JP3423199B2 - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は感光性樹脂組成物、
更に詳しくは、プリント配線板の製造、金属の精密加工
等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジスト
として、特に優れた密着性、解像性及び膜強度を有する
感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントに
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、プリント配線板の製造、金属の精
密加工等の分野において、エッチング、めっき等に用い
られるレジスト材料としては、感光性樹脂組成物及びこ
れを支持体上に製膜し、その上に保護フィルムを設けた
感光性エレメントが広く用いられている。プリント配線
板は、上記感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用
いて銅基板上に感光性フィルム層を形成し、パターン露
光した後、未露光部を現像液で除去し、エッチング又は
めっき処理を施してパターンを形成させた後、硬化部分
を基板上から剥離する方法によって製造されている。

【０００３】この未露光部の除去を行う現像液は炭酸ナ
トリウム水溶液等を使用するアルカリ現像型が主流にな
っている。この種の感光性樹脂組成物又は感光性エレメ
ントは、例えば、特公平１−５６９１号公報、特公昭５
２−９４３８８号公報、特公昭５４−２５９５７号公
報、特公昭５４−３４３７２号公報に記載されている。

【０００４】一方、近年、プリント配線板の高密度化に
伴い、現像の際に感光性樹脂組成物と基板との密着不足
による欠陥及び解像不足による欠陥が多く発生してい
る。この欠陥の発生を防ぐためには、感光性樹脂組成物
の基板に対する密着性及び解像度を向上させることが必
要である。前記の従来公知の感光性樹脂組成物は、この
ような近年のプリント配線板の高密度化に対応できる密
着性、解像度を有していない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来技術の問題点を解決するものであり、プリント配線板
の製造、金属の精密加工等に用いられるエッチングレジ
スト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解
像性及び膜強度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用
いた感光性エレメントを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
（Ａ）（メタ）アクリル酸 １０〜１５重量％及び一般
式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重量％を共重合成
分として共重合して得られる重量平均分子量が３０，０
００〜７０，０００、重量平均分子量／数平均分子量の
値（分子量の分散度）が２．０〜３．０のフィルム性付
与ポリマー５０〜７０重量部、

【０００７】

【化４】 （式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素
数１〜１２のアルキル基を表す。） （Ｂ）一般式［ＩＩ］で表される少なくとも１種のエチ
レン性不飽和化合物を必須成分として含み、常圧におけ
る沸点が１００℃以上のエチレン性不飽和化合物３０〜
５０重量部（但し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が
１００重量部となるようにする。）、

【０００８】

【化５】 （式中、Ｒ³及びＲ⁴はそれぞれ独立に水素原子又はメチ
ル基を表し、Ａ、Ｂ、Ｘ及びＹはそれぞれ独立に

【０００９】

【化６】 を表し、ｋ、ｌ、ｍ及びｎはそれぞれ独立に１〜５の整
数を表す。） （Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１
００重量部に対して０．５〜１０重量部及び （Ｄ）顔料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１
００重量部に対して０．０１〜３．０重量部を含有して
なる感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得ら
れる感光性エレメントを提供するものである。

【００１０】また本発明は、一般式［ＩＩ］で表される
エチレン性不飽和化合物が、２，２−ビス（４−メタク
リロキシペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２−
ビス（４−メタクリロキシペンタプロポキシフェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−メタクリロキシモノエト
キシテトラプロポキシフェニル）プロパン、２，２−ビ
ス（４−メタクリロキシジエトキシトリプロポキシフェ
ニル）プロパン、２，２−ビス（４−メタクリロキシト
リエトキシジプロポキシフェニル）プロパン又は２，２
−ビス（４−メタクリロキシテトラエトキシモノプロポ
キシ）プロパンである感光性エレメントを提供するもの
である。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明に用いられるフィルム性付
与ポリマー（Ａ）は、（メタ）アクリル酸（（メタ）ア
クリル酸とは、アクリル酸及び／又はメタクリル酸を意
味する。以下同じ。）と一般式［Ｉ］で表される化合物
との共重合体である。

【００１２】一般式［Ｉ］で表される化合物としては、
例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）
アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸プロピ
ルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル、（メタ）
アクリル酸アミルエステル、（メタ）アクリル酸ヘキシ
ルエステル、（メタ）アクリル酸オクチルエステル等が
挙げられる。これらは各々単独で用いてもよいし、２種
以上を組み合わせて用いてもよく、その組み合わせにつ
いては特に制限はない。

