JP3513660B2 - 感光性樹脂組成物積層体 - Google Patents
感光性樹脂組成物積層体Info
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- JP3513660B2 JP3513660B2 JP2001230647A JP2001230647A JP3513660B2 JP 3513660 B2 JP3513660 B2 JP 3513660B2 JP 2001230647 A JP2001230647 A JP 2001230647A JP 2001230647 A JP2001230647 A JP 2001230647A JP 3513660 B2 JP3513660 B2 JP 3513660B2
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- resin composition
- meth
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
積層体、詳しくは、高解像度を得ることのできる感光性
樹脂組成物積層体に関する。
積層体、詳しくは、高解像度を得ることのできる感光性
樹脂組成物積層体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板製造や、金属精密
加工の分野で、微細な回路を形成するには感光性樹脂組
成物積層体（感光性フィルム）が用いられてきた。即
ち、基材に感光性フィルムをラミネートし、ネガフィル
ム（パターンマスク）を通じて露光後現像し、場合によ
ってめっきを行い、その後エッチング、レジストはく離
等を行う方法である。
加工の分野で、微細な回路を形成するには感光性樹脂組
成物積層体（感光性フィルム）が用いられてきた。即
ち、基材に感光性フィルムをラミネートし、ネガフィル
ム（パターンマスク）を通じて露光後現像し、場合によ
ってめっきを行い、その後エッチング、レジストはく離
等を行う方法である。
【０００３】感光性フィルムは、通常光透過性の支持フ
ィルム、感光性樹脂層、保護フィルムの３層から成り、
使用方法としては、まず保護フィルムをはく離した後、
感光性樹脂層が基材に直接触れるよう圧着（ラミネー
ト）し、光透過性フィルム上にパターニングされたネガ
フィルムを密着し、活性光線（紫外線を用いることが多
い）を照射（露光）し、次いで有機溶剤又はアルカリ水
溶液を噴霧し不要部分を除去することでレジストパター
ンを形成（現像）し、その後塩化第二鉛水溶液などを用
いてエッチングする方法が一般的である。特に、環境問
題などの面から、現像液としてはアルカリ水溶液を用い
るものが求められている。
ィルム、感光性樹脂層、保護フィルムの３層から成り、
使用方法としては、まず保護フィルムをはく離した後、
感光性樹脂層が基材に直接触れるよう圧着（ラミネー
ト）し、光透過性フィルム上にパターニングされたネガ
フィルムを密着し、活性光線（紫外線を用いることが多
い）を照射（露光）し、次いで有機溶剤又はアルカリ水
溶液を噴霧し不要部分を除去することでレジストパター
ンを形成（現像）し、その後塩化第二鉛水溶液などを用
いてエッチングする方法が一般的である。特に、環境問
題などの面から、現像液としてはアルカリ水溶液を用い
るものが求められている。
【０００４】近年、電子機器の小型、軽量化が推進され
ており、プリント配線板も回路の微細化が求められてお
り、レジストパターンも細線化され、感光性フィルムの
高解像度化が求められている。しかし、従来の３層構造
から成る感光性フィルムでは要求を満足できなくなって
いる。即ち、光透過性支持体フィルムを介して露光する
ため高解像度化にはそのフィルム厚みをなるべく薄くす
る必要があるが、一方感光性樹脂を塗布する際の支持体
としての役目をはたすにはある程度の自己保持性が要求
され、一般に１５〜２５μｍ程度の厚みが必要となり、
従来グレードの支持フィルムを用いていたのでは高解像
度化の要求にこたえることができないのが現状である。
ており、プリント配線板も回路の微細化が求められてお
り、レジストパターンも細線化され、感光性フィルムの
高解像度化が求められている。しかし、従来の３層構造
から成る感光性フィルムでは要求を満足できなくなって
いる。即ち、光透過性支持体フィルムを介して露光する
ため高解像度化にはそのフィルム厚みをなるべく薄くす
る必要があるが、一方感光性樹脂を塗布する際の支持体
としての役目をはたすにはある程度の自己保持性が要求
され、一般に１５〜２５μｍ程度の厚みが必要となり、
従来グレードの支持フィルムを用いていたのでは高解像
度化の要求にこたえることができないのが現状である。
【０００５】これらの要求に対して、高解像度化を達成
するため様々な試みがなされている。例えば、露光前に
支持フィルムをはがし、感光性樹脂層の上に直接ネガフ
ィルムを密着させる方法である。通常、感光性樹脂層
は、基材に密着するようある程度粘着性を保持してお
り、この方法を直接適用すると、ネガフィルムと感光性
樹脂層が密着してしまい、ネガフィルムをはがしにくく
作業性が低下したり、ネガフィルムを感光性樹脂が汚染
したり、空気阻害のため感度が低下したりする問題があ
った。
するため様々な試みがなされている。例えば、露光前に
支持フィルムをはがし、感光性樹脂層の上に直接ネガフ
ィルムを密着させる方法である。通常、感光性樹脂層
は、基材に密着するようある程度粘着性を保持してお
り、この方法を直接適用すると、ネガフィルムと感光性
樹脂層が密着してしまい、ネガフィルムをはがしにくく
作業性が低下したり、ネガフィルムを感光性樹脂が汚染
したり、空気阻害のため感度が低下したりする問題があ
った。
【０００６】そこでこの方法を改良する試みとして、特
開昭６１−３１８５５号公報、特開平１−２２１７３５
号公報、特開平２−２３０１４９号公報等に示される、
感光性樹脂層を２層以上とし、ネガフィルムと直接接触
する層を非粘着性層とすることが行なわれている。しか
