JPS61121991A - 光情報記録坦体 - Google Patents

光情報記録坦体

Info

Publication number
JPS61121991A
JPS61121991A JP59243243A JP24324384A JPS61121991A JP S61121991 A JPS61121991 A JP S61121991A JP 59243243 A JP59243243 A JP 59243243A JP 24324384 A JP24324384 A JP 24324384A JP S61121991 A JPS61121991 A JP S61121991A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
carbon layer
information recording
optical information
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59243243A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Mizuhashi
徹 水橋
Koichi Suzuki
巧一 鈴木
Masashi Tada
昌史 多田
Satoru Takagi
悟 高木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP59243243A priority Critical patent/JPS61121991A/ja
Publication of JPS61121991A publication Critical patent/JPS61121991A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24304—Metals or metalloids group 2 or 12 elements (e.g. Be, Ca, Mg, Zn, Cd)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/2431—Metals or metalloids group 13 elements (B, Al, Ga, In)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24312—Metals or metalloids group 14 elements (e.g. Si, Ge, Sn)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302—Metals or metalloids
    • G11B2007/24314—Metals or metalloids group 15 elements (e.g. Sb, Bi)
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24318—Non-metallic elements
    • G11B2007/24328—Carbon
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
    • G11B7/2531—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising glass
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
    • G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、レーザー光を照射して蒸発、気化、溶融、分
解あるいは化合等によりガスを発生しバブルを形成させ
情報の記録が行なえるようにされたカーボン層とガス発
生層を有する光情報記録担体の改良に関するものである
。
「従来の技術及びその問題点」 光情報記録担体は、高速回転する該担体にレーザー光を
照射して、その記録薄膜に情報ピットを記録し、この記
録された情報はレーザ　、−光の照射によって読み取ら
れるものであり、現時記録再生、高速ランダム・アクセ
スが可能である。光情報記録薄膜への情報ピットの形成
方法としては、レーザー光線などの高密度熱エネルギー
