JPS60261039A - 光情報記録担体 - Google Patents

光情報記録担体

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JPS60261039A
JPS60261039A JP59115499A JP11549984A JPS60261039A JP S60261039 A JPS60261039 A JP S60261039A JP 59115499 A JP59115499 A JP 59115499A JP 11549984 A JP11549984 A JP 11549984A JP S60261039 A JPS60261039 A JP S60261039A
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JP
Japan
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layer
information recording
optical information
substrate
melting point
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Application number
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English (en)
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Mamoru Mizuhashi
衛 水橋
Koichi Suzuki
巧一 鈴木
Masashi Tada
昌史 多田
Satoru Takagi
悟 高木
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、レーザー光を照射して蒸発、気化、溶融ある
いは拡散等により情報の記録が行なえる光情報記録担体
に関するものである。
光情報記録担体は、高速回転する該担体にレーザー光を
照射して、その記録薄膜に情報ビットを記録し、この記
録された情報はレーザー光の照射によって読み取られる
ものであり、現時記録再生、高速ランダム・アクセスが
可能モある。光情報記録薄膜への情報ビットの形成方法
としては、レーザー光線などの高密度熱エネルギーをス
ポットに集束させて光情報記録薄膜に照射し、かかる薄
膜の一部を蒸発、気化、溶融あるいは拡散により除去あ
るいは変形させてビット(小孔)を形成すると一部・モ
ード記録方式と、物質の光学的特性、例えば屈折率や反
射率を変化させる方式とがある。前者の方式の光情報記
録薄膜としては、レーザー光の照射時において、かかる
薄膜が容易に、かつ効果的に加熱されて蒸発、気化、溶
融などくより除去される様に、薄膜材料の光の吸収係数
が大きく、融点が低く、又、熱電導性が適当で、書き込
みに要するエネルギーが小さいこと、読み出しsly比
向上向上めに、粒界がないか、あるいは粒径が書き込み
ビット径に比べて十分率さいこと、組成が均一で、島状
とならず均一な膜が得られること、長期間の安定性が高
いことなどが要求される。かかる各種要求を満たす光情
報記録層として、低融点で高い光吸収率を有し、熱電導
率が適当なTe被膜ないしはToを主成分とする被膜が
知られているが、このTe系の被膜はその強い毒性が問
題である。これに置き換わる低毒性、低融点の光情報記
録層の材料として、B1や工n、Snなどもあるが、薄
く連続した均一な膜が得られにくいためとか、熱電導率
がToに比べ大きいとかの理由のために良好なビット形
状が得られず、又、S/N比が低いなどという欠点、酸
化されやすく、高温高湿下での安定性が低く耐久性に劣
るという欠点、機械的な強度が劣るという欠点などがあ
る。これらの欠点を改善する方法として、To、 Bi
、In + 8n ナトノ低融点金属膜をその両側から
8102膜などの酸化物膜で挾んでサンドインチ構造に
したり、Te。
Bi、工n、anなどをサーメット化した膜にしたりす
ることが提案されている。しかしながら、前者の改善方
法も低融点金属が酸化されやすい故、金属酸化物で挾ん
だ場合、低融点金属層が一部酸化されて好ましくなく、
又、いずれの改善方法もビット形状、耐久性の点で不充