し、この方法は感光性樹脂層を多層化するため塗工に手
間がかかるうえ、感度低下に対しては効果のないもので
あった。
開昭６１−３１８５５号公報、特開平１−２２１７３５
号公報、特開平２−２３０１４９号公報等に示される、
感光性樹脂層を２層以上とし、ネガフィルムと直接接触
する層を非粘着性層とすることが行なわれている。しか
し、この方法は感光性樹脂層を多層化するため塗工に手
間がかかるうえ、感度低下に対しては効果のないもので
あった。
【０００７】また別の方法として、感光性樹脂層上に、
中間層を設けこれらの欠点を解決しようとする試みが、
特公昭５６−４０８２４号公報、特開昭５５−５０１０
７２号公報、特公昭５４−１２２１５号公報、特開昭４
７−４６９号公報、特開昭５９−９７１３８号公報、特
開昭５９−２１６１４１号公報、特開昭６３−１９７９
４２号公報等に示されている。しかし、これらはいずれ
も支持フィルムと感光性樹脂層との間に中間層を設けな
ければならず、塗工が２度手間になり、また薄い中間層
については取扱いが困難であった。
中間層を設けこれらの欠点を解決しようとする試みが、
特公昭５６−４０８２４号公報、特開昭５５−５０１０
７２号公報、特公昭５４−１２２１５号公報、特開昭４
７−４６９号公報、特開昭５９−９７１３８号公報、特
開昭５９−２１６１４１号公報、特開昭６３−１９７９
４２号公報等に示されている。しかし、これらはいずれ
も支持フィルムと感光性樹脂層との間に中間層を設けな
ければならず、塗工が２度手間になり、また薄い中間層
については取扱いが困難であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
点を解決し、感度、解像度、密着性等の向上した感光性
樹脂組成物積層体を提供するものである。
点を解決し、感度、解像度、密着性等の向上した感光性
樹脂組成物積層体を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、支持フィルム
（ａ）、感光性樹脂層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）か
ら成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム（ａ）
のヘーズが０．１〜１．５％であり、厚み１０〜３０μ
ｍである感光性樹脂組成物積層体に関する。
（ａ）、感光性樹脂層（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）か
ら成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム（ａ）
のヘーズが０．１〜１．５％であり、厚み１０〜３０μ
ｍである感光性樹脂組成物積層体に関する。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の支持フィルム（ａ）は、
透明であることは尚論のこと、その濁度を表わすヘーズ
が０．１〜１．５％の範囲とされる必要がある。ヘーズ
（haze）とは、濁度を表わす値であり、ランプにより照
射され、試料中を透過した光の全透過率Ｔと、試料中で
拡散され散乱した光の透過率Ｄより、ヘーズ値ＨはＨ＝
Ｄ／Ｔ×１００として求められる。これらはＪＩＳ Ｋ
７１０５により規定されており、市販の濁度計、例え
ば、日本電色工業社製ＮＤＨ−１００１ＤＰにより容易
に測定可能である。ヘーズが０．１％未満の支持フィル
ムは入手が困難であり、ヘーズが１．５％を超える支持
フィルムは、感度、解像度、密着性等の向上効果がな
い。ヘーズ０．１〜１．５％の支持フィルムとしては、
例えば、帝人社製高透明フィルムＧＳシリーズ、ダイア
ホイルヘキスト社製Ｍ−３１０シリーズ、デュポン社製
マイラーＤシリーズ等のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムなどが挙げられる。
透明であることは尚論のこと、その濁度を表わすヘーズ
が０．１〜１．５％の範囲とされる必要がある。ヘーズ
（haze）とは、濁度を表わす値であり、ランプにより照
射され、試料中を透過した光の全透過率Ｔと、試料中で
拡散され散乱した光の透過率Ｄより、ヘーズ値ＨはＨ＝
Ｄ／Ｔ×１００として求められる。これらはＪＩＳ Ｋ
７１０５により規定されており、市販の濁度計、例え
ば、日本電色工業社製ＮＤＨ−１００１ＤＰにより容易
に測定可能である。ヘーズが０．１％未満の支持フィル
ムは入手が困難であり、ヘーズが１．５％を超える支持
フィルムは、感度、解像度、密着性等の向上効果がな
い。ヘーズ０．１〜１．５％の支持フィルムとしては、
例えば、帝人社製高透明フィルムＧＳシリーズ、ダイア
ホイルヘキスト社製Ｍ−３１０シリーズ、デュポン社製
マイラーＤシリーズ等のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムなどが挙げられる。
【００１１】支持フィルム（ａ）の膜厚は、１０〜３０
μｍの範囲とされ、３０μｍを超えると解像度が低下し
たり、コストアップとなり、また、通常、支持フィルム
（ａ）は現像前にはがされて廃棄されるものであるか
ら、産業廃棄物低減の観点から好ましくない。また１０
μｍ未満では、フィルムが柔軟すぎて取扱いに不便であ
る。
μｍの範囲とされ、３０μｍを超えると解像度が低下し
たり、コストアップとなり、また、通常、支持フィルム
（ａ）は現像前にはがされて廃棄されるものであるか
ら、産業廃棄物低減の観点から好ましくない。また１０
μｍ未満では、フィルムが柔軟すぎて取扱いに不便であ
る。
【００１２】本発明の感光性樹脂層（ｂ）は、公知のも
のを用いることができ、通常、バインダーポリマー、光
重合開始剤及び重合可能なビニル化合物を必須成分とし
て含む。バインダーポリマーとしては、（メタ）アクリ
ル酸のアルキルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタ
クリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕の共重
合体や、これらと共重合し得るビニルモノマとの共重合
体があげられる。
のを用いることができ、通常、バインダーポリマー、光
重合開始剤及び重合可能なビニル化合物を必須成分とし
て含む。バインダーポリマーとしては、（メタ）アクリ
ル酸のアルキルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタ
クリル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕の共重
合体や、これらと共重合し得るビニルモノマとの共重合
体があげられる。
【００１３】（メタ）アクリル酸のアルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルと共重合しうるビニルモノマーとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフ
リルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，
２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレ
ートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。これらの共重合
体は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることがで
きる。
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルと共重合しうるビニルモノマーとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフ
リルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，
２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレ
ートアクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、スチ
レン、ビニルトルエン等が挙げられる。これらの共重合
体は単独で又は２種以上を組み合わせて用いることがで
きる。
【００１４】感光性樹脂組成物層（ｂ）をアルカリ現像
型とする場合は、通常、（メタ）アクリル酸と上記のア
ルキルエステル、ビニルモノマーを共重合させたバイン
ダポリマを用いれば良い。
型とする場合は、通常、（メタ）アクリル酸と上記のア
ルキルエステル、ビニルモノマーを共重合させたバイン
ダポリマを用いれば良い。
【００１５】光重合開始剤としては、例えばベンゾフェ
ノン、Ｎ−Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメチ
ル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ
−４′−ジメチルアミノベンゾフエノン、２−エチルア
ントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２
−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイ
ミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−
ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。
ノン、Ｎ−Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメチ
ル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ
−４′−ジメチルアミノベンゾフエノン、２−エチルア
ントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２
−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイ
ミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−
ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。
【００１６】光重合可能なビニル化合物としては、例え
ばウレタンアクリレートビスコート♯８３１（大阪有機
化学工業社製商品名）、ポリエーテル型ウレタンアクリ
レートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製商品名）、
ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２００Ａ（共
栄社油脂化学工業社製商品名）、ウレタンアクリレート
フォトマー６００８（サンノプコ社製商品名）、ウレタ
ンジアリレートケムリンク９５０３（サートマ社製商品
名）等のウレタン（メタ）アクリレートやトリメチロー
ルプロパンエトキシトリアクリレート（ＳＲ−４５４、
サートマー社製商品名）、トリメチロールプロパンプロ
ポキシトリアクリレート（Ｒ−９２４、日本化薬社製商
品名）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロー
ルプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメ
タントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜
１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）
アクリレート等の多価アルコールにα、β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールＡ
ジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノ
ールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビ
スフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレ
ート等のビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリルレート、ビスフェノールＡジグリ
シジルエーテルアクリレート等のグリシジル基含有化合
物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒドロキシ
エチル（メタ）アクリレート等の水酸基及びエチレン性
不飽和基を有する物質とのエステル化物、（メタ）アク
リル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエス
テル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）ア
クリル酸２−エチルヘキシルエステル等の（メタ）アク
リル酸のアルキルエステルなどが挙げられる。
ばウレタンアクリレートビスコート♯８３１（大阪有機
化学工業社製商品名）、ポリエーテル型ウレタンアクリ
レートＢＴＧ−Ａ（共栄社油脂化学工業社製商品名）、
ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２００Ａ（共
栄社油脂化学工業社製商品名）、ウレタンアクリレート
フォトマー６００８（サンノプコ社製商品名）、ウレタ
ンジアリレートケムリンク９５０３（サートマ社製商品
名）等のウレタン（メタ）アクリレートやトリメチロー
ルプロパンエトキシトリアクリレート（ＳＲ−４５４、
サートマー社製商品名）、トリメチロールプロパンプロ
ポキシトリアクリレート（Ｒ−９２４、日本化薬社製商
品名）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロー
ルプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプ
ロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメ
タントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜
１４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）
アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）
アクリレート等の多価アルコールにα、β−不飽和カル
ボン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールＡ
ジオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノ
ールＡトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビ
スフェノールＡデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレ
ート等のビスフェノールＡジオキシエチレンジ（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジル
エーテルトリアクリルレート、ビスフェノールＡジグリ
シジルエーテルアクリレート等のグリシジル基含有化合
物にα、β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合
物、無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒドロキシ
エチル（メタ）アクリレート等の水酸基及びエチレン性
不飽和基を有する物質とのエステル化物、（メタ）アク
リル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエス
テル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）ア
クリル酸２−エチルヘキシルエステル等の（メタ）アク
リル酸のアルキルエステルなどが挙げられる。
【００１７】また、感光性樹脂層（ｂ）には、必要に応
じて可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密
着性付与剤、安定剤などを配合として使用できる。また
その厚みは用途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜
１００μｍ程度であることが好ましい。
じて可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密
着性付与剤、安定剤などを配合として使用できる。また
その厚みは用途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜
１００μｍ程度であることが好ましい。
【００１８】本発明の保護フィルム（ｃ）は、一般にポ
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルムなどが用
いられるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の面から、ポ
リエチレンフィルムが好ましい。また、その厚みは、
１．０〜４０μｍであることが好ましく、１０μｍ未満
では取扱い性が劣る傾向があり、４０μｍを超えると、
コストアップになる傾向がある。
リエステルフィルム、ポリオレフィンフィルムなどが用
いられるが、価格、柔軟性、強度、硬度等の面から、ポ
リエチレンフィルムが好ましい。また、その厚みは、
１．０〜４０μｍであることが好ましく、１０μｍ未満
