JPS61125859A - インクジエツト記録ヘツド - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61125859A JPS61125859A JP24611184A JP24611184A JPS61125859A JP S61125859 A JPS61125859 A JP S61125859A JP 24611184 A JP24611184 A JP 24611184A JP 24611184 A JP24611184 A JP 24611184A JP S61125859 A JPS61125859 A JP S61125859A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ink
- concave part
- orifice plate
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、インクジェット記録ヘッド、特にいわゆる郷
録用液体の小滴を形成する為の手段を有するインクジェ
ット記録ヘッドに関する。
録用液体の小滴を形成する為の手段を有するインクジェ
ット記録ヘッドに関する。
［従来技術］
かかるインクジェット記録方式に適用される記録へツー
は、一般に、微細なインク吐出ロゾリフィスとも呼ぶ）
、インク通路およびこのインク通路の１部に設けられ、
るインク吐出圧発生部を具えている。
は、一般に、微細なインク吐出ロゾリフィスとも呼ぶ）
、インク通路およびこのインク通路の１部に設けられ、
るインク吐出圧発生部を具えている。
そして、このインク吐出圧発生部ではその領域にあるイ
ンクに機械的圧力や熱エネルギを作用させてインクを吐
出させる原動力を得ている。
ンクに機械的圧力や熱エネルギを作用させてインクを吐
出させる原動力を得ている。
従来、この様な、記録ヘッドの構成は、平担な基板にイ
ンク流路壁を形成したものにオリフィスを有する平担な
オリフィスプレートを接合したものがあげられる。しか
しこの様なヘッドにおいてはインクの可動領域が基板と
オリフィス板との間のすき間しかなく、流路抵抗が大き
くてインクリフィール性が悪く、高いインク吐出応答周
波数を実現する事はできなかった。また、記録ヘッドを
使用せず放置しておくと、短時間のうちにインク中の溶
媒が吐出口より揮発してしまい基板上に充填されている
インクが増粘し１次の印字開始のとき、始めのドツトが
欠けるという不具合も発生していた。
ンク流路壁を形成したものにオリフィスを有する平担な
オリフィスプレートを接合したものがあげられる。しか
しこの様なヘッドにおいてはインクの可動領域が基板と
オリフィス板との間のすき間しかなく、流路抵抗が大き
くてインクリフィール性が悪く、高いインク吐出応答周
波数を実現する事はできなかった。また、記録ヘッドを
使用せず放置しておくと、短時間のうちにインク中の溶
媒が吐出口より揮発してしまい基板上に充填されている
インクが増粘し１次の印字開始のとき、始めのドツトが
欠けるという不具合も発生していた。
またこれとは異なる記録ヘッドの構成として特開昭５９
−１１８４Ｈ号公報に開示している様に、インク流路を
形成する為のインク流路壁およびインク貯蔵部用の凸部
および凹部を一体的に有するオリフィス板を基板に接合
するのもある。しかしこの様な記録ヘッドでは前記した
欠点は若干改善できるものの未だ充分ではなかった。
−１１８４Ｈ号公報に開示している様に、インク流路を
形成する為のインク流路壁およびインク貯蔵部用の凸部
および凹部を一体的に有するオリフィス板を基板に接合
するのもある。しかしこの様な記録ヘッドでは前記した
欠点は若干改善できるものの未だ充分ではなかった。
［目的］
本発明の目的は、これら従来の欠点を解消し、インクリ
フィル性が良く、インク吐出応答周波数が高く、安定な
吐出が長時間行えるインクジェット記録ヘッドを提供す
ることにある。
フィル性が良く、インク吐出応答周波数が高く、安定な
吐出が長時間行えるインクジェット記録ヘッドを提供す
ることにある。
また本発明の他の目的は、長期間印字を行わなかった後
でも、印字開始時のドツト欠けがなく正常な印字が得ら
れるインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
でも、印字開始時のドツト欠けがなく正常な印字が得ら
れるインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
そし°て、かかる本発明のインクジェット記録ヘッドは
