JP4972452B2 - 過酸化水素水の濃度測定方法及びそれを用いた半導体洗浄装置 - Google Patents
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2H2O2→2H20+O2
図1は、本発明の実施例1を示す半導体洗浄装置の概略の構成図である。
この半導体洗浄装置は、半導体製品(例えば、ウェハ)1を、所定の濃度に設定された過酸化水素水2aの混合液からなる薬液2(例えば、過酸化水素水2aに硫酸を混合した硫酸過水、あるいは、過酸化水素水2aに塩酸を混合した塩酸過水等)により洗浄するための装置であり、薬液槽10と、この薬液槽10内に取り付けられた過酸化水素水の濃度測定装置20と、洗浄後のウェハ1に付着した薬液2を洗浄により除去するリンス機構30と、薬液除去後のウェハ1を乾燥する乾燥機構40とを備えている。この半導体洗浄装置には、更に、複数枚のウェハ1を取り外し自在に収納する収納容器50と、この収納容器50を上下左右に移動可能で、且つ、薬液槽10、リンス機構30、及び乾燥機構40間を搬送する搬送機構60とを備えている。
過酸化水素水2aの濃度測定装置20を用いて薬液槽10内の過酸化水素水2aの濃度を測定する場合は、例えば、次のようにして行われる。
2H2O2→2H20+O2
収納容器50に収容された複数枚のウェハ1は、搬送機構60により、所定の濃度の薬液2が収納された薬液槽10内に所定時間浸積されて塵等が洗浄により除去される(第1の工程)。洗浄された収納容器50内のウェハ1は、搬送機構60により引き上げられ、リンス機構30へ搬送される。洗浄後のウェハ1に付着した薬液2は、リンス機構30において純水により洗浄されて除去され(第2の工程)、搬送機構60により乾燥機構40へ搬送される。薬液除去後のウェハ1は、乾燥機構40にて乾燥され(第3の工程)、乾燥後、収納器等へ搬送されて半導体洗浄工程が終了する。
本発明の過酸化水素水2aの濃度測定方法及びそれを用いた半導体洗浄装置によれば、過酸化水素水2aが分解する際に発生する酸素(O2)の気泡2bの発生量を監視することで過酸化水素水2aの濃度を測定しているので、過酸化水素水2aの気泡2bによる液面変動や液面定義が検出精度を劣悪にすることが無く、過酸化水素水2aを直接計測することができて測定精度が高く、測定方法及び測定構造が簡単である。
本発明は、上記実施例1に限定されず、例えば、ウェハ1等の半導体製品を洗浄する薬液2を過酸化水素水2aのみで形成したり、過酸化水素水2aの濃度測定装置20を図示以外の他の構成に変更したり、あるいは、半導体洗浄装置の全体の構成を図示以外の他の構成に変更する等、種々の利用形態や変形が可能である。
2 薬液
2a 過酸化水素水
2b 気泡
10 薬液槽
20 過酸化水素水の濃度測定装置
21 棒状部材
30 リンス機構
40 乾燥機構
50 就農容器
60 搬送機構
Claims (10)
- 過酸化水素水を使用して半導体ウェハを洗浄する半導体製造工程における過酸化水素水の濃度測定方法であって、
前記過酸化水素水が分解する際に発生する酸素の気泡が付着し易い部材を、前記過酸化水素水中に浸積し、前記部材に気泡が付着することにより生じる浮力により、前記部材が前記部材の重量と釣り合う高さまで上昇する際の前記部材の上昇量を測定することにより、前記気泡の発生量を検出して前記過酸化水素水の濃度を測定することを特徴とする過酸化水素水の濃度測定方法。 - 前記部材は、不活性で且つ表面が耐薬品性の多孔質の棒状部材であることを特徴とする請求項1記載の過酸化水素水の濃度測定方法。
- 前記棒状部材は、表面が粗い多孔質のセラミック材により形成されていることを特徴とする請求項2記載の過酸化水素水の濃度測定方法。
- 前記棒状部材は、前記過酸化水素水を収容するための薬液槽内に設けられたガイド機構により上下にスライド自在に取り付けられていることを特徴とする請求項2又は3記載の過酸化水素水の濃度測定方法。
- 前記過酸化水素水は、他の液体との混合液からなる洗浄用の薬液であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の過酸化水素水の濃度測定方法。
- 請求項5に記載の過酸化水素水の濃度測定方法を用いて測定され、所定の濃度に設定された前記過酸化水素水の混合液からなる前記薬液が収容された薬液槽を準備し、当該薬液槽に半導体ウェハを所定時間浸積して洗浄する第1の工程と、
前記第1の工程後の前記半導体ウェハを純水にて洗浄する第2の工程と、
前記第2の工程後の前記半導体ウェハを乾燥する第3の工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項5記載の過酸化水素水の濃度測定方法を用いて測定され、所定の濃度に設定された前記過酸化水素水の混合液からなる前記薬液を収容し、前記半導体製品を所定時間浸積して洗浄するための薬液槽と、
前記洗浄後の半導体製品に付着した前記薬液を洗浄により除去するリンス機構と、
前記薬液除去後の半導体製品を乾燥する乾燥機構と、
を有することを特徴とする半導体洗浄装置。 - 前記リンス機構は、前記薬液を純水にて洗浄して除去することを特徴とする請求項7記載の半導体洗浄装置。
- 請求項7又は8記載の半導体洗浄装置は、更に、
前記過酸化水素水を前記所定の濃度に設定するために、濃度が高い場合は、純水の補給、又は放置して前記過酸化水素水の自然分解で濃度を低下させ、濃度が低い場合は、前記過酸化水素水の補給を行う機構を有することを特徴とする半導体洗浄装置。 - 請求項9記載の半導体洗浄装置は、更に、
前記半導体製品を収納する収納容器と、
前記収納容器を上下左右に移動可能で、且つ、前記薬液槽、前記リンス機構、及び前記乾燥機構間を搬送する搬送機構と、
を有することを特徴とする半導体洗浄装置。
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