では取扱い性が劣る傾向があり、４０μｍを超えると、
コストアップになる傾向がある。
【００１９】本発明の感光性樹脂組成物積層体（感光性
フィルム）は、通常、（１）保護フィルムをはがしなが
ら、基材上に感光性樹脂層が密着するよう熱、圧力等を
かけながらラミネートし、（２）支持フィルムの上にネ
ガフィルムを載置し、ネガフィルムを介して露光し、
（３）支持フィルムをはがした後、現像により画像（レ
ジストパターン）を形成する方法で用いられる。
フィルム）は、通常、（１）保護フィルムをはがしなが
ら、基材上に感光性樹脂層が密着するよう熱、圧力等を
かけながらラミネートし、（２）支持フィルムの上にネ
ガフィルムを載置し、ネガフィルムを介して露光し、
（３）支持フィルムをはがした後、現像により画像（レ
ジストパターン）を形成する方法で用いられる。
【００２０】（１）のラミネート工程は、一般にホット
ロールを呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと
呼ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれ
るロールにより、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行
う。
ロールを呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと
呼ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれ
るロールにより、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行
う。
【００２１】（２）の露光工程は、一般に専用の露光機
があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプ
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライド
ランプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。
があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプ
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライド
ランプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。
【００２２】（３）の現像方法は、ディップ法、スプレ
ー法などがあげられ、高解像度化には高圧スプレー法が
最適である。現像液は、溶剤現像型とアルカリ現像型で
大きく異なり、溶剤現像型では１，１，１−トリクロロ
エタン、アルカリ現像型では、１重量％の炭酸ナトリウ
ムを用いるのが一般的である。
ー法などがあげられ、高解像度化には高圧スプレー法が
最適である。現像液は、溶剤現像型とアルカリ現像型で
大きく異なり、溶剤現像型では１，１，１−トリクロロ
エタン、アルカリ現像型では、１重量％の炭酸ナトリウ
ムを用いるのが一般的である。
【００２３】画像形成後の処理は、エッチング、めっき
などの工程があげられるが、これらは必要に応じ周知の
方法で行えば良い。
などの工程があげられるが、これらは必要に応じ周知の
方法で行えば良い。
【００２４】
【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明する
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。
が、本発明はこれらにより制限されるものではない。
【００２５】実施例１〜３及び比較例１〜２
メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル酸ブチ
ル／アクリル酸２−エチルヘキシル共重合体（重量比２
５／５０／５／２０、重量平均分子量８万）の４０重量
％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１
００ｇ（固形分４０ｇ）、メタクリル酸／メタクリル酸
メチル／アクリル酸エチル／スチレン共重合体（重量比
３０／３０／３０／１０、重量平均分子量４万）の５０
重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比８／２）溶
液４０ｇ（固形分２０ｇ）、トリブロモメチルフェニル
スルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１
ｇ、マライカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチルケ
トン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベンゾ
フェノン４．５ｇ及びＮ、Ｎ′−テトラエチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン０．２ｇを配合し溶液を
得た。
ル／アクリル酸２−エチルヘキシル共重合体（重量比２
５／５０／５／２０、重量平均分子量８万）の４０重量
％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１
００ｇ（固形分４０ｇ）、メタクリル酸／メタクリル酸
メチル／アクリル酸エチル／スチレン共重合体（重量比
３０／３０／３０／１０、重量平均分子量４万）の５０
重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比８／２）溶
液４０ｇ（固形分２０ｇ）、トリブロモメチルフェニル
スルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１
ｇ、マライカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチルケ
トン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベンゾ
フェノン４．５ｇ及びＮ、Ｎ′−テトラエチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン０．２ｇを配合し溶液を
得た。
【００２６】次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を表
１に示す各種のポリエチレンテレフタレートフィルム
（支持フィルム（ａ））上に均一に塗布し、１００℃の
熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性樹脂層
（ｂ）を形成した後、３０μｍ厚のポリエチレンフィル
ムを保護フィルム（ｃ）として積層し感光性フィルムを
得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであっ
た。
１に示す各種のポリエチレンテレフタレートフィルム
（支持フィルム（ａ））上に均一に塗布し、１００℃の
熱風対流式乾燥機で約１０分間乾燥して感光性樹脂層
（ｂ）を形成した後、３０μｍ厚のポリエチレンフィル
ムを保護フィルム（ｃ）として積層し感光性フィルムを
得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、５０μｍであっ
た。
【００２７】一方、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃６００
相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を１２０℃に加熱し、ポリエチレンフィルムをはがし
ながらラミネートした。
したガラスエポキシ材である銅張り積層板（日立化成工
業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を＃６００
相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を
８０℃に加温し、その銅表面上に前記感光性樹脂組成物
層を１２０℃に加熱し、ポリエチレンフィルムをはがし
ながらラミネートした。
【００２８】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルム上に、ネガフィルム（パターンマスク）を載置し、
３kw高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−２０１
Ｂ）で６０mJ/cm2の露光を行った。この際、光感度を評
価できるように、ネガフィルムに光透過量が段階的に少
なくなる領域（光学密度０．０５を１段目とし、１段ご
とに光学密度が０．１５ずつ増加するステップタブレッ
ト）を設けた。また、ライン／スペースが最少３０μｍ
であり、ライン及びスペースが共に１０μｍ毎に大きく
なるくし形パターンを持つ解像度評価用のネガフィルム
並びにライン／スペースが最少３０μｍ／４００μｍで
ありラインのみが１０μｍ毎に大きくなるくし形パター
ンを持つ密着性評価用のネガフィルムも同時に用いて露
光した。
ルム上に、ネガフィルム（パターンマスク）を載置し、
３kw高圧水銀灯（オーク製作所社製、ＨＭＷ−２０１
Ｂ）で６０mJ/cm2の露光を行った。この際、光感度を評
価できるように、ネガフィルムに光透過量が段階的に少
なくなる領域（光学密度０．０５を１段目とし、１段ご
とに光学密度が０．１５ずつ増加するステップタブレッ
ト）を設けた。また、ライン／スペースが最少３０μｍ
であり、ライン及びスペースが共に１０μｍ毎に大きく
なるくし形パターンを持つ解像度評価用のネガフィルム
並びにライン／スペースが最少３０μｍ／４００μｍで
ありラインのみが１０μｍ毎に大きくなるくし形パター
ンを持つ密着性評価用のネガフィルムも同時に用いて露
光した。
【００２９】次いで、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを除去し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液
を５０秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去
した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜の
ステップタブレットの段数を測定することにより、感光
性樹脂組成物の光感度を評価し、その結果を表１に示し
た。光感度は、ステップタブレットの段数で示され、こ
のステップタブレットの段数が高いほど、光感度が高い
ことを示す。
ルムを除去し、３０℃で１重量％炭酸ナトリウム水溶液
を５０秒間スプレーすることにより、未露光部分を除去
した。さらに、銅張り積層板上に形成された光硬化膜の
ステップタブレットの段数を測定することにより、感光
性樹脂組成物の光感度を評価し、その結果を表１に示し
た。光感度は、ステップタブレットの段数で示され、こ
のステップタブレットの段数が高いほど、光感度が高い
ことを示す。
【００３０】また、解像度は、１０μｍ毎のくし形パタ
ーンの解像性（μｍ）で表わされ、この解像度の数値が
小さい程解像度が高いことを示す。密着性は、現像後に
はく離せずに残ったラインの幅（μｍ）で表わされ、こ
の密着性の数値が小さい程、細いラインでも銅張り積層
板からはく離せずに銅張り積層板に密着していることか
ら、密着性が高いことを示す。この結果もまとめて表１
に示した。
ーンの解像性（μｍ）で表わされ、この解像度の数値が
小さい程解像度が高いことを示す。密着性は、現像後に
はく離せずに残ったラインの幅（μｍ）で表わされ、こ
の密着性の数値が小さい程、細いラインでも銅張り積層
板からはく離せずに銅張り積層板に密着していることか
ら、密着性が高いことを示す。この結果もまとめて表１