分セあった。
本発明は、かかる点を改良し、更に一層優れた書き込み
特性と耐久性を有する光情報記録担体な提供することを
目的として研究の結果発明されたものであり、その要旨
はレーザー光な照射して蒸気、気化、溶融あるいは拡散
により情報の記録が行なえる金属情報記録層が基体上に
形成されてなる光情報記録担体において、上記金属情報
記録材料層がBi、In、 an、 Pb、 Zn。
Mg、 Ga、 Sb、 Te、 06. Ag及びム
1からなる金属から選ばれた1つ、又は上記金属の少く
とも1つ以上を含む合金からなり、該金属情報記録材料
層がその両側から炭素層、シリコン“層よりなる高融点
半金属層により挾まれていることを特徴とする光情報記
録担体に関するものである。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明における光情報記録担体の基体1としては、透過
光読み取りの場合には透明ガラス板、ポリメチルメタク
リレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレ
ン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニール、ポリアミド
、ポリスチレンなとのポリマー、又はこれらの種々変成
t7タホリマー、コポリマー、ブレンド物ナトノシート
あるいはフィルムなどが使用され、又、反射光読入取り
の場合には、反射コートを施した上記各種基板のほか、
アルミ板、アルミ合金板などが使用される。
かかる基体1上には金属情報記録材料層と高融点半金属
i3とを所定層有する光情報記録構成層4が形成されて
おり、この金属情報記録材料層2の材料としては、低毒
性で、200℃〜1000°Cの低融点の金属、具体的
にはBi。
(m、p271.37°)、工n(m−p’156.6
℃)、Sm(m−p 231.91℃)、Pb(m・p
 327.3℃)、Zn (m −p419.5℃)、
Mg(m−p 649℃)、Ga(m−p 29.8℃
)、sb(m−p 63o、s℃)、Te (m−p 
450℃)、ca(m−p320.9℃)、Ag(m−
p 9 e 1℃)、*1(m−p 660.1℃)、
からなる金属群から選ばれた1種もしくは、かかる金属
を少くとも181以上含む合金などが使用できる。中で
もBi、 In、 Sn等は、低稈性、低融点で享吸収
性もあり、レーザー光によって容易に、しかもシャープ
に溶けやすく、情報記録の書き込みが容易であるので最
適である。
本発明においては、金属情報記録材料層2がその両側か
らサンドインチ状に0(炭素)層・Sl(シリコン)層
、又はB(ボロン)層より選ばれる高融点半金属層3に
より挾まれる。かかる0層、Si層又はB層より選ばれ
る高融点半金属層により金属情報記録材料層2をサンド
イッチすることにより次の点が改善される。
(a) 高融点半金属層の厚さを所定の範囲に選べば、
例えば400〜600Xとすれば、その反射防止効果に
より、レーザー波長での光情報記録構成層の反射率を数
チに低減させることができ、吸収を90−程度に増加さ
せることかでき、それによって書き込み感度を大巾に向
上させることができる。
(b)上記した種類の金属情報記録材料層の材料、例え
ばBi、 In、 8n等はTeに比べて薄!連続膜が
得られにくいが、上記したO、 Si、 B。
高融点半金属層によりサンドイッチすることにより上記
した種類の金属情報記録材料層の形成時の結晶核肥大化
を防止することができ連続膜化の促進ができる。
(0)上記した種類の金属情報記録材料層のせa−例え
ば、Bi、 In、 Sn等は酸化されやすく耐久性の
面で劣り、又、機械的強度の面でも充分でなpが、上記
した種類の高融点半金属層によりサンドイッチすること
により、安定性、耐久性を向上させることができる。
(d)上記した種類の金属情報記録材料層の材料、例え
ばBi、In、8n等は、Teに比べて熱電率が大きく
、シャープな形状のビットが得られにくいが、上記した
0、 81. Bの高融点材料層にサンドイッチするこ
とにより耐熱性を高めることができ、又、熱電率の調整
を行なうことができ、シャープな形状のビットが得られ
、読入取り精度を高めることができる。
本発明にお〜1て、高融点半金属層として、0、81.
