JPS61133715A - 周波数調整可能な圧電素子 - Google Patents
周波数調整可能な圧電素子Info
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- JPS61133715A JPS61133715A JP59256295A JP25629584A JPS61133715A JP S61133715 A JPS61133715 A JP S61133715A JP 59256295 A JP59256295 A JP 59256295A JP 25629584 A JP25629584 A JP 25629584A JP S61133715 A JPS61133715 A JP S61133715A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
この発明は、セラミックグリーンシートが相互に厚み方
向に重なり合うように内部電極を介して積層され、一体
に焼結されてなる焼結体を用いた積層型圧電素子の構造
の改良に関する。
向に重なり合うように内部電極を介して積層され、一体
に焼結されてなる焼結体を用いた積層型圧電素子の構造
の改良に関する。
［従来の技術］
従来より、径方向振動を利用する圧電素子として、第２
図および第３図に斜視図および断面図で示す平板型圧電
素子１が用いられてきている。ここでは、分極処理され
た圧電セラミックス２の上面および下面に電極３，４が
形成されており、電ＶｉＡ３．４から電圧を印加するこ
とにより所望の拡がり振動が取出され得る。ところで、
この種の平板型圧電素子１では、共振周波数の調整は、
通常、端面すなわち外周面を研磨することにより行なう
ことが可能である。
図および第３図に斜視図および断面図で示す平板型圧電
素子１が用いられてきている。ここでは、分極処理され
た圧電セラミックス２の上面および下面に電極３，４が
形成されており、電ＶｉＡ３．４から電圧を印加するこ
とにより所望の拡がり振動が取出され得る。ところで、
この種の平板型圧電素子１では、共振周波数の調整は、
通常、端面すなわち外周面を研磨することにより行なう
ことが可能である。
しかしながら、たとえばラダーフィルタの第２共振子用
として用いる場合のように、インピーダンスを低くする
ことが要求される場合には、第２図および第３図に示し
た圧電素子１は不十分なものであった。
として用いる場合のように、インピーダンスを低くする
ことが要求される場合には、第２図および第３図に示し
た圧電素子１は不十分なものであった。
そこで、第５図に略図的断面図で示すような積層型の圧
電素子１１が近年開発されている。ここでは、複数のセ
ラミック層１１ａ・・・１１０が、内部電極１３ｂ、１
３Ｃを介して積層されて一体に焼成されている。なお、
電極ｉ３ａ、１３ｄは、内部電極１３ｂ、１３ｃと同時
に、あるいは焼成後に形成され得る。電極１３ａ・・・
１３ｄは、外部電極１５．１６により、それぞれ、１層
おきに電気的に接続されている。よって、電極１５．１
６より電圧を印加し、第５図の矢印で示す方向に各セラ
ミック層１１ａ・・・１１Ｃを分極し、しかる後外部電
極１５．１６より電圧を印加することにより重なり合っ
た各セラミック層１１ａ・・・１１Ｃを全体に伸縮させ
ることが可能とされている。
電素子１１が近年開発されている。ここでは、複数のセ
ラミック層１１ａ・・・１１０が、内部電極１３ｂ、１
３Ｃを介して積層されて一体に焼成されている。なお、
電極ｉ３ａ、１３ｄは、内部電極１３ｂ、１３ｃと同時
に、あるいは焼成後に形成され得る。電極１３ａ・・・
１３ｄは、外部電極１５．１６により、それぞれ、１層
おきに電気的に接続されている。よって、電極１５．１
６より電圧を印加し、第５図の矢印で示す方向に各セラ
ミック層１１ａ・・・１１Ｃを分極し、しかる後外部電
極１５．１６より電圧を印加することにより重なり合っ
た各セラミック層１１ａ・・・１１Ｃを全体に伸縮させ
ることが可能とされている。
第４図は、第５図に示したような積層型圧電素子の具体
的構造の一例を示す概略斜視図である。
的構造の一例を示す概略斜視図である。
なお、この具体例をラダー型フィルタの第２共振子用と
して用いることは未だ公知ではないものであることを指
摘しておく。ここでは、電極１３ａとして、焼結体の端
面まで延びる突出部２１と、中央の主領域２２とからな
るものが用いられている。特に図示はしないが、より下
側に配置される各電極１３ｂ、１３ｃ、１３ｄについて
も、同様の形状の電極が用いられており、したがって突
出部が、１層おきに第４図の左右方向端面に引出されて
いる。このように１Ｆ１４おきに引出された各電極１３
ａ・・・１３ｄの突出部は、それぞれ、外部電極１５．
１６により電気的に接続されている。
して用いることは未だ公知ではないものであることを指
摘しておく。ここでは、電極１３ａとして、焼結体の端
面まで延びる突出部２１と、中央の主領域２２とからな
るものが用いられている。特に図示はしないが、より下
側に配置される各電極１３ｂ、１３ｃ、１３ｄについて
も、同様の形状の電極が用いられており、したがって突
出部が、１層おきに第４図の左右方向端面に引出されて
いる。このように１Ｆ１４おきに引出された各電極１３
ａ・・・１３ｄの突出部は、それぞれ、外部電極１５．
１６により電気的に接続されている。
［発明が解決しようとする問題点］
上述したような積層型の圧電素子にあっては、従来の平
板型圧電素子１に比べて、同一の大きさでインピーダン
スを大きく低減することが可能である。しかしながら、
所望の共振周波数に撮動させるべく周波数調整を行なう
に際しては、焼結体の端面の研磨による方法を採用する
ことはできない。すなわら、第４図および第５図に示し
たような８１層型圧電素子１１にあっては、外部電極１
５゜１６が焼結９体端面に形成されているため、端面を
研磨すると、該外部電極１５．１６が除去されてしまい
、共振子としての機能を果たし１りないという欠点があ
った。
板型圧電素子１に比べて、同一の大きさでインピーダン
スを大きく低減することが可能である。しかしながら、
