JPS61138250A - フオトレジストドライフイルム及びその使用方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【技術分野】

本発明は、プリント配線板の配線ノ｛ターン形成の際や
ゾルグーマスクなどに用いられる７ｒ｝レジストドライ
フィルム及びその使用方法に関するものであろ。 ［背景技術Ｊ プリント配線板の配線パターン形成の際のマスクやゾル
グーマスクなどを形成させるにあたって、レノストイン
クをシルクスクリーン印刷などによってプリント配線板
用基板に施すなど７オトレノストエ法によっておこなわ
れる．そして７オトレノスト工法においては液状の感光
液である液状７才トレノストをプリント配線板用基板の
表面に印刷塗布する工法が従来上り主流を占めてきたが
、このものでは作業性や安全性等に問題があるため、近
時７ｒ｝レノストドライ７イルムを用いる工法がその作
業性や安全性等に優れるという点で注目を集め次第に利
用範囲が広がってきている。 ７才トレノストドライフイルムとして従来上り用いられ
でいるものは、ポリエチレンテレ７タレートフイルム（
ＰＥＴフイルム）などによる支持体フィルムの片面に感
光液を塗布乾燥させて感光層を施し、この感光層の表面
にポリプロピレンフィルムなどポリオレ７インフイルム
によるカバーフィルムを積層しで形成されている．そし
てこの７才トレノストドライフイルムを用いてプリント
配線板用基板に配線パターンを形成するにあたっては、
ドライフィルムラミネーターを使用してまずカバーフィ
ルムをはがして感光層を露出させながらプリント配線板
用基板の表面に支持体フィルムを外側に感光層を内側に
して７才トレシストドライフイルムを重ね、加熱ロール
などａ−ルによって加圧しつつ感光層がプリント配線板
用基板に密着するように接着させる．次いで配線パター
ン形状を有するパターンマスクフィルムを支持体フィル
ムの上から重ねて真空吸引によウて密着させたりいわゆ
るソフトコンタクトの状態にして、例えば３６５ｎｍの
波長を中心とする紫外線光を露光し、パターンマスク７
イルムを紫外縁が通過した部分においで感光層を光硬化
させる．こののらに支持体７イルムを剥離して感光層に
現像液を吹き付けることによって感光層の未硬化部分を
溶解除去ｔろ．そしてエツチングマシンによって感光層
が硬化して残留している部分以外におけるプリント配線
板用基板の雨宿など金属箔をエツチング除去して配線パ
ターンを形成させたり、または無電解メッキ装置によっ
て感光層が硬化して残留している部分以外におけるプリ
ント配線板用基板の表面に銅など金属の皮膜を成長形成
させて配線パターンを形成させる．このように配線パタ
ーンを形成したのちに、感光層の硬化残留部分が不要の
場合には剥離装置によってこの部分を溶解乃至はＩＩｌ
ｉｉＩ！剥離させる。 しかしかかる従来の７才トレノストドライフイルムにお
いて問題となろのは、プリント配線板用基板の一面に配
線パターンを形成させる毎に支持体フィルムとカバーフ
ィルムとの２枚のフィルムを廃棄してしまわなければな
らないということである．すなわち、７才トレノストド
ライフイルムは支持体フィルムと感光層とカバーフィル
ムとの３層によって形成され、所要幅に切断して巻芯に
巻軽取られた状態として使用されるが、その原価は感光
層のコストもさることながら支持体フィルムとカバーフ
ィルムとのコストも相当な部分を占めており、感光液を
塗布する工法に比べて数倍乃至数十倍の材料コストとな
る。従ってプリント配線板用基板の一面に配線パターン
を形成させる毎１：　支ｎ　体フィルムとカバーフィル
ムとの２枚のフィルムを廃棄してしまわなければならな
いということは非常な材料の無駄になるものであり、し
かもこの廃棄にあたって焼却や埋め立てなど処理費用も
必要になるものである。

【５＆明の目的】 本発明は、上記の息に鑑みて為されたものであり、使用
後に廃棄される支持体フィルムやカバーフィルムの枚数
を半減することができる７ｔ）レノストドライフィルム
を提供することを目的とし、さらに使用後に廃棄される
