JPS61111578A - 光受信ic - Google Patents

光受信ic

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JPS61111578A
JPS61111578A JP59233899A JP23389984A JPS61111578A JP S61111578 A JPS61111578 A JP S61111578A JP 59233899 A JP59233899 A JP 59233899A JP 23389984 A JP23389984 A JP 23389984A JP S61111578 A JPS61111578 A JP S61111578A
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JP
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circuit
photodiode
diode
reception
light
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JP59233899A
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English (en)
Inventor
Takanori Sawai
沢井 孝典
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0232Optical elements or arrangements associated with the device
    • H01L31/02327Optical elements or arrangements associated with the device the optical elements being integrated or being directly associated to the device, e.g. back reflectors

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (7)  技  術  分  野 この発明は、光通信システムに於て使用される光受信I
Cに関する。
光通信は、電気信号を光信号に変換して、光ファイバの
中を伝送し、受信側に於て、光信号を逆に電気信号に戻
す事によって行われる。
受信回路は、充電変換素子、増幅回路、二値化回路を含
まなければならない。
(イ)従来技術とその問題点 従来の光受信回路は、全体がIC化されていなかった。
つまり、光受信ICというものがなかった。
ホトダイオード又はアバランシェホトダイオードを光電
変換素子とするが、これは単体のハーメチックシールし
たキャップ入りの素子、モールドされた素子などを用い
た。
さらに、増幅回路や二値化回路はハイブリッドICにな
っていた。ハイブリッドICにするのは、大容量のコン
デンサを回路中に必要とするからである。二値化するた
めに、閾値が必要である。閾値は固定電圧であるより、
浮動する閾値である事が多い。入力電圧の平均の電圧を
閾値とする。平均値を計算するためには、抵抗とコンデ
ンサよりなる平滑化回路を用いる必要がある。積分回路
といっても良い。
この時定数は、抵抗値とコンデンサの容量の積によって
与えられる。これが平均値を与えるためには、入力信号
のパルスの最大時間幅より、時定数はかなり大きくなく
てはならない。
ハイブリッドICの場合、高抵抗は作りにくいので、数
10 kΩ以下の抵抗とする事が多い。すると、先程の
平滑化回路のコンデンサは、小さくても0.1/lF以
上なくてはならない。
このように大きいコンデンサはシリコンチップの上に作
る事ができないので、コンデンサチップを用いる必要が
ある。ハイブリッドICの中にコンデンサチップを取付
けて、平滑化回路を構成する。
この為、回路全体をモノリシック1cにする事ができな
い。
もうひとつ、モノリシックIC化をはばんでいた要素が
ある。それはダイナミックレンジを広くとりたいという
要求を満たすために生ずる。
光受信回路であるから、光信号はHとLの2値しかない
デジタル信号を扱っていたとしても、Hレベルの光の強
さは伝送系によって異なる。たとえLレベルが一定であ
るとしても、Hレベルは多様である。どのような伝送系
に対しても共通に使用できる光受信回路を構成しなけれ
ばならない。
このため、Hレベルの値がどのようなものであっても、
これをHと弁別できなければならない。
このためには、HレベルとLレベルとを弁別する閾値を
、極めて低い値にすれば良いように見える。