所望の共振周波数に撮動させるべく周波数調整を行なう
に際しては、焼結体の端面の研磨による方法を採用する
ことはできない。すなわら、第４図および第５図に示し
たような８１層型圧電素子１１にあっては、外部電極１
５゜１６が焼結９体端面に形成されているため、端面を
研磨すると、該外部電極１５．１６が除去されてしまい
、共振子としての機能を果たし１りないという欠点があ
った。
それゆえに、この発明の目的は、容易にかつ確実に周波
数調整が可能な積層型圧電素子を提供することにある。
数調整が可能な積層型圧電素子を提供することにある。
し問題点を解決するための手段［
この発明は、相互に厚み方向に重なり合うように内部電
極を介して積層され、一体に焼結されてなる焼結体を用
いた積層型圧電素子であって、積層方向から見たとぎに
、咳焼結体の外周部の少なくとも２以上の箇所に積層方
向に延びる切欠が形成されており、該切欠には接続され
るべき内部電極の端部のみが露出されており、かつ接続
されるべき内部電極同士を電気的に接続するための導電
部が形成されている、圧電素子である。なお、「内部電
極」なる用語は、本明細書中の以下の記載においては、
セラミック層に挾まれて形成されている電極のみならず
、焼結体の上下面に形成された電極をも含むものと定義
することにする。
極を介して積層され、一体に焼結されてなる焼結体を用
いた積層型圧電素子であって、積層方向から見たとぎに
、咳焼結体の外周部の少なくとも２以上の箇所に積層方
向に延びる切欠が形成されており、該切欠には接続され
るべき内部電極の端部のみが露出されており、かつ接続
されるべき内部電極同士を電気的に接続するための導電
部が形成されている、圧電素子である。なお、「内部電
極」なる用語は、本明細書中の以下の記載においては、
セラミック層に挾まれて形成されている電極のみならず
、焼結体の上下面に形成された電極をも含むものと定義
することにする。
内部電極の切欠に臨む端部は、該切欠の最大幅とほぼ等
しい幅で、該内部電極の中央の主領域から外側に向って
突出形成されており、該内部？１ｆｆｆｌの中央の主領
域は、突出形成された部分を除いては、切欠の奥行より
も中央側に寄せられて形成され１ｑる。
しい幅で、該内部電極の中央の主領域から外側に向って
突出形成されており、該内部？１ｆｆｆｌの中央の主領
域は、突出形成された部分を除いては、切欠の奥行より
も中央側に寄せられて形成され１ｑる。
また、この内部電極は、一層゛おきに同一の切欠にその
端部が露出されており、それによって１層おきに同一の
導電部により電気的に相互に接続され得る。
端部が露出されており、それによって１層おきに同一の
導電部により電気的に相互に接続され得る。
［作用］
この発明によっては、接続されるべき内部電極を電気的
に接続される導電部が切欠内に形成されており、したが
って該導電部の厚み分だけ該切欠の形成された側の端面
を研磨したとしても、各内部電極間の電気的接続は確保
され得る。
に接続される導電部が切欠内に形成されており、したが
って該導電部の厚み分だけ該切欠の形成された側の端面
を研磨したとしても、各内部電極間の電気的接続は確保
され得る。
［実施例の説明コ
第１図は、この発明の一実施例の概略斜視図であり、第
６図は第１図に示した実施例を１ｑるのに用いられる複
数のセラミックグリーンシートを示す平面図である。
６図は第１図に示した実施例を１ｑるのに用いられる複
数のセラミックグリーンシートを示す平面図である。
第６図に示びょうに、第１図に示す実施例を作成するに
際しては、３枚のセラミックグリーンシート３１ａ 、
３１ｂ 、３１ｃを準薙する。なお、各セラミックグリ
ーンシート３１ａ・・・３’１ ｃの一方面には内部電
極となる電極パターン３ ’２ ａ・・・３２Ｃが、そ
れぞれ、形成されている。ま夫、セラミックグリーンシ
ート３１Ｇの他方面には、セラミックグリーンシート３
１ｃの電極パターン３２Ｃ側から見たときに、第６図に
示すような形状の電極パターン３２ｄが形成されている
（ここでは、セラミックグリーンシート３１Ｃの上方か
ら見た電極パターン３２ｄの形状を示しているものであ
るため、セラミックグリーンシート３１ｃは想像線で描
かれている。）。
際しては、３枚のセラミックグリーンシート３１ａ 、
３１ｂ 、３１ｃを準薙する。なお、各セラミックグリ
ーンシート３１ａ・・・３’１ ｃの一方面には内部電
極となる電極パターン３ ’２ ａ・・・３２Ｃが、そ
れぞれ、形成されている。ま夫、セラミックグリーンシ
ート３１Ｇの他方面には、セラミックグリーンシート３
１ｃの電極パターン３２Ｃ側から見たときに、第６図に
示すような形状の電極パターン３２ｄが形成されている
（ここでは、セラミックグリーンシート３１Ｃの上方か
ら見た電極パターン３２ｄの形状を示しているものであ
るため、セラミックグリーンシート３１ｃは想像線で描
かれている。）。
ところで、各電極パターン３２ａ・・・３２ｄは、それ
ぞれ、セラミックグリーンシート３１ａ・・・３１Ｃの
一辺に延びる突出部３３ａ・・・３３ｄを有し、該突出
部３３ａ・・・３３（ｌ以外の主領域部分３４ａ・−３
４６は、セラミックグリーンシート３１ａ・・・３１ｃ
のいずれの辺にも至らないように中央側に寄せられて形
成されている。この寄せられた距離については、後述す
る。
ぞれ、セラミックグリーンシート３１ａ・・・３１Ｃの
一辺に延びる突出部３３ａ・・・３３ｄを有し、該突出
部３３ａ・・・３３（ｌ以外の主領域部分３４ａ・−３
４６は、セラミックグリーンシート３１ａ・・・３１ｃ
のいずれの辺にも至らないように中央側に寄せられて形
成されている。この寄せられた距離については、後述す
る。
上述のように準備された各セラミックグリーンシート３
１ａ・・・３１Ｃを、第６図に示した状態のままｍ層し
、同時に焼成することにより、内部電極３２ｂ、３２Ｃ
を介して積層された焼結体を得ることができる。
１ａ・・・３１Ｃを、第６図に示した状態のままｍ層し
、同時に焼成することにより、内部電極３２ｂ、３２Ｃ
を介して積層された焼結体を得ることができる。
次に、このようにして得られた焼結体の外周部において