支持体フィルムやカバーフィルムの枚数を半減すること
がで終るように７＋ｒ）レノストドライフィルムの使用
ができるようにした７オトレジストドライフイルムの使
用方法を提供することを目的とするものである。 ［発明の開示］ しかして本発明に係るフォトレジストドライフィルムは
、支持体フィルムの両面に感光層が形成され、一方の感
光層の表面にのみカバーフィルムが積層されて成ること
を特徴とするものであり、また本発明に係るフォトレジ
ストドライフィルムの使用方法は、支持体フィルムの両
面に感光層を設けると共に一方の感光層の表面にのみカ
バーフィルムを積層して形成される７オトレノ又トドラ
イフイルムヲ、カバーフィルムが積層されていない感光
層によってプリント配線板用基板に密着させて張り付け
、次いでこれからカバーフィルムが積層された感光層を
剥離し、しかるのちこの剥離した感光層をプリント配線
板用基板に密着させて張り付けることをＷ徴とするもの
であり、以下本発明の詳細な説明する。 本発明において支持体フィルムとしでは従来の７オトレ
ジストドライフイルムにおけると同様にｆｆ１ＢＪｌノ
ＰＥＴフイルムを、カバーフィルムトシテは従来のフォ
トレジストドライフィルムにおけると同様にポリプロピ
レンフィルムなどポリオレフィンフィルムを用いること
ができ、支持体フィルムの両面にそれぞれ感光液である
感光性組成物を塗布して乾燥させて感光層を形成させ、
さらに片側の感光層の表面にカバーフィルムを積層させ
ることによって得られるが、感光層の両面形成は両面同
時押し出しコーティング装置や７０−ト乾燥装置などを
用いることによって、自動化ラインで連続生産が可能で
ある。 また感光層を形成させるために本発明において使用され
る感光液である感光性組成物は、ネが−ボッ型でもボッ
−ボッ型でもいずれでも用いることができ、また溶剤現
像剥離型でもアルカリ水溶液現像剥離型でもドライ現像
型でもいずれでも用いることができるが、有機溶剤を使
用しないアルカリ水溶液現像剥離型が将来的にユーザー
の要望に応える上で好ましい、感光性組成物としては市
販のものをそのまま用いることができるが、支持体フィ
ルムに対する両面の各感光層の接着力（剥離性）に差を
持たせるために、これに応じた物性を有する異なる感光
性組成物をそれぞれ支持体フィルムの各面に塗布させる
ようにすることが好ましい、しかし支持体フィルムの各
面に物理的乃至化学的処理を施して支持体フィルムのそ
れぞれの面の接着性を異なるように仕上げることにより
て、感光性Ｍ成物の配合が同一でも支持体フィルムにお
ける各面の感光層の接着性に差を持たせることができ、
この場合の方が好ましいこともある。または支持体フィ
ルムに離型剤（粘着防止剤）を塗布してこの上に感光液
を形成させるようにすることもでき、離型剤の離型性能
に差を付けたり離型剤を支持体フィルムの片側のみに塗
布するなどして支持体フィルムに対する各面の感光層の
接着性に差を待たせるようにすることもできる。そして
この上うな離型層を支持体フィルムに形成するようにし
た場合、酸素阻害防止層としての作用も期待できること
になる。すなわち、一般的に感光性組成物にあって酸素
の存在は光重合を阻害する要素となり、従来のフォトレ
ジストドライフィルムによる工法では感光層を支持体フ
ィルムによって覆って酸素を遮断した状態で紫外線照射
するようにしていたところであるが、本発明におし１て
は後述のように感光層は露出された状態で紫外線照射さ
れることになり、離型層が酸素阻害防止層としての作用
をなすことは好ましいものである６つまり離型層が、■
透明であること、■粘着性でないこと（パターンマスク
に粘着しない）、■現像液に溶解して簡単に除去される
こと、■酸素（空％）を透過しないこと、の各要件を満
足するものであれば、感光層から支持体フィルムを剥が
した状態で患尤府の表面に被覆されている離型層が酸素
を連断し、酸素阻害を防止しつつ感光層を光重合させる
ことがでさることになるのであろ、酸素阻害防止のため
の離型層としては支持体フィルムの他にカバーフィルム
