JPS61125857A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JPS61125857A JPS61125857A JP24610684A JP24610684A JPS61125857A JP S61125857 A JPS61125857 A JP S61125857A JP 24610684 A JP24610684 A JP 24610684A JP 24610684 A JP24610684 A JP 24610684A JP S61125857 A JPS61125857 A JP S61125857A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- substrate
- recording head
- flat
- orifice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、インクジェット記録ヘッド、＃にいわゆる記
録用液体の小滴を形成する為の手段を有するインクジェ
ット記録ヘッドに関する。
録用液体の小滴を形成する為の手段を有するインクジェ
ット記録ヘッドに関する。
［従来技術］
インクジェット記録法（液体噴射記録法）は。
配備時における騒音の発生が無視し得る程度に極めて小
さいという点、高速記録が可能でありしかも所謂普通紙
に定着という特別な迅理を必要とせずに記録の行える点
において、最近関心を集めている。
さいという点、高速記録が可能でありしかも所謂普通紙
に定着という特別な迅理を必要とせずに記録の行える点
において、最近関心を集めている。
その中で、例えば特開昭５４−５１８１７号公報、ドイ
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０５４号公報に記載され
ている液体噴射記録法は、熱エネルギを液体に作用させ
て、液滴吐出の原動力を得るという点において。
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０５４号公報に記載され
ている液体噴射記録法は、熱エネルギを液体に作用させ
て、液滴吐出の原動力を得るという点において。
他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。
即ち、上記の公報に開示された記録法は、熱工ネルギの
作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化を
起し、該状態変化に基づく作用力によって、記録ヘッド
部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔的液滴
が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行われ
る。
作用を受けた液体が急峻な体積の増大を伴う状態変化を
起し、該状態変化に基づく作用力によって、記録ヘッド
部先端のオリフィスより液体が吐出されて、飛翔的液滴
が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録が行われ
る。
殊に、ＤＯＬＳ ２８４３０５４号公報に開示されてい
る液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎ
ｄ ７２！、録法に極めて有効に適用されるばかりで
なく、記録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密
度マルチ オリフィス化された記録ヘッドが容易に具現
化できるので、高解像度、高品質の画像を高速で得られ
るという特徴を有している。
る液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎ
ｄ ７２！、録法に極めて有効に適用されるばかりで
なく、記録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密
度マルチ オリフィス化された記録ヘッドが容易に具現
化できるので、高解像度、高品質の画像を高速で得られ
るという特徴を有している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出するために設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出するための熱エネルギが液体に
作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路
