｎ、に転移する量が少なく、柱状結晶がから
み合った形の組織にな、らない為、機械的性質が劣る。
を５０重量％以上、よシ好ましぐ社７０重量％以上含−
み、且つ結晶−次粒子の平均粒径が１．５μ薦以下よシ
好ましくは１．０μ萬以下のものである。但し、結晶−
次粒子の平均粒径は、粒子の形状を真球と仮定し、粉体
の実測比表面積から求めた計算値である。α相が５０重
量−未満の場合には、焼成過程中にα相５ｉ、Ｎ、から
β相Ｓｉ、Ｎ、に転移する量が少なく、柱状結晶がから
み合った形の組織にな、らない為、機械的性質が劣る。
又、Ｓ輸へ結晶−次粒子の平均粒径が１．５μ簿を上回
ると、焼結性が劣るとともに、焼結体中の結晶粒径が大
きく、不揃いとなるので、好ましくない。尚、Ｓｉ３入
は、Ｃａ、Ｆｇ等の酸化物不純物を１重量−程度まで含
んでいて４、焼結体の機械的性質を実質的に阻害するこ
とはない。
ると、焼結性が劣るとともに、焼結体中の結晶粒径が大
きく、不揃いとなるので、好ましくない。尚、Ｓｉ３入
は、Ｃａ、Ｆｇ等の酸化物不純物を１重量−程度まで含
んでいて４、焼結体の機械的性質を実質的に阻害するこ
とはない。
本発明で第二成分として使用するＺｒＯ２粉体は、Ｙ２
Ｏ３を３〜２０モルチ、よシ好ましくは４〜１５ｔルチ
固溶する粉体であり、結晶−次粒子の平均粒径が０．５
μ屡以下、好ましくは０．２μ簿以下のものを使用する
。ＺｒＯ２中のＹ２Ｏ３固溶量が３＋Ｆニル−未満の場
合には、ｓｉ、ｐｒ４の焼結進行速度が非常に遅く、か
つＺｒＯ２粒子が正方晶系の形で封じ込めにくく、好ま
しくなく、一方２０Ｆ：ルチを上回ると、Ｓｉ３Ｎ４中
に分散するＺｒＯ２粒子は等軸晶系のものが過半と表っ
て、Ｓｉ３Ｎ４焼結体の破壊靭性等の機械的性質の改善
が認められなくなる。ＺｒＯ２粉体の結晶−次粒子の平
均粒径が０．５μ鴬を上回る場合には、Ｓｉ３Ｎ４粒界
に微粒子として均一に分散し離くなる。
Ｏ３を３〜２０モルチ、よシ好ましくは４〜１５ｔルチ
固溶する粉体であり、結晶−次粒子の平均粒径が０．５
μ屡以下、好ましくは０．２μ簿以下のものを使用する
。ＺｒＯ２中のＹ２Ｏ３固溶量が３＋Ｆニル−未満の場
合には、ｓｉ、ｐｒ４の焼結進行速度が非常に遅く、か
つＺｒＯ２粒子が正方晶系の形で封じ込めにくく、好ま
しくなく、一方２０Ｆ：ルチを上回ると、Ｓｉ３Ｎ４中
に分散するＺｒＯ２粒子は等軸晶系のものが過半と表っ
て、Ｓｉ３Ｎ４焼結体の破壊靭性等の機械的性質の改善
が認められなくなる。ＺｒＯ２粉体の結晶−次粒子の平
均粒径が０．５μ鴬を上回る場合には、Ｓｉ３Ｎ４粒界
に微粒子として均一に分散し離くなる。
尚、ＺｒＯ２中にＹ２Ｏ３を固溶させる仁となく、両者
を別々に添加する場合には、Ｓｉ３Ｎ４焼結体の機械的
性質の向上は、顕著ではない。これは、比重差や凝集に
よって偏析するととＫよシ、ミクロ的にＹ２Ｏ３と５ｉ
３ｙ４とにょシマトリックスを形成する領域とＺｒＯ２
と５ｉ３Ｎ４とにょシマトリックスを形成する領域とが
画然と区別される様に表る為、組織の不均質化、ＺｒＯ
２粒子の粒成長等が生じ、Ｚ ｒ （）２が単斜晶系中
心となっていることによるものと推定される。
を別々に添加する場合には、Ｓｉ３Ｎ４焼結体の機械的
性質の向上は、顕著ではない。これは、比重差や凝集に
よって偏析するととＫよシ、ミクロ的にＹ２Ｏ３と５ｉ
３ｙ４とにょシマトリックスを形成する領域とＺｒＯ２
と５ｉ３Ｎ４とにょシマトリックスを形成する領域とが
画然と区別される様に表る為、組織の不均質化、ＺｒＯ
２粒子の粒成長等が生じ、Ｚ ｒ （）２が単斜晶系中
心となっていることによるものと推定される。
一５ｉ３ｐｔ、粉体とＺｒＯ２粉体との混合割合は、前
者の粒度、後者中のＹ２Ｏ３固溶量、焼成条件等により
異なるが、前者７０〜９７重量部に対し後者３〜３０重
量部の合計１００重量部となる様にする。
者の粒度、後者中のＹ２Ｏ３固溶量、焼成条件等により
異なるが、前者７０〜９７重量部に対し後者３〜３０重
量部の合計１００重量部となる様にする。
ＺｒＯ２粉体の割合が原料全体の３重量部未満の場合に
は、ｓ ｉ ３ｙ４の焼結を促進させるには不十分であ
り、一方、ＺｒＯ２粉体の割合が３０重量部を上回ると
、５Ｌ３Ｎ４自体の持つ優れた特性を保持できなくなる
ので、好ましくない。