を微小なスポットに集束させて光情報記録薄膜に照射し
、かかる薄膜の一部を蒸発、気化、溶融ある一：Ｑｌｌ
は拡散により除去あるいは変形させてピット（小孔）を
形成するヒート・モード記録方式と、物質の光学的特性
、例えば屈折率や反射率を変化させる方式とがある。前
者の方式の光情報記録薄膜としては、レーザー光の照射
時において、かかる薄１１りが容易に、かつ効果的に加
熱されて蒸発、気化、溶融などにより除去される様に、
薄膜材料の光の吸収係数が大きく、融点が低く、又、熱
伝導率が小さく、書き込みに要するエネルギーが小さい
こと、読み出し時のＳ／Ｎ比向上向上め１粒界がないか
、あるいは粒径が書き込みビ・ント径に比べて十分率さ
いこと、島状とならず均一な膜が得られること、長期間
の安定性が高いことなどが要求される。かかる各種要求
を満たす光情報記録層として、低融点で高い光吸収率を
有し、熱伝導率が小さいＴｅ被膜ないしＴｅを主成分と
する被膜が知られているが、このＴｅ系の被膜はその強
い毒性が問題である。これに置き換わる低毒性、低融点
の光情報記録層の材料として、ＢｉやＩｎ、　Ｓｎなど
もあるが、薄←確続した均一な膜が得られにくいこと、
あるいは、熱伝導率がＴｅに比べて大きい等の理由のた
めに良好なビット形状が得られず、Ｓ／Ｎ比が低いなど
という欠点、酸化され易く、高温高湿下での安定性が低
く耐久性に劣るという欠点、又、機械的な強度が劣ると
いう欠点などがある。これらの欠点を改良する方法とし
て、　Ｔｅ、　Ｂｉ、　Ｉｎ、　Ｓｎなど低融点金属膜
をその両側から５ｉ０２膜などの酸化物膜で挟んでサン
ドイッチ構造にしたり、Ｔｅ、　Ｂｉ。
Ｉｎ、　Ｓｎなどを酸化物と混合したサーメツト膜にし
たりすることが提案されている。しかしながら、いずれ
の改善方法も低融点金属が酸化されやすい故、金属酸化
物ではさんだ場合、低融点金属層が一部酸化されて好ま
しくなく、ビット形状、耐久性の点で不充分であった。
「発明の目的及びその概要」 本発明は、かかる点を改良し、更に一層優れた書き込み
特性と耐久性を有する光情報記録担体を提供することを
目的として研究の結果発明されたものであり、その要旨
は、レーＷ’−光を照射して蒸発、気化、溶融、分解あ
るいは化合等によって、ガスの発生、または媒体自体の
ガス化を起すガス発生層を、その少なくとも上側から圧
縮応力の入ったカーボン層により被覆し、上記ガス発生
層より発生するガスにより上記カーボン層にバルブが形
成され、情報が記録されるようにしたことを特徴とする
光情報記録担体に関するものである。
「発明の構成」 以下、本発明の詳細な説明する。
本発明における光情報記録担体の基体ｌとしては、透過
光読み取りの場合には透明ガラス板、ポリメチルメタク
リレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレ
ン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、
ポリスチレンなどのポリマー、又はこれらの種々変成し
たポリマー、コポリマー、ブレンド物などのシートある
いはフィルムなどが使用され、又、反射光読み取りの場
合には、反射膜コートを施１、、男ニーに記各種基板の
他、アルミ板、アルミ合金板などが使用される。
かかる基体１−Ｌにはガス発生層２と圧縮応力の入った
カーボン層３からなる光情報記録構成層４が形成されお
り、このガス発生層２の材料としては、光吸収性を有し
、低毒性で２００°Ｃ〜１０００℃の低融点金属、具体
的にはＢｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｐｂ。
Ｚｎ、Ｍｇ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｔｅ、ｃｄ、Ａｇ、またはＡ
Ｉからなる金属群から選ばれた少なくとも１種からなる
金属もしくは、かかる金属を少なくとも１種以上含む合
金などが使用できる。中でもＢｉ、Ｉｎ、Ｓｎ等は、低
毒性、低融点で光吸収性もあり、レーザー光によって容
易に蒸発あるいは溶融し、」―記の金属自身、ビットを
形成すると同時にガスを発生するために、情報記録の書
き込みが容易であるので最適である。さらに、Ｏｒ、Ｎ
ｉ、（：＋＋、Ｔｉ。
Ｚｒ、及びＡＩからなる金属群から選ばれた１つの金属
、又は上記金属の少なくとも１つ以」二を含む合金と、
５ｎ０２．５ｉ０２　、ＴｉＯ２，ＭｏＯｘ、ＭｎＯ＋