においでも用いるのがよい、尚、酸素阻害防止層として
は、例えば特公昭４０−１７８２８号公報、特公昭４６
−３２７１４号公報、特公昭４６−３５６８７号公報、
特公昭４６−９１７９号公報、特公昭５５−４９７２９
号公報、特開昭５１−７１１２３号公報、特開昭５６−
７５６４３号公報などによって提供されている。またこ
のような離型層にあって、感光性組成物がＷ！素の存在
化に於いても容易に光重合して迅速に硬化するものであ
れば、上記■の要件を満たすものである必要はない、こ
の場合にあっては■の酸素遮断性能を要求されないため
、例尤ばシリコンエマルノａンを用いてこのシリコンエ
マルレノ３ンをグラビアロールコータ−などで薄り（Ｗ
４状や点状になってもよい）塗布するだけでよく、加工
が非常に容易になるもので、最も好ましいと言える。 次ぎｌ二このような酸素の存在化に於いても容易に光重
合して迅速に硬化する感光性組成物についてその一例を
紹介する。感光性組成物は公知のように、■充填ポリマ
ー、■光重合性モアマー及び／又はオリゴマー、■光重
合開始剤、促進剤系、■熱重合禁止剤、■染料系、■そ
の他の添加物等、■溶剤、の配合によって調製されてい
る。 まず■の充填ポリマーは、透明性や可視性、ア　　、ル
カリ溶解〜膠潤性、フィルム形成能、指触性等に優れた
ものが要求されるもので、ポリビニルアルコール系樹脂
（特公昭３５−８４９５号公報等で紹介されている）、
ポリアミド系樹脂（特公昭３２−７１１１号公報等で紹
介されている）、酢酸繊維素系樹脂（ｖｆ公昭３５−５
０９３号公報等で紹介されている）、ビニル系樹脂（米
国特許第２８９３８６８号や特公昭３５−１４０６５号
公報等で紹介されている）、不飽和ポリエステル樹脂（
特公昭４３−１９１２５号公報等で紹介されている）、
共重合体の混合物系（特公昭５５−６２１０号公報等で
紹介されている）、多元重合物系（特公昭５４−３４３
２７号公報等で紹介されている）などを泪いることがで
き、その他フレタンｌｉＦ脂、ポリブタノエン樹脂、エ
ポキシ樹脂等種々のものが使用できる。これらの樹脂に
おいてアルカリ水溶解〜膨潤型とするにはいずれも、−
〇〇〇Ｈ基、−８ＯＩＨ基、−ＮＨ２基等を付加反応乃
至グラフト重合させておくものである（特公昭５ｏ−ｔ
ｓ０３３号公報や特公昭５７−４０８４１号公報等で紹
介されている）、もちろん少量であればアルカリ不溶性
のポリマーも混合して使用することができる。 ■の光重合性モノマー及び／又はオリゴマーとしては、
不飽和二重結合を有する単官能及び／又は多官能のアク
リルエステル系のものが使用される。アルカリ水溶解−
膨潤型とするためには、−ＣＯＯＨ基、−５Ｏ，ＨＭ、
−ＮＨ，ｉ”ｌｔ有するものを一部乃至は全部においで
使用することになるが、あまり極端に親水性にすると、
現像液やエツチング液、無電解メッキ液などによる作用
で硬化膜が侵されていわゆるハロー現象の欠陥を引き起
こすおそれがあるため、前記■の充填ポリマーとの兼合
いで適宜選択するよう考！する必要がある６例えばトリ
ノチロールブａパントリ（メタ）アクリレート等待公Ｉ
ｇ５３−４０５３７号公報、特開昭５６−８４１７号公
報、特公昭５９−３１０５２号公報等に記載された重合
性モノマーを用いることができる。単官能性モノマーで
ある例えばツメチル７ミ／エチル／タクリレート、（メ
タ）アクリル酸、メチルメタクリレート、２−エチルヘ
キシル（メタ）アクリレート等を用いることもできるが
、これらは主として可塑剤や密着剤、ｐＨ調整剤として
の作用をなす、従って、支持体フィルムに対する各面の
感光層の接着性（剥離性）を異ならせるためにこれらの
ものを各面の感光層の組成として使い分けることができ
る。 ■の光重合開始剤、促進剤系としても多種のものが使用
され、一種もしくは二元〜多元系の岨み合わせとしで用
いられる０例えばカルボニル化合物、含窒素複素環化合
物、有機硫黄化合物、過酸化物、レドックス系化合物、
７ゾ並びにノアゾ化合物、ハロゲン化合物、光還元性色
素などを用いることができる（特公昭４２−１６５８７