積層方向に延びる１対の切欠が形成される。この切欠は
、第６図に破線で示すように、各電極パターン３２ａ・
・・３２ｄの突出部３３ａ・・・３３ｄｆｆｉ設けられ
ている位置、ならびに各セラミックグリーンシート３１
ａ・・・３１ｃにおいて該突出部が設けられている辺と
反対側の辺に形成される。
積層方向に延びる１対の切欠が形成される。この切欠は
、第６図に破線で示すように、各電極パターン３２ａ・
・・３２ｄの突出部３３ａ・・・３３ｄｆｆｉ設けられ
ている位置、ならびに各セラミックグリーンシート３１
ａ・・・３１ｃにおいて該突出部が設けられている辺と
反対側の辺に形成される。
すなわち、２個の切欠は、焼結体の対向する側面におい
て、それぞれ、積層方向に延びて形成されている。
て、それぞれ、積層方向に延びて形成されている。
ところで、この切欠の大きさは、たとえば第６図のセラ
ミックグリーンシート３１ａ上に破Ｉ！Ａで示すように
、最大幅が電極パターン３２ａの突出部３３ａの幅とほ
ぼ等しくなるように形成されている。したがって、焼結
体に切欠が形成された後には、該切欠に突出部３３ａの
端部が露出することになる。他方、該切欠の奥行長は、
第６図のセラミックグリーンシート３１ａに記されてい
る他の破線Ｂで示すように、電極パターン３２ａの主領
域３４ａが中央側に寄せられた距離× （第６図参照）
よりも短く選ばれている。したがって、切欠が形成され
た後においても、各電極パターン３２ａ・・・３２ｄの
突出部３３ａ・・・３３ｄ以外の部分すなわち主領域３
４ａ・・・３４ｄは、いずれも切欠には位置しないこと
になる。
ミックグリーンシート３１ａ上に破Ｉ！Ａで示すように
、最大幅が電極パターン３２ａの突出部３３ａの幅とほ
ぼ等しくなるように形成されている。したがって、焼結
体に切欠が形成された後には、該切欠に突出部３３ａの
端部が露出することになる。他方、該切欠の奥行長は、
第６図のセラミックグリーンシート３１ａに記されてい
る他の破線Ｂで示すように、電極パターン３２ａの主領
域３４ａが中央側に寄せられた距離× （第６図参照）
よりも短く選ばれている。したがって、切欠が形成され
た後においても、各電極パターン３２ａ・・・３２ｄの
突出部３３ａ・・・３３ｄ以外の部分すなわち主領域３
４ａ・・・３４ｄは、いずれも切欠には位置しないこと
になる。
上述のようにして切欠が形成された後、該切欠に、第１
図に示すように導電部３６．３７が形成される。導電部
３６．３７は、たとえば銀ペーストを焼付けることによ
り形成され１ｑる。このようにして得られた第１図に示
す実施例の断面図を、第７図に示す。第７図から明らか
なように、各内部電極３２ａ・・・３２ｄは、１層おき
に導電部３６゜３７に電気的に接続されていることがわ
かる。したがって、導電部３６．３７より電圧を印加し
て分ゆ処理することにより、第７図に矢印で示す方向に
、各セラミック層３１ａ・・・３１Ｇを分極処理するこ
とができ、また同様に導電部３６．３７を通して電圧を
印加すれば、第５図に示した従来の積層型圧電素子と同
様に拡がり振動を発生する。
図に示すように導電部３６．３７が形成される。導電部
３６．３７は、たとえば銀ペーストを焼付けることによ
り形成され１ｑる。このようにして得られた第１図に示
す実施例の断面図を、第７図に示す。第７図から明らか
なように、各内部電極３２ａ・・・３２ｄは、１層おき
に導電部３６゜３７に電気的に接続されていることがわ
かる。したがって、導電部３６．３７より電圧を印加し
て分ゆ処理することにより、第７図に矢印で示す方向に
、各セラミック層３１ａ・・・３１Ｇを分極処理するこ
とができ、また同様に導電部３６．３７を通して電圧を
印加すれば、第５図に示した従来の積層型圧電素子と同
様に拡がり振動を発生する。
ところで、第１図に示した実施例の圧電索子３１では、
各内部電極３２ａ・・・３２ｄを接続する機能を果たす
導電部３６．３７は、切欠内に形成されているので、該
導電部３６．３７を切欠内で厚く形成しておけば、該厚
みの分だけ側面を研磨したとしても、内部電極３２ａと
内部電極３２Ｃ１ならびに内部電極３２ｂと内部電極３
２ｄとの電気的接続は確保され得る。すなわち、第７図
において明瞭に図解されているように、外部電極となる
導電部３６．３７の厚み分だけ端面を研磨することが可
能とされている。よって、第４図および第５図に示した
従来の積層型圧電素子と異なり、端面研磨により容易に
周波数の調整を行なうことが可能であることがわかる。
各内部電極３２ａ・・・３２ｄを接続する機能を果たす
導電部３６．３７は、切欠内に形成されているので、該
導電部３６．３７を切欠内で厚く形成しておけば、該厚
みの分だけ側面を研磨したとしても、内部電極３２ａと
内部電極３２Ｃ１ならびに内部電極３２ｂと内部電極３
２ｄとの電気的接続は確保され得る。すなわち、第７図
において明瞭に図解されているように、外部電極となる
導電部３６．３７の厚み分だけ端面を研磨することが可
能とされている。よって、第４図および第５図に示した
従来の積層型圧電素子と異なり、端面研磨により容易に
周波数の調整を行なうことが可能であることがわかる。
第８図は、この発明の第２の実施例を示す概略斜視図で
あり、第９図は第８図に示した実施例の圧電素子を得る
のに用いる各電極パターンを示すための平面図である。
あり、第９図は第８図に示した実施例の圧電素子を得る
のに用いる各電極パターンを示すための平面図である。
第８図および第９図から明らかなように、ここでは各電
極パターン４２ａ・・・４２ｄに、それぞれ、２個の突
出部が形成されている。たとえば、電極パターン４２ａ
は、セラミックグリーンシート４１ａの互いに直交する
２辺に、それぞれ、突出部４３ａ、５３ａが形成されて
いる。同様に、他の電極パターン４２ｂ・・・４２ｄに
も、２個の突出部４３ｂ 、５３ｂ・・・４３ｄ 、５
３ｄが形成されている。なお、電極パターン４２ｄにつ
いては、第６図に示した電極パターン３２ｄと同様に、
セラミックグリーンシート４２ｃの上方から見た状態を
示すように描かれており、したがってセラミックグリー
ンシート４１Ｃを想像線で示しである。
