JP3452420B2

JP3452420B2 - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性フィルム

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Publication number: JP3452420B2
Application number: JP09535795A
Authority: JP
Inventors: 好隆南
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd; Showa Denko Materials Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1995-04-20
Filing date: 1995-04-20
Publication date: 2003-09-29
Anticipated expiration: 2018-09-29
Also published as: JPH08292568A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、印刷回路板の製造に用いられるレ
ジストとして、感光性樹脂組成物が広く用いられてお
り、この感光性樹脂組成物を支持体上に積層した感光性
フィルムが広く用いられており、これらの感光性フィル
ムは、未硬化部をアルカリ性水溶液で除去するアルカリ
現像型が主流となっている。この感光性フィルムは、研
磨や薬品処理した印刷回路板用基板に、感光層を積層
し、所望のネガマスクを通して露光した後、支持体を除
去し、０．５〜３重量％のアルカリ性水溶液（炭酸ナト
リウム水溶液等）を用いて現像し、基板上にレジスト画
像を形成する方法で使用される。印刷回路板を製造する
場合には、表面に銅層を有する基板を用い、この基板上
に上記のようにしてレジスト画像を形成し、塩化第二銅
水溶液をスプレーし、レジスト画像で保護されていない
銅層を溶解することにより所望の銅回路を形成する。

【０００３】この種の感光性樹脂組成物又は感光性フィ
ルムは、特開昭５８−１１４２号公報、特開昭５８−８
８７４１号公報等に開示されているが、これらは、近年
のレジスト材料への接着力に対する高い要求を充分には
満足していない。つまり、細線を塩化第二銅水溶液でエ
ッチングした際に、基材と搬送ロールとの接触等によ
り、レジストの浮き、エッチング液のもぐり込み等の問
題が発生している。また、細線の接着性を向上させよう
とすると、解像度の劣化があり、両立するものはなかっ
た。そこで、近年の印刷回路板の高密度化に伴い、銅回
路が狭小化し、これに伴ってレジストと銅の接着力の強
化及びアルカリ水溶液で現像する際のレジスト解像度の
向上が求められている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の技術の問題点を解消し、銅との接着力、細線の残存
性、解像度等が良好な感光性樹脂組成物及びこれを用い
た感光性フィルムを提供するものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、（Ａ）エチレ
ン性不飽和化合物、（Ｂ）重量平均分子量が２０，００
０〜３００，０００のカルボキシル基を有する高分子化
合物及び（Ｃ）活性線により遊離ラジカルを生成する光
開始剤を含有してなる、アルカリ性水溶液に対して可溶
又は膨潤可能な感光性樹脂組成物において、（Ａ）エチ
レン性不飽和化合物中に、一般式（Ｉ）

【化３】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、Ｘは

【化４】（式中、Ｒ²は水素原子又はメチル基を示す）又はこれ
らの混合物を示し、ｎは１〜１４の正の整数である）で
表される化合物を含有する感光性樹脂組成物及び前記感
光性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性
フィルムに関する。

【０００６】本発明における（Ａ）エチレン性不飽和化
合物としては、常圧で沸点が１００℃以上である化合物
が好ましく、上記一般式（Ｉ）で表される化合物を含有
することが必須である。

【０００７】上記一般式（Ｉ）で表される化合物として
は、例えば、イソプロペニルジメチルベンジルイソシア
ネートと、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート
〔（メタ）アクリレートは、メタクリレート及びアクリ
レートを意味する。以下同様〕、２−ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコール
（メタ）アクリレート又はポリエチレングリコール（メ
タ）アクリレート等とのウレタン化反応生成物などか挙
げられる。イソプロペニルジメチルベンジルイソシアネ
ートとしては、例えば、３−イソプロペニル−α、α−
ジメチルベンジルイソシアネート、４−イソプロペニル
−α、α−ジメチルベンジルイソシアネート等が挙げら
れる。また、ウレタン化反応としては、例えば、イソプ
ロペニルジメチルベンジルイソシアネートに、２−ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレートと、触媒（例えば、ラウリ
ン酸ジ−ｎ−ブチル錫等）との混合物を、３０〜９０℃
の条件下で滴下し、反応させる方法などが挙げられる。