号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特公昭４７−
１８９５号公報、特開昭５７−１４１６４０号公報等で
紹介されている）、二元〜多元系の岨み合わせとしては
、特公昭３６−１９２８４号公報、特公昭４４−６３６
１号公報、特公昭４４−２００６７＋公報、特公昭４８
−３８４０３号公報、特公昭５３−３７９０２号公報、
特公昭５３−４３９８８号公報、特公昭５３−４３９８
９号公報、特公昭５９−８１８号公報、特公昭５９−１
２８３号公報、特開昭５４−１３０６９３号公報、特公
昭５３−３７２１１号公報、特開昭５５−６０９４２号
公報、ｖｆ開昭５８−１７１４０６号公報等に記載され
ているところに従っておこなうことができる。これらの
うちには特公昭４０−１７９８６号公報や特公昭４５−
３７３７７号公報などに記載されているように、例えば
ハロゲン化合物のように耐燃性の付与なら１に光発色性
化合物の発色剤としての兼眉効果を生じるものも多い。 ■の熱重合禁止剤としては、市販の重合用七ツマ−に混
入されている禁止剤だけでは不足であり、追加して混合
する必要な場合が多い、ｐ−ｔ−ブチルカテコール、ｐ
−メトキシ７ヱノール、ｐ−ベンゾキノン、アントラキ
ノンその他特公昭５５−３８９６１号公報に記載される
熱重合禁止剤を用いることができる。特に本発明におい
てカバーフィルムが積層された感光層はプリント配線板
用基板への張り付けの際に熱ロールによる加熱が２回加
えられるため、カバーフィルムが積層されていない感光
層のものより感光性組成物への熱重合禁止剤の配合の秤
量精度に留意する必要がある。 ■の染料系としては、発色性化合物例えば染料ａイコ体
が有用に使用されろ、染料と発色性化合物との混合系も
用いることができる。この場合には特開昭５１−７３４
３２号公報や特開昭５６−７５６４２号公報等に例が示
されているように、露光によって染料と発色物の混合し
た色調の発色可視陽画像を与える。もちろん染料を含有
させる必！は特にないが、この場合には特公昭５９−２
８３２５号公報に示唆されているように支持体フィルム
として着色透明のものを使用するのが望ましい、また発
色性化合物を発色させる発色剤は前記の■のものに包含
しで考廉される。 ■のその他の添加物としては、可塑剤、香料、分散剤、
カプリ防止剤、帯電防止剤、密着向上剤等があり、これ
らは別途で添加されるようにしてもよいし、また前記■
〜■における配合剤に化学的に結合させたものとして使
用するようにしてもよい。 ■の溶剤としては、主として有機溶剤が用−１ちれ、１
種乃至数種の混合物が使用される１例示すればメチルエ
チｌレケトン、トルエン、イソプロピルアルコール等で
ある。 しかして上記に示す組成物を配合して混合することによ
って調製される感光性組成物を支持体フィル＾の両面に
それぞれ塗布して乾燥させることによつて感光層を形成
させ、支持体フィルムの片側面に設けた感光層にカバー
フィルムを積層させることでフォトレジストドライフィ
ルムを作成するものであり、所定の一定幅に切断して巻
か取ることによって保管や運搬に供する。このとき、支
持体フィルムやカバーフィルムに対する支持体フィルム
の各面の感光層の剥離性が異なるようにする。 すなわち支持体フィルムに対するカバーフィルムが積層
されていない感光層の剥離性が支持体フィルムやカバー
フィルムに対するカバーフィルムが積層されている感光
層の剥離性よりも良好となるようにしたり、あろいは支
持体フィルムに対するカバーフィルムが積層されている
感光層の剥離性が支持体フィルムに対するカバーフィル
ムが積層されていない感光層のＨ離性よりも良好となる
ようにしたりするものである。このように支持体フィル
ムの各面における感光層の剥離性に差を付ける方法は既
に説明した。 次ぎにこのように作成した７オトレジストドライフイル
ムの使用方法を説明する。まず、支持体フィル＾に対す
るカバーフィルムが積層されてし１ない感光層の剥離性
が支持体フィルムやカバーフィルムに対するカバーフィ