に示した。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物積層体は、感
度、解像度、密着性等が優れたものである。
度、解像度、密着性等が優れたものである。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−11446（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−88345（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−32353（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−262156（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−83625（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−83546（ＪＰ，Ａ)
特許3452597（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G03F 7/00 - 7/42
Claims (4)
- 【請求項１】 支持フィルム（ａ）、感光性樹脂層
（ｂ）及び保護フィルム（ｃ）から成る感光性樹脂組成
物において、支持フィルム（ａ）のヘーズが０．１〜
１．５％であり、厚みが１０〜３０μｍであり、かつ、
感光性樹脂層（ｂ）はバインダーポリマー、光重合開始
剤および重合可能なビニル化合物を必須成分として含有
し、バインダーポリマーとして（メタ）アクリル酸と
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとこれらと共重合
し得るビニルモノマーとを共重合させた共重合体が含ま
れ、光重合開始剤として芳香族ケトンが含まれる感光性
樹脂組成物積層体。 - 【請求項２】 前記ビニルモノマーとしてスチレンを含
有する請求項１記載の感光性樹脂組成物積層体。 - 【請求項３】 前記芳香族ケトンが、ベンゾフェノン、
Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフ
ェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフ
ェノン、２−エチルアントラキノン、フェナントレンキ
ノンから選ばれる少なくとも１種である請求項１又は２
記載の感光性樹脂組成物積層体。 - 【請求項４】 乾燥後の感光性樹脂層（ｂ）の厚さが１
０〜１００μｍである請求項１〜請求項３いずれかに記
載の感光性樹脂組成物積層体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001230647A JP3513660B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 感光性樹脂組成物積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001230647A JP3513660B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 感光性樹脂組成物積層体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003693A Division JP3452597B2 (ja) | 1993-02-08 | 1993-02-08 | 感光性樹脂組成物積層体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002099080A JP2002099080A (ja) | 2002-04-05 |
| JP3513660B2 true JP3513660B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=19062823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001230647A Expired - Lifetime JP3513660B2 (ja) | 2001-07-30 | 2001-07-30 | 感光性樹脂組成物積層体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3513660B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4922666B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2012-04-25 | シャープ株式会社 | プリント配線基板の製造方法およびプリント配線基板の検査用パターンユニット |
| TW201108861A (en) | 2009-07-15 | 2011-03-01 | Koninkl Philips Electronics Nv | Luminaire with touch pattern control interface |
| US11744967B2 (en) | 2017-09-26 | 2023-09-05 | Shin Nippon Biomedical Laboratories, Ltd. | Intranasal delivery devices |
-
2001
- 2001-07-30 JP JP2001230647A patent/JP3513660B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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| JP2002099080A (ja) | 2002-04-05 |
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