JP3208350B2

JP3208350B2 - 感光性フィルム、これを用いたロール状物、感光性フィルムの製造法、ロール状物の製造法、感光性フィルムのエッジフュージョン発生防止法及び感光性フィルムの巻きずれ発生防止法

Info

Publication number: JP3208350B2
Application number: JP13809397A
Authority: JP
Inventors: 昌孝櫛田; 好隆南
Original assignee: 日立化成工業株式会社
Priority date: 1997-05-28
Filing date: 1997-05-28
Publication date: 2001-09-10
Anticipated expiration: 2017-05-28
Also published as: JPH10333328A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性フィルム、
詳しくは、ロール状物の巻きずれを防止すること及びエ
ッジフュージョンの発生を防止することが出来る感光性
フィルム、これを用いたロール状物、感光性フィルムの
製造法、ロール状物の製造法、感光性フィルムのエッジ
フュージョン発生防止法及び感光性フィルムの巻きずれ
発生防止法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板製造や、金属精密
加工の分野で、微細な回路を形成するには感光性フィル
ムを用いる方法が行われてきた。即ち、基材に感光性フ
ィルムをラミネートし、ネガフィルム（パターンマス
ク）を通じて露光後現像し、場合によってはめっきを行
い、その後エッチング、レジストはく離等を行う方法で
ある。

【０００３】感光性フィルムは支持フィルム、感光性樹
脂層、保護フィルムの３層から成り、使用方法として
は、まず保護フィルムをはく離した後、感光性樹脂層が
基材に直接触れるよう圧着（ラミネート）し、支持フィ
ルム上にパターニングされたネガフィルムを密着し、活
性光線（紫外線を用いることが多い）を照射（露光）
し、次いで支持フィルムを剥離し、有機溶剤又はアルカ
リ水溶液を噴霧し不要部分を除去することでレジストパ
ターンを形成（現像）し、その後塩化第二銅水溶液など
を用いてエッチングする方法が一般的である。特に、環
境問題などの面から、現像液としてはアルカリ水溶液を
用いるものが求められている。

【０００４】通常感光性フィルムは使用者、例えばプリ
ント配線板製造業者が取り扱いやすい様にロール状に巻
き取られている。しかしながら、このロール状物を縦置
きに保管した場合、タケノコ状の巻きずれが発生し使用
困難となる。ロール状物の巻きずれを防止するには感光
性フィルムをロール状に巻き取る作業時に、巻き取りテ
ンションを高く設定しなければならなく、その結果ロー
ル端部から感光性樹脂層のしみ出し（エッチングフュー
ジョン）が起こり、問題となる。このエッチングフュー
ジョンの防止方法としては、特公昭５３−１９４０３号
公報に示されるロール端面を光硬化させる方法がある
が、端面硬化処理は従来の作業に比較し、工数増とな
る。また端面硬化部は現像処理において現像残りとな
る。また、感光性フィルムのカッティング時に飛び散
り、異物の原因となる等の不具合が発生する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
を解決し、ロール状物の巻きずれ防止及びエッジフュー
ジョンの発生防止を可能とする感光性フィルム、これを
用いたロール状物、感光性フィルムの製造法、ロール状
物の製造法、感光性フィルムのエッジフュージョン発生
防止法及び感光性フィルムの巻きずれ発生防止法を提供
するものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、（ａ）支持フ
ィルム、（ｂ）感光性樹脂層及び（ｃ）保護フィルムの
順に積層された感光性フィルムにおいて、（ｃ）保護フ
ィルムの（ｂ）感光性樹脂層と接触しない面の滑り摩擦
係数（tanθ）を０．６〜１．５、（ｃ）保護フィルム
の厚みを１５〜４０μｍとしたことを特徴とする感光性
フィルム、これを用いたロール状物、感光性フィルムの
製造法、ロール状物の製造法、感光性フィルムのエッジ
フュージョン発生防止法及び感光性フィルムの巻きずれ
発生防止法を提供するものである。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明における（ｃ）保護フィル
ムは、滑りにくいことは勿論のこと、滑り性を表す滑り
摩擦係数（ｔａｎθ）が０．６〜１．５の範囲にある必
要がある。滑り摩擦係数とは、滑り性を表す値であり、
数値が大きくなる程滑りにくくなり、傾斜法（静摩擦
法）により、例えば次のようにして測定できる。［前処理］２３±２℃、５０±５％ＲＨ中に２４時間以
上放置［測定方法］ガラス板（２００ｍｍ×３００ｍｍ）に試
験片（ポリエチレンフィルム）を貼り付ける。滑り片
（４０ｍｍ×２０ｍｍ×２６ｍｍ、重量２５ｇｆ）に
も試験片（ポリエチレンフィルム）を貼り付ける。試験
片を貼り付けた滑り片を傾き０°の試験片付きのガラス
板に載せ、ガラス板の角度を徐々に大きくし、滑り片が
移動しはじめた角度（ｔａｎθ）を求め、滑り摩擦係数
とする。試験数はｎ＝５とする。