極パターン４２ａ・・・４２ｄに、それぞれ、２個の突
出部が形成されている。たとえば、電極パターン４２ａ
は、セラミックグリーンシート４１ａの互いに直交する
２辺に、それぞれ、突出部４３ａ、５３ａが形成されて
いる。同様に、他の電極パターン４２ｂ・・・４２ｄに
も、２個の突出部４３ｂ 、５３ｂ・・・４３ｄ 、５
３ｄが形成されている。なお、電極パターン４２ｄにつ
いては、第６図に示した電極パターン３２ｄと同様に、
セラミックグリーンシート４２ｃの上方から見た状態を
示すように描かれており、したがってセラミックグリー
ンシート４１Ｃを想像線で示しである。
第９図に示した各セラミックグリーンシート４１ａ・・
・４１ｃを、第１図に示した実施例の製作の場合と同様
に同時焼成することにより、焼結体を得ることができる
。ここでは、上記したように各電極パターン４２８・・
・４２ｄに、それぞれ２個の突出部を設けたことに対応
して、切欠が、焼結体の４辺に形成される。この切欠の
形成される位置を、第９図において破線で示す。この切
欠の深さおよび幅は、先に説明した第１図に示した実施
例の場合と同様に形成され得る。
・４１ｃを、第１図に示した実施例の製作の場合と同様
に同時焼成することにより、焼結体を得ることができる
。ここでは、上記したように各電極パターン４２８・・
・４２ｄに、それぞれ２個の突出部を設けたことに対応
して、切欠が、焼結体の４辺に形成される。この切欠の
形成される位置を、第９図において破線で示す。この切
欠の深さおよび幅は、先に説明した第１図に示した実施
例の場合と同様に形成され得る。
焼結体の側面に上述のような切欠を形成した後、導電部
４６．４７．４８．４９を各切欠内に形成する。このよ
うにして、第８図に示す圧電素子４１を得ることができ
る。ここでは、内部電極４２ａと内部電極４２Ｇとが導
電部４６．４８により接続されており、他方内部電極４
２１１と内部電極４２ｄが導電部４７．４９により接続
されている。
４６．４７．４８．４９を各切欠内に形成する。このよ
うにして、第８図に示す圧電素子４１を得ることができ
る。ここでは、内部電極４２ａと内部電極４２Ｇとが導
電部４６．４８により接続されており、他方内部電極４
２１１と内部電極４２ｄが導電部４７．４９により接続
されている。
したがって、導電部４６．４８のいずれか一方、ならび
に導電部４７．４９のいずれか一方より、電圧を印加し
て分極処理を行なうことができ、同様に駆動することが
可能とされている。
に導電部４７．４９のいずれか一方より、電圧を印加し
て分極処理を行なうことができ、同様に駆動することが
可能とされている。
また、周波数調整を行なうに際し、端面を研磨する場合
には、第８図に示した圧電素子４１の全端面を均一に研
磨しても、各端面間において賀凹の差が生じないため、
第１図に示した実施例に比べてより理想的な拡がり振動
を得ることが可能となる。
には、第８図に示した圧電素子４１の全端面を均一に研
磨しても、各端面間において賀凹の差が生じないため、
第１図に示した実施例に比べてより理想的な拡がり振動
を得ることが可能となる。
第１０図は、第８図に示した実施例の断面図を示し、こ
こでも導電部４６．４７の厚み分だけ研磨したとしても
、各内部電極４２ａ、４２０および４２ｂ、４２ｄの電
気的接続が確保され１５ることがわかる。なお、導電部
４８．４９を通る面で切断した場合であっても、同様の
断面が現われることは言うまでもない。
こでも導電部４６．４７の厚み分だけ研磨したとしても
、各内部電極４２ａ、４２０および４２ｂ、４２ｄの電
気的接続が確保され１５ることがわかる。なお、導電部
４８．４９を通る面で切断した場合であっても、同様の
断面が現われることは言うまでもない。
上述のようにして得られた第１図および第８図に示した
実施例の圧電素子における端面研磨Ｍと、共振周波数［
、、どの関係を第１１図に示す。第１１図から明らかな
ように、いずれの実施例においても、端面間ｔｉｌｌと
共振周波数ｆい との間にはほぼ直線関係が成立するこ
とがわかる。
実施例の圧電素子における端面研磨Ｍと、共振周波数［
、、どの関係を第１１図に示す。第１１図から明らかな
ように、いずれの実施例においても、端面間ｔｉｌｌと
共振周波数ｆい との間にはほぼ直線関係が成立するこ
とがわかる。
また、第１２図ないし第１５図に、それぞれ、第２図に
示した従来の平板型圧電素子、第４図に示した従来の積
層型圧電素子、第１図に示した実施例ならびに第８図に
示した実施例のインビーダンスー周波数特性を示す。第
１２図ないし第１５図から明らかなように、第１２図の
従来の平板型圧電索子１に対して、積層型圧電素子（第
４図、第１図および第８図に示した例）では拡がり撮動
のスプリアスとなる高調波を大幅に低減し得ることがわ
かる。また、この発明の実施例である第１図および第８
図に示した圧電素子３１．４１によレバ、３．５ナイシ
４． Ｑｘ １０’ ｋ １−１ｚ 付近に現われる厚
み撮動に基づ（スプリアスも大幅に低減し得ることがわ
かる。これは、第１図および第８図に示した実施例の圧
１！素子３１．４１では、ノードカットにより厚み撮動
に基づくスプリアスが抑圧されるためと考えられる。
示した従来の平板型圧電素子、第４図に示した従来の積
層型圧電素子、第１図に示した実施例ならびに第８図に
示した実施例のインビーダンスー周波数特性を示す。第
１２図ないし第１５図から明らかなように、第１２図の
従来の平板型圧電索子１に対して、積層型圧電素子（第
４図、第１図および第８図に示した例）では拡がり撮動
のスプリアスとなる高調波を大幅に低減し得ることがわ
かる。また、この発明の実施例である第１図および第８
図に示した圧電素子３１．４１によレバ、３．５ナイシ
４． Ｑｘ １０’ ｋ １−１ｚ 付近に現われる厚
み撮動に基づ（スプリアスも大幅に低減し得ることがわ
かる。これは、第１図および第８図に示した実施例の圧
１！素子３１．４１では、ノードカットにより厚み撮動
に基づくスプリアスが抑圧されるためと考えられる。
なお、上述した実施例では、いずれもセラミック層の積
層数は３層であったが、より多くの層数の圧電素子にも