【００１３】フィルム性付与ポリマー（Ａ）は、アルカ
リ水溶液（例えば、０．５〜２．０重量％の炭酸ナトリ
ウム又は炭酸カリウム水溶液）に可溶又は膨潤可能であ
ることが好ましく、フィルム性付与ポリマーの共重合成
分中の（メタ）アクリル酸の共重合量は１０〜１５重量
％であり、好ましくは１１〜１４重量％である。フィル
ム性付与ポリマー中の（メタ）アクリル酸の共重合量が
１５重量％を超えると密着性が低下する傾向があり、１
０重量％未満では現像時間が長くなる傾向がある。

【００１４】また、フィルム性付与ポリマーの重量平均
分子量は３０，０００〜７０，０００であり、好ましく
は４０，０００〜６０，０００である。フィルム性付与
ポリマーの重量平均分子量が７０，０００を超えると現
像時間が長くなるとともに解像性が低下し、３０，００
０未満では密着性が低下するとともに膜強度が低下す
る。

【００１５】また、フィルム性付与ポリマーの重量平均
分子量／数平均分子量の値（分子量の分散度）は２．０
〜３．０であり、好ましくは２．２〜２．８である。フ
ィルム性付与ポリマーの分子量の分散度が３．０を超え
ると解像性が低下する傾向があり、２．０未満では密着
性が低下する傾向がある。

【００１６】なお、重量平均分子量、数平均分子量は、
ＧＰＣで測定し、標準ポリスチレンによる検量線を用い
て換算したものである。

【００１７】本発明において、（Ａ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して５
０〜７０重量部、好ましくは５５〜６７重量部である。
（Ａ）成分の配合量が７０重量部を超えると、感光性樹
脂組成物の硬化性が不十分となり、また、現像時間が長
くなる。また５０重量部未満では光硬化物が脆くなり易
く、また、感光性樹脂組成物を支持体上に塗布乾燥して
感光性エレメントを作製する際の塗膜性に劣る。

【００１８】本発明に用いられるエチレン性不飽和化合
物（Ｂ）は、常圧における沸点が１００℃以上のもので
あり、また、下記一般式［ＩＩ］で表されるエチレン性
不飽和化合物（以下、エチレン性不飽和化合物（Ｂ１）
と呼ぶ。）の少なくとも１種を必須成分として含む。

【００１９】

【化７】 （式中、Ｒ³及びＲ⁴はそれぞれ独立に水素原子又はメチ
ル基を表し、Ａ、Ｂ、Ｘ及びＹはそれぞれ独立に

【００２０】

【化８】 を表し、ｋ、ｌ、ｍ及びｎはそれぞれ独立に１〜５の整
数を表す。） 本発明に用いられるエチレン性不飽和化合物（Ｂ）の沸
点は、１００℃以上、好ましくは１３０〜４００℃であ
る。エチレン性不飽和化合物（Ｂ）の沸点が１００℃未
満であると、感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥
する際、また感光性エレメントを基板上にラミネートす
る際、揮散し、所望の効果が得られないことがある。

【００２１】エチレン性不飽和化合物（Ｂ１）の具体例
としては、例えば、２，２−ビス（４−メタクリロキシ
ペンタエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−メタクリロキシペンタプロポキシフェニル）プロパ
ン、２，２−ビス（４−メタクリロキシモノエトキシテ
トラプロポキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４
−メタクリロキシジエトキシトリプロポキシフェニル）
プロパン、２，２−ビス（４−メタクリロキシトリエト
キシジプロポキシフェニル）プロパン、２，２−ビス
（４−メタクリロキシテトラエトキシモノプロポキシ）
プロパン等が挙げられる。エチレン性不飽和化合物（Ｂ
１）は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合
わせて用いてもよく、その組み合わせについては特に制
限はない。

