JPS61132853A - 液体の抵抗センサ - Google Patents
液体の抵抗センサInfo
- Publication number
- JPS61132853A JPS61132853A JP25471884A JP25471884A JPS61132853A JP S61132853 A JPS61132853 A JP S61132853A JP 25471884 A JP25471884 A JP 25471884A JP 25471884 A JP25471884 A JP 25471884A JP S61132853 A JPS61132853 A JP S61132853A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resistance
- port
- center electrode
- leading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
- G01N27/07—Construction of measuring vessels; Electrodes therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体の抵抗を測定する抵抗センサのとができる
。
。
工０を製造する工ｄにおいて、＃Ｌまたはアルカリ溶液
による化学処理の後純水：：よる洗浄が行われる。その
洗浄度は純水の比抵抗を測定して＠足される。
による化学処理の後純水：：よる洗浄が行われる。その
洗浄度は純水の比抵抗を測定して＠足される。
従来の洗浄度の測定ζ二は次の二つの方法がある０
（１）洗浄槽の中ζ二抵抗センサを浸漬して測定する。
（２）洗浄後の水が流れる配管中（＝抵抗センサをとシ
つけて測定する。
つけて測定する。
洗浄槽では純水がオーバフロし窒素でかくはんしながら
工０ウニへの洗浄が行われるので。
工０ウニへの洗浄が行われるので。
従来の第１の測定方法では窒素が抵抗センサ中：二巻き
込まれるので測定が不安定（：なるという欠陥がある。
込まれるので測定が不安定（：なるという欠陥がある。
また、抵抗センサは電極が金属で構成されているので、
洗浄槽およびＩＯウェハを該金属で汚染するとｈう欠陥
がある。
洗浄槽およびＩＯウェハを該金属で汚染するとｈう欠陥
がある。
これらの欠陥を除去するため排水の配管中に抵抗センサ
をとりつける第２の方法があるが。
をとりつける第２の方法があるが。
洗浄槽からセンサまでの経路が長くなり、洗浄槽内の純
水の抵抗値変化に対し測定値に遅れが発生するという欠
陥がある。また、流水中に空気中の炭酸ガスを吸着した
り、配管壁からの汚染物により抵抗値が下がり、正しい
洗浄度を測定できないという欠陥がある０ 本発明は上記欠陥を除去した新規な発明であって、その
目的は。
水の抵抗値変化に対し測定値に遅れが発生するという欠
陥がある。また、流水中に空気中の炭酸ガスを吸着した
り、配管壁からの汚染物により抵抗値が下がり、正しい
洗浄度を測定できないという欠陥がある０ 本発明は上記欠陥を除去した新規な発明であって、その
目的は。
（１） 工ａウェハ、洗浄槽を汚染することのない洗
浄度の測定−を提供すること。
浄度の測定−を提供すること。
（２）窒素など気泡Ｃ；よる影響のない安定したｔ−／
す 抵抗測定が可能な一発÷４を提供するとと０ （３）洗浄水の抵抗値を正しく測定することの出来るｂ
を提供すること。
す 抵抗測定が可能な一発÷４を提供するとと０ （３）洗浄水の抵抗値を正しく測定することの出来るｂ
を提供すること。
（４）洗浄水の抵抗値変化櫨二対し遅れがな匹抵抗測定
が可能なＭを提供すること であプ、その目的４液体の導入口と中心電極と周辺電極
と前記導入口の反対側Ｃ；備えた流出口と前記導入口と
同一方向に排出口を備えたケースとによりで達成される
。
が可能なＭを提供すること であプ、その目的４液体の導入口と中心電極と周辺電極
と前記導入口の反対側Ｃ；備えた流出口と前記導入口と
同一方向に排出口を備えたケースとによりで達成される
。
以下９本発明を図面に二り詳細に説明する。
第１図は本発明（＝なる洗浄度の測定方法を示す図であ
る。
る。
洗浄槽ｌの下部入力口２から入力された洗浄水３は側壁
上端からオーバーフローする。オーバーフローした洗浄
水の一部は抵抗センサ４（＝導入されて抵抗値を測定し
制御装置５で演算され抵抗値が算出される。抵抗センサ
４は洗浄槽１の外壁に懸垂するので抵抗センサ４により
洗浄槽や工Ｏウェハが汚染されることはない。
上端からオーバーフローする。オーバーフローした洗浄
水の一部は抵抗センサ４（＝導入されて抵抗値を測定し
制御装置５で演算され抵抗値が算出される。抵抗センサ