この発明が適用され得ることは言うまでもない。また、
切欠の形状についても、その平面形状は円弧状に限らず
、四角形等の適宜の形状に構成し得ることは言うまでも
ない。
層数は３層であったが、より多くの層数の圧電素子にも
この発明が適用され得ることは言うまでもない。また、
切欠の形状についても、その平面形状は円弧状に限らず
、四角形等の適宜の形状に構成し得ることは言うまでも
ない。
上記した実施例では、セラミックグリーンシートを積重
勾で積層体とし、これを焼成して焼結体を得、この焼結
体の外周部に積層方向に延びる切欠を形成したが、この
他予め切欠を形成したグリーンシートをその切欠位置を
合わせて積重ね、該積層体を焼成して積層方向に延びる
切欠を有する焼結体を得てもよい。
勾で積層体とし、これを焼成して焼結体を得、この焼結
体の外周部に積層方向に延びる切欠を形成したが、この
他予め切欠を形成したグリーンシートをその切欠位置を
合わせて積重ね、該積層体を焼成して積層方向に延びる
切欠を有する焼結体を得てもよい。
また、大きなセラミックグリーンシートを用い、このグ
リーンシートに予め上記切欠に対応する穴を形成し、こ
のグリーンシートを積重ねて焼成し、単一の圧電素子を
得る段階で切断するとき、上記穴を通る位置で切断し、
積層方向に延びる切欠が形成された状態の単一の圧電素
子を複数個得るようにしてもよい。
リーンシートに予め上記切欠に対応する穴を形成し、こ
のグリーンシートを積重ねて焼成し、単一の圧電素子を
得る段階で切断するとき、上記穴を通る位置で切断し、
積層方向に延びる切欠が形成された状態の単一の圧電素
子を複数個得るようにしてもよい。
また、内部電極の形状についても上記実施例に示したも
のに限らず、第１６図に平面図で示す内部電極６２ａ
、６２ｂのように、セラミックグリーンシート６１ａ
、６１ｂよりわずかに内側に入り込んだ大きさとしても
よい。すなわち、Ｎ極６２ａにおいては、セラミックグ
リーンシート６１ａの切欠６３ａ 、７３ａに対応して
内部電極６２ａにも切欠を設けておき、一方の切欠６３
ａ側に該切欠６３ａまで延びる電極突出部６４ａを設け
る。同様に、セラミックグリーンシート６１ｂ上の内部
電極６２ｂについても、切欠６３ｂ、７３ｂのうちの一
方の切欠７３ｂに延びる突出部６４ｂを形成する。この
ように内部電極６２ａ、６２ｂは、セラミックグリーン
シート６１ａ 、６１ｂの切欠６３ｂ・・・７３ｂの最
も奥に位置する部分よりも外側にまで延びて形成されて
いるため、先に説明した実施例に比べて、内部電極６２
ａ、６２ｂの面積が大きくされており、したがって圧電
性がより高められ１ｑることがわかる。
のに限らず、第１６図に平面図で示す内部電極６２ａ
、６２ｂのように、セラミックグリーンシート６１ａ
、６１ｂよりわずかに内側に入り込んだ大きさとしても
よい。すなわち、Ｎ極６２ａにおいては、セラミックグ
リーンシート６１ａの切欠６３ａ 、７３ａに対応して
内部電極６２ａにも切欠を設けておき、一方の切欠６３
ａ側に該切欠６３ａまで延びる電極突出部６４ａを設け
る。同様に、セラミックグリーンシート６１ｂ上の内部
電極６２ｂについても、切欠６３ｂ、７３ｂのうちの一
方の切欠７３ｂに延びる突出部６４ｂを形成する。この
ように内部電極６２ａ、６２ｂは、セラミックグリーン
シート６１ａ 、６１ｂの切欠６３ｂ・・・７３ｂの最
も奥に位置する部分よりも外側にまで延びて形成されて
いるため、先に説明した実施例に比べて、内部電極６２
ａ、６２ｂの面積が大きくされており、したがって圧電
性がより高められ１ｑることがわかる。
より好ましくは、第１７図に示すように、切欠８３ａ
、９３ａ 、８３ｂ 、９３ｂ近傍の部分を除いては、
セラミックグリーンシーｌ−の端縁まで延びる内部ｒ４
ｆｆ１８２ａ 、 ８２ｂを用いれば、電極面積はより
大きくされ、したがってさらに一層圧電性が高められ１
Ｊる。
、９３ａ 、８３ｂ 、９３ｂ近傍の部分を除いては、
セラミックグリーンシーｌ−の端縁まで延びる内部ｒ４
ｆｆ１８２ａ 、 ８２ｂを用いれば、電極面積はより
大きくされ、したがってさらに一層圧電性が高められ１
Ｊる。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、積層方向がら見たと
きに焼結体の外周部の少なくとも２以上の箇所に積層方
向に延びる切欠が形成されており、咳切欠には接続され
るべき内部電極の端部のみが露出されており、かつ接続
されるべき内部電極同士を電気的に接続するための導電
部が形成されているので、側面の研磨により、容易かつ
確実に周波数の調整が可能な圧電素子を１りることがで
きる。
きに焼結体の外周部の少なくとも２以上の箇所に積層方
向に延びる切欠が形成されており、咳切欠には接続され
るべき内部電極の端部のみが露出されており、かつ接続
されるべき内部電極同士を電気的に接続するための導電
部が形成されているので、側面の研磨により、容易かつ
確実に周波数の調整が可能な圧電素子を１りることがで
きる。
この発明の圧電素子は、たとえばラダー型フィルタの第
２共振子に好適であるが、その他発概子もしくは共振子
一般に利用し得るものであることを指摘しておく。
２共振子に好適であるが、その他発概子もしくは共振子
一般に利用し得るものであることを指摘しておく。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略斜視図である
。第２図は、従来の圧電素子の一例を示す概略斜視図で
ある。第３図は、第２図に示した圧電素子の断面図であ
る。第４図は、従来の圧電素子の他の例を示す概略斜視
図である。第５図は、第４図に示した圧電素子の断面図
である。第６図は、第１図に示した実施例を作成するの
に用いる電極パターンを説明するための平面図である。 第７図は、第１図に示した実施例の断面図である。 第８図は、この発明の第２の実施例を示を概略斜視図で
ある。第９図は、第８図に示した実施例を作成するのに
用いられる１僑パターンを説明するための平面図である
。第１０図は、第８図に示した実施例の断面図である。 第１１図は、この発明の実施例における端面研磨」と共