【００２２】また、本発明でエチレン性不飽和化合物
（Ｂ）として用いられる上記エチレン性不飽和（Ｂ１）
以外のエチレン性不飽和化合物（以下、エチレン性不飽
和化合物（Ｂ２）と呼ぶ。）としては、例えば、多価ア
ルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得ら
れる化合物（ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート（エチレン基の数が２〜１４のもの）、トリメチ
ロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパンプロポキシトリ（メタ）アクリレート、
トリメチロールプロパンエチレングリコール付加物トリ
アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）ア
クリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）ア
クリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アク
リレート（プロピレン基の数が２〜１４のもの）、ジペ
ンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等）、
多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレ
ン性不飽和基を有する化合物（β−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート等）とのエステル化物（γ−クロ
ロ−β−ヒドロキシプロピル−β′−メタクリロイルオ
キシエチル−ｏ−フタレート等）、（メタ）アクリル酸
のアルキルエステル（（メタ）アクリル酸メチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アク
リル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチル
ヘキシルエステル等）、ウレタン（メタ）アクリレート
（トリレンジイソシアネートと２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリル酸エステルとの反応物、トリメチルヘ
キサメチレンジイソシアネートとシクロヘキサンジメタ
ノールと２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリル酸エス
テルとの反応物等）などが挙げられる。これらは単独で
又は２種以上を組み合わせて使用され、その組み合わせ
については特に制限はない。

【００２３】本発明において、（Ｂ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して３
０〜５０重量部、好ましくは３３〜４５重量部とする。
（Ｂ）成分の配合量が５０重量部を超えると、光硬化物
が脆くなり易く、また感光性樹脂組成物を支持体上に塗
布、乾燥して感光性エレメントを製造する際の塗膜性に
劣る。また３０重量部未満では感光性樹脂組成物の硬化
性が不十分となったり、現像時間が長くなったりする。

【００２４】本発明においては、（Ｂ）成分中の必須成
分として一般式［ＩＩ］で表されるエチレン性不飽和化
合物（Ｂ１）を用いることにより、解像性が向上する。
（Ｂ）成分中のエチレン性不飽和化合物（Ｂ１）成分の
量は（Ｂ）成分中１０〜９０重量％とすることが好まし
く、２０〜８０重量％とすることがより好ましい。
（Ｂ）成分中のエチレン性不飽和化合物（Ｂ１）の割合
が１０重量％未満であると、解像性向上の効果が不十分
となることがあり、９０重量％を超えると、現像時間が
長くなる傾向がある。

【００２５】本発明に用いられる（Ｃ）光重合開始剤と
しては、例えば、芳香族ケトン（ベンゾフェノン、Ｎ，
Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノ
ン（ミヒラーケトン）、Ｎ，Ｎ′−テトラエチル−４，
４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４′−
ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアントラキ
ノン、フェナントレンキノン等）、ベンゾイン（ベンゾ
インメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベン
ゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル、メチ
ルベンゾイン、エチルベンゾイン等）、ベンジル誘導体
（ベンジルジメチルケタール等）、２，４，５−トリア
リールイミダゾール二量体（２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ビス（ｐ−
メトキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量
体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジ
フェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカ
プトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量
体等）、アクリジン誘導体（９−フェニルアクリジン、
１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン
等）、キサントン類（チオキサントン、ジエチルチオキ
サントン等）などが挙げられる。これらは単独で又は２
種以上を組み合わせて使用され、その組み合わせについ
ては特に制限はない。また、本発明において、光重合開
始剤（Ｃ）は、上記各種の光重合開始剤に加えて、ジメ
チルアミノ安息香酸エチル等の三級アミンなどの光開始
助剤を含有していてもよい。

【００２６】本発明において、（Ｃ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して
０．５〜１０重量部、好ましくは１．０〜５．０重量部
とする。（Ｃ）成分の配合量が１０重量部を超えると、
感光性樹脂組成物の底部硬化性が不十分となり、密着性
が低下し、また０．５重量部未満では硬化時間が長くな
る。

【００２７】本発明で用いられる顔料又は染料（Ｄ）と
しては、公知の顔料又は染料が使用でき、特にフィルム
性付与ポリマー（Ａ）、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）
に対する相溶性、目標とする色相、光透過性を考慮して
選択される。

【００２８】本発明において、（Ｄ）成分の配合量は
（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して
０．０１〜３．０重量部、好ましくは０．０５〜２．５
重量部とする。（Ｄ）成分の配合量が３．０重量部を超
えると、光透過率が低下し、密着性が低下し、０．０１
重量部未満では着色が不十分となる。

【００２９】本発明の感光性樹脂組成物には、２，２′
−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノー
ル）などの重合禁止剤、トリブロモメチルフェニルスル
ホン、ロイコクリスタルバイオレット等の発色剤、さら
に可塑剤、安定剤、密着性付与剤、香料、消泡剤等の添
加剤を必要に応じて添加してもよい。