、基板に設けられた吐出圧発生素子によって、吐出圧発
生エネルギを記録液に作用させることにより、該記録液
をオリフィスより吐出させるインクジェット記録ヘッド
において、前記基板表面について、吐出圧発生素子およ
び吐出圧発生素子に電気信号を導く為の配線部分以外の
基板表面に凹部を形成し、かつ前記オリフィスを有する
オリフィスプレートについてオリフィス部以外に凹部を
形成し、インク貯蔵部とする事を特徴とするインクジェ
ット記録ヘッドである。
、基板に設けられた吐出圧発生素子によって、吐出圧発
生エネルギを記録液に作用させることにより、該記録液
をオリフィスより吐出させるインクジェット記録ヘッド
において、前記基板表面について、吐出圧発生素子およ
び吐出圧発生素子に電気信号を導く為の配線部分以外の
基板表面に凹部を形成し、かつ前記オリフィスを有する
オリフィスプレートについてオリフィス部以外に凹部を
形成し、インク貯蔵部とする事を特徴とするインクジェ
ット記録ヘッドである。
［実施例］
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明す６°
１第１図〜第５図は本発明
の第１の実施例幾示すものである。第１図に示すように
、ガラス、セラミックス、プラスチックスまたは金属等
の適当な基板１上に所望の個数のインク吐出圧を発生さ
せる発熱素子２．（図においては４個）を配設し、さら
に次のようにして電極を配設する。すなわち、基板ｌ上
において、発熱素子２の一端には共通電極３を接続し、
同素子２の他端には個別電極４の一端を各々接続する。
１第１図〜第５図は本発明
の第１の実施例幾示すものである。第１図に示すように
、ガラス、セラミックス、プラスチックスまたは金属等
の適当な基板１上に所望の個数のインク吐出圧を発生さ
せる発熱素子２．（図においては４個）を配設し、さら
に次のようにして電極を配設する。すなわち、基板ｌ上
において、発熱素子２の一端には共通電極３を接続し、
同素子２の他端には個別電極４の一端を各々接続する。
そしてこれら素子２および電極３，４を配設した基板１
上に、電気絶縁性を付与する目的で、′９ｉ０２ 、
Ｔａ２０５ 、 ＡＪＬ４０３ ＊ガラス、 Ｓｉ、
８４ 、 ＢＮ等の無機酸化物または無機窒化物からな
る電気絶縁ＩＩＩ （不図示）および耐インク性を付与
するための耐インク膜、例えばＡｕ、Ｐｔ、Ｐｄ等の貴
金属またはＴｉ、Ｃｒ、旧、Ｔａ、Ｎｏ、Ｗ、Ｎｂ等の
耐食金属またはＳＯ９。
上に、電気絶縁性を付与する目的で、′９ｉ０２ 、
Ｔａ２０５ 、 ＡＪＬ４０３ ＊ガラス、 Ｓｉ、
８４ 、 ＢＮ等の無機酸化物または無機窒化物からな
る電気絶縁ＩＩＩ （不図示）および耐インク性を付与
するための耐インク膜、例えばＡｕ、Ｐｔ、Ｐｄ等の貴
金属またはＴｉ、Ｃｒ、旧、Ｔａ、Ｎｏ、Ｗ、Ｎｂ等の
耐食金属またはＳＯ９。
モネルメタル等の耐食合金を被覆する。
インクを吐出する際は望みの発熱素子２に接続した電極
４および共通電極３に電流を流す事により、その発熱素
子２を発熱させる。これによって、その近傍のインクが
加熱されてインク吐出圧が発生する。
４および共通電極３に電流を流す事により、その発熱素
子２を発熱させる。これによって、その近傍のインクが
加熱されてインク吐出圧が発生する。
次に第２図で示すように基板１上に凹形断面の凹部５を
形成する。その方法としては１機械加工、サンドブラス
ト、超音波加工、レーザー加工、放電加工、エツチング
等があげられる。尚。
形成する。その方法としては１機械加工、サンドブラス
ト、超音波加工、レーザー加工、放電加工、エツチング
等があげられる。尚。
この加工の際電極配線および発熱素子等を加工時に発生
するごみ汚れから守る為、有機物などで保護しておくの
は有効な方法である。またエツチングは、通常ＩＣの製
造工程で行われるホトリソグラフィーの手法を用いて行
う事ができる。インク貯蔵部５の形状、深さ１位置等は
基板の強度、インクのりフィル性等を考えて自由に決め
る事ができる。
するごみ汚れから守る為、有機物などで保護しておくの
は有効な方法である。またエツチングは、通常ＩＣの製
造工程で行われるホトリソグラフィーの手法を用いて行
う事ができる。インク貯蔵部５の形状、深さ１位置等は
基板の強度、インクのりフィル性等を考えて自由に決め
る事ができる。
次に凹部５の底に基板１な貫通するインク供給口８を形
成した後、発熱素子２の両側に位置するように基板１上
にインク流路壁７を配設し、さらにこれらインク流路壁
７およびインク貯蔵部５を囲むように枠８を形成する（