＋、ＦｅＯｘおよびＮｂＯｘからなる誘電体とをサーメ
ット化、あるいは−１・ａ一層と誘電体層とを２層以上
交互に積層することによって形成したものが使用できる
。中でもＯｒ及び５ｎ０２からなるサーノ・ント膜は、
無毒で、耐久性にすぐれ、光吸収性もあり、レーザー光
に分解あるいは化合し、ガスを発生するため、情報記録
の書き込みが容易であるので、ガス発生層として最適で
ある。又、ガス発生層としては、金属を分散させたり、
色素を混合し光吸収性を持たせたゼラチン、酢酸セルロ
ース、ニトロセルロース等の高分子化合物もレーザー光
によって容易に分解し、ガスを発生するために、情報記
録の書き込みが容易であるので最適である。本発明にお
いて、上記ガス発生層２をその上側から圧縮応力の入っ
たカーボン層により被覆する。更に好ましくは、かかる
ガス発生層２をその両側から圧縮応力の入ったカーボン
層によりサンドイッチ状に挟み積層化する。カーボン層
は、高融点でありガス発生層の金属が、例えば蒸発ある
いは溶融した際にも、かかる金属との相互作用が少なく
、ガス発生層の」−側を被覆すｉとして、あるいはサン
トイフチする層として最適である。このように、ガス発
生層をその少なくとも上側から圧縮応力の入ったカーボ
ン層により被覆することにより、レーザー光を照射して
ガス発生層からガスを発生させた際、ガス発生層により
発生したガスの圧力とカーボン層３に入っている圧縮応
力とがあいまってカーボン層にバブルが形成される。
上記のような構成により、次の点が改善される。
（ａ）最低書き込みパワーで、バブル形成による光学的
な変化が急に起こること、形が非常に整い、かつ大きさ
のそろったバブルが形成されるため、高いＳ／Ｎ比が得
られる。
（ｂ）カーボン層の厚さを適当な範囲１例えば３０〜５
ｏｎｓとすれば、その反射防止効果により、波長５００
〜９００ｎｍのレーザー光に対し、光情報記録構成層の
反射率を数％に低減させることができ、吸収−ｄｉ士８
ｏｚ程度に増加し、それによって書き込み感度を大幅に
向上させることができる。さらにバブル形成によって反
射防１ト条件が破れ、バブルの位置で反射が増加すると
いう理由から高いコントラストが得られる。他方、カー
ボン層の厚さを１０ｎｍ〜２００ｎｍとして、レーザー
光吸収の妨げにならない程度に反射を上げておき、レー
ザー光を照射すると、バブル形成により干渉条件が破れ
ると同時に、バブルによってレーザー光が散乱されてし
まうため、バブルからの反射が下り、高いコントラスト
が得られる。また、後者の場合バックグラウンドの反射
をある程度高くとれるため、トラッキング及びフォーカ
シング制御にも有利である。
（ｃ）ガス発生層は、圧縮応力の入ったカーボン層での
バブル形成を促進するという目的から、レーザー光照射
によってガスを発生する材料であればよいため、材料の
選択性が増し、Ｔｅ等の有毒性の材料をあえ−ｃｆｌＱ
ＩＴ］する必要がない。
（ｄ）上記した理由より、耐久性という点からも材料選
択性が広くなり、中でも、Ｃｌ０ｒ＋ＳｎＯ？／基体は
、耐久性がよい。
上記した点から上記カーボン層の厚さとしては、１０ｎ
ｍ〜２００ｎ■の範囲が最適である。
又、カーボン層の圧縮応力の値としては　ｌ×１０１１
〜Ｉ　Ｘ　１ＯＮｄｙｎｅ／ｃｍ２ｃ７）範囲が適して
おり、特にＩ　Ｘ　１０９〜ｌ　Ｘ　１０１ｄｙｎｅ／
ｃｍ２が好ましい。
その理由としては、カーボン層の圧縮応力が大きすぎる
場合には、カーボン層とガス発生層との間で剥離が起き
やすくなり耐久性が、悪くなる。また、圧縮応力が小さ
すぎる場合には、バブル形成が、起きにくくなるという
問題が生じる。
カーボン層に発生する圧縮応力は、カーボン層を形成す
るスパッター法、真空蒸着法等の物理的蒸着法（ＰＶＤ
法）の方法及びカーボン層の被覆形成条件によって異な
る。従って、その方７罠選釈及び条件のコンＩ・ロール
によって−１−記範囲の圧縮応力が得られるようにする
。
例えば、グラファイトをターゲットとして、高周波スパ
ッター法によりカーボン層を形成する場合には、そのカ
ーボン層の圧縮応力は、スパッター圧力に依存し、圧力
が高くなるにつれ、圧縮応力は小さくなるので、スパッ
ター圧力をコントロールしてＩ−記範囲に圧縮応力が得
られるようにする。
本発明においては、光情報記録構成層４の１一層若しく
は下層に、又は基体の光情報記録構成層４の形成された
面と反対面に、反射層、絶縁層、保護層、アンダーコー