ルムが積層さ枕ている感光層の剥離性よりも良好となる
ようにして作成した７オトレジストドライフイルムの場
合は、カバーフィルムが積層されていない感光層を内側
にしてフォトレジストドライフィルムをプリント配線板
用基板に重ね熱ロールなどに通して加圧することによっ
て、この感光層をプリント配線板用基板に密着させて張
り付は接着させ、次いでこの張り付けた７ｔトレノスト
ドライフイルムからカバーフィルムが積層された感光層
を剥離する。このときカバーフィルム及びカバーフィル
ムが積層された感光層及び支持体フィルムの３眉を一体
として料がすようにして、プリント配線板用基板に接着
された感光層は露出された状態となる。支持体フィルム
に対するカバーフィルムが積層されていない感光層の剥
離性が良好であるために、このように３層が一体として
剥離されることになる。またこの剥離した３層フィルム
は巻き取っておく０次ぎに配線パターン形状を有するパ
ターンマスクフィルムをプリント配線板用基板に接着さ
せた感光層の上から重ねて真空吸引によって密着させた
りいわゆるソフトコンタクトの状態にして、例えば３６
５ｎ−の波長を中心とする紫外線光を露光し、パターン
マスクフィルムを紫外線が通過した部分において感光層
を光硬化させる。こののちに感光層に現像液を吹き付け
ることによって感光層の未硬化部分を溶解除去する。そ
してエツチングマシンによって感光層が硬化して残留し
ている部分以外におけるプリント配線板用基板の銅箔な
と金属箔をエツチング除去して配線パターンを形成させ
たり、または無電解メッキ装置によって感光層が硬化し
て残留している部分以外におけるプリント配線板用基板
の表面に銅など金属の皮膜を成長形成させて配線パター
ンを形成させる。このように配線パターンを形成したの
ちに、感光層の硬化残留部分が不要の場合には剥離装置
によってこの部分を溶解乃至は膨潤剥離させてプリント
配線板に仕上げるものである。一方フォトレジストドラ
イフィルムから上記のように剥がした３層フィルムにお
いては、３層フィルムからカバーフィルムを剥がしてこ
の３層フィルムにおける感光層を露出させ、露出させた
感光層を内側にして上記とは異なる他のプリント配線板
用基板又は上記と同じプリント配線板用基板の裏側に重
ね、熱ロールなどに通して加圧することによりて、この
感光層をプリント配線板用基板に密着させて張り付は接
着させる。 この感光層にあっては表面が支持体フィルムによって被
覆されている。そして上記と同様にして支持体フィルム
の表面にパターンマスクフィルムを重ねで感光層を紫外
線照射によって光硬化させ、支持体フィルムを剥がした
のちに感光層の未硬化部分を溶解除去し、さらに金属箔
のエツチング除去や無電解メッキによって配線パターン
を形成させてプリント配線板に仕上げるものである。 次に、支持体フィルムに対するカバーフイルムが積層さ
れている感光層の剥離性が支持体フィルムに対するカバ
ーフィルムが積層されていない感光層の剥離性よりも良
好となるようにして作成した７オトレジストドライフイ
ルムの場合は、カバーフィルムが積層されていない感光
層を内側にして７オトレノストドフイフイルムをプリン
ト配線板用基板に重ね熱ロールなどに通して加圧するこ
とによって、この感光層をプリント配線板用基板に密着
させて張り付接着させ、次いでこの張り付けたフォトレ
ジストドライフィルムからカバーフィルムが積層さ九た
感光層を剥離する。このときカバーフィルム及１カバー
フイルムが積層された感光層の２層を一体として支持体
フィルムから剥がすようにして、プリント配線板用基板
に接着された感光層が支持体フィルムで被覆されている
よ）にする、支持体フィルムに対するカバーフィルムが
積層されている感光層の剥離性が良好であるために、こ
のように支持体フィルムから２層が一体として剥離され
ることになる。またこの剥離した２層フィルムは巻き取
りておく０次ぎに配線パターン形状を有するパターンマ
スクフィルムをプリント配線板用基板に接着させた感光
層を被覆する支持体フィルムの上から重ねて真空吸引に
よって密着させたりいわゆるソフトコンタクトの状態に