【０００８】本発明における（Ａ）成分には、前記一般
式（Ｉ）で表される化合物と共に、他のエチレン性不飽
和化合物を含有することができる。他のエチレン性不飽
和化合物としては、特に制限はなく、例えば、多価アル
コールにα，β−不飽和カルボン酸を付加して得られる
化合物（テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレー
ト、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テ
トラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テト
ラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ポリ
プロピレングリコール（メタ）アクリレート、ジペンタ
エリトリットペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエ
リトリットヘキサ（メタ）アクリレート等）、グリシジ
ル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を付加して
得られる化合物（トリメチロールプロパントリグリシジ
ルエーテルトリ（メタ）アクリレート、ビスフェノール
Ａジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート等）、
多価カルボン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレ
ン性不飽和基を有する物質（β−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート等）とのエステル化物、（メタ）アク
リル酸〔（メタ）アクリル酸は、アクリル酸及びメタア
クリル酸を意味する。以下同様〕のアルキルエステル
（（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリ
ル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステ
ル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル
等）、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２
価アルコール及び２価アルコールの（メタ）アクリル酸
のモノエステルを反応させて得られるウレタンジ（メ
タ）アクリレート化合物、ビスフェノールＡ、アルキレ
ングリコール及び（メタ）アクリル酸の付加物、β−フ
ェノキシエトキシエチルアクリレートなどが挙げられ
る。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて使用
される。

【０００９】本発明における（Ｂ）重量平均分子量（例
えば、ＧＰＣで測定し、ポリスチレン換算したもの）が
２０，０００〜３００，０００のカルボキシル基を有す
る高分子化合物は、重量平均分子量が２０，０００〜３
００，０００であることが必須である。重量平均分子量
が、２０，０００未満であると、機械強度が劣り、３０
０，０００を超えると、アルカリ現像性が劣る。なお、
重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラ
フィーによって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用
いて換算した値である。また、本発明における（Ｂ）成
分は、カルボキシル基を有することが必須である。
（Ｂ）成分中のカルボキシル基含有率としては、１５〜
５０モル％であることが好ましい。このカルボキシル基
含有率が、１５モル％未満であると、アルカリ現像性が
劣る傾向があり、５０モル％を超えると、アルカリ水溶
液への耐性が劣る傾向がある。また、本発明における
（Ｂ）成分は、アルカリ性水溶液に可溶又は膨潤可能で
あることが好ましい。

【００１０】本発明における（Ｂ）成分としては、例え
ば、ビニル共重合体、スチレン／マレイン酸共重合体の
ハーフエステル等が挙げられる。ビニル共重合体に用い
られる共重合性単量体としては、例えば、（メタ）アク
リル酸メチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）ア
クリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ラウ
リル、スチレン、α−メチルスチレン、ビニルトルエ
ン、Ｎ−ビニルピロリドン、２−ヒドロキシエチル（メ
タ）アクリレート、アクリルアミド、メタアクリルアミ
ド、アクリロニトリル、メタアクリロニトリル、ジメチ
ルアミノエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリ
ル酸等が挙げられ、これらは単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。

【００１１】本発明における（Ｃ）活性線により遊離ラ
ジカルを生成する光開始剤としては、例えば、ベンゾフ
ェノン、４，４′−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェ
ノン（ミヒラーケトン）、４，４′−ビス（ジエチルア
ミノ）ベンゾフェノン、ジメチルアミノ安息香酸エチル
エステル、ジエチルアミノ安息香酸エチルエステル、ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミルエステル、２−クロル
チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２
−プロピルチオキサントン等が挙げられる。これらは単
独で又は２種類以上を組み合わせて使用される。

【００１２】本発明の感光性樹脂組成物は、上記（Ａ）
成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を必須成分とし、アル
カリ性水溶液に可溶又は膨潤可能である必要がある。