ト層、アルカリバリア一層、その他各種機能層を１層、
ないし数層、あるいは組み合わせて形成することもでき
る。例えば、光情報記録担体の書き込み前後の反射率変
化を増加させるために、 カーボン層／ガス発生層／カーボン属／熱絶縁層／反射
層／基体（例えば、カーボン層１０ｒと５ｎ０２の複合
層／カーボッ層／熱絶縁層／ＡＩ層／ス（祠ｐ の様な５層の層構成を有する光情報記録担体として、光
情報記録構成層側から書き込み、読み出しをすることも
ｆｆｆ能である。又、基体側からの書き込み、読み出し
を行なうために、反射層／熱絶縁層／カーボン層／ガス
発生層／カーボン層／基体（例えば、ＡＩ層／熱絶縁層
／カーボン層／Ｃｒと５ｎａ２の複合層／カーボッ層／
基体） の様な５層の層構成を有する光情報記録担体とすること
もできる。
本発明において、ガス発生層及びカーボン層を基体１−
に形成する方法としては、特に限定されるものではなく
、各種真空蒸着Ｖ：、各種スパッタリング法、各種イオ
ンブレーティング法各種ＣＶＤ法など種々の被膜形成方
法が利用できる。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例１ 表面平滑性に優れている円形フロートガラス基体Ｃ直径
：　８５ｍｍ，　ｆｒ：　２ｍｍ）ヲ用Ｍ．　ｌ，、酸
化セリウムで表面を研摩した後、市販の中性洗剤でガー
ゼ洗浄し、水道水，蒸留水，エタノールの順で清ぎを充
分に行ない、窒素乾燥させた。
この基体１０を第２図に示したスパッター装置ｌｌ内の
回転する基体支持部材１２に取り付けた。スパッター・
ターゲットとしては、ステンレス酸の皿に入れたビスマ
スのターゲット１３と、ステンレス酸の冊に入れたカー
ボンのターゲット】４を用いた。各層の形成にあたって
は、まず真空槽１５内を１０−ＩＴｏｒｒ台まで排気し
、その後、高純度アルゴンガスを導入し、　３Ｘ　１０
−３Ｔｏｒｒの圧力にコントロールした。ＢｉとＣを充
分にプレスバッターした後、基体１０を回転させながら
シャッター１６を開き、コーテングを開始した。基体ｌ
Ｏを回転させながら基体」−に第１層としてカーボン層
を形成し、その」二にガス発生層としてのＢｉ層を更に
その」二層になるカーボン層とを順次積層し、合計層数
を３層構成とした。カーボン層とＢｉ層との形成時、各
ターゲットに加えるＤＣ電力／又はＲＦ電力をコントロ
”−）ｌｙ　シ，カーボン層の厚さは約３５〜５０ｎｍ
　、　Ｂｉ層の厚さは約４０〜８０ｎｍとなるようにし
た。
このようにして作成された第１層のカーボン層の圧縮応
力は約Ｉ　Ｘ　１０１０ｄｙｎｅ／ｃｍ２であった。
このようにして得られた３層構成膜（Ｃ／Ｂｉ／Ｃ）の
形成された光情報記録担体の分光特性を８１単層膜が同
１−の基体に形成された光情報記録担体のそれと共に第
３図に示す。第３図（Ａ）は−１−記３層構成のＢｉ層
が比較的薄い場合（４０ｎｍ）であり、第３図（Ｂ）は
、かかるＢｉ層が厚い場合（６０ｎｍ）である。カーボ
ン層の厚みを変えると，その反射率が最小になる波長が
変化する。
したがって、反射率が最小になる位置を用いるレーザー
の波長に合わせれば，レーザー光の吸収を最大８０％程
度にすることが”Ｔ　％である。例えばＨｅ−Ｍｅ　Ｉ
ｙ−ザー（８３３ｎｍ　）に対しては、Ｃ膜厚約３５ｎ
ｍ、半導体レーザー（　８００ｎｍ前後）に対しては約
５Ｏｎ＋ｉの厚みが必要である。第３図（Ａ）、（Ｂ）
において、曲線ａは上記３層構成の各カーボン層の厚さ
が約１７ｎｍ（７）ものの反射ｄ斥ト及び透過特性を示
すものであり、曲線すはに記３層構成の各カーボン層の
厚さが約３４ｎｍのものの反射特性及び透過特性を示す
ものであり、曲線Ｃはト記３層構成の各カーボン層の厚
Ｓが約５ｉｎＩ１１のものの反射特性及び透過特性を示
すものであり、曲線ｄは同」−のフロートガラス基体に
約５０ｎｍのＢｉ単層膜を形成したものの反射特性を示
したものである。
第４図には、同」−のガラス基体−にに各種属さのＣ単
層膜が形成されたものの分光特性を示す。Ｃ単層膜は、
可視域に吸収を持ち、長波長側にいくにしたがい、吸収
は低下する。したがって、適当な厚さのＣ膜は、光吸収
量を高め、感度を向にさせることが認められる。なお、
第４図において５曲線ａはカーボン層の厚さが６０ｎｍ
の場合の反射特性及び透過特性を示し、曲線すはカーボ
ン層の厚さが２６ｎｍの場合の反射特性及び透過特性を