撮周波数との関係を示す図である。第１２図は、第１図
に示した従来の圧電素子のインピーダンス−周波数特性
を示す図である。第１３図は、第４図に示した従来の圧
電素子のインピーダンス−周波数特性を示す図である。 第１４図は、第１図に示した実施例のインピーダンス−
周波数特性を示す図である。第１５図は、第８図に示し
た実施例のインピーダンス−周波数特性を示す図である
。第１６図は内部電極の形状の他の例を示す平面図であ
る。第１７図は内部電極の形状のさらに他の例を示す平
面図である。 図において、３１は圧電素子、３１ａ・・・３１ｃはセ
ラミック層、３２ａ・・・３２ｄは内部電極、３３ａ・
・・３３（ｌは突出部、３４ａ・・・３４ｄは主領域、
３６．３’７は導電部、４１は圧電素子、４１ａ・・・
４１Ｃはセラミック層、４２ａ・・・４２〔１は内部゛
１橘、４３ａ−４３ｄ 、５３ａ ・５３ｄは突出部、
４４ａ・４４ｄは主領域、４６．４７，４８．４９は導
電部、６１ａ 、６１ｂはセラミックグリーンシート、
６２ａ 、６２ｂは内部電極、６３ａ 。 ６３ｂ 、７３ａ 、７３ｂは切欠、６４ａ 、６４ｂ
は突出部、８２ａ、８２ｂは内部電極、８３ａ。 ８３ｂ 、９３ａ 、９３ｂ は切欠、８４ａ 、８４
ｂは突出部を示す。 篤２図 第６図 ４−ｔｌ ｖｆＪｑ図 ＳＪｄ 名１１図 ４面研慶量ＣＰ ”） インピータ゛ンス （ｎ−） オンビーフ゛ンス （Ωつ 第１６図 篤１７図
。第２図は、従来の圧電素子の一例を示す概略斜視図で
ある。第３図は、第２図に示した圧電素子の断面図であ
る。第４図は、従来の圧電素子の他の例を示す概略斜視
図である。第５図は、第４図に示した圧電素子の断面図
である。第６図は、第１図に示した実施例を作成するの
に用いる電極パターンを説明するための平面図である。 第７図は、第１図に示した実施例の断面図である。 第８図は、この発明の第２の実施例を示を概略斜視図で
ある。第９図は、第８図に示した実施例を作成するのに
用いられる１僑パターンを説明するための平面図である
。第１０図は、第８図に示した実施例の断面図である。 第１１図は、この発明の実施例における端面研磨」と共
撮周波数との関係を示す図である。第１２図は、第１図
に示した従来の圧電素子のインピーダンス−周波数特性
を示す図である。第１３図は、第４図に示した従来の圧
電素子のインピーダンス−周波数特性を示す図である。 第１４図は、第１図に示した実施例のインピーダンス−
周波数特性を示す図である。第１５図は、第８図に示し
た実施例のインピーダンス−周波数特性を示す図である
。第１６図は内部電極の形状の他の例を示す平面図であ
る。第１７図は内部電極の形状のさらに他の例を示す平
面図である。 図において、３１は圧電素子、３１ａ・・・３１ｃはセ
ラミック層、３２ａ・・・３２ｄは内部電極、３３ａ・
・・３３（ｌは突出部、３４ａ・・・３４ｄは主領域、
３６．３’７は導電部、４１は圧電素子、４１ａ・・・
４１Ｃはセラミック層、４２ａ・・・４２〔１は内部゛
１橘、４３ａ−４３ｄ 、５３ａ ・５３ｄは突出部、
４４ａ・４４ｄは主領域、４６．４７，４８．４９は導
電部、６１ａ 、６１ｂはセラミックグリーンシート、
６２ａ 、６２ｂは内部電極、６３ａ 。 ６３ｂ 、７３ａ 、７３ｂは切欠、６４ａ 、６４ｂ
は突出部、８２ａ、８２ｂは内部電極、８３ａ。 ８３ｂ 、９３ａ 、９３ｂ は切欠、８４ａ 、８４
ｂは突出部を示す。 篤２図 第６図 ４−ｔｌ ｖｆＪｑ図 ＳＪｄ 名１１図 ４面研慶量ＣＰ ”） インピータ゛ンス （ｎ−） オンビーフ゛ンス （Ωつ 第１６図 篤１７図
Claims (5)
- （１）セラミックグリーンシートが相互に厚み方向に重
なり合うように内部電極を介して積層され、一体に焼結
されてなる焼結体を用いた積層型圧電素子であつて、 積層方向から見たときに、前記焼結体の外周部の少なく
とも２以上の箇所に積層方向に延びる切欠が形成されて
おり、該切欠には接続されるべき内部電極の端部のみが
露出されており、かつ前記接続されるべき内部電極同士
を電気的に接続するための導電部が形成されている、周
波数調整可能な圧電素子。 - （２）前記内部電極の前記切欠に臨む端部は、前記切欠
の最大幅とほぼ等しい幅で中央の主領域から外側に向っ
て突出形成されており、前記内部電極の中央の主領域は
、前記突出形成された端部を除いては、前記切欠の奥行
よりも中央側に寄せられて形成されている、特許請求の
範囲第１項記載の周波数調整可能な圧電素子。 - （３）前記内部電極は、前記切欠部分で該切欠に沿う形
状に切欠かかれており、かつ接続されるべき内部電極の
該切欠部分には突出部が設けられており、それによつて
焼結体の切欠に内部電極が露出されている、特許請求の
範囲第１項記載の周波数調整可能な圧電素子。 - （４）前記内部電極は、焼結体の切欠に沿う形状の切欠
部分を除いては焼結体の端面まで延ばされており、前記
電極突出部の露出幅は、焼結体の切欠の幅よりも狭く形
成されている、特許請求の範囲第３項記載の周波数調整
可能な圧電素子。 - （５）前記内部電極は、１層おきに同一の切欠にその端
部が露出されており、それによって前記導電部により相
互に電気的に接続されている、特許請求の範囲第１項な
いし第４項のいずれかに記載の周波数調整可能な圧電素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59256295A JPS61133715A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 周波数調整可能な圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59256295A JPS61133715A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 周波数調整可能な圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61133715A true JPS61133715A (ja) | 1986-06-21 |
