JPS61131842A - 静圧軸受装置 - Google Patents

静圧軸受装置

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Publication number
JPS61131842A
JPS61131842A JP25009484A JP25009484A JPS61131842A JP S61131842 A JPS61131842 A JP S61131842A JP 25009484 A JP25009484 A JP 25009484A JP 25009484 A JP25009484 A JP 25009484A JP S61131842 A JPS61131842 A JP S61131842A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing pad
guide
bearing
plate spring
clearance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25009484A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Goto
博史 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP25009484A priority Critical patent/JPS61131842A/ja
Publication of JPS61131842A publication Critical patent/JPS61131842A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/262—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members with means to adjust the distance between the relatively slidable members

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の分野 この発明は、精密加工機、精密測定器、半導体製造装置
などに適用する静圧軸受装置に関する。
（ロ）発明の背景 静圧軸受を設計、製作する場合、第９図に示すように可
動体２１の軸受パッド２２とガイド２３との軸受隙間Ｈ
は軸受の特性、たとえば負荷容量、軸受剛性と密接な関
係があり、軸受隙間の設定は最も重要となっている（第
１０図および第１１図参照）。
従来、この軸受隙間の設定は、組立時に第１２図および
第１３図に示すようにガイド２３とパッド２２の間にス
ペーサ２４を介入させネジ止めし、組立後、このスペー
サ２４をはずすという方法が多く用いられていた。
しかしながら、この方法では、スペーサ２４を組立後は
ずさなければならないため、数μｍ程度スペーサより広
い隙間ができてしまい、設計どおりの隙間が得られない
。また、スペーサ２４の厚さを管理をしなければならな
いなどの欠点があった。
隙間を正確に得る手段としては、変位センサで組立中の
隙間を検出し、設定隙間になるまで、軸受パッドと可動
体の相対位置を微調する手段もあるが、組立てに時間が
かかり、それによってコストが上がるという欠点があっ
た。
従って、静圧軸受の軸受隙間を正確に、効″＄良く作り
出ず方仏は現在のところない状態である。
（ハ）発明の目的 この発明は、軸受組立時に軸受隙間の設定が不要で、組
立効率を向上させることのできる静圧軸受装置の提供を
目的とする。
（ニ）発明の要約 この発明は、軸受バッドよりの放出力によるガイドに対
する軸受バッドの反力によって板バネを弾性変位するこ
とにより軸受バッドとガイドとに隙間を形成させる静圧
軸受装置であることを特徴とする。
（ホ）発明の効果 この発明によれば、組立時に軸受隙間が設定不要のため
、組立効率が向上し、コストが安くなる。
また、同一の板バネを使用すれば、同一の隙間が自然と
得られるため量産効果が大きく、ざらにメンテナンスも
容易となる。
（へ）発明の実施例 この発明の一実施例を、以下図面に基づいて詳述する。
図面は静圧軸受装置を示し、第１図において、１は可動
体、２は板バネベースで、この下面には板バネ２ａを垂
設している。
３は鋼球、４は軸受バッド、５はガイド、６は定盤であ
る。
上述のガイド５，５の内側に軸受バッド４，４を密接し
て配置し、この軸受バッド４と上述の板バネ２ａとに第
２図に示すように凹所４ｂ、２ｂを設けて、この両凹所
４ｂ、２ｔ）間に鋼球３を介在させて、鋼球３により軸
受バッド４に自動調心機能を持たせ、その後、板バネベ
ース２と可動体１とをネジで締結する。
上述の組立状態において、軸受バッド４の第３図に示す
空気通孔７より圧縮空気を供給すると、空気比ロアａよ
りガイド５に、空気比ロアｂより定盤６に圧縮空気を吹
き付けて、浮上状態で軸受バッド４のガイド５に対する
反力によって板バネ２ａを、第４図に示すように、鋼球
３接触部でδなる変位を与える。
この板バネ２ａの変位δによりガイド５に対して軸受バ
ッド４が１」隙間形成される。
板バネ２ａの剛性をに１とすると、 １＝Ｉ＝ｓ＝Ｆ／に１　（Ｆは軸受反力）なる隙間が得
られる。
但し、Ｋ　は目標軸受剛性に２よりも大きく（Ｋ　＞Ｋ
２）しておき、軸受装置の剛性値に影費を与えないよう
にする。
従って、板バネ２ａの剛性値を目的に合ったものに設計
すれば、上記の関係で得られる軸受隙間ト１を有する軸
受装置が形成される。
（ト）発明のその他の例 この発明の一実施例を上述において詳述したが、この発
明は他に種々の変形が推考されるので、次にそのいくつ
かを例示する。
第５図に示すように、ガイド５Ａの外側に軸受バッド４
Ａを配置してもよい。
第６図に示すように、ガイド５Ｂは２本用いなくても、
広幅の１本でもよく、またガイドの個数は問わない。
第７図に示すように、ガイド５Ｇを複数個用い、その両
側に軸受バッド４ｃ、４ｃを配＠づる構造でもよい。配
置の手段は問わない。
第８図に示すように、板バネ２Ｄは片側の軸受バッド４
Ｄだけに設けてもよい。
さらに、軸受バッド４と板バネ２ａの間に鋼球３を介在
させているが、この大きさ、材質、形状、個数は問わな
い。
上述の実施例の説明では面圧空気軸受としているが、静
圧油軸受でもよい。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、 第１図は静圧軸受装置の正面図、 第２図は第１図Ａ部の拡大断面図、 第３図は軸受バッドの断面図、 第４図は作動時の正面図、 第５図乃至第８図は他の実施例を示し、第５図は例２の
正面図、 第６図は例３の正面図、 第７図は例４の正面図、 第８図は例５の正面図、 第９図は軸受隙間の説明のための正面図、第１０図は負
荷容量の軸受特性図、 第１１図は軸受剛性の軸受特性図、 第１２図は従来例の平面図、 第１３図は従来例の正面図である。 １・・・可動体　　　　　　２・・・板バネベース２ａ
・・・板バネ　　　　　４・・・軸受パッド５・・・ガ
イド Ａ卵の憾大＠面品　　　　　　　　　　　軸金鬼寸−，
ｌ−の断面口１ａ・・・扱ＩＸ’ネ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ガイドに軸受パッドを密接して配置し、軸受パッド
    上に載置した可動体より軸受パッ ドの反ガイド側に板バネを垂設し、軸受パ ッドよりの放出力によるガイドに対する軸 受パッドの反力によつて板バネを弾性変位 することにより軸受パッドとガイドとに隙 間を形成させることを特徴とする 静圧軸受装置。
JP25009484A 1984-11-26 1984-11-26 静圧軸受装置 Pending JPS61131842A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25009484A JPS61131842A (ja) 1984-11-26 1984-11-26 静圧軸受装置

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JP25009484A JPS61131842A (ja) 1984-11-26 1984-11-26 静圧軸受装置

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Publication Number Publication Date
JPS61131842A true JPS61131842A (ja) 1986-06-19

Family

ID=17202721

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JP25009484A Pending JPS61131842A (ja) 1984-11-26 1984-11-26 静圧軸受装置

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JP (1) JPS61131842A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100378665B1 (ko) * 2000-07-13 2003-03-31 위아 주식회사 선반용 테이블의 지브 삽입구조

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5267447A (en) * 1975-12-02 1977-06-03 Escher Wyss Ag Support device

Patent Citations (1)

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