とを有する液吐出部と、熱二ネルゴを発生する手段とし
てのｆ交熱変換体とを具備している。
を吐出するために設けられたオリフィスと、該オリフィ
スに連通し、液滴を吐出するための熱エネルギが液体に
作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路
とを有する液吐出部と、熱二ネルゴを発生する手段とし
てのｆ交熱変換体とを具備している。
従来この様な、記録ヘッドとしては、平担；基板にイン
ク流路壁を形成したものがあげられる。
ク流路壁を形成したものがあげられる。
しかしこの様なヘッドにおいてはインクの可動領域が基
板とオリフィス板との間のすき間しかなく、流路抵抗が
大きくてインクリフィール性が慈く、高いインク吐出応
答周波数を実現する事はできなかった。また、記録ヘッ
ドを使用せず放置しておくと、短時間のうちにインク中
の溶媒が吐出口より揮発してしまい基板上に充填されて
いるインクが増粘し、次の印字開始のとき始めのド−７
）が欠けるという不具合も発生していた。
板とオリフィス板との間のすき間しかなく、流路抵抗が
大きくてインクリフィール性が慈く、高いインク吐出応
答周波数を実現する事はできなかった。また、記録ヘッ
ドを使用せず放置しておくと、短時間のうちにインク中
の溶媒が吐出口より揮発してしまい基板上に充填されて
いるインクが増粘し、次の印字開始のとき始めのド−７
）が欠けるという不具合も発生していた。
さらに記録ヘッドの構成として特開昭５９−１１８４８
９号公報に開示している様に、インク流路を形成する為
のインク流路壁およびインク貯蔵部用の凸部を一体的に
有するオリフィス板を基板に接合するものである。この
様な構成の記録ヘッドでは、前記した欠点は解決できる
ものの技術的に困難な製造工程を含んでいる。すなわち
、硬質型部上に軟質型部を形成するのに光映像をかたど
ることができる非電導性プラスチックまたはドライフィ
ルム、ホトレジストを一定厚に層状に形成するのである
が、インク貯蔵部用の凸部がじ６よと；って均一な厚さ
に形成する暮ができない、この為でき上った軟質部は一
定の高さで；く、これ全便用して形成されたオリフィス
板の吐出口は均一；ものが得られない、さらにオリアイ
ス板の吐出口近傍の表面に段差ができるので、ゴミが付
着しやすく、またインクもたまりや丁い、これらを機械
的にふき取るなどの回復操作を行う事も有効に行われな
くなる。オリフィス板表面はフラットである事が望まし
い。
９号公報に開示している様に、インク流路を形成する為
のインク流路壁およびインク貯蔵部用の凸部を一体的に
有するオリフィス板を基板に接合するものである。この
様な構成の記録ヘッドでは、前記した欠点は解決できる
ものの技術的に困難な製造工程を含んでいる。すなわち
、硬質型部上に軟質型部を形成するのに光映像をかたど
ることができる非電導性プラスチックまたはドライフィ
ルム、ホトレジストを一定厚に層状に形成するのである
が、インク貯蔵部用の凸部がじ６よと；って均一な厚さ
に形成する暮ができない、この為でき上った軟質部は一
定の高さで；く、これ全便用して形成されたオリフィス
板の吐出口は均一；ものが得られない、さらにオリアイ
ス板の吐出口近傍の表面に段差ができるので、ゴミが付
着しやすく、またインクもたまりや丁い、これらを機械
的にふき取るなどの回復操作を行う事も有効に行われな
くなる。オリフィス板表面はフラットである事が望まし
い。
［目的］
本発明の目的は、上記の欠点を解決し、フラットな表面
を有するオリフィス板を使用し、インクリフィル性良好
な、すなわち高吐出応答周波数を可能にするインクジェ
ット記録ヘッドを提供する事にある。
を有するオリフィス板を使用し、インクリフィル性良好
な、すなわち高吐出応答周波数を可能にするインクジェ
ット記録ヘッドを提供する事にある。
Ｃ実施例〕
以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
第１図〜第５図は本発明のＭｌの実施例を示すものであ
る。第１図に示すように、ガラス、−１！ラミックス、
プラスチックスまたは金属等の適当な基板１上に所望の
個数のインク吐出圧を発生させる発熱素子２ （図にお
いては４債）を配設し、ざらに次のようにして’ｔａｉ
を配、：Ｉ？する。アなわち。
る。第１図に示すように、ガラス、−１！ラミックス、
プラスチックスまたは金属等の適当な基板１上に所望の
個数のインク吐出圧を発生させる発熱素子２ （図にお
いては４債）を配設し、ざらに次のようにして’ｔａｉ
を配、：Ｉ？する。アなわち。
基板ｌ上において１発熱素子２の一端には大通電８ｉ３