【００３０】本発明の感光性樹脂組成物は、前記各成分
を、これを溶解する溶剤、例えば、トルエン、アセト
ン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチル
ケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロ
ホルム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、メタノ
ール、エタノール等に溶解することにより、均一な溶液
とすることができる。

【００３１】本発明の感光性樹脂組成物は、これを支持
体上に塗布、乾燥して感光層を形成し、感光性エレメン
トとして使用することもできる。

【００３２】支持体としては、重合体フィルム、例え
ば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポ
リエチレン等からなるフィルムが用いられ、中でもポリ
エチレンテレフタレートフィルムが好ましい。

【００３３】これらの重合体フィルムは、後に感光層か
ら除去可能でなくてはならないため、除去が不可能とな
るような表面処理が施されたものであったり、材質であ
ったりしてはならない。また、これらの重合体フィルム
の厚さは、５〜２０μｍとすることが好ましく、７〜１
６μｍとすることがより好ましい。

【００３４】これらの重合体フィルムを２枚用い、その
一枚は感光層の支持体として、他の一つは感光層の保護
フィルムとして感光層の両面に積層してもよい。

【００３５】本発明の感光性エレメントを用いてフォト
レジスト画像を製造するに際しては、前記の保護フィル
ムが存在している場合には、保護フィルムを除去後、感
光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層す
る。積層される表面は、通常金属面であるが、特に制限
はない。

【００３６】感光層の加熱圧着の温度は、特に制限はな
いが、通常、９０〜１３０℃とされる。また、感光層の
加熱圧着の圧力は、特に制限はないが、通常１〜１０ｋ
ｇｆ／ｃｍ²、好ましくは３〜６ｋｇｆ／ｃｍ²とされ
る。

【００３７】感光層を前記のように加熱すれば、予め基
板を予熱処理することは必要でないが、積層性を更に向
上させるために基板の予熱処理を行うこともできる。

【００３８】このように積層が完了した感光層は、次い
で、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光によ
り画像的に露光される。この際、感光層上に存在する重
合体フィルムが透明の場合には、そのまま露光してもよ
く、また、不透明の場合には、除去する必要がある。感
光層の保護という点からは、重合体フィルムは透明で、
この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して露
光することが好ましい。

【００３９】活性光は、公知の活性光源、例えば、カー
ボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から発
生する光が用いられる。感光層に含まれる光重合開始剤
の感受性は、通常、紫外線領域において最大であるの
で、その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するもの
にすべきである。

【００４０】光重合開始剤が可視光線に感受するもの、
例えば、９，１０−フェナンスレンキノン等である場合
には、活性光としては可視光が用いられ、その光源とし
ては前記のもの以外に写真用フラッド電球、太陽ランプ
等も用いられる。

【００４１】次いで、露光後、感光層上に重合体フィル
ム等が存在している場合には、これを除去した後、アル
カリ水溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブ
ラッシング、スクラッビング等の公知の方法により未露
光部を除去して現像する。

【００４２】アルカリ性水溶液の塩基としては、例え
ば、リチウムの水酸化物、ナトリウムの水酸化物、カリ
ウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウムの炭酸塩
又は重炭酸塩、ナトリウムの炭酸塩又は重炭酸塩、カリ
ウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カ
リウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、
ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカ
リ金属ピロリン酸塩などが用いられ、特に、炭酸ナトリ
ウムが好ましい。

【００４３】現像に用いるアルカリ水溶液のｐＨは、９
〜１１とすることが好ましく、また、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。

【００４４】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させてもよい。

【００４５】更に、印刷配線板を製造するに際しては、
現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露光して
いる基板の表面を、エッチング、めっき等の公知の方法
で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現
像に用いたアルカリ水溶液より更に強アルカリ性の水溶
液で剥離される。この強アルカリ性の水溶液としては、
例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が用
いられる。

【００４６】

【実施例】以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて
詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。