【００１３】本発明の感光性樹脂組成物における（Ａ）
成分の配合量は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成
分の総量が１００重量部に対して、２０〜６０重量部と
することが好ましい。この配合量が、２０重量部未満で
あると、充分な硬化性が得られない傾向があり、６０重
量部を超えると、エッジフュージョン等が発生する傾向
がある。また、（Ａ）成分中の上記一般式（Ｉ）で表さ
れる化合物の配合量は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び
（Ｃ）成分の総量が１００重量部に対して、３〜６０重
量部とすることが好ましく、５〜２０重量部とすること
がより好ましい。この配合量が、３重量部未満である
と、密着性や解像度が低下する傾向があり、６０重量部
を超えると、剥離時間が長くなる傾向がある。

【００１４】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｂ）
成分の配合量は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成
分の総量が１００重量部に対して、４０〜８０重量部と
することが好ましい。この配合量が、４０重量部未満で
あると、現像性の悪化や感光性樹脂組成物層の柔軟性が
増加する傾向があり、積層体とする際にエッジフュージ
ョン等が発生する傾向があり、８０重量部を超えると、
感光性が低下する傾向がある。

【００１５】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）
成分の配合量は、（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成
分の総量が１００重量部に対して、０．０１〜３０重量
部とすることが好ましい。この配合量が、０．０１重量
部未満であると、感光度が低下する傾向があり、３０重
量部を超えると、機械強度が低下する傾向がある。

【００１６】本発明の感光性樹脂組成物には、上記の必
須成分の他に、さらに副次的成分を含有することができ
る。副次的成分としては、例えば、熱重合防止剤、染
料、顔料、塗工性向上剤等が挙げられ、これらのは、通
常の感光性樹脂組成物と同様の考慮の下に選択すること
ができる。また、副次的成分として、本発明の目的を損
なわない範囲で少量のエポキシ樹脂を含有することもで
きる。

【００１７】本発明の感光性フィルムは、本発明の感光
性樹脂組成物を、支持体上に塗布、乾燥することにより
得られる。支持体としては、重合体フィルム（ポリエチ
レンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン等
からなるフィルム）が用いられ、ポリエチレンテレフタ
レートフィルムが好ましい。これらの重合体フィルム
は、後に感光層から除去可能でなくてはならないため、
除去が不可能となるような材質であったり、表面処理が
施されたものであってはならない。また、これらの重合
体フィルムの厚さは、５〜１００μｍとすることが好ま
しく、１０〜３０μｍとすることがより好ましい。な
お、これらの重合体フィルムは、一つを感光層の支持フ
ィルムとして、他の一つを感光層の保護フィルムとして
感光層の両面に積層してもよい。

【００１８】本発明の感光性フィルムの製造法として
は、上記一般式（Ｉ）で表される化合物を含む（Ａ）成
分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を含む感光性樹脂組成物
を、溶剤に均一に溶解する。この時に使用する溶剤とし
ては、感光性樹脂組成物を溶解する溶剤であればよく、
例えば、ケトン系溶剤（アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン等）、エーテル系溶剤（メ
チルセロソルブ、エチルセロソルブ等）、塩素化炭化水
素系溶剤（ジクロルメタン、クロロホルム等）、アルコ
ール系溶剤（メチルアルコール、エチルアルコール等）
などが挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組
み合わせて使用される。

【００１９】次いで、溶液状となった感光性樹脂組成物
を支持体としての重合体フィルム上に均一に塗布した
後、加熱及び／又は熱風吹き付けにより溶剤を除去し、
乾燥被膜とする。この乾燥被膜の厚さには、特に制限は
なく、１０〜１００μｍとすることが好ましく、２０〜
６０μｍとすることがより好ましい。このようにして得
られる感光層と重合体フィルムとの２層からなる感光性
フィルム（積層体）は、そのまま又は感光層の他の面に
保護フィルムをさらに積層して、ロール状に巻き取って
貯蔵される。