第３図）、これらを形成する材料としては、仕上り精度
の作成の容易な事から、ドライフィルム感光性樹脂を使
用するのが有効である。すなわち第２図において説明し
たような被覆を施した基板！の表面を洗浄、乾燥した後
、加熱してドライフィルム感光性樹脂を熱圧着する０次
に所望のパターンを有するホトマスク（レジスト）を該
樹脂上に位置決めして配置した後、露光会現像する。得
られたレジストパターン（インク流路壁、枠８ンは耐イ
ンク性を高める為に熱または紫外線の照射により効果を
完結する。
成した後、発熱素子２の両側に位置するように基板１上
にインク流路壁７を配設し、さらにこれらインク流路壁
７およびインク貯蔵部５を囲むように枠８を形成する（
第３図）、これらを形成する材料としては、仕上り精度
の作成の容易な事から、ドライフィルム感光性樹脂を使
用するのが有効である。すなわち第２図において説明し
たような被覆を施した基板！の表面を洗浄、乾燥した後
、加熱してドライフィルム感光性樹脂を熱圧着する０次
に所望のパターンを有するホトマスク（レジスト）を該
樹脂上に位置決めして配置した後、露光会現像する。得
られたレジストパターン（インク流路壁、枠８ンは耐イ
ンク性を高める為に熱または紫外線の照射により効果を
完結する。
ついでこの様にして得られた基板１上に、第４図に示す
ように吐出口１０を有するオリフィス板８を貼合せる。
ように吐出口１０を有するオリフィス板８を貼合せる。
吐出口１０は発熱素子２の真上になるように位置合せし
である。尚オリフィス板８には吐出口ｌＯ以外の部分に
下面側から上面側に突出するような凹部１１を有してい
る。この様なオリフィス板８を作成する方法としては、 ｌ）金属の薄板たとえばＮｉ等にエツチング、レーザ加
工、放電加工２機械加工によって吐出口ｌＯを形成し、
凹１１１１１を機械加工、たとえばプレスにより形成す
る。
である。尚オリフィス板８には吐出口ｌＯ以外の部分に
下面側から上面側に突出するような凹部１１を有してい
る。この様なオリフィス板８を作成する方法としては、 ｌ）金属の薄板たとえばＮｉ等にエツチング、レーザ加
工、放電加工２機械加工によって吐出口ｌＯを形成し、
凹１１１１１を機械加工、たとえばプレスにより形成す
る。
２）金属、セラミックス等の薄板の両側からエツチング
を行い吐出口１０を形成し、凹部１１は片側のみからエ
ツチングを行い形成する。
を行い吐出口１０を形成し、凹部１１は片側のみからエ
ツチングを行い形成する。
３）適当な金属板上に吐出口のパターン（穴）を感光性
樹脂硬化膜で形成した後、ニッケル、その他の電解ある
いは無電解メッキを施し、その後、感光性樹脂硬化膜お
よび前記金属板を除去し、吐出口のあいたメッキ皮膜を
用いるという方法、凹部１１はｌ）と同様に形成する。
樹脂硬化膜で形成した後、ニッケル、その他の電解ある
いは無電解メッキを施し、その後、感光性樹脂硬化膜お
よび前記金属板を除去し、吐出口のあいたメッキ皮膜を
用いるという方法、凹部１１はｌ）と同様に形成する。
０ まだ、流路壁とオリフィスとを同時に一体で形成す
る方法が特開昭！ｄ−１１８４Ｈ号公報で示されている
が、この方法により本発明の凹部１１を有するオリフィ
ス板を形成することもできる。すなわちインク流路壁形
成用および凹部形成用の凹凸をつけた金属製の塁に感光
性樹脂によってオリフィス形成用のパターンを形成し、
その後前記の凹凸およびオリフィス形成用のパターンの
形成された型上に金属メッキを施し、最後に前記メッキ
皮膜を型か、、−Ｌ−？：ｔ！Ｊ＞＜Ｘ＆ｔｌ１６よ。
る方法が特開昭！ｄ−１１８４Ｈ号公報で示されている
が、この方法により本発明の凹部１１を有するオリフィ
ス板を形成することもできる。すなわちインク流路壁形
成用および凹部形成用の凹凸をつけた金属製の塁に感光
性樹脂によってオリフィス形成用のパターンを形成し、
その後前記の凹凸およびオリフィス形成用のパターンの
形成された型上に金属メッキを施し、最後に前記メッキ
皮膜を型か、、−Ｌ−？：ｔ！Ｊ＞＜Ｘ＆ｔｌ１６よ。
１．ヵ １法。
５）精密な射出成形、圧縮成形、トランスファー成形な
どの成形により、樹脂でオリフィス、インク通路壁およ
び凹部を一体的に成形してオリフィス板とする方法。
どの成形により、樹脂でオリフィス、インク通路壁およ
び凹部を一体的に成形してオリフィス板とする方法。
がある。
この様にして得られたオリフィス板９な基板１上に貼合
せ条、基板１またはオリアイス板８に第５図に示すよう
に接着剤１３をスクリーン印刷等で塗布し、両者を接着
する。この様にして基板１の凹部５とオリフィス板８の