示し、曲線Ｃはカーボン層の厚さが１１０５ｎの場合の
反射特性及び透過特性を示す一豐ｊｊ 第５図にはＣ／旧／Ｃの３層構成膜−１−２４に形成さ
れたバブルを示す。照射されたレーザー光は、ガス発生
層２０としてのＢｉ層に吸収され、Ｂｉを蒸発させガス
を発生させると同時にＢｉ層にピット２１を形成する。
このとき、ＢｉとＣとの相互作用により、形のよいビッ
トとなる。発生したガスは、最」一層の圧縮応力の入っ
たカーボン層２２を押し」−げ、カーボン層上に大きさ
のそろった、非常に形のよいバブル２３を作る。
実施例２ 表面平滑性に優れている円形フロートガラス基体（直径
：　８５ｍｍ、板厚：　２ｍｍ）を用意し、酸化セリウ
ムで表面を研摩した後、市販の中性洗剤でガーゼ洗浄し
、水道水、蒸留水、エタノールの順で濯ぎを充分に行な
い、窒素乾燥させた。
この基体１０を第２図に示したスパッター装置ｌｌ内の
回転する基体支持部材Ｉ２に取り付けた。スパッター・
ターゲットとしては、ＳＩ＋０２−Ｊ−にＯｒを分散さ
せたのターゲラ１−１３と、カーボンのターゲット１４
と一〇いた。各１層の形成にあたっては、まず真空槽１
５内を１Ｏ−ＩＴａｒｔ台まで排気し、その後、高純度
アルゴンガスを導入し、　３×１Ｏ−３Ｔｏｒｒの圧力
にコントロールした。ターゲット１３と１４とを充分に
プレスバッターした後、基体１０を回転させながらシャ
ッター１６を開き、コーテングを開始した。基体１０を
回転させながら基体上にガス発生層としてＣｒ＋５ｎ０
２サ一メツト層を、更にその上層になるカーボン層とを
順次積層応力し、合ｄ層数を２層構成とした。カーボン
層とＣｒ＋５ｎ０２層との形成時、各ターゲットに加え
るＤＣ電力／又はＲＦ主電力コントロールし、カーボン
層の厚さは約２０ｎｍ　、　Ｏｒ＋５ｎ０２層の厚さは
約２００　ｎｍとなるようにした。
このようにして作成されたカーボン層の圧縮応力は約Ｉ
　Ｘ　１０　ｄｙｎｅ／ｃｍ２　であった。
第６図には、Ｇ１０ｒ＋５ｎ０２の２層構成の光情報記
録担体２８に形成されたバブル２７の様子を示す。照射
されたレーザー光は、ガス発生層２５としてのＣｒ＋５
ｎ０２サーメツト膜に吸収され、分解あるいは化合によ
っ仕？スを発生する。発生したガスは、−（一層の圧縮
応力の入ったカーボン層２Ｂを押し」−げ、カーボン層
上に大きさのそろった、非常に形のよいバブル２７を作
る。
「発明の効果」 以」二のように、本発明は、光吸収性のガス発生層の七
に圧縮応力の入ったカーボン層を被覆した構成をなし、
カーボン層にバブルを形成するものであるので、レーザ
ー光の照射昨の光情報記録構成層の光吸収率が高く、書
き込みに要するエネルギーが小さく、又書き込みが容易
であり、記録ピット形状も良好で、耐久性も優れている
という利点を持っているのは勿論のこと、バブルの形成
は、カーボン層とガスの発生”によってきまるため、材
料の選択の巾が広くなり、あえて有毒な材料を使用する
必要はなくなり、さらに、バブル形成によって、反射防
１１−条件からのずれ、バブルによるレーザー光の散乱
等の理由から従来のものより高いコントラストが得られ
るという利点が発揮される。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る光情報記録担体の横断面を示した
ものであり、’（ａ）は３層型、（ｂ）は２層型である
。第２図は本発明に係る光情報記録担体を製造するため
の装置の概略図であり、第３図は、実施例１により得ら
れた光情報記録担体の分光特性図であり、第４図はＣ単
層膜の分光特性図である。また、第５図は実施例１にお
けるバブル形成のようすを示した横断面図であり、第６
図は実施例２におけるバブル形成のようすを示した横断
面図である。 １：基体、　　２．２０，２５　：ガス発生層３．２２
．２８　：カーボン層　　４．２４．２８：光情報記録
構　成層、２１：ピット、２３，２７：バブル（。）（
ｂ） 第１図　・ 第　２　図 ト化（〆） 入（、Ｌｌｍ） 第　４　団 第　５　図 第　６　回

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）レーザー光を照射して蒸発、気化、溶融、分解あ
    るいは反応等によって、ガスの発生を起すガス発生層を
    、その少なくとも上側から圧縮応力の入ったカーボン層
    により被覆し、上記ガス発生層より発生するガスにより