は、ｓ ｉ ３ｙ４の焼結を促進させるには不十分であ
り、一方、ＺｒＯ２粉体の割合が３０重量部を上回ると
、５Ｌ３Ｎ４自体の持つ優れた特性を保持できなくなる
ので、好ましくない。
尚、本発明方法においては、５ｉ３Ｎ１．粉体とＺｒＯ
２粉体との混合粉体１００重量部に対しＡｔ２０３及び
／又はＭＩＯの総量１０重量部以下、好ましくは２〜８
重量部を加えることにより、よシ一層緻密な焼結体を得
ることが出来る。
２粉体との混合粉体１００重量部に対しＡｔ２０３及び
／又はＭＩＯの総量１０重量部以下、好ましくは２〜８
重量部を加えることにより、よシ一層緻密な焼結体を得
ることが出来る。
本発明方法は、通常法の様にして実施される。
Ｓｉ３Ｎ４及びＺｒＯ２の粉体或いは更にＡｔ２０３及
び／又はＭｔｌｏを加えた粉体を粉砕混合した後、所定
の形状に成形し、常圧又は加圧下に窒素雰囲気中で１６
５０〜ｔｓｏｏ℃で焼結する。必要ならば、５１３ｇ、
粉体を充填した容器内で焼成しても良い＠焼成温度が、
１６５０℃未満では、緻密化焼結進行速度が極めて遅く
且つβ型Ｓｉ３Ｎ４への転移に長時間を要するのに対し
、１８００℃を上回る場合には、５ｉ３ｐｔ４の分解蒸
発が活発となるので、望ましくない。
び／又はＭｔｌｏを加えた粉体を粉砕混合した後、所定
の形状に成形し、常圧又は加圧下に窒素雰囲気中で１６
５０〜ｔｓｏｏ℃で焼結する。必要ならば、５１３ｇ、
粉体を充填した容器内で焼成しても良い＠焼成温度が、
１６５０℃未満では、緻密化焼結進行速度が極めて遅く
且つβ型Ｓｉ３Ｎ４への転移に長時間を要するのに対し
、１８００℃を上回る場合には、５ｉ３ｐｔ４の分解蒸
発が活発となるので、望ましくない。
以下、実施例によル本発明の特徴とするところを更に詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例 １〜４
Ｓｉ３Ｎ４粉体にＹ２Ｏ３を固溶するＺｒＯ２粉体を加
え、Ａｔ２０３ 製ボールミルとＡｔ２０． 製メディ
アにょシ、溶剤として変性アルコールを使用し、４８時
時間式粉砕混合を行なう。Ｓｉ３Ｎ４の結晶−次粒子の
平均粒径、Ｓ輸Ｎ４中のα相含量、Ｓｉ３入の使用量、
ＺｒＯ２の結晶−次粒子の平均粒径、Ｙ２Ｏ３含量、Ｚ
ｒＯ２の使用量等を第１表に示す。
え、Ａｔ２０３ 製ボールミルとＡｔ２０． 製メディ
アにょシ、溶剤として変性アルコールを使用し、４８時
時間式粉砕混合を行なう。Ｓｉ３Ｎ４の結晶−次粒子の
平均粒径、Ｓ輸Ｎ４中のα相含量、Ｓｉ３入の使用量、
ＺｒＯ２の結晶−次粒子の平均粒径、Ｙ２Ｏ３含量、Ｚ
ｒＯ２の使用量等を第１表に示す。
得られた混合粉体を２００１１／ｄで金型づレス成形し
、予備成形を得た後、更に静水圧プレスにより３０００
Ｋｆ／−で加圧して成形体を得る。得られた成形体を５
ｔ３Ｎ、、粉体を充填した容器に入れ、窒素雰囲気中で
所定の焼成温度で所定時間保持して、焼結体を得る。焼
成温度及び時間、並びに焼結体の物性を第２表に示す。
、予備成形を得た後、更に静水圧プレスにより３０００
Ｋｆ／−で加圧して成形体を得る。得られた成形体を５
ｔ３Ｎ、、粉体を充填した容器に入れ、窒素雰囲気中で
所定の焼成温度で所定時間保持して、焼結体を得る。焼
成温度及び時間、並びに焼結体の物性を第２表に示す。
尚、３点曲げ強度及びに１ｃは、以下の様にして測定し
た。
た。
３点曲げ強度・・・・・焼結体から巾３．５ｍ、高さ２
．５藺及び全長２８ｍの角柱を切シ出し喪後、この表面
を６００メツシユのタイヤ七シト砥石により研摩し、ス
パン２０■で長゛さ方向中心部に荷重を加え、曲げ強度
を゛測定する。
．５藺及び全長２８ｍの角柱を切シ出し喪後、この表面
を６００メツシユのタイヤ七シト砥石により研摩し、ス
パン２０■で長゛さ方向中心部に荷重を加え、曲げ強度
を゛測定する。
Ｋｌｃ・・・・３点曲げ強度の場合と同様にして得た角
柱の中央底部にじツヵース圧痕を入れ、これを試料とし
て測定する。
柱の中央底部にじツヵース圧痕を入れ、これを試料とし
て測定する。
実施例 ５〜８
Ｓｉ３入粉体にＹ２Ｏ３を固溶するＺｒｏ２粉体を加え
、プラスチック製ポール三ルとｓｉ、Ｎ４製メダイアに
より、溶剤として変性アルコールを使用しつつ４８時時
間式粉砕混合゛を行なう。粉砕後の混合粉体の組成は、
第１表に示す通シである。