実際には、光電変換素子の電流を増幅して、適当な電圧
にしてから、コンパレータで、予め定めた閾値と、増幅
した電圧とを比較する。
最小のHレベルに対しても、弁別が可能なためには、増
幅率を極めて大きくしなければならない。
増幅率を大きくする、という事は、演算増幅回路の帰還
抵抗を大きくする、という事である。すると、大きい値
の抵抗が必要になる。このような抵抗はモノリシックI
Cでは作りにくいので、別にチップ抵抗を使う事になる
このように固定閾値によって二値化していたので、モノ
リシックIC化する事ができず、ハイブリッドICと、
単体の光電変換素子とを使っていた。
これらは、プリント基板の上に取付けるのであるから、
形状が大きいものになってしまう。又、プリント基板の
上に実装するのは人手によるからコスト高である。
そこで、本発明者は、固定閾値でなく、変動閾値によっ
て、受信信号レベルを二値化する回路を発明した(特願
昭59−96089 、昭和59年5月14日出願)。
    □ これは、ホトダイオードもシリコンの同一チップ内に設
けたモノリシックICである。変動閾値にするのは、入
力信号をいったん微分し、微分波形と、その平均レベル
を平滑回路で求めて、ヒステリシス付フンパレータで比
較し、二値化するようにしたからである。
増幅さ゛れた入力信号を工とし、この微分をDとする。
ヒステリシスをΔとする。
微分信号の平均値を平滑化回路で求める。平均値である
ので、これを<D>と書く事にする。コンパレータは、
平均値と入力信号とを比較し、大小を判定するが、いず
れかに±Δのヒステリシスを与える。どちらにヒステリ
シスを付けても良いが、例えば平均値にヒステリシスを
与えるとする。
ヒステリシスの与え万は、出力がHであるかしてあるか
による。
(1)  出力がHである時は Dと(〈D〉〜Δ) を比較する。
(2)出力がLである時は Dと(〈D〉+Δ) を比較する。
そのまま固定閾値と比較するのではなく、いったん微分
して、この平均値にヒステリシスを加減したものと微分
値を比較して二値化すると、次のような利点がある。
(1)  暗電流の影響を完全に除く事ができる。
(2)  高抵抗を用いて高い増幅率の増幅回路を構成
する必要がない。
(3)  ダイナミックレンジを広くする事ができる。
(4)信号の歪みが少なくなる。
このような回路は、シリコン基板にシリコンホトダイオ
ードを形成しているから、寸法的に非常に優れたもので
ある。
ところが、平滑回路に0.1〜1μF程度の外付はコン
デンサがどうしても必要だったので、全てをモノリシッ
クにする、という事ができない。
平滑回路は、微分信号の平均をとるものであって、ラン
ダムに変動する入力信号自体の平均を計算するものでは
ない。
従って、入力信号に含まれる直流レベルは、平均値にな
んの影響も及ぼさない。
平滑化回路は、微分信号の直流分を求めるものである、
といって良いが、微分という操作は、原信号から直流分
を除去するものである。従って、平滑化回路が求める直
流レベルは、入力信号とは全く無関係で、光受信回路の
内部の回路構成によって決定されるわけである。
だとすれば、これは予め求める事ができる。もしも入力
信号が入るという事の他は全く同じ回路をもうひとつ作
って、これには入力信号を入れない事とすれば、その回
路の出力は、平滑化回路が求めるであろう平均値に等し
い筈である。
このような事は、微分信号の平均だから言える事であっ
て、極めて特殊な条件が課されている、という事を忘れ
てはならない。
本発明者は、そこで、平滑化回路を持たない、従って、
コンデンサが不要であって、平均値<])>を求める基
準電圧発生回路を含む光受信回路を発明した(特願昭5
9−178787、昭和59年8月27日出願)。
これは、増@回路と全く同じ回路をもうひとつ設け、こ
れには微分信号を与えないようにしたものである。
さらに、ホトダイオードの部分が、他の回路素子や、外
部の電磁波の影響を受けにくいように、ホトダイオード
をアースラインで囲み、他の回路素子と分離した、1チ
ツプ光受信ICを本発明者が発明した(特願昭59−1
05389、昭和59年5月23日出願)。
本発明者のこの発明によって、ホトダイオードを含む全
ての光受信回路を、完全にモノリシックICにする事が
できた。
ところが、ホトダイオードと、他のトランジスタが同じ
チップ上にあり、入力信号たる光がホトダイオードだけ
に当るのではなく、他のトランジスタにも肖る、という
欠点がある。
これは作ってみないとよく分らない事であったが、ホト
ダイオードはpn接合を逆バイアスしてあり、光によっ
てキャリヤが接合部に生じ、これが逆バイアス電圧によ
ってドリフトするから、電流が発生するわけである。
増幅、二値化回路には、数多くのトランジスタを用いる