を接続し、同素子２の他端には個別電極４の一端を各々
接続する。
を接続し、同素子２の他端には個別電極４の一端を各々
接続する。
そしてこれら素子２およびｖ、ｉ３．４を配設した基板
１上に、電気絶縁性を付与する目的で。
１上に、電気絶縁性を付与する目的で。
５ｉ０２ 、 Ｔａ２０５ 、 Ａ文２０３．ガラス
、 ５ｉＢＮａ 、 ＢＮ等の無機酸化物または無Ｓ窒
化物からなる電気絶縁膜（不図示）８よび耐インク性を
付与するための耐インク膜１例えばＡｕ、ＰＬ、Ｐｄ等
の貴金属またはＴｉ、Ｏｒ、Ｎｉ、丁ａ、＞ｌｏ、Ｗ、
）ｌｂ等の耐食金属またはＳＯＳ 。
、 ５ｉＢＮａ 、 ＢＮ等の無機酸化物または無Ｓ窒
化物からなる電気絶縁膜（不図示）８よび耐インク性を
付与するための耐インク膜１例えばＡｕ、ＰＬ、Ｐｄ等
の貴金属またはＴｉ、Ｏｒ、Ｎｉ、丁ａ、＞ｌｏ、Ｗ、
）ｌｂ等の耐食金属またはＳＯＳ 。
モネルメタル等の耐食合金を被覆する。
インクを吐出する際は望みの発熱素子２に接続した電極
４および共′１ｆ１ＴＬ８ｉ３にＴＬ流を流す事により
、その発熱素子２を発熱させる。これによって、その近
傍のインクが加熱されてインク吐出圧が発生する。
４および共′１ｆ１ＴＬ８ｉ３にＴＬ流を流す事により
、その発熱素子２を発熱させる。これによって、その近
傍のインクが加熱されてインク吐出圧が発生する。
次に第２図で示すように基板ｌ上に凹形断面のインク貯
蔵部５を形成する。その方法としては。
蔵部５を形成する。その方法としては。
機械加工、サンドブラスト、超音波加工、レーザー加工
、放電加工、エツチング等があげられる。尚、この加工
の際電極配線および発熱素子等を加工時に発生するごみ
汚れから守る為、有機物などで保護しておくのは有効な
方法である。またエツチングは１通常ＩＣの製造工程で
行われるホトリソグラフィーの手法を用いて行う事がで
きる。
、放電加工、エツチング等があげられる。尚、この加工
の際電極配線および発熱素子等を加工時に発生するごみ
汚れから守る為、有機物などで保護しておくのは有効な
方法である。またエツチングは１通常ＩＣの製造工程で
行われるホトリソグラフィーの手法を用いて行う事がで
きる。
インク貯蔵部５の形状、深さ２位置等は基板の強度、イ
ンクのりフィル性等を考えて自由に決める事ができる。
ンクのりフィル性等を考えて自由に決める事ができる。
次にインク貯蔵部５の底に基板１を貫通するインク供給
口６を形成した後、発熱素子２の両側に位置するように
基板１上にインク流路壁７を配設し、さらにこれらイン
ク流路壁７およびインク貯蔵部５を囲むように枠８を形
成する（第３図）。
口６を形成した後、発熱素子２の両側に位置するように
基板１上にインク流路壁７を配設し、さらにこれらイン
ク流路壁７およびインク貯蔵部５を囲むように枠８を形
成する（第３図）。
これらを形成する材料としては、仕上り精度の作成の容
易な事から、ドライフィルム感光性樹脂を使用するのが
有効である。すなわち第２図において説明したような被
覆を施した基板１の表面を洗浄、乾爆した後、加熱して
ドライフィルム感光性樹脂を熱圧着する０次に所望のパ
ターンを有するホトマスク（レジスト）を該樹脂上に位
置決めして配置した後、露光・現像する。得られたレジ
ストパターン（インク流路壁、枠８）は耐インク性を高
める為に熱または紫外線の照射により効果を完結する。
易な事から、ドライフィルム感光性樹脂を使用するのが
有効である。すなわち第２図において説明したような被
覆を施した基板１の表面を洗浄、乾爆した後、加熱して
ドライフィルム感光性樹脂を熱圧着する０次に所望のパ
ターンを有するホトマスク（レジスト）を該樹脂上に位
置決めして配置した後、露光・現像する。得られたレジ
ストパターン（インク流路壁、枠８）は耐インク性を高
める為に熱または紫外線の照射により効果を完結する。
ついでこのようにして得られた基板１上に、第４図に示
すように吐出口１０を有するフラットなオリフィス板８
を貼合せる。吐出口ｌＯは発熱素子２の真上になるよう
に位置合せしである。オリフィス板８はフラットな板で
よいのでその作成法は種々の方法の中から選択する本が
できる。たとえば金属板、＠Ｂ板板上セラミックスのエ
ツチング。
すように吐出口１０を有するフラットなオリフィス板８
を貼合せる。吐出口ｌＯは発熱素子２の真上になるよう
に位置合せしである。オリフィス板８はフラットな板で
よいのでその作成法は種々の方法の中から選択する本が
できる。たとえば金属板、＠Ｂ板板上セラミックスのエ
ツチング。
レーザー加工、放電加工、打抜３等、あるいはメッキに
よる形成法、感光性樹脂のフォトリソグラフィーなどを