、プラスチック製ポール三ルとｓｉ、Ｎ４製メダイアに
より、溶剤として変性アルコールを使用しつつ４８時時
間式粉砕混合゛を行なう。粉砕後の混合粉体の組成は、
第１表に示す通シである。
又、実施例１〜４と同様にして得九焼結体の物性は、第
２表に示す。 ″ 実施例゛ ９ Ｓｉ３Ｎ４粉体にＹ２Ｏ３を固溶するＺｒｏ２粉体を加
え、更１１ＣＡｔ２０．粉体（純度９９．９９％）及び
ＭｊｌＯ粉体（純度９９．９％）を加え、以下実施例５
〜８と同様にして粉砕混合、成形及び焼成を行なり。
２表に示す。 ″ 実施例゛ ９ Ｓｉ３Ｎ４粉体にＹ２Ｏ３を固溶するＺｒｏ２粉体を加
え、更１１ＣＡｔ２０．粉体（純度９９．９９％）及び
ＭｊｌＯ粉体（純度９９．９％）を加え、以下実施例５
〜８と同様にして粉砕混合、成形及び焼成を行なり。
混合粉体の組成及び焼結体の物性を第１表及び第２表に
夫々示す。
夫々示す。
比較例 ｌ
Ｙ２Ｏ３を過剰量（２５ｖ：４％）含有するｚｒｏ３粉
体を使用する以外は、実施例５〜８とほぼ同様の手順で
粉体の粉砕混合、成形及び焼成を行なう。
体を使用する以外は、実施例５〜８とほぼ同様の手順で
粉体の粉砕混合、成形及び焼成を行なう。
結果は、第１表及び第２表に示す通ルである。
比較例 ２
Ｙ２Ｏ３とＺｒＯ２とを別々に原料粉体に加える以外は
実施例５〜８とほぼ同様の手順で粉体の粉砕混合、成形
及び焼成を行なう。
実施例５〜８とほぼ同様の手順で粉体の粉砕混合、成形
及び焼成を行なう。
結果は、第１表及び第２表に示す通シである。
比較例 ３
Ｙ２Ｏ３を固溶しないｚｒｏ２を使用する以外は実施例
５〜８とほぼ同様の手法により粉体の粉砕混合、成形及
び焼成を行なう。
５〜８とほぼ同様の手法により粉体の粉砕混合、成形及
び焼成を行なう。
結果は、第１表及び第２表に示す通ルである。
第２表に示す結果から明らかな如く、実施例１〜９で得
られた焼結体の機械的性質は、優れている。
られた焼結体の機械的性質は、優れている。
これに対し、比較例１の焼結体は、２０ｔｊｌ／９６を
上回るＹ２Ｏ３を固溶するＺｒＯ２を使用するので、緻
密ではあるが、ＺｒＯ２粒子は等軸晶系が過半数を占め
てお、す、焼結体の破壊靭性の改善が十分でないものと
考えられるら 合計量９．９重量部のＺｒＯ２とＹ２Ｏ３とを別々に添
加する比較例２で得られ丸焼細体では、Ｙ２Ｏ３を固溶
するＺｒＯ２９，９重量部を使用する実施例７の焼結体
に比して、嵩比重及び曲げ強度が著るしく劣ることが明
らかである。これは、比較例２の焼結体では、Ｓ ｉ３
Ｎ４粒界に存在するＺｒＯ２粒子の大部分が、成長した
単斜晶系結晶となっている為と考えられる。
上回るＹ２Ｏ３を固溶するＺｒＯ２を使用するので、緻
密ではあるが、ＺｒＯ２粒子は等軸晶系が過半数を占め
てお、す、焼結体の破壊靭性の改善が十分でないものと
考えられるら 合計量９．９重量部のＺｒＯ２とＹ２Ｏ３とを別々に添
加する比較例２で得られ丸焼細体では、Ｙ２Ｏ３を固溶
するＺｒＯ２９，９重量部を使用する実施例７の焼結体
に比して、嵩比重及び曲げ強度が著るしく劣ることが明
らかである。これは、比較例２の焼結体では、Ｓ ｉ３
Ｎ４粒界に存在するＺｒＯ２粒子の大部分が、成長した
単斜晶系結晶となっている為と考えられる。
更に、Ｙ２Ｏ３を固溶しないＺｒＯ２粉体を使用する比
較例３の焼結体では、焼結体が緻密化されておらず、又
５ｇ ３４粒界に存在するＺｒＯ２粒子が大部分単斜晶
系結晶となっている為、曲げ強度も極めて低い。
較例３の焼結体では、焼結体が緻密化されておらず、又
５ｇ ３４粒界に存在するＺｒＯ２粒子が大部分単斜晶
系結晶となっている為、曲げ強度も極めて低い。
（以 上）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■ α相を５０重量％以上含み且つ結晶−次粒子の平均
粒径１．５μ罵以下の窒化珪素粉体７０〜９７重量部及
び酸化イツトリウムを３〜２０七ルチ固溶し且つ結晶−
次粒子の平均粒径０．５μ謀以下の酸化ジルコニウム粉
体３〜３０重量部からなる混合粉体１００重量部を成形
し、窒素雰囲気中１６５０〜１８００℃で焼結すること
を特徴とする窒化珪素焼結体の製造方法。 ■ α相を５０重量−以上含み且つ結晶−次粒子の平均
粒径【、５μ罵以下の窒化珪素粉体７０〜９７重量部及