 Bを選択した理由は、高融点なので、Bi、 an、
Inなどの金属が溶融した際、相互作用が酸化物などに
比べ小さいと考えられたからである。
本発明における金属情報記録材料層の厚みはレーザー書
き込みにおける感度、ビット形状、耐久性などから決定
されるが、例えば20〜200 nm、好ましくは30
〜70n血の範囲が適当である。又、0.81. B等
の高融点半金属層の厚みは、やはり感度、耐久性などか
ら決定されるが、用いられるレーザーの波長によっても
異なり、その波長で反射率が最少になる膜厚め−選ばれ
る。その範囲は10〜200Q、m、好ましくは30〜
60uの範囲が適当である。したがって、金属情報記録
材料層と高融点半金属層とが組み合わされた光情報記録
構成層の厚みは、40〜400n111.好ましくは9
0〜190nmの範囲が適当である。
本発明においては、上記した全体の層の厚さの範囲内に
おいて更に多層化することもできる。
例えば、金属情報記録材料層を高融点半金属層によりサ
ンドインチ構造状に挾んだ3層構成の光情報記録構成層
に限らず、2層の金属情報記録材料層をそれぞれ高融点
半金属層にてサンドイッチ構造状に挾んだ5層構成の光
情報記録構成層であってもよいし、あるいは又3層の金
属情報記録材料層を′それぞれ高融点半金属層にてサン
ドイッチ構造状に挾んだ7層構成の光情報記録構成層で
あってもよいし、あるいは又9層構成、11層構盛の光
情報記録構成層であってもよい。かかる光情報記録構成
層の具体例のいくつかについて例示する。
0/B110/基体、 c/工n/a/基体、 a/s
n/C/基体、 a/Bt/a/Bt/c/基体、 O
/B110/B 110/B 110/基体、 s i
/n i/s i/ 基体。
st/工n/Si/基体、 s1/sn/si/基体。
S1/B1/C/基体、 O/B1/B/基体、 B/
Bi/S1/基体、 B/B1/B/基体、B/工n/
B/基体、 B/Sn/B/基体* 0/B i/a/
810 ! /基体、 O/B110/5ioz/ムl
/基体。
上記した各種多層構成の中では、3層構成のものが、層
形成工程も少なく、ピット形状も良好であるので最適で
ある。
本発明において、金属情報記録材料層をその両側から挾
む高融点半金属層としては、膜形成面から同種材料とす
るのが好ましいが、金属情報記録材料層の両側の高融点
半金属層を上記した当該材料の範囲内で異なる材料とす
ることもできる。又、光情報記録構成層として2層以上
の金属情報記録材料層を有する場合にも、これら金属情
報記録材料層が同一材料であるのがその膜形成面で好ま
しいが、勿論上記した金属の範囲内で異なる材料とする
こともできる。
又、本発明においては、光情報記録構成層の上層若しく
は下層に、又は基体の光情報記録構成層の形成された面
と反対面に、反射層、絶縁層、保護層、アンダーコート
層、アリカリバイヤ一層、その他各種機能層を一層、な
いし数層、あるいは組み合わせて形成することもできる
例えば、光情報記録担体の書き込み前後の反射率変化を
増加させるために、 高融点半金属層/金属記録材料層/高融点半金属層/熱
絶縁層/反射層/基体(θX、0層/B1層/C層/ム
1層/熱絶縁層(基体) の様な5層の層構成を有する光情報記録担体として、光
情報記録構成層側から書き込み、読み出しをすることも
可能である。又、基体側からの書き込み、読み出しを行
なうために、反射層/熱絶縁層/高融点半金属層/金属
記録材料層/高融点半金属層/基体(@X。
A1層/熱絶縁層10層/ B1層/C層/基体) の様な5層の層構成を有する光情報記号担体とすること
もできる。
本発明において、金属情報記録層及び高融点半金属層を
基体上に形成する方法としては、特に限定されるもので
はなく、各種真空蒸着法、各種スパッタリング法、各種
イオンプレーテング法など種々の被膜形成方法が利用で
きる。
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1 表面平滑性に優れている円形フロートガラス基体(直径
:85m+、板厚32m)を用意し、酸化セリウムで表
面を研摩した後、市販の中性洗剤でガーゼ洗浄し、水道
水、蒸留水、エタノールの順で擢ぎを充分に行ない、窒
素乾燥させ ・た。この基体10を第4図に示したスパ
ッター装置11内の回転する基体支持部材12に取り付
けた。スパッター・ターゲットとしては、ステンレス製
の皿に入れたビスマスのターゲット13と、ステンレス
製の皿に入れたカーボンのターゲット14とを用いた。
各層の形成に肖っては、まず、真空槽15内を10 T
orr台まで排気し、その後、高純度アルコンガスを導