【０００８】滑り摩擦係数が０．６未満の保護フィルム
は滑りやすく、ロール状物にはタケノコ状の巻きずれが
発生する。滑り摩擦係数が１．５を超える保護フィルム
は、感光性フィルムをロール状物とする際の巻き取り作
業が困難となる。滑り摩擦係数が０．６〜１．５の保護
フィルムとしては、例えばタマポリ社製保護フィルムＮ
−５１Ｐ等のポリエチレンフィルムが挙げられる。滑り
摩擦係数のより好ましい範囲は０．７〜１．０である。

【０００９】従来用いられていたポリエチレンフィルム
の滑り摩擦係数は０．２以上、０．６未満であり、これ
らのポリエチレンフィルムを用いた場合は感光性フィル
ムをロールに巻き取る作業時に巻き取りテンションを高
く設定しなければならず、その結果ロール端部から感光
性樹脂層のしみ出しが発生し問題となっていた。本発明
では、滑り摩擦係数が大きいポリエチレンフィルムを採
用したことによりこの問題点を解決した。

【００１０】また、保護フィルムの膜厚は、１５〜４０
μｍの範囲であることが必要である。膜厚が４０μｍを
超えるとコストアップとなり、また通常保護フィルムは
ラミネート前にはがされて廃棄されるものであることか
ら、産業廃棄物低減の観点からも好ましくない。また、
膜厚が１５μｍ未満では、フィルムが柔軟となり取り扱
いが不便となる。

【００１１】本発明の感光性フィルムの（ａ）支持フィ
ルムは、価格、柔軟性、強度、硬度の面から、ポリエチ
レンテレフタレートフィルムが好ましい。また、その厚
みは、１０〜３０μｍであることが好ましく、１０μｍ
未満では物理的強度が弱く、破れやすくなる等の欠点を
有する。また、３０μｍを超えると解像度の低下、コス
トアップとなる等の欠点を有する。

【００１２】本発明の感光性フィルムの（ｂ）感光性樹
脂層を形成する感光性樹脂としてはは、公知のものを用
いることができ、通常、バインダーポリマー、光重合開
始剤及び光重合可能なビニル化合物を必須成分として含
む。バインダーポリマーとしては、（メタ）アクリル酸
のアルキルエステル〔（メタ）アクリル酸とはメタクリ
ル酸及びアクリル酸を意味する。以下同じ〕の共重合体
や、（メタ）アクリル酸のアルキルエステルとこれらと
共重合し得るビニルモノマーとの共重合体が挙げられ
る。

【００１３】（メタ）アクリル酸のアルキルエステルと
しては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、
（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル
酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルへキ
シルエステル等が挙げられる。また、（メタ）アクリル
酸アルキルエステルと共重合しうるビニルモノマーとし
ては、例えば、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフ
リルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル
エステル、メタクリル酸グリシジルエステル、２，２，
２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，
２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレ
ート、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、ス
チレン、ビニルトルエン、（メタ）アクリル酸等が挙げ
られる。これらの共重合体は単独で又は２種以上を組み
合わせて用いることができる。

【００１４】（ｂ）感光性樹脂層をアルカリ現像型とす
る場合は、通常、（メタ）アクリル酸と上記のアルキル
エステル、ビニルモノマーを共重合させたバインダーポ
リマーを用いればよい。

【００１５】光重合開始剤としては、例えばベンゾフェ
ノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベ
ンゾフェノン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラメチ
ル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ
−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルア
ントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、
２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５
−ジ（ｍ−メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２
−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミ
ダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，
５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキ
シフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体、２，４−ジ（ｐ−メトキシフェニル）−５−フェニ
ルイミダゾール二量体、２−（２，４−ジメトキシフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニ
ルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイ
ミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−
ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジ
ン誘導体などが挙げられる。これらは、単独で又は２種
以上を組み合わせて用いることができる。