めげる裏ができる。貼会せの原は基板１またはオリフィ
ス坂Ｓ１．：ＭＳ図に示すように接着剤１１をスクリー
ン印刷等で塗布し１両者を接着する。第５図は８４図の
ＡＡ’線に相当する部分の断面図である。
よる形成法、感光性樹脂のフォトリソグラフィーなどを
めげる裏ができる。貼会せの原は基板１またはオリフィ
ス坂Ｓ１．：ＭＳ図に示すように接着剤１１をスクリー
ン印刷等で塗布し１両者を接着する。第５図は８４図の
ＡＡ’線に相当する部分の断面図である。
第６図から第１０図は本発明の第２の実施例を示すもの
であって、第１の実施例と同一数字は同一機能をするも
のである裏を示す、第１の実施例と大きく異なる点は、
発熱素子２の両端に独立して１対の電極３Ａおよび４を
接続し、ざらに発熱素子２の両側にインク貯蔵部５を各
々形成したことである５これによってインクリフィル性
が一段と向上する。なお、製造工程は第１の実施例と同
様であるので、説明は省略する。尚、実施例の説明にお
いて、インク貯蔵部５は発熱素子２．電極３（３Ａ）
、４を形成した後に作成したが、あらかじめ、インク貯
蔵部５が形成しである基板を用いる事も有効な方法とい
える。またインク供給口も、あらかじめ基板に形成され
ていてもむろんかまわない。
であって、第１の実施例と同一数字は同一機能をするも
のである裏を示す、第１の実施例と大きく異なる点は、
発熱素子２の両端に独立して１対の電極３Ａおよび４を
接続し、ざらに発熱素子２の両側にインク貯蔵部５を各
々形成したことである５これによってインクリフィル性
が一段と向上する。なお、製造工程は第１の実施例と同
様であるので、説明は省略する。尚、実施例の説明にお
いて、インク貯蔵部５は発熱素子２．電極３（３Ａ）
、４を形成した後に作成したが、あらかじめ、インク貯
蔵部５が形成しである基板を用いる事も有効な方法とい
える。またインク供給口も、あらかじめ基板に形成され
ていてもむろんかまわない。
以上説明した本発明実施例の効果は以下の表１に示す具
体例により、より明確に説明する事ができる。尚ここで
比Ｖ例として男１１図８よび男１２図に示すようなフラ
ット；１１とフラー、ト、２Ｔリフイス坂Ｓとを用いた
本発明のようなインク貯蔵部を持たない（他はＦｉ様構
り インクジェットヘッドを用いた。
体例により、より明確に説明する事ができる。尚ここで
比Ｖ例として男１１図８よび男１２図に示すようなフラ
ット；１１とフラー、ト、２Ｔリフイス坂Ｓとを用いた
本発明のようなインク貯蔵部を持たない（他はＦｉ様構
り インクジェットヘッドを用いた。
表 １
［効果］
以上説明したように本発明によれば、
ｌ） インクリフィル性が向上したためインク吐出応答
周波数が著しく向上し高速記録が可能となった。
周波数が著しく向上し高速記録が可能となった。
２） フラットなオリフィス板でよいため形成方法を自
由に選択できる。また高密度のインク吐出口を有するオ
リフィス板の作成も容易にできる。
由に選択できる。また高密度のインク吐出口を有するオ
リフィス板の作成も容易にできる。
３） オリフィス板がフラットな為、ゴミ、インク等が
オリフィス板表面にたまりにくい、ｔたたまった時でも
ふきとる塔で簡単に取る事ができる。
オリフィス板表面にたまりにくい、ｔたたまった時でも
ふきとる塔で簡単に取る事ができる。
４）上記の様な回復操作は、特に複雑な機構を必要とせ
ず、安価なインクジェットプリンタを実現できる。
ず、安価なインクジェットプリンタを実現できる。
第１図〜第３図は本発明にかかる記録ヘッドの第１の実
施例の製造工程を示す平面図、第４図は同工程を示す斜
視図、 第５図は第４図のＡ−Ａ’断面図。 第６図〜第８ｒｇＪは本発明にかかる記録ヘッドの第２
の実施例の製造工程を示す平面図。 第９図は同工程を示す斜視図、 第１０図は第８図のＡ−Ａ’断面図。 ＄１１図は比較のためのインクジェット記録ヘッドの斜
視図。 第１２図は第１１図のＡ−Ａ’ 断面図である。 １・・・基板、 ２・・・発熱素子。 ３・・・共通電極。 ４・・・個別電極、 ５・・・インク貯蔵部、 ６・・・インク供給口、 ７・・・インク流路壁、 ８・・・枠。 Ｓ・・・オリフィス板。 １０・・・吐出口。 １１・・・接着剤。 第１１図
施例の製造工程を示す平面図、第４図は同工程を示す斜
視図、 第５図は第４図のＡ−Ａ’断面図。 第６図〜第８ｒｇＪは本発明にかかる記録ヘッドの第２
の実施例の製造工程を示す平面図。 第９図は同工程を示す斜視図、 第１０図は第８図のＡ−Ａ’断面図。 ＄１１図は比較のためのインクジェット記録ヘッドの斜
