JPS5837364A

JPS5837364A - Ｘ−ｙステ−ジ駆動装置

Info

Publication number: JPS5837364A
Application number: JP13408081A
Authority: JP
Inventors: Hideaki Kawashima; 川島　英顕; Kiyoshi Nakagawa; 清中川
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1981-08-28
Filing date: 1981-08-28
Publication date: 1983-03-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はＸ−Ｙステージの速度変動を小さくすることの
できるＸ−Ｙステージ駆動装置に関するものである。

従来、たとえば半導体製品の製造過程において使用され
るレチクル検査装置では、レチクルのＸ−Ｙ方向への移
動のために第１図に示すようなＸ−Ｙステージを使用し
ている。この場合、タコジェネレータ付きのＤｏサーボ
モータＩＫよす送すねじ２を回転さぜ、該送シねじ２上
に螺合した送りねじナツト３を軸線方向に移動場ぜるこ
とによって、Ｘ−Ｙステージ４ｔ−移動させる構造とな
っている。そして、送りねじ２から発生する振動をＸ−
Ｙステージ４に伝播名ゼないようにするため、送りねじ
ナツト３とＸ−Ｙステージ４との駆動連結手段として第
２図に拡大して示すような板ばね５ｔ−使用している。

ところが、この従来技術の場合、板ばね５の捩りねじナ
ツト３が回転し、送＃）ねじ２が一定速度で回転してい
るにもかかわらずＸ−Ｙステージ５の速度変動が大きく
なってしまう。一方、速度変動をなく丁ために板ばね５
の捩れ剛性を大きくする（ばね定数を大きくする′）と
、送りねじ２の振動−６ｓ　Ｘ　−Ｙステージ４に伝播
してしまう。七のため、いずれの場合にも、精度の良い
レチクルパターン検査を行うことかできなくなるという
重大な欠点か生じる。

また、自動レチクル検査装置においては、レチクルパタ
ーンを二次元的に検査するため、Ｘ−Ｙステージ金光亀
変換素子と直角方向に連続ｉｉする。この場合、Ｘ−Ｙ
ステージの速ｆ変動か生じると、量子化単位の距離を走
査する時間、つまり光蓄積時間が異なり、算３図に示す
ようにビデオ電圧が変化してしまう。なお、第３図に訃
いて、符号ムは必要最少元蓄槓時間、Ｂはステージ迷簾
変動許容嘱である。一方、ステージ移動迷鍵か遅いと、
光電変換素子か飽和してしまい、レチクルパターンの欠
陥を確実に検出するｄとかできなくなってしまう。

本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消し。

Ｘ−Ｙステージの速度変動を少くし、速度変動に起因す
る問題ｔ−解決できるＸ−Ｙステージ駆動装置を提供す
ることにある。

この目的を達成する几め、本発明のＸ−Ｙステージ駆動
装置は、送りねじナツトの回転を防止するガイドを設は
友ものである。また、Ｘ−Ｙステージの駆動のために、
好ましくけ駆動べ了リング構造が使用１れる。

以下、本発明を図面に示す実施例にしたかってさらに説
明する。

第４図は本発明によるＸ−Ｙステージ駆動装置の一実施
例を示す斜視図である。本実施例において、＃Ｉ１図の
従来例と同一または対応する部分には同一符号を付して
詳細な１１２８Ａは省略する０本実施例の場合において
も、送りねじ２０回転のための駆動手段としてタコジェ
ネレータ付きのＤＯサーボモータ１が使用もれ、送りね
じ２か回転すると、該送シねじ２に螺合した送りねじナ
ツト３が矢印で示す如く軸線方向に移動してＸ−Ｙステ
ージ４を所望方向に所望の速度で移動場ぜる。

その友め、本実施例の送りねじナツト３とＸ−Ｙステー
ジ４との間の駆動連結手段としては、Ｘ−Ｙステージ４
の側面に設けた連結板６の下方向に切り欠かれた切欠き
７内に嵌ｉ勺込んで駆動連結する駆動ベアリング８が送
りねじナツト３のステージ側の側面に配設されている。

また、送りねじナツト３の上面の中央部においては、２
個の回転防止ベアリング９ム、９Ｂかボルト１０により
送りねじナツト３の上面に固定されている。これらの回
転防止ベアリング９Ａ、９Ｂは送りねじナツト３０回転
を防止するためのものである。そのため送りねじ２の上
方で該送りねじ２の軸線方向と平行に延びる２枚の板状
のガイド１１Ａ、ＩＩＢ間に挾み付けられている。なお
、杓号１２．１３はスペーサリングである。