して、例えば３６５ｎｓの波長を中心とする紫外線光を
露光し、パターンマスクフィルムを紫外線が通過した部
分において感光層を光硬化させろ、こののちに支持体フ
ィルムを剥がして感光層に現像液を吹き付けることによ
って感光層の未硬化部分を溶解除去する。そしてエツチ
ングマシンによって感光層が硬化して残留している部分
以外におけるプリント配線板用基板の銅箔なと金属管を
エツチング除去して配線パターンを形ｔさせたり、また
は無電解メッキ装置によって感光層が硬化して残留して
いる部分以外におけるプリント配線板用基板の表面に銅
など金属の皮膜を成長形成させて配線パターンを形成さ
せる。どのように配線パターンを形成したのちに、感光
層の硬化残留部分が不要の場合には剥離装置によってこ
の部分を溶解乃至は膨潤剥離させてプリント配線板に仕
上げるものである。一方７ｔ）レノストドライフィルム
から上記のように剥がした２層フィルムにおいては、感
光層からカバーフィルムを剥がしつつこの感光層を上記
とは異なる他のプリント配線板用基板又は上記と同じプ
リント配線板用基板の裏側に重ねて張り付は接着させる
。そして上記と同様にしてこの感光層にパターンマスク
フィルムを重ねて感光層を紫外線照射によって光硬化さ
せ、感光層の未硬化部分を溶解除去し、こののち金属管
のエツチング除去や無電解メッキによって配線パターン
を形成させてプリント配線板に仕上げるものである。 次に本発明を実施例によって具体的に説明する。 艮１九Ｌ １）　　７＊）レノストドライフィルムの作成まず以下
の配合物を混合することによって感光性組成物Ａを調製
した。 （重量部） スチレン／ビニルトルエン／マレ イン！ｌ／イタコン酸共重合物の半 エステル　化物（分子量約５万）３．０・トリメチロー
ルプロパントリアク リレート　　　　　　　　　　　　　　２・０・ベンゾ
フェノン（ＢＰ）　　　　　　　　０．１４−トリブロ
モメチルフェニルスルホ ン（ＢＭＰＳ）　　　　　　　　　　　　０．０６・４
，４′−ノエチルアミノベンゾフェノン（ＥＡＢ）　　
　　　　　　　　　　０．０１２・２メルカプトベンゾ
チアゾール（Ｍ ＢＴ）　　　　　　　　　　　　　　　０．０２・パフ
メトキシフェノール　　　　　　０．０４・パラトルエ
ンスルホンアミド　　　　０．５・ブリリアントグリー
ン　　　　　　　ｏ、ｏ　ｏ　ｓ・ロイコクリスタルバ
イオレット　　　０．０３・メチルエチルケトン　　　
　　　　　１０串トルエン　　　　　　　　　　　　　
２また以下の配合物を混合することによって感光性組成
物Ｂを調製した。 （重量部） ・メチルメタクリレート／プチルア クリレー）／２エチルへキシルメ タフリレート／アクリル酸の共電 合物（分子量約５万）３．０ ・トリノチロールプロパントリアク リレー）２．０ ・ベンゾフェノン（ＢＰ）　　　　　　　　０．０８・
トリブロモメチルフェニルスルホ ン（ＢＭＰＳ）　　　　　　　　　　　　０．１２・４
，４′・ジエチルアミノベンゾ７エ／ン（ＥＡＢ）　　
　　　　　　　　　　０．００７・２メルカプ）ベンゾ
チアゾール（Ｍ ＢＴ）　　　　　　　　　　　　　　　０．０２・ｐ−
ｔ−ブチルカテコール　　　　　　　０．０４・ノブチ
ル７タレート　　　　　　　　０．５・マラカイトグリ
ーン　　　　　　　　ｏ、ｏ　ｏ　ｓ・ａイコクリスタ
ルバイオレット　　　０．０３・ポリエチレングリコー
ルオレイル エーテル　　　　　　　　　　　　　０．２・メチルエ
チルケトン　　　　　　　　１０・イソプロピルアルコ
ール　　　　　２そして厚み２５μ−のＰＥＴフィルム
を支持体フィルムとして、その片面にバーコーターを用
いて感光性組成物Ａを塗布し、８０℃で２分間乾燥した
０次にこの支持体フィルムの他の片面に感光性ＭＬ成物
Ｂを撒布し、８０℃で２分間乾燥した。 このようにして支持体フィルムの両面に設けられた感光
層はそれぞれ５０μ−の厚みであった。また感光層組成
物Ｂにおける感光層の表面に厚み３０μ−のポリプロピ
レンフィルムをカバーアイｌレムとして積層して張り付