| JPH0568889B2 JPH0568889B2 (ja) | 1993-09-29 |
Family
ID=17290670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59256295A Granted JPS61133715A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 周波数調整可能な圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61133715A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02171010A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置の製造方法 |
| JPH02192184A (ja) * | 1989-01-19 | 1990-07-27 | Toto Ltd | 圧電素子 |
| JPH02243009A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電磁器共振子 |
| JPH04206580A (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-28 | Nec Corp | 厚み振動圧電磁器トランスおよびその製造方法 |
| EP0845859A2 (en) * | 1996-11-28 | 1998-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and electronic component using the same resonator |
| WO2005029602A1 (ja) | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| WO2005029603A1 (ja) | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| WO2007037377A1 (ja) | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| EP1988585A2 (en) | 2003-09-25 | 2008-11-05 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| US7554251B2 (en) | 2004-03-09 | 2009-06-30 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and method for manufacturing the same |
| US7633210B2 (en) | 2003-07-28 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer electronic component and method for manufacturing the same, multi-layer piezoelectric element |
| US7786652B2 (en) | 2004-03-29 | 2010-08-31 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US8441174B2 (en) | 2005-06-15 | 2013-05-14 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013042601A1 (ja) * | 2011-09-19 | 2013-03-28 | 日本電気株式会社 | 振動子、振動センサ、及び振動センサを備える電子機器 |
Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS56124224A (en) * | 1980-03-05 | 1981-09-29 | Tdk Electronics Co Ltd | Laminated condenser and condenser assembly |
| JPS58188917A (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-04 | Tdk Corp | 圧電フイルタ及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-12-03 JP JP59256295A patent/JPS61133715A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56124224A (en) * | 1980-03-05 | 1981-09-29 | Tdk Electronics Co Ltd | Laminated condenser and condenser assembly |
| JPS58188917A (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-04 | Tdk Corp | 圧電フイルタ及びその製造方法 |
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| EP0845859A2 (en) * | 1996-11-28 | 1998-06-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and electronic component using the same resonator |
| EP0845859A3 (en) * | 1996-11-28 | 1998-09-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric resonator and electronic component using the same resonator |