【００２０】本発明の感光性フィルムを用いてフォトレ
ジスト画像を製造する方法としては、前記保護フィルム
が存在している場合には、保護フィルムを除去した後、
感光層を加熱しながら基板に圧着させることにより積層
する。積層される表面は、通常、金属面であるが、特に
制限はない。感光層の加熱温度としては、特に制限はな
く、９０〜１３０℃とすることが好ましい。また、感光
層の圧着圧力としては、特に制限はなく、３kg/cm²とす
ることが好ましい。本発明の感光性フィルムを用いる場
合には、感光層を前記のように加熱すれば、予め基板を
予熱処理することは必要ではないが、積層性をさらに向
上させるために、基板の予熱処理を行うこともできる。

【００２１】このようにして積層が完了した感光層は、
次いで、ネガフィルム又はポジフィルムを用いて活性光
に画像的に露光される。この際感光層上に存在する重合
体フィルムが透明の場合には、そのまま露光できるが、
不透明の場合には、除去する必要がある。感光層の保護
という点からは、重合体フィルムは透明で、この重合体
フィルムを残存させたまま、それを通して露光すること
が好ましい。活性光としては、公知の活性光源、例え
ば、カーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアー
ク、その他から発生する光が用いられる。感光層に含ま
れる光開始剤の感受性は、通常、紫外線領域において最
大であるので、その場合は活性光源は紫外線を有効に放
射するものが好ましい。また、光開始剤が可視光線に感
受するもの、例えば、９，１０−フェナンスレンキノン
等である場合には、活性光として可視光が用いられ、そ
の光源としては、前記のもの以外に写真用フラッド電
球、太陽ランプ等も使用できる。

【００２２】露光後、感光層上に重合体フィルムが存在
している場合には、これを除去した後、アルカリ水溶液
を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシン
グ、スクラッビング等の公知方法により未露光部を除去
して現像する。アルカリ水溶液の塩基としては、例え
ば、水酸化アルカリ（リチウム、ナトリウム又はカリウ
ムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム、ナトリウ
ム又はカリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカリ金
属リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、
アルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピ
ロリン酸カリウム等）などが用いられ、特に、炭酸ナト
リウムの水溶液が好ましい。現像に用いるアルカリ水溶
液のpHは、９〜１１の範囲であることが好ましく、ま
た、その温度は感光層の現像性に合わせて調節すること
ができる。また、このアルカリ水溶液中に、界面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させることもできる。

【００２３】さらに、印刷配線板を製造する方法として
は、現像されたフォトレジスト画像をマスクとして露出
している基板の表面をエッチング、めっき等の公知方法
で処理する。次いで、フォトレジスト画像は、通常、現
像に用いたアルカリ水溶液よりさらに強アルカリ性の水
溶液で剥離される。この時に使用される強アルカリ性の
水溶液としては、例えば、１〜５重量％の水酸化ナトリ
ウム水溶液等が挙げられる。

【００２４】

【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。な
お、下記例中の「％」は、特に断らない限り「重量％」
を意味するものとする。

【００２５】合成例１３−イソプロペニル−α，α−ジメチルイソシアネート
６７．１ｇに、２−ヒドロキシエチルメタクリレート４
３．１ｇとラウリル酸−ｎ−ブチル錫０．０７ｇの混合
物を、液温が４０℃で滴下し、反応させた。滴下終了
後、４０℃で３時間撹拌し、一晩放置して、化合物（Ａ
−１）（ウレタンメタクリレートモノマ）（一般式
（Ｉ）において、Ｒ¹はメチル基、Ｒ²は水素原子、ｎは
１の化合物）を得た。

【００２６】合成例２合成例１で使用した、２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートに代えて、ポリプロピレングリコールモノメタクリ
レート（商品名ブレンマーＰＰ−１０００、日本油脂
(株)製）を３００ｇ使用した以外は、合成例１と同様に
反応させて、化合物（Ａ−２）（一般式（Ｉ）におい
て、Ｒ¹はメチル基、Ｒ²は水素原子、ｎは５〜６の化合
物）を得た。

【００２７】合成例３合成例１で使用した、２−ヒドロキシエチルメタクリレ
ートに代えて、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート
（商品名ＨＰＡ、大阪有機工業(株)製、１級と２級のア
ルコールの比が３０：７０の混合物）を３９ｇ使用した
以外は、合成例１と同様に反応させて、化合物（Ａ−
３）（一般式（Ｉ）において、Ｒ¹はメチル基、Ｒ²はメ
チル基、ｎは１の化合物）を得た。