凹部１１となほぼ対向させ、その間にインク貯蔵！＋１
２を形成する。
せ条、基板１またはオリアイス板８に第５図に示すよう
に接着剤１３をスクリーン印刷等で塗布し、両者を接着
する。この様にして基板１の凹部５とオリフィス板８の
凹部１１となほぼ対向させ、その間にインク貯蔵！＋１
２を形成する。
第５図は第４図のＡＡ’線に相当する部分の断面図であ
る。
る。
第８図から第１０図は本発明の第２の実施例を示すもの
であって、第１の実施例と同一数字は同一機能をするも
のである事を示す、第１の実施例と大きく異なる点は１
発熱素子２の両端に独立して１対の電極３Ａおよび鴫を
接続し、さらに発熱素子２の両側に凹部５を各々形成し
たことである。これによってインクリフィル性が一段と
向上する。
であって、第１の実施例と同一数字は同一機能をするも
のである事を示す、第１の実施例と大きく異なる点は１
発熱素子２の両端に独立して１対の電極３Ａおよび鴫を
接続し、さらに発熱素子２の両側に凹部５を各々形成し
たことである。これによってインクリフィル性が一段と
向上する。
なお、製造工程は第１の実施例と同様であるので、説明
は省略する。尚、実施例の説明において、凹１ｓ５は発
熱素子２．電極３（３Ａ） 、４を形成した後に作成し
たが、あらかじめ、凹部５が形成しである基板を用いる
事も有効な方法といえる。またインク供給口も、あらか
じめ基板に形成されていてもむろんかまわない。
は省略する。尚、実施例の説明において、凹１ｓ５は発
熱素子２．電極３（３Ａ） 、４を形成した後に作成し
たが、あらかじめ、凹部５が形成しである基板を用いる
事も有効な方法といえる。またインク供給口も、あらか
じめ基板に形成されていてもむろんかまわない。
本発明実施例の効果は以下の表１に示す具体例によって
より明確に説明する本ができる。尚ここで比較例として
第１１図および第１２図に示すようなフラットな基板Ｉ
Ａとフラットなオリフィス板８Ａとを用いた本発明のよ
うなインク貯蔵部を持たないインクジェットヘッドを用
いた。
より明確に説明する本ができる。尚ここで比較例として
第１１図および第１２図に示すようなフラットな基板Ｉ
Ａとフラットなオリフィス板８Ａとを用いた本発明のよ
うなインク貯蔵部を持たないインクジェットヘッドを用
いた。
表 １
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、インクリフィル性
を向上させることができ、そのため。
を向上させることができ、そのため。
インク吐出応答周波数を著しく向上させることができ、
高速記録を可能にすることができる。
高速記録を可能にすることができる。
第１図〜第３図は本発明にかかる記録ヘッドの第１の実
施例の製造工程を示す平面図、第４図は同工程を示す斜
視図、 第５図は第４図のＡ−Ａ’断面図、 第８図〜第８図は本発明にかかる記録ヘッドの第２の実
施例の製造工程を示す平面図、第８図は同工程を示す斜
視図、 第１Ｏ図は第８図のＡ−Ａ’断面図、 第１１図は比較のためのインクジェット記録へラドの斜
視図、 第１２図は第１１図のＡ−Ａ’断面図である。 １・・・基板。 ２・・・発熱素子、 ３・・・共通電極、 ４・・・個別電極、 ５・・・基板の凹部、 ６・・・インク供給口、 ７・・・インク流路壁、 ８・・・枠、 ８・・・オリフィス板、
木１０・・・吐出口、 １１・・・オリアイス板の凹部、 １２・・・インク貯蔵部〕 １３・・・接着剤。 第１図 第２図 第４図 第１０図 第１２図
施例の製造工程を示す平面図、第４図は同工程を示す斜
視図、 第５図は第４図のＡ−Ａ’断面図、 第８図〜第８図は本発明にかかる記録ヘッドの第２の実
施例の製造工程を示す平面図、第８図は同工程を示す斜
視図、 第１Ｏ図は第８図のＡ−Ａ’断面図、 第１１図は比較のためのインクジェット記録へラドの斜
視図、 第１２図は第１１図のＡ−Ａ’断面図である。 １・・・基板。 ２・・・発熱素子、 ３・・・共通電極、 ４・・・個別電極、 ５・・・基板の凹部、 ６・・・インク供給口、 ７・・・インク流路壁、 ８・・・枠、 ８・・・オリフィス板、
木１０・・・吐出口、 １１・・・オリアイス板の凹部、 １２・・・インク貯蔵部〕 １３・・・接着剤。 第１図 第２図 第４図 第１０図 第１２図
Claims (1)
- 液体を吐出する為の吐出口と、前記液体を吐出する為に
利用されるエネルギーを発生する為の吐出エネルギー発
生体と前記吐出口に連通する液室とを具備するインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、前記液室の少なくとも一部