    上記カーボン層にバブルが形成され、情報が記録される
    ようにしたことを特徴とする光情報記録担体。
  2. （２）ガス発生層をその両側から圧縮応力の入ったカー
    ボン層で挟み積層したことを特徴とする特許請求の範囲
    第１項記載の光情報記録担体。
  3. （３）カーボン層に１×１０＾８〜１×１０＾１＾１ｄ
    ｙｎｅ／ｃｍ＾２の圧縮応力が入っていることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の光情報記録担体。
  4. （４）カーボン層の厚さが１０ｎｍ〜２００ｎｍである
    ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光情報記
    録担体。
JP59243243A 1984-11-20 1984-11-20 光情報記録坦体 Pending JPS61121991A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59243243A JPS61121991A (ja) 1984-11-20 1984-11-20 光情報記録坦体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59243243A JPS61121991A (ja) 1984-11-20 1984-11-20 光情報記録坦体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61121991A true JPS61121991A (ja) 1986-06-09

Family

ID=17100967

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59243243A Pending JPS61121991A (ja) 1984-11-20 1984-11-20 光情報記録坦体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61121991A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6023037B2 (ja) 情報記録部材
EP0084729B1 (en) Recording elements
EP0046413B1 (en) Recording medium
EP1548722B1 (en) Optical information recording medium and method for manufacturing same
JP2834131B2 (ja) 情報記録用薄膜
JPS63262287A (ja) 光学的記録部材
TWI311748B (en) Optical information recording medium, method for producing the medium, and method and apparatus for recording information using the medium
JPS6131288A (ja) 光情報記録担体
JPS61121991A (ja) 光情報記録坦体
US5389417A (en) Optical recording medium
JP2001023236A (ja) 光学情報記録媒体およびその初期化方法
JPH04298389A (ja) 光記録媒体およびその製造方法
JP4296717B2 (ja) 光学的情報記録媒体とその製造方法
JP2656296B2 (ja) 情報記録媒体及びその製造方法
JP2004095092A (ja) 多層相変化型光情報記録媒体及びその記録再生方法
JPS59113535A (ja) 光学記録媒体
JP2002352472A (ja) 光学的情報記録媒体とその製造方法およびその記録再生方法
JPS6278746A (ja) 光記録テ−プおよびその製造方法
JPS59175047A (ja) 光学記録媒体
JPH0155118B2 (ja)
JPH0441293A (ja) 光学的情報記録用媒体
JPS60261039A (ja) 光情報記録担体
JPH10289478A (ja) 光学式情報記録媒体及びその製造方法
JPS61272190A (ja) 光記録媒体
JPH10208296A (ja) 光記録媒体