入し、3X10”Torrの圧力にコントロールした。
 Biと0とを充分にプレスバッターした後、基体10
を回転させながらシャッター16を開き、コーティング
を開始した。基体10を回転させながら基体上にf41
層として0層を形成し、その上に31層を更にその上層
に0層とを順次積層し、合計層数を3層構成とした。0
層とB1層との形成時、各ターゲットに加えるDC電力
/又はRF電力をコントロールし、0層の厚さは約35
〜50nm、Bi層の厚さは約40〜60nmとなる様
にした。
この様にして得られた3層構成膜(a/B1/C)の形
成された光情報記録担体の分光特性をB1単層膜が同上
の基体に形成された光情報記録担体のそれと共に第5図
に示す。第5図(A)は上記3層構成の81層が比較的
薄い場合(4onm)であり、第5図(B)図は、かか
るB1層が厚い場、合(60層m)である。0層の厚み
を変えると、その反射率が最小になる波長が変化する。
したがって、反射率が最、J\になる位置を用いるレー
ザー波長に合わせれば、レーザー光の吸収を最大90層
程度にすることが可能である。例えばHe −Neレー
ザー(6a3nm)に対しては、0膜厚約35nm、半
導体レーザー(800nm前後)に対しては、約50n
mの厚みが必要である。
第5図(A)、(B)にお〜・て、曲線aは上記3層構
成の各0層の厚さが約17 nmのものの反射特性及び
透過特性を示すものであり、曲線すは上記3層構成の各
0層の厚さが約34 nullのものの反射特性及び透
過特性を示すものであり、曲線Cは上記3層構成の各0
層の厚さが約51 nmのものの反射特性及び透過特性
を示すものであり、曲ftjdは同上のフロートガラス
基体に50 nmのB1単層を形成したものの反射特性
を示したものである。
第6図には、同上のガラス基体上に各種厚さのC単層膜
が形成されたものの分光特性を示す。
0単層膜は、可視域に吸収を持ち、長波長側にいくにし
たがい、吸収は低下する。したがって適当な厚さのO膜
は、光吸収量を高め、感度を向上させることが認められ
る。なお、第6図において、曲線aは0層の厚さが60
 nmの場合の反射特性及び透過特性を示し、曲線すは
0層の厚さが26 nmの場合の反射特性及び透過特性
を示し、曲線Cは0層の厚さ、が105 nmの場合の
反射特性及び透過特性を示す。
実施例2 表面平滑性に優れている円形フロートガラス基板(直径
:85m1板厚:2m)を用意し、酸化セリウムで表面
を研摩した後、市販の中性洗剤でガーゼ洗浄し、水道水
、蒸留水、エタノールの順で濯ぎを充分に行ない窒素乾
燥させた。
この基体10を第4図に示したスパッター装置11内の
回転する基体支持部材12に取り付けた。スパッター・
ターゲットとしては、ステンレス族の皿に入れたB1タ
ーゲット13と、ステンレス族の皿に入れたS1ターゲ
ツト14とを用いた。各層の形成に当っては、まず、真
空槽15内を10−’ Torr台まで排気し、その後
、高純度アルコンガスを導入し、所定の圧力にコントロ
ールした。SlとB1とを充分にプレスバッターした後
、基体10を回転させながらシャッター16を開き、コ
ーティングを開始した。基体10を回転させながら、基
体上に第1層として81層を形成し、その上に81層を
更にそめ上層に81層とを順次積層し、合計層数を3層
構成とした。81層と81層との形成時、各ターゲット
に加えるDo電力/又はRF電力をコントロールし、8
1層の厚さは約35nm、Bi層の厚さは約40 nm
となる様にした。
実施例3 市販のポリエステルシート(厚さ100μm)を用意し
、市販の中性洗剤でガーゼ洗浄し、水道水、蒸留水、エ
タノールの順で濯ぎを充分に行ない窒素乾燥させた。こ
の基体10を第4図に示したスパッター装置11内の回
転する基体支持部材12に取り付けた。スパッター・タ
ーゲットとしては、ステンレス族の皿に入れたElnタ
ーゲット13と、ステンレス族の皿に入れた○ターゲッ
ト14とを用いた。各層の形成に当っては、まず、真空
槽15内を10 ’ Torr台まで排気し、その後、
高純度アルゴンガスを導入し、所定の圧力にコントロー
ルした。CとSnとを充分にプレスバッターした後、基
体10を回転させながらシャッター16を開き、コーテ
ィングを開始した。基体10を回転させながら、基体上
に第1層として0層を形成し、その上にSn層をその上
層に0層とを順次積層し、合計層数を3層構成とした。
0層とSn層との形成時、各ターゲットに加えるDC電
力/又はRF電力をコントロールし、0層の厚さは約3
5nm、Bn層の厚さは約50 nmとなる様にした。