【００２８】実施例１表１の材料を配合し、感光性樹脂組成物の溶液（Ｃ−
１）を得た。

【表１】

【００２９】図１に示す装置を用いて上記配合の感光性
樹脂組成物の溶液を、２５μｍの厚さのポリエチレンテ
レフタレートフィルム１２上に均一に塗布し、１００℃
の熱風対流式乾燥器７で３分間乾燥し、溶剤を除去し
た。得られた感光性樹脂組成物の層の乾燥後の厚さは、
５０μｍであった。感光性樹脂組成物の層の上に、図１
に示したように、厚さ２５μｍのポリエチレンフィルム
１３を保護フィルムとして貼り合わせ、感光性フィルム
を得た。なお、図１において、１はポリエチレンテレフ
タレートフィルム繰り出しロール、２、３及び４はロー
ル、５はナイフ、８はポリエチレンフィルム繰り出しロ
ール、９及び１０はロール、１１は感光性エレメント巻
き取りロールである。

【００３０】銅板を両面に積層したガラスエポキシ材で
ある印刷配線板用基板（日立化成工業(株)製、商品名Ｍ
ＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、クレンザーで研磨し、水
洗し、空気流で乾燥した。この基板（２３℃）に日立化
成工業(株)製ラミネーター（型式ＨＬＭ−１５００）を
用いて、積層温度が１１０℃及び積層圧力が３kg/cm
²で、前記感光性フィルムを積層した。その積層直後に
感光層を手で引っ張ったが、感光層は基板によく密着し
ており、剥がれることはなかった。次いで、得られた試
料にストーファーの２１段ステップタブレットと１００
μｍの直線状のラインのネガを使用して、３kWの高圧水
銀灯に、９０cmの距離から２０秒間露光を行った。

【００３１】現像は、ポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを除去した後、３０℃の１％炭酸ナトリウム水溶液
を、６０秒間スプレーすることにより行った。現像槽内
の１／２で現像は完了していた。また、１００μｍの直
線状ラインは密着していた。現像後の残存ステッブタブ
レット段数及びレジスト形状を電子顕微鏡で４００倍に
拡大して観察し、結果を表３に示した。

【００３２】次に、塩化第二銅エッチング液（塩化第二
銅２００g/l及び塩酸２００g/lを含む水溶液）を５０℃
に加温し、スプレー式エッチングマシンにより、２．５
kgf/cm²のスプレー圧力でエッチングを行った。このエ
ッチングした１００μｍのラインをカッターで傷をつ
け、さらに２０秒間エッチングしたところ、カッターで
傷をつけ、エッチング液のしみ込み状態から密着性を観
察し、結果を表３に示した。なお、密着性の評価結果
は、○：しみ込みなし、△：２０μｍ以下しみ込みあ
り、×：２０μｍを超えるしみ込みありとした。また、
ラインとスペースが１：１となるパターンを用いて、解
像度を評価し、結果を表３に示した。

【００３３】実施例２〜８実施例１で使用した、エチレン性不飽和化合物であるＢ
ＰＥ５００と化合物（Ａ−１）に代えて、表２に示す化
合物を使用した以外は、実施例１と同様に配合し、感光
性樹脂組成物の溶液をそれぞれ作成した。

【００３４】

【表２】

【００３５】次いで、実施例１と同様の工程により、そ
れぞれの感光性フィルムを作成し、積層、露光、現像を
行い、現像後の残存ステッブタブレット段数、レジスト
形状、密着性及び解像度を観察し、結果を表３に示し
た。

【００３６】実施例９実施例１で使用した、ベンゾフェノンに代えて、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾ
ール二量体（ＢＣＩＭ：保土ケ谷化学(株)製商品名）を
４重量部使用した以外は、実施例１と同様に配合し、感
光性樹脂組成物の溶液を作成した。次いで、実施例１と
同様の工程により、感光性フィルムを作成し、積層、露
光、現像を行い、現像後の残存ステッブタブレット段
数、レジスト形状、密着性及び解像度を観察し、結果を
表４に示した。