び酸化イツトリウムを３〜２０七ルチ固溶し且つ結晶−
次粒子の平均粒径０．５μ罵以下の酸化ジルコニウム粉
体３〜３０重量部からなる混合粉体１００重量部に酸化
アルミニウム及び／又は酸化マグネ９０６１０重量部以
下を加えて成形し、窒素雰囲気中１６５０−１８００℃
で焼結することを特徴とする窒化珪素焼結体の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56118958A JPS5820783A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56118958A JPS5820783A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5820783A true JPS5820783A (ja) | 1983-02-07 |
| JPH0339029B2 JPH0339029B2 (ja) | 1991-06-12 |
Family
ID=14749481
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56118958A Granted JPS5820783A (ja) | 1981-07-28 | 1981-07-28 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5820783A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59190272A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素質焼結体の製造法 |
| JPS605075A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-11 | 株式会社クボタ | 窒化けい素焼結体の製造法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461215A (en) * | 1977-10-05 | 1979-05-17 | Feldmuehle Ag | Sintering material |
| JPS55109275A (en) * | 1979-02-12 | 1980-08-22 | Ngk Spark Plug Co | Manufacture of high strength silicon nitride sintered body |
-
1981
- 1981-07-28 JP JP56118958A patent/JPS5820783A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5461215A (en) * | 1977-10-05 | 1979-05-17 | Feldmuehle Ag | Sintering material |
| JPS55109275A (en) * | 1979-02-12 | 1980-08-22 | Ngk Spark Plug Co | Manufacture of high strength silicon nitride sintered body |
Cited By (4)
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| JPS6316358B2 (ja) * | 1983-04-12 | 1988-04-08 | Sumitomo Electric Industries | |
| JPS605075A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-11 | 株式会社クボタ | 窒化けい素焼結体の製造法 |
| JPS6359992B2 (ja) * | 1983-06-21 | 1988-11-22 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0339029B2 (ja) | 1991-06-12 |
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