【００１６】光重合可能なビニル化合物としては、例え
ばウレタンアクリレートビスコート♯８３１（大阪有機
化学工業社製商品名）、ポリエーテル型ウレタンアクリ
レートＢＴＧ−Α（共栄社油脂化学工業社製商品名）、
ポリエステル型ウレタンアクリレートＤ−２００Ａ（共
栄社油脂化学工業社製商品名）、ウレタンアクリレート
フォトマー６００８（サンノプコ社製商品名）、ウレタ
ンジアリレートケムリンク９５０３（サートマ社製商品
名）等のウレタン（メタ）アクリレートやトリメチロー
ルプロパンエトキシアクリレート（ＳＲ−４５４、サー
トマー社製商品名）、トリメチロールプロパンプロポキ
シトリアクリレート（Ｒ−９２４、日本化薬社製商品
名）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート
（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチロール
プロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロ
パントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタ
ントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタン
テトラ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ（メタ）アクリレート（プロピレン基の数が２〜１
４のもの）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）ア
クリレート等の多価アルコールにα，β−不飽和カルボ
ン酸を反応させて得られる化合物、ビスフェノールΑジ
オキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノー
ルΑトリオキシエチレンジ（メタ）アクリレート、ビス
フェノールΑデカオキシエチレンジ（メタ）アクリレー
ト等のビスフェノールΑジオキシエチレンジ（メタ）ア
クリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエ
ーテルトリアクリレート、ビスフェノールΑジグリシジ
ルエーテルアクリレート等のグリシジル基含有化合物に
α，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、
無水フタル酸等の多価カルボン酸とβ−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート等の水酸基及びエチレン性不飽
和基を有する化合物とのエステル化物、（メタ）アクリ
ル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アク
リル酸２−エチルヘキシルエステル等の（メタ）アクリ
ル酸のアルキルエステルなどが挙げられる。

【００１７】また、（ｂ）感光性樹脂層には、必要に応
じて可塑剤、染料、顔料、イメージング剤、充填剤、密
着性付与剤、安定剤などを配合することができる。また
その厚みは用途により異なるが、乾燥後の厚みで１０〜
１００μｍ程度であることが好ましい。

【００１８】本発明の感光性フィルム及びこれを用いた
ロール状物は、通常、（１）保護フィルムをはがしなが
ら、基材上に感光性樹脂層が密着するよう熱、圧力等を
かけながらラミネートし、（２）支持フィルムの上にネ
ガフィルムを載置し、ネガフィルムを介して露光し、
（３）支持フィルムをはがした後、現像により画像（レ
ジストパターン）を形成する方法で用いられる。

【００１９】（１）のラミネート工程は、一般にホット
ロールと呼ばれる加熱可能なロール又はヒートシューと
呼ばれる加熱用ジャケットとラミネートロールと呼ばれ
るロールにより、感光性樹脂層を加熱し軟化しながら行
う。

【００２０】（２）の露光工程は、一般に専用の露光機
があり、接触又は非接触型のものを用いて行う。ランプ
としては、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライド
ランプ、キセノンランプ灯等の紫外線を有効に放射する
ものを用いることができる。

【００２１】（３）の現像方法は、ディップ法、スプレ
ー法などがあげられ、高解像度化には高圧スプレー法が
最適である。現像液は、溶剤現像型とアルカリ現像型で
大きく異なり、溶剤現像型では１，１，１−トリクロロ
エタン、アルカリ現像型では、１重量％の炭酸ナトリウ
ムを用いるのが一般的である。

【００２２】画像形成後の処理は、エッチング、めっき
などの工程が挙げられるが、これらは必要に応じ周知の
方法で行えば良い。

【００２３】本発明の感光性フィルムをロール状に巻い
たロール状物は、上記で得られた感光性フィルムをコア
（巻芯）に１〜５０ｋｇｆ／ｍのテンションで巻き取る
ことにより得られる。この際の巻き取りテンションが１
５ｋｇｆ／ｍ程度と小さくても、ロール状物は長期間縦
置き保管してもタケノコ状の巻きずれが発生しない。

【００２４】

【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明する
が、本発明はこれらにより限定されるものではない。

【００２５】実施例１〜３及び比較例１〜３メタクリル酸／メタクリル酸メチル／メタクリル酸ブチ
ル／アクリル酸２−エチルへキシル共重合体（重量比２
５／５０／５／２０、重量平均分子量８万）の４０重量
％メチルセロソルブ／トルエン（重量比６／４）溶液１
００ｇ（固形分４０ｇ）、メタクリル酸／メタクリル酸
メチル／アクリル酸エチル／スチレン共重合体（重量比
３０／３０／３０／１０、重量平均分子量４万）の５０
重量％メチルセロソルブ／トルエン（重量比８／２）溶
液４０ｇ（固形分２０ｇ）、トリブロモメチルフェニル
スルフォン１．０ｇ、ロイコクリスタルバイオレット１
ｇ、マラカイトグリーン０．０５ｇ、メチルエチルケト
ン１０ｇ、トルエン１０ｇ、メタノール３ｇ、ベンゾフ
ェノン４．５ｇ及びＮ，Ｎ′−テトラエチル−４，４′
−ジアミノベンゾフェノン０．２ｇを配合し溶液を得
た。