４は洗浄槽１の外壁に懸垂するので抵抗センサ４により
洗浄槽や工Ｏウェハが汚染されることはない。
また、洗浄水がオーバーフローした直後（二抵抗測定を
行うので洗浄水の抵抗値を早く、忠実ζ；測定すること
ができる０ さらＣ二また。洗浄水３が窒素でかくはんされても抵抗
センサ４が洗浄槽１の外部にあるので安定した抵抗測定
が可能である。
行うので洗浄水の抵抗値を早く、忠実ζ；測定すること
ができる０ さらＣ二また。洗浄水３が窒素でかくはんされても抵抗
センサ４が洗浄槽１の外部にあるので安定した抵抗測定
が可能である。
第２図は本発明になる抵抗センサの斜視図。
第３図はその縦断ｒｉ図である。
アーム５ａ、５ｂを洗浄槽１の外壁に引りかけてＳ垂す
る０ 上方Ｃ二開いた扇状の導入部１０ζ：よりオーバーフロ
ーし丸木を広範囲に導入し、電極人ロアから流入した水
は周辺’１４２ｆＡ１１と中心電極１２０間を流れ１周
辺電極１１にあけた流出孔１３ａ、１３’ｂを通りて排
出口９ａ、９ｂおよび小孔１４から外部へ排水される。
る０ 上方Ｃ二開いた扇状の導入部１０ζ：よりオーバーフロ
ーし丸木を広範囲に導入し、電極人ロアから流入した水
は周辺’１４２ｆＡ１１と中心電極１２０間を流れ１周
辺電極１１にあけた流出孔１３ａ、１３’ｂを通りて排
出口９ａ、９ｂおよび小孔１４から外部へ排水される。
排出口９ａ、９ｂは中心電極１２の頂部１５より高い位
ｔｅｌ二あり、小孔１４は流出孔１３ａ、１３ｂより低
い位置シーあるが排出口９ａ、 ９’ｂに比較して非常
に小さいので１周辺電極１１と中心電極１２は常（二十
分な水で満され、空気が巻き込まれることなく安定した
抵抗測定が可能になる。
ｔｅｌ二あり、小孔１４は流出孔１３ａ、１３ｂより低
い位置シーあるが排出口９ａ、 ９’ｂに比較して非常
に小さいので１周辺電極１１と中心電極１２は常（二十
分な水で満され、空気が巻き込まれることなく安定した
抵抗測定が可能になる。
また、オーバーフローを停止した場合は小孔１４から水
が全部排出されるため、たまり水がなく常に新しい水を
受は入れることができる。
が全部排出されるため、たまり水がなく常に新しい水を
受は入れることができる。
抵抗測定は周辺電極１１と中心電極１２との間（＝電圧
を印加し、その間二流れる電流を計測して液体の比抵抗
を算出する。周辺電極１１と中心電極１２はケーブル８
を通して制御装置５と接続する。
を印加し、その間二流れる電流を計測して液体の比抵抗
を算出する。周辺電極１１と中心電極１２はケーブル８
を通して制御装置５と接続する。
上記説明では流出孔１３ａ、１３ｂがケース１６（：付
加した場合（二ついて述べたが１周辺電極１１の下部（
二付加することζ：よりても本発明を達成できることは
明らかである。
加した場合（二ついて述べたが１周辺電極１１の下部（
二付加することζ：よりても本発明を達成できることは
明らかである。
また、上記説明では小孔１４を付加した場合について述
べたが、小孔１４は使用後センサ内Ｃ二残りた液体を排
出するための付加機能であって、無くても本発明を実施
できることは明らかである。
べたが、小孔１４は使用後センサ内Ｃ二残りた液体を排
出するための付加機能であって、無くても本発明を実施
できることは明らかである。
以上説明したように本発明６＝よれば、液体の導入口と
中心電極と周辺電極と前記導入口の反対側（：備えた流
出口と前記導入口と同一方向に排出口を備えたケースと
ζ；よって、洗浄物体を汚染することなく、洗浄水の抵
抗を忠実ＣＬかも安定（二測定する抵抗センサを実現す
ることができる。
中心電極と周辺電極と前記導入口の反対側（：備えた流
出口と前記導入口と同一方向に排出口を備えたケースと
ζ；よって、洗浄物体を汚染することなく、洗浄水の抵
抗を忠実ＣＬかも安定（二測定する抵抗センサを実現す
ることができる。
４第１図は本発明ζ：なる洗浄度の測定方法を示す図、
第２図は本発明？＝なる抵抗センサの斜視図、第３図は
その縦断面図である。 １は洗浄槽、２は下部入力口、３は洗浄水。 ４は抵抗センサ、５は制御装置、５ａ、５ｂはアーム、
７は電極入０．８はケーブル、９ａ、９’ｂは排出０．
１０は扇状の導入部、１１は周辺電極。 １２は中心電極、 １３ａ、 １３１）は流出孔、１４
は小孔、１５は中心電極１２の頂部、１６はケースであ
る。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者神１
）薫 孟 ｌｔ口 ′！Ｊ２図
第２図は本発明？＝なる抵抗センサの斜視図、第３図は
その縦断面図である。 １は洗浄槽、２は下部入力口、３は洗浄水。 ４は抵抗センサ、５は制御装置、５ａ、５ｂはアーム、
７は電極入０．８はケーブル、９ａ、９’ｂは排出０．