実施例4 表面平滑性に優れている円形フロートガラス基体(直径
=85籠、板厚: 2 m )を用意し、酸化セリウム
で表面を研摩した後、市販の中性洗剤でガーゼ洗浄し、
水道水、蒸留水、エタノールの順で濯ぎを充分に行ない
、窒素乾燥させた後、この基体上に100 nmの厚さ
のA1層と、該A1層上に300 nmの厚さのS10
!層を形成した。この2層被膜の形成された基体10を
第4図に示したスパッター装置11内の回転する基体支
持部材12に取り付けた。スパッター・ターゲットとし
ては、ステンレス製の皿に入れたビスマスのターゲット
13と、ステンレス製の皿に入れたカーボンのターゲッ
ト14とか用いた。各層の形成に当っては、まず、真空
槽15内を1 (1−7Torr台まで排気し、その後
、高純度アルゴンガスを導入し、3 X 10−” T
orrの圧力にコントロールした。B1と0とを充分に
プレスバッターした後、基体10を回転させながらシャ
ッター16を開き、コーティングを開始した。基体lO
を回転させながら、基体上に第3層として0層を形成し
、その上に31層を更にその上層に0層とを順次積層し
、合計層数を5層構成とした。0層とB1層との形成時
、各ターゲットに加えるDC電力/又はRF電力をコン
トロールし、0層の厚さは約35nm。
31層の厚さは約40 nmとなる様にした。
実施例1〜4により得られた光情報記録担体について、
特性測定及び性能試験を行なった結果を第1表に示す。
【図面の簡単な説明】
第1〜3図は本発明に係る光情報記録担体の横断面を示
したものであり、第4図は本発明に係る光情報記録担体
な製造するための装置の概略図であり、第5図は実施例
1により得られた光情報記録担体の分光特性図であり、
第6図はC単層膜の分光特性図である。 1・・・基体 2・・・金属情報記録材料層 3・・・吸収性高融点半金属層 4・・・光情報記録構成層 第4図 !J 5 図 第6図 手続補正書 昭和59年7り〃日 特詐庁長官 殿 1、事件の表示 昭和59年特許願第115499号 2、発明の名称 光情報記録坦体 3、補正をする者 名称 (004)旭硝子株式会社 5、補正命令の日付 自発補正 (3)明細書の図面の簡単な説明の− 8、補正の内容 (1)特許請求の範囲を別紙の通りに訂正する。 (2)明細書第6頁第8行目の「シリコン層よりな」を
「シリコン層、又はボロン層よりな」に訂正する。 (3)明細書第9頁第7行目及び第11行目の「熱電率
」を「熱伝導率」と訂正する。 (4)明細書第12頁第17行目乃至第19行目のr 
(am、 G層/Bi層/C層/At層/熱絶縁層(基
体)」を「(例えば、C層/Bi層/C層/A1層/熱
絶縁層/基体)」と訂正する。 (5)明細書第13頁第5行目乃至第7行目のr (e
x、 AI層/熱絶縁暦/C層/Bi暦/C層/基体)
」を「(例えば、A1層/熱絶縁層/C層/Bi層/C
層/基体)」と訂正する。 (8)明細書第22頁第3行目の「横断面」を「横断面
図」と訂正する。 以上 別 紙 2、特許請求の範囲 (1)レーザー光を照射して蒸発、気化、溶融あるいは
拡散により情報の記録が行なえる金属情報記録材料層が
基体上に形成されてなる光情報記録坦体において、上記
金属情報記録材料層が、Bi、 In、 Sn、 Pb
、 Zn、にg、 Ga、 Sb。 Te、 Cd、 Ag及びAIからなる金属から選ばれ
た1つの金属、又は上記金属の少なくとも1つ以上を含
む合金からなり、該金属情報記録材料層がその両側から
0層、 Si層又は8層よりなる高融点半金属層により
挟まれていることを特徴とする光情報記録坦体。 (2)金属情報記録材料層の厚さが、20nIN〜2o
On11であることを特徴とする特許請求の範囲Is1
項記載の光情報記録坦体。 (3)高融点半金属層の厚さが10層m〜200y+m
であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光
情報記録坦体。 (4)金属情報記録材料層と高融点半金属層との合計の
厚さが40n履〜400nrxであることを特徴とする
特許請求の範囲s1項記載の光情報記録坦体。 (5)基体上に!s1の高融点半金属層、金属情報記録
材料層、第2の高融点半金属層が順次積層されてなる3
層構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の光情報記録坦体。 (8)基体上に第1の0層、Bi層、第2の0層が順次
積層されてなる3層構成の光情報記録構成層が形成され
てなることを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の光