【００４７】実施例１、比較例１〜１３ フィルム性付与ポリマー（ａ）の合成 メチルセロソルブ／トルエン＝重量で３／２溶液（以下
溶液Αとする）１０４．４ｇを３００ｍｌのフラスコに
入れ８５℃に加温する。８５℃で３０分保温後、メタク
リル酸１３．０ｇ、メタクリル酸メチル５７．３ｇ、ア
クリル酸エチル２９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリ
ル１．３ｇを溶液Α１１．４ｇに溶解した溶液Ｂを４時
間でフラスコ内に滴下反応させる。その後２時間保温
し、アゾビスイソブチロニトリル０．１５ｇを溶液Α３
４．２ｇに溶かした溶液Ｃに加え、更に５時間保温した
後、冷却し、フィルム性付与ポリマー（ａ）を得た。得
られたフィルム性付与ポリマー（ａ）のメタクリル酸共
重合量は１３重量％、重量平均分子量は５０，０００、
分子量の分散度は２．４であった。

【００４８】フィルム性付与ポリマー（ｂ）の合成 ４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸８．０ｇ、
メタクリル酸メチル６２．３ｇ、アクリル酸エチル２
９．７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液
Α１１．４ｇに溶解して得た以外はと同様の方法、条
件にてフィルム性付与ポリマー（ｂ）を得た。得られた
フィルム性付与ポリマー（ｂ）のメタクリル酸共重合量
は８重量％、重量平均分子量は５１，０００、分子量の
分散度は２．３であった。

【００４９】フィルム性付与ポリマー（ｃ）の合成 ４時間滴下反応させる溶液Ｂをメタクリル酸１８ｇ、メ
タクリル酸メチル５２．３ｇ、アクリル酸エチル２９．
７ｇ、アゾビスイソブチロニトリル１．３ｇを溶液Α１
１．４ｇに溶解して得た以外はと同様の方法、条件に
てフィルム性付与ポリマー（ｃ）を得た。得られたフィ
ルム性付与ポリマー（ｃ）のメタクリル酸共重合量は、
１８重量％、重量平均分子量は４９，０００、分子量の
分散度は２．４であった。

【００５０】フィルム性付与ポリマー（ｄ）の合成 溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．５
ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．
０５ｇとする以外はと同様の方法、条件にてフィルム
性付与ポリマー（ｄ）を得た。得られたフィルム性付与
ポリマー（ｄ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、
重量平均分子量は８２，０００、分子量の分散度は２．
５であった。

【００５１】フィルム性付与ポリマー（ｅ）の合成 溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を５．３
ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロニトリル含量を０．
５ｇとする以外はと同様の方法、条件にてフィルム性
付与ポリマー（ｅ）を得た。得られたフィルム性付与ポ
リマー（ｅ）のメタクリル酸共重合量は１３重量％、重
量平均分子量は２５，０００、分子量の分散度は２．３
であった。

【００５２】フィルム性付与ポリマー（ｆ）の合成 合成温度を７０℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニ
トリル含量を１．０ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロ
ニトリル含量を０．１ｇとする以外はと同様の方法、
条件にてフィルム性付与ポリマー（ｆ）を得た。得られ
たフィルム性付与ポリマー（ｆ）のメタクリル酸共重合
量は１３重量％、重量平均分子量は、５１，０００、分
子量の分散度は１．７であった。

【００５３】フィルム性付与ポリマー（ｇ）の合成 合成温度を９５℃とし溶液Ｂ中のアゾビスイソブチロニ
トリル含量を１．６ｇ、溶液Ｃ中のアゾビスイソブチロ
ニトリル含量を０．２０ｇとする以外はと同様の方
法、条件にてフィルム性付与ポリマー（ｇ）を得た。得
られたフィルム性付与ポリマー（ｇ）のメタクリル酸共
重合量は、１３重量％、重量平均分子量は５０，００
０、分子量の分散度は３．３であった。

【００５４】感光性エレメント作製方法及び特性評価 表１及び表２に示す組成の感光性樹脂組成物溶液を厚み
１６μｍを有するポリエチレンテレフタレートフィルム
（東レ（株）製ルミラー（登録商標））に乾燥後膜厚が
３０μｍとなるように塗工、乾燥し、厚み２５μｍのポ
リエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを得
た。得られた感光性エレメントからポリエチレンフィル
ムを剥離しながらその感光層面を、スコッチブライト
（登録商標）バフロール（住友３Ｍ製）により研磨、乾
燥し洗浄した銅張積層板の銅面上に、日立高温ラミネー
ターを用い連続的に積層して試験片を得た。積層条件を
表３に示す。