け、両側端の耳切りをしながらこのように作成したフォ
トレジストドライフィルムを巻き取った。 ２）　７オトレクストドライフイルムの使用研摩、水洗
、乾燥の前処理した片面銅張り紙フエノール基材積層板
をデエボン社ｌ！Ａ型ラミネーターに挿入し、その上に
感光性Ａｌｌｌｌ人物感光層を密着させろように７オ゛
トレノストドライフイルムを重ね、熱ロールの積層ロー
ルに通して積層した。 そして積層ａ−ルの出口側にある巻き取りローラーでカ
バーフィルム、感光性組成物Ｂの感光層、支持体フィル
ムの３層を一体として感光性組成物Ａの感光層から剥離
して巻き取った。 次に米国コライト社ＩＤＭＢＬ露光機を用（１て、薄い
ＰＥＴフィルムで保護された冬がパターンマスクフィル
ムで上記感光性組成物Ａの感光層を覆い、３０秒間露光
した。こののち１％炭酸ソーダ水溶液（１１８３２℃）
を感光層に６０＃＋間吹き付け、感光層の未硬化部分を
溶解除去した０次に、塩化第二銅エツチングｌ（ｌ温５
０℃）を吹き付け、感光層が除去された部分の銅箔面を
溶解除去して配線パターンを作成した。さらに５％水酸
化ナトリウム水溶［（ｌ温４０℃）を吹き付けて感光層
の硬化して残留する部分を溶解除去し、紙フエノールプ
リント配線板を得た。 また上記の感光性組成物Ｂｆ）感光層を有する３層フィ
ルムを上記ラミネーターの供給側に移し、カバーフィル
ムを剥ぎ取りながらこの感光層を片面銅張りが２ス工ボ
キシ積層板に密着させるように重ね、積層ロールに通し
て積層した。支持体フィルムは感光層を覆）状態で感光
層とともに積層された。 次にオーク製作所１（ＨＭＷ−２０１Ｂ型露光機を用い
て、上記と同じ手順で１５秒間露光し、支持体フィルム
を剥がしたのちに東京化工機製アルカリ現像液に投入し
、以下上記と同様の手順による工程を経て〃フスエボキ
シプリント配線板を得た。 衷１」１虹 １）　　７ｔトレノストドライフイルムの作成厚み２５
μ−のＰＥＴフィルムを支ｔｌ１体フィルムとして、そ
の片面にバーコーターを用いて実施例１における感光性
組成物Ｂ９：塗布し、８０℃で２分間乾燥した０次にこ
の支持体フィルムの他の片面に実施例１における感光性
組成物Ａを塗布し、８０゛Ｃで２分間乾燥した。このよ
うにして支持体フィルムの両面に設けら扛た感光層はそ
＾ぞれ５０μ−の厚みであった。また感光性組成物Ａに
おける感光層の表面に厚み３０ｕ−のポリプロピレンフ
ィルムをカバーフィルムとして積層して張り付け、両Ｉ
Ｉ端の耳切りをしながらこのように作成したフォトレゾ
ストドライフィルムを巻き取った。 この７オトレジストドライフイルムｌこお〜１て１よ実
施例１のものと感光層の組成が逆の関係になっている。 ２）　　フォトレジストドライフィルムの使用感光性組
成物Ｂの感光層を片面銅張り＊　７　ｇノール基材積層
板に密着させるようにした他は実施例１と同様にしてフ
ォトレジストドライフィルムを積層した。そして積層ロ
ールの出口側にある巻き取りローラーでカバーフィルム
、感光性組成物Ａ／）感光層の２層を一体として感光性
組成物Ｂの感光層から剥離して巻！取った。このとき支
持体フィルムは感光性組成物Ｂの感光層を覆う状態で残
った。 以下は支持体フィルムを感光後に剥がす工程が付加さ九
ろ他は実施例１と同様な手順で紙フエノールプリント配
線板を得た。 また上記の感光性組成物Ａの感光層を有する２層フィル
ムを上記フミネーターの供給側に移し、カバーフィルム
を剥ぎ取りながらこの感光層を片面銅張り〃ラスエポキ
シ積層板に密着させるように重ね、積層ロールに通して
積層した。 以下は支持体フィルムを剥がす工程が不要な他は実施例
１と同じ手順で〃ラスエポキシプリント配線板を得た。 ［発明の効果１ 上述のように本発明に係るフォトレジストドライフィル
ムは、支持体フィルムの両面に感光層が形成され、一方
の感光層の表面にのみカバーフィルムが積層されて形成
されているものであるから、支持体フィルムの両面の感
光層によってプリントｌａ＃ｌ板用基板の２面に配線パ
ターンを形成させる二とができ、２面の配線パターンの
作成に対して２枚のフィルムの廃棄で済むことになり、