情報記録坦体。 (7)基体上に第1の高融点半金属層、第1の金属情報
記録材料層、第2の高融点半金属層、第2の金属情報記
録材料層、第3の高融点半金属層が順次積層されてなる
5層構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の光情報記録坦体。 (8)基体上に第1のC暦、第1の8+層、第2のC暦
、第2のBi層、第3の0層が順次積層されてなる5層
構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特徴と
する特許請求の範囲第7項記載の光情報記録坦体。 以 上

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■ レーザー光を照射して蒸発、気化、溶融あるいは拡
    散により情報の記録が行なえる金属情報記録材料層が基
    体上に形成されてなる光情報記録担体において、上記金
    属情報記録材料層が、Bi、In、 Sn、 Pb、 
    Zn、 Mg、 Ga、 Sb。 Te、 Od、 Ag及びA1からなる金属から選ばれ
    た1つの金属、又は上記金属の少くとも1つ以上を含む
    合金からなり、該金属情報記録材料層がその両側から0
    層、 Si層又はB層よりなる高融点半金属層により挾
    まれていることを特徴とする光情報記録担体。 (2)金属情報記録材料層の厚さが20皿〜200nm
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光
    情報記録担体。 (8) 高融点半金属層の厚さが10mm〜200Wn
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光
    情報記録担体。 (4) 金属情報記録材料層と高融点半金属層との合計
    の厚さが40nm〜400nmであることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の光情報記録担体。 (5)基体上に第1の高融点半金属層、金属情報記録材
    料層、第2の高融点半金属層が順次積層されてなる3層
    構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の光情報記録担体。 (6)基体上に第1の0層、 Bi層、第2の0層が順
    次積層されてなる3層構成の光情報記録構成層が形成さ
    れてなることを特徴とする特許請求の範囲第5項記載の
    光情報記録担体。 (7)基体上に第1の高融点半金属層、第1の金属情報
    記録材料層、第2の高融点半金属層、第2の金属情報記
    録材料層、第3の高融点半金属層が順次積層されてなる
    5層構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の光情報記録担体。 (8)基体上に第1の0層、第1のB1層、第200層
    、第2の31層、第3の0層が順次積層されてなる5層
    構成の光情報記録構成層が形成されてなることを特徴と
    する特許請求の範囲第7項記載の光情報記録担体。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100110860A1 (en) * 2008-11-03 2010-05-06 Brigham Young University Data storage media containing magnesium metal layer

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5174632A (ja) * 1974-12-24 1976-06-28 Canon Kk

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5174632A (ja) * 1974-12-24 1976-06-28 Canon Kk

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100110860A1 (en) * 2008-11-03 2010-05-06 Brigham Young University Data storage media containing magnesium metal layer

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