【００２６】次いで、この感光性樹脂組成物の溶液を２
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム
（（ａ）支持フィルム）上に均一に塗布乾燥し、（ｂ）
感光性樹脂層を形成した後、表１に示す滑り摩擦係数を
有するポリエチレンフィルムＡ〜Ｅ（（ｃ）保護フィル
ム、Ａはタマポリ社からポリエチレンフィルムＮ−５
１Ｐとして市販されている。）を貼り合わせ感光性フィ
ルムを得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は、４０μｍ
であった。上記により得られた感光フィルムを直径８
４．２ｍｍのコア（巻芯）に１５０ｍ長さとなる様にロ
ール状に巻き取った。このロール状物を３日間縦置きに
保管し、タケノコ状の巻きずれを測定した。また、２３
℃、６０％の条件下で４カ月間保管し、エッジフュージ
ョンの発生も測定した。結果を表１に示す。

【００２７】

【表１】

【００２８】

【発明の効果】本発明の感光性フィルム、これを用いた
ロール状物、感光性フィルムの製造法、ロール状物の製
造法、感光性フィルムのエッジフュージョン発生防止法
及び感光性フィルムの巻きずれ発生防止法は、タケノコ
状の巻きずれ性、エッジフュージョンの発生防止に優れ
たものである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＨ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ (56)参考文献特開昭64−46738（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−204249（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−39635（ＪＰ，Ａ) 特開平７−325393（ＪＰ，Ａ) 実開昭57−19950（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/004 B32B 7/02 B32B 27/36 G03F 7/09 G03F 7/11 H05K 3/06

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（ａ）支持フィルム、（ｂ）感光性樹脂
層及び（ｃ）保護フィルムの順に積層された感光性フィ
ルムにおいて、（ｃ）保護フィルムの（ｂ）感光性樹脂
層と接触しない面の滑り摩擦係数（tanθ）を０．６〜
１．５、（ｃ）保護フィルムの厚みを１５〜４０μｍと
したことを特徴とする感光性フィルム。
【請求項２】（ａ）支持フィルムがポリエチレンテレ
フタレートフィルムである請求項１記載の感光性フィル
ム。
【請求項３】（ｃ）保護フィルムがポリエチレンフィ
ルムである請求項１又は２記載の感光性フィルム。
【請求項４】請求項１、２又は３記載の感光性フィル
ムをロール状に巻いたロール状物。
【請求項５】（ａ）支持フィルム上に（ｂ）感光性樹
脂層を形成し、（ｃ）保護フィルムを貼り合わせること
を特徴とする感光性フィルムの製造法において、（ｃ）
保護フィルムの（ｂ）感光性樹脂層と接触しない面の滑
り摩擦係数（tanθ）が０．６〜１．５である感光性フ
ィルムの製造法。
【請求項６】（ａ）支持フィルム、（ｂ）感光性樹脂
層及び（ｃ）保護フィルムの順に積層された感光性フィ
ルムにおいて、（ｃ）保護フィルムの（ｂ）感光性樹脂
層と接触しない面の滑り摩擦係数（tanθ）が０．６〜
１．５である感光性フィルムをコアに巻き取ることを特
徴とするロール状物の製造法。
【請求項７】（ａ）支持フィルム、（ｂ）感光性樹脂
層及び（ｃ）保護フィルムの順に積層された感光性フィ
ルムにおいて、（ｃ）保護フィルムの（ｂ）感光性樹脂
層と接触しない面の滑り摩擦係数（tanθ）が０．６〜
１．５である感光性フィルムをコアに巻き取ることを特
徴とする感光性フィルムのエッジフュージョン発生防止
法。
【請求項８】（ａ）支持フィルム、（ｂ）感光性樹脂
層及び（ｃ）保護フィルムの順に積層された感光性フィ
ルムにおいて、（ｃ）保護フィルムの（ｂ）感光性樹脂
層と接触しない面の滑り摩擦係数（tanθ）が０．６〜
１．５である感光性フィルムをコアに巻き取ることを特
徴とする感光性フィルムの巻きずれ発生防止法。