従来における１面の配線パターンに対して２枚のフィル
ムを廃棄するものと比較して廃棄フィルムを半減するこ
とができ、経済的（２５％程度のコスト低下が可ｎ）で
あると共に省資源の要請にも合致し、また廃棄処理の費
用を削減できるものであろ、またこのフォトレジストド
ライフィルムを使用するにあたって、７オトレジストド
ライフイルムをカバーフィルムが積層されていない感光
層によってプリント配線板用基板に密着させて張り付け
、次いでこれからカバーフィルムが積層された感光層を
剥離し、しかるのちこの剥離した感光層をプリント配線
板用基板に密着させて張り付けるようにしたものである
から、支持体フィルムの各面の感光層をそれぞれプリン
ト配線板用基板の異なる面に張り付けて使用することが
でき、フォトレジストドライフィルムの上記のような経
済的な使用をおこなうことができるものである。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）支持体フィルムの両面に感光層が形成され、一方
   の感光層の表面にのみカバーフィルムが積層されて成る
   ことを特徴とするフォトレジストドライフィルム。
2. （２）支持体フィルムやカバーフィルムに対する各面の
   感光層の剥離性が異なることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のフォトレジストドライフィルム。
3. （３）支持体フィルムに対するカバーフィルムが積層さ
   れていない感光層の剥離性が支持体フィルムやカバーフ
   ィルムに対するカバーフィルムが積層されている感光層
   の剥離性よりも良いことを特徴とする特許請求の範囲第
   ２項記載のフォトレジストドライフィルム。
4. （４）支持体フィルムに対するカバーフィルムが積層さ
   れている感光層の剥離性が支持体フィルムに対するカバ
   ーフィルムが積層されていない感光層の剥離性よりも良
   いことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のフォト
   レジストドライフィルム。
5. （５）支持体フィルムの両面に感光層を設けると共に一
   方の感光層の表面にのみカバーフィルムを積層して形成
   されるフォトレジストドライフィルムを、カバーフィル
   ムが積層されていない感光層によってプリント配線板用
   基板に密着させて張り付け、次いでこれからカバーフィ
   ルムが積層された感光層を剥離し、しかるのちこの剥離
   した感光層をプリント配線板用基板に密着させて張り付
   けることを特徴とするフォトレジストドライフィルムの
   使用方法。
6. （６）カバーフィルムが積層されていない感光層をプリ
   ント配線板用基板に密着させてフォトレジストドライフ
   ィルムを張り付けたのちにカバーフィルムが積層された
   感光層を剥離するにあたって、カバーフィルム及びカバ
   ーフィルムが積層された感光層及び支持体フィルムの３
   層を一体として剥がすようにし、さらにこの剥がした３
   層フィルムからカバーフィルムを剥がしたのちにカバー
   フィルムを剥がして露出させた感光層をプリント配線板
   用基板に密着させて張り付けるようにしたことを特徴と
   する特許請求の範囲第５項記載のフォトレジストドライ
   フィルムの使用方法。
7. （７）カバーフィルムが積層されていない感光層をプリ
   ント配線板用基板に密着させてフォトレジストドライフ
   ィルムを張り付けたのちにカバーフィルムが積層された
   感光層を剥離するにあたって、カバーフィルム及びカバ
   ーフィルムが積層された感光層の２層を一体として剥が
   すようにし、さらにこの剥がした２層フィルムにおける
   感光層をプリント配線板用基板に密着させて張り付ける
   ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載
   のフォトレジストドライフィルムの使用方法。