| US7633210B2 (en) | 2003-07-28 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer electronic component and method for manufacturing the same, multi-layer piezoelectric element |
| EP2365553A1 (en) | 2003-07-28 | 2011-09-14 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US7633214B2 (en) | 2003-09-24 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US7791256B2 (en) | 2003-09-24 | 2010-09-07 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| EP2012374A2 (en) | 2003-09-24 | 2009-01-07 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| EP2037511A2 (en) | 2003-09-24 | 2009-03-18 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element |
| WO2005029602A1 (ja) | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| US8004155B2 (en) | 2003-09-24 | 2011-08-23 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| WO2005029603A1 (ja) | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子 |
| US7936108B2 (en) | 2003-09-24 | 2011-05-03 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element with electrodes made of glass and conductive material |
| US7759847B2 (en) | 2003-09-25 | 2010-07-20 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| EP1988585A2 (en) | 2003-09-25 | 2008-11-05 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| US7902726B2 (en) | 2003-09-25 | 2011-03-08 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric device |
| US7679272B2 (en) | 2003-09-25 | 2010-03-16 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US7705525B2 (en) | 2004-03-09 | 2010-04-27 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and method for manufacturing the same |
| US7554251B2 (en) | 2004-03-09 | 2009-06-30 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and method for manufacturing the same |
| US8125124B2 (en) | 2004-03-09 | 2012-02-28 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and method for manufacturing the same |
| US7786652B2 (en) | 2004-03-29 | 2010-08-31 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
| US8441174B2 (en) | 2005-06-15 | 2013-05-14 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| US8648517B2 (en) | 2005-06-15 | 2014-02-11 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
| WO2007037377A1 (ja) | 2005-09-29 | 2007-04-05 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置 |
| US8288921B2 (en) | 2005-09-29 | 2012-10-16 | Kyocera Corporation | Multilayer piezoelectric element and injector using the same |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568889B2 (ja) | 1993-09-29 |
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|---|---|---|---|
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