すなわち、＠４図の０部の拡大部分動面図である第５図
から明らかなように、回転防止ベアリング９ムは図Ｑ左
側面でガイドＩＩＡの突出状内１ｉｉ１面と当接し、送
りねじナツト３０反時計方向への回転を防止する。一方
、回転防止ベアリング９Ｂに図の右側面でガイドＩＩＢ
の突出状内側面と当接し、送りねじナラ１３０時計方向
への回転を防止する。

なお、回転防止ベアリング９Ａ、９Ｂｔ’ｊガイド１１
Ａ、１１１１１１ＪＩを軸線方向に移動できる。

し友がって、このような回転防止ベアリング９ム、９Ｂ
およびガイドＩＩＡ、ＩＩＢ　ｔ−設けたことにより、
本実施例におりては、送りねじ２かいずれの方向に回転
しても、送りねじナツト３は回転を生じることなく、ガ
イド１１ム、１１Ｂで案内されながら送シねじ２の軸線
方向に移動で＠、Ｘ−Ｙステージの速度変動を大幅に低
減ちぜることか１１詣である。

七の結果、本実施例′ｔ−友とえば第６図に示すように
自動レチクル検査装置に適用丁れば、レチクルパターン
の倣細な欠陥でも確実に検出できる。

第６図において、被検査レチクル１４はＸ−Ｙステージ
４上に置かれ、該被検査にチクル１４’１Ｘ−Ｙステー
ジ４の移動によシ矢印方向に動作δぜて走査しながら、
パターンの拡大ｇＩを対物レンズ１５を介して光電変換
素子１６でｉ電変換し、％Ｑｌ、　％ｌ＃の二次元的な
ビットパターンとして記憶する。一方、設計データ１７
に基づいて基準ビットパターンを図示しない電子回路で
発生し、記憶する。次に、各々の記憶内容からパターン
の特徴を抽出し、比較部１Ｂで比較し、両パターン間に
不一致部分かあれば、その不一致部分を欠陥と判定する
。この自動レチクル検査装置においては、Ｘ−Ｙステー
ジの速度変動の生滅により、微細なパターン欠陥でも完
全に確実に検出できる。

また、前記実施例では、Ｘ−Ｙステージ４の駆動連結手
段として駆動べ了リング８を用いているので、振動の伝
播を阻止し、Ｘ−Ｙステージ４を高精度で移動できる。

なお、本発明に自動レチクル検査装置以外のものに適用
しても艮好な効果を得ることかできる。

以上説明したように、本発明によれば、Ｘ−Ｙステージ
の速度変動や振動を大幅に低減ちぜることかでき、高精
度のステージ移動か可能でろる。

【図面の簡単な説明】

算１図は従来のＸ−Ｙステージ駆動装置の斜視図、１１
２図は第１図の装置に用いられる板ばねの拡大斜視図、
１１３図は光蓄積時間とビデオ電圧の関係を示す図、第
４図は本発明によるＸ−Ｙステージ駆動装置の一実施例
を示す斜視図、５１１５図は第４図の０部の拡大部分断
面図、第６図は本発明を自動レチクル検査装置に適用し
た例を示す概略説明図である。１・・・タコジェネレータ付キのＤＣサーボモータ、２
・・・送りねじ、３・・−込りねじナツト、４・・・Ｘ
−Ｙステージ、６・・・動結板、７・・・切欠き、８・
・・駆動ベアリング、９ム、９Ｂ・・・回転防止ベアリ
ング、１１ム、１１Ｂ・・・板状のガイド。

Claims

【特許請求の範囲】１、！−Ｙステージと、送りねじと、該送りねじの回転
に伴って該送りねじに沿って移動する送りねじナツトと
、前記送りねじを回転させる駆動手段と、前記Ｘ−Ｙス
テージと前記送りねじナツトとを駆動連結する駆動連結
手段と、前記送りねじナツトの回転を防止しながら該送
りねじナツトの移動を案内するガイドとからなるＸ−Ｙ
ステージ態動装置。２、前記ガイドは、前記送りねじナツトに取り付けられ
た回転防止用ぺ了リングを挾み付けるよう前記送りねじ
と平行に延びる２枚の板状部材からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のＸ−Ｙステージ駆動装置
。３、前記駆動連結手段は、前記Ｘ−Ｙステージの側面の
連結板の切欠き内に嵌まり込んだ駆動ベアリングからな
ることを特徴とする特許請求の範装置。