【００５５】試験片に２１段階ステップタブレット及び
密着、解像テストパターンを介し、超高圧水銀灯によ
り、４０ｍＪ／ｃｍ²で露光した。１０分放置後ポリエ
チレンテレフタレートフィルムを剥離し、３０℃、１重
量％炭酸ソーダ水溶液で最少現像時間×２．０の現像時
間で現像し、ステップタブレットの硬化段数及びレジス
トの密着性、解像度を読みとった。最小現像時間とは、
未硬化部のレジストを溶解除去するために必要とする最
小の時間を意味する。結果を表４に示す。表４中、Ｌは
レジストのライン幅を意味し、Ｓはレジストとレジスト
の間のスペースの幅を意味する。

【００５６】また、３．２ｍｍφのスルーホールを有す
る銅張積層板に前記同様の方法にて感光性エレメントを
積層し、無色透明の１７５μｍＰＥＴフィルムを介し、
前記同様の方法にて露光、現像した。その後２．０ｍｍ
φの鋼棒をスルーホール上のフィルム上に押しつけ（変
位速度２ｃｍ／分）、フィルムが破断する強度（レジス
トの膜強度）を測定した。その結果を表４に示す。

【００５７】着色性は、現像後のレジストパターンと銅
とのコントラストを目視により判別し、結果を表４に示
した。表４中、○はコントラストが良好、×はコントラ
ストが低く、所望のパターンが所望の位置に正確に形成
されているか否かを確認することが困難であることを意
味する。

【００５８】

【表１】

【００５９】

【表２】

【００６０】

【表３】

【００６１】

【表４】 表４から明らかなように、本発明の感光性樹脂組成物及
びこれを用いた感光性エレメントは他に比較し、特に優
れた密着性、解像性及び膜強度を有する。

【００６２】

【発明の効果】本発明によりプリント配線板の製造、金
属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめ
っきレジストとして、特に優れた密着性、解像性及び膜
強度を有する感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性
エレメントが得られた。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５１２ 7/027 ５０２ 7/027 ５０２ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ 3/18 3/18 Ｄ (72)発明者 南 好隆 茨城県日立市東町４丁目13番１号 日立 化成工業株式会社 山崎工場内 (56)参考文献 特開 平４−333846（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−287486（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−88345（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−271027（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−93063（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （Ａ）（メタ）アクリル酸 １０〜１５
   重量％及び一般式［Ｉ］で表される化合物８５〜９０重
   量％を共重合成分として共重合して得られる重量平均分
   子量が３０，０００〜７０，０００、重量平均分子量／
   数平均分子量の値（分子量の分散度）が２．０〜３．０
   のフィルム性付与ポリマー５０〜７０重量部、 【化１】 （式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を表し、Ｒ²は炭素
   数１〜１２のアルキル基を表す。） （Ｂ）一般式［ＩＩ］で表される少なくとも１種のエチ
   レン性不飽和化合物を必須成分として含み、常圧におけ
   る沸点が１００℃以上のエチレン性不飽和化合物３０〜
   ５０重量部（但し、（Ａ）成分と（Ｂ）成分との総量が
   １００重量部となるようにする。）、 【化２】 （式中、Ｒ³及びＲ⁴はそれぞれ独立に水素原子又はメチ
   ル基を表し、Ａ、Ｂ、Ｘ及びＹはそれぞれ独立に 【化３】 を表し、ｋ、ｌ、ｍ及びｎはそれぞれ独立に１〜５の整
   数を表す。） （Ｃ）光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１
   ００重量部に対して０．５〜１０重量部及び （Ｄ）顔料又は染料を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１
   ００重量部に対して０．０１〜３．０重量部を含有して
   なる感光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥し て得ら
   れる感光性エレメント。
2. 【請求項２】 一般式［ＩＩ］で表されるエチレン性不
   飽和化合物が、２，２−ビス（４−メタクリロキシペン
   タエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−メ
   タクリロキシペンタプロポキシフェニル）プロパン、
   ２，２−ビス（４−メタクリロキシモノエトキシテトラ
   プロポキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−メ
   タクリロキシジエトキシトリプロポキシフェニル）プロ
   パン、２，２−ビス（４−メタクリロキシトリエトキシ
   ジプロポキシフェニル）プロパン又は２，２−ビス（４
   −メタクリロキシテトラエトキシモノプロポキシ）プロ
   パンである請求項１に記載の感光性エレメント。