【００３７】実施例１０実施例１で使用した、共重合体に代えて、スチレン／メ
タクリル酸メチル／アクリル酸ブチル／メタクリル酸＝
１５／４５／１５／２５（％）の共重合体（重量平均分
子量約７０，０００）の４０％メチルセロソルブ溶液を
１５０重量部使用した以外は、実施例１と同様に配合
し、感光性樹脂組成物の溶液を作成した。次いで、実施
例１と同様の工程により、感光性フィルムを作成し、積
層、露光、現像を行い、現像後の残存ステッブタブレッ
ト段数、レジスト形状、密着性及び解像度を観察し、結
果を表４に示した。

【００３８】比較例１実施例１で使用した、化合物（Ａ−１）を除き、ＢＰＥ
５００を４０重量部とした以外は、実施例１と同様に配
合し、感光性樹脂組成物の溶液を作成した。次いで、実
施例１と同様の工程により、感光性フィルムを作成し、
積層、露光、現像を行い、現像後の残存ステッブタブレ
ット段数、レジスト形状、密着性及び解像度を観察し、
結果を表４に示した。

【００３９】比較例２実施例１で使用した、化合物（Ａ−１）とＢＰＥ５００
に代えて、ＡＰＧ４００を４０重量部使用した以外は、
実施例１と同様に配合し、感光性樹脂組成物の溶液を作
成した。次いで、実施例１と同様の工程により、感光性
フィルムを作成し、積層、露光、現像を行い、現像後の
残存ステッブタブレット段数、レジスト形状、密着性及
び解像度を観察し、結果を表４に示した。

【００４０】

【表３】

【００４１】

【表４】

【００４２】

【発明の効果】請求項１記載の感光性樹脂組成物は、銅
との接着力、細線の残存性、解像度等が優れたものであ
る。請求項２記載の感光性樹脂組成物は、請求項１記載
の感光性樹脂組成物の効果を奏し、さらに光感度、膜の
強度等が優れる。請求項３記載の感光性樹脂組成物は、
請求項２記載の感光性樹脂組成物の効果を奏し、さらに
現像性が優れる。請求項４記載の感光性フィルムは、銅
との接着力、細線の残存性、解像度等が優れ、作業性が
良好なものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例及び比較例で用いた感光性フィルムの製
造装置の略示系統図である。

【符号の説明】

１ポリエチレンテレフタレートフィルム繰り出しロ
ール２、３、４ロール５ナイフ６感光性樹脂組成物の溶液７乾燥器８ポリエチレンフィルム繰り出しロール９、１０ロール１１感光性フィルム巻き取りロール１２ポリエチレンテレフタレートフィルム１３ポリエチレンフィルム

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）エチレン性不飽和化合物、（Ｂ）
重量平均分子量が２０，０００〜３００，０００のカル
ボキシル基を有する高分子化合物及び（Ｃ）活性線によ
り遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有してなる、ア
ルカリ性水溶液に対して可溶又は膨潤可能な感光性樹脂
組成物において、（Ａ）エチレン性不飽和化合物中に、
一般式（Ｉ）【化１】（式中、Ｒ¹は水素原子又はメチル基を示し、Ｘは【化２】（式中、Ｒ²は水素原子又はメチル基を示す）又はこれ
らの混合物を示し、ｎは１〜１４の正の整数である）で
表される化合物を含有する感光性樹脂組成物。
【請求項２】（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分
の総量を１００重量部として、（Ａ）成分が２０〜６０
重量部（一般式（Ｉ）で表される化合物が３〜６０重量
部）、（Ｂ）成分が４０〜８０重量部及び（Ｃ）成分を
０．０１〜３０重量部である請求項１記載の感光性樹脂
組成物。
【請求項３】（Ｂ）成分のカルボキシル基含有率が、
１５〜５０モル％である請求項１又は２記載の感光性樹
脂組成物。
【請求項４】請求項１、２又は３記載の感光性樹脂組
成物を支持体上に塗布、乾燥してなる感光性フィルム。