視図。 第１２図は第１１図のＡ−Ａ’ 断面図である。 １・・・基板、 ２・・・発熱素子。 ３・・・共通電極。 ４・・・個別電極、 ５・・・インク貯蔵部、 ６・・・インク供給口、 ７・・・インク流路壁、 ８・・・枠。 Ｓ・・・オリフィス板。 １０・・・吐出口。 １１・・・接着剤。 第１１図
Claims (1)
- 液体を吐出する為の吐出口と、前記液体を吐出する為に
利用されるエネルギーを発生する為の吐出エネルギー発
生体と、前記吐出口に連通する液室とを具備するインク
ジェット記録ヘッドにおいて、前記液室の一部が前記吐
出エネルギー発生体が設けられた支持体に形成される凹
部を用いて構成されていることを特徴とするインクジェ
ット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59246106A JPH064330B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59246106A JPH064330B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125857A true JPS61125857A (ja) | 1986-06-13 |
| JPH064330B2 JPH064330B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=17143568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59246106A Expired - Lifetime JPH064330B2 (ja) | 1984-11-22 | 1984-11-22 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064330B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311354A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-18 | Seiko Epson Corp | インクジエツト記録装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS581570A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-06 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS581569A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-06 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS6132762A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-15 | Canon Inc | 液体噴射記録法並びにこれに用いる記録ヘツド |
-
1984
- 1984-11-22 JP JP59246106A patent/JPH064330B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS581570A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-06 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS581569A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-06 | Canon Inc | 液体噴射記録ヘツド |
| JPS6132762A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-15 | Canon Inc | 液体噴射記録法並びにこれに用いる記録ヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311354A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-18 | Seiko Epson Corp | インクジエツト記録装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH064330B2 (ja) | 1994-01-19 |
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