が前記吐出エネルギー発生体が設けられた支持体に形成
される凹部と該凹部に対向して設けられた前記凹部とは
別の凹部を用いて構成されていることを特徴とするイン
クジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24611184A JPS61125859A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジエツト記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24611184A JPS61125859A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジエツト記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125859A true JPS61125859A (ja) | 1986-06-13 |
Family
ID=17143644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24611184A Pending JPS61125859A (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジエツト記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61125859A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209943A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-08-31 | Alps Electric Co Ltd | インクジエツトヘツド |
| EP0443798A2 (en) * | 1990-02-19 | 1991-08-28 | SILK GIKEN KABUSHIKI KAISHA, also known as, SILK RESEARCH & DEVELOPMENT CO., LTD. | Ink jet printer head |
| JP2001232822A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Kyocera Corp | インクジェットヘッド |
| JP2014148141A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Canon Inc | 記録ヘッド |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP24611184A patent/JPS61125859A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209943A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-08-31 | Alps Electric Co Ltd | インクジエツトヘツド |
| EP0443798A2 (en) * | 1990-02-19 | 1991-08-28 | SILK GIKEN KABUSHIKI KAISHA, also known as, SILK RESEARCH & DEVELOPMENT CO., LTD. | Ink jet printer head |
| EP0443798A3 (en) * | 1990-02-19 | 1992-02-12 | Silk Giken Kabushiki Kaisha, Also Known As, Silk Research & Development Co., Ltd. | Ink jet printer head |
| JP2001232822A (ja) * | 2000-02-24 | 2001-08-28 | Kyocera Corp | インクジェットヘッド |
| JP4651147B2 (ja) * | 2000-02-24 | 2011-03-16 | 京セラ株式会社 | インクジェットヘッド |
| JP2014148141A (ja) * | 2013-02-04 | 2014-08-21 | Canon Inc | 記録ヘッド |
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