１０は扇状の導入部、１１は周辺電極。 １２は中心電極、 １３ａ、 １３１）は流出孔、１４
は小孔、１５は中心電極１２の頂部、１６はケースであ
る。 特許出願人 シグマ技術工業株式会社代表者神１
）薫 孟 ｌｔ口 ′！Ｊ２図
Claims (1)
- 洗浄槽の外壁に抵抗センサを懸垂して液体の抵抗を測定
する抵抗センサにおいて、液体の導入口と中心電極と周
辺電極と前記導入口の反対側に備えた流出口と前記導入
口と同一方向に排出口を備えたケースとからなることを
特徴とする液体の抵抗センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25471884A JPS61132853A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | 液体の抵抗センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25471884A JPS61132853A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | 液体の抵抗センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132853A true JPS61132853A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17268877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25471884A Pending JPS61132853A (ja) | 1984-12-02 | 1984-12-02 | 液体の抵抗センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61132853A (ja) |
-
1984
- 1984-12-02 JP JP25471884A patent/JPS61132853A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61132853A (ja) | 液体の抵抗センサ | |
| CA1218870A (en) | Apparatus for measuring impurities in ultrapure water | |
| JPS61132852A (ja) | 洗浄度の測定方法 | |
| JP2001208748A (ja) | 半導体基板の保持容器 | |
| JPH0845888A (ja) | 純水洗浄装置 | |
| JP2751930B2 (ja) | 半導体ウエハー洗滌水の制御装置 | |
| JP6298183B2 (ja) | モデリング液流皮膚洗浄器 | |
| CN218393732U (zh) | 一种水浴腐蚀试验溶剂挂瓶 | |
| JP2009270825A (ja) | サンプリングチューブ及びサンプリング方法 | |
| JP2000009642A (ja) | 液体中の微粒子計測装置 | |
| KR20000028672A (ko) | 부유고형물 자동측정 장치 | |
| JPH11186211A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2587282Y2 (ja) | Ｃｏｄ測定装置 | |
| JPS59618Y2 (ja) | 電極自動洗浄装置 | |
| JP4972452B2 (ja) | 過酸化水素水の濃度測定方法及びそれを用いた半導体洗浄装置 | |
| CN208819843U (zh) | 液体处理装置及表面处理系统 | |
| SU1481666A1 (ru) | Способ измерени концентрации ионов натри и устройство дл его осуществлени | |
| JPH01136339A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH0443639A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JPH05296959A (ja) | ウェーハ洗浄槽の純水比抵抗測定装置 | |
| JPS5834350A (ja) | Ｐｈ測定装置 | |
| JP3559253B2 (ja) | 残留塩素計およびこれを用いた液体殺菌装置 | |
| KR200156799Y1 (ko) | 액체량측정장치의 기포방출장치 | |
| JPS6018751A (ja) | フロ−セル洗浄方法 | |
| JPH0120676Y2 (ja) |