npn )ランリスタを例にして説明する。コレクタと
ベースの間には、通常、正方向の電圧がかかつている。
ここはpn接合が逆バイアスされているのであるから、
電流は流れない。ところが、入力信号光が漏れて、この
トランジスタに当ると、コレクタ・ベース間のpn接合
にも光が入る。
もちろん、トランジスタのコレクタ、エミッタ、ベース
は電極で覆われている部分もある。しかし、電極で覆わ
れず、5i02だけで覆われている部分も広い。SiO
2は透明であって、光を通す。
特に、コレクタ、ベースの境界であるpn接合は面積も
広いから、覆いつくされない事が多い。
すると、光がpn接合部に入り、この為キャリヤが励起
される。このキャリヤはコレクタ電流トする。つまり、
オフであるべきトランジスタが、僅かであるにしても導
通してしまうのである。
この電流は微少であるとしても、信号は増幅されてゆく
ので、ついには誤動作してしまう。
こういう欠点がある事に気付いた。
もうひとつの欠点は、ホトダイオードの集光性に関する
ものである。ホトダイオードはチップの中心に配置し、
ノイズを防ぐためその周囲をアースラインで囲み、アー
スラインの外側に、増幅、回路と二値化回路、出力回路
などを配置した。
ところが、ホトダイオードへの集光性が良くなく、有効
受光量が少い。このため、受信可能な最低光レベルが、
なお高すぎる、という欠点があった。
(つ)発明の目的 (1)完全にモノリシック化したICによって、光受信
回路を構成する事、 (2)  入力光が、ホトダイオード以外の回路素子、
トランジスタ、ダイオードなどに当たらないようにする
事、 (3)受信可能な最低光レベルをより低くし、受信感度
を高くする事、 これが本発明の目的である。
に)発明の構成 第1図は本発明の光受信ICの略平面図である。
これはICチップを拡大して示すものである。
中央にホトダイオードAがある。これは、円形又は多角
形である。そして、第2図に示すように、ホトダイオー
ドAの上には生球状の透明体による集光レンズCが設け
である。集光レンズCは、ガラス又はプラスチックなど
で作り、これを、ホトダイオードAのpn接合部に焦点
を結ぶよう接着する。Cに当たる光は全て中心に集光さ
れ、pn接合部に全ての光が入射するように工夫しであ
る。
ホトダイオードAの周りには、これを囲む、円形又は角
形のアースラインGを設ける。アースラインGは素子の
GND端子につながっている。
アースラインGの外側に、増幅回路、二値化回路などの
回路部分Bを設ける。
この中には、ワイヤボンディングするためのパッドs1
、s2、・・・・・・SN  が設けられている。パッ
ドと他の回路部分をつなぐ電極や他の回路部分の詳細は
ここでは図示しない。
アースラインGと、他の回路部分の間には、適当な間隔
がある。アースラインGとホトダイオードAの間にも適
当な間隔がある。
第2図はホトダイオードAの集光レンズCを示すためめ
断面図であるが、シリコンチップの断面の詳細は全て省
略しである。
さらに重要な事は、ホトダイオードAと、パッドS1、
S2、・・・・・・SN  とを除く本体に、絶縁層r
を設け、さらにその上を金属薄膜Mで覆っている、とい
う事である。金属薄膜Mは、アースラインG又はGND
のバンドに接続するか、又は電源パッドに接続しである
。これは、シールド作用を担うべきものである。
ここでシールド作用というのは光と電気の両刀について
言っている。特に光を金属薄膜Mで遮断する、という事
が重要である。光を遮断するから、入力信号光が、ホト
ダイオードA以外の部分に入らない。つまり、増幅回路
、二値化回路部分のトランジスタには光が全く当たらな
い。
金属薄膜Mで覆うのであるから、光を遮断するとともに
、電磁ノイズをも遮断する事ができる。
(3)  効     果 (1)完全にモノリシックICにしているから、小型で
、低コストの光受信回路となる。
外付はコンデンサがなく、ホトダイオードもSiチップ
の真中に、一体に形成されるからである。
(2)侶頼性が高い。
周辺回路のトランジスタに入射光の一部が当らないよう
に、金属薄膜Mで覆っているからである。
(3)  雑音に対して強い。
周辺回路のトランジスタ、抵抗などの回路素子を金属薄
膜で被覆し、これをアース、又は電源に接続しているか
ら電磁ノイズの影響を遮断できる。
高インピーダンスであるホトダイオードの周囲をアース
ラインで囲んでいるから、ホトダイオードの信号に雑音
が入らない。
(4)最低受信感度の点で従前のものより優れている。
ホトダイオードは円形又は正多角形(四角、六角、へ角
、・・・・・・)としている。さらに集光レンズをホト
ダイオードの直上に設けているから、入射光の大部分を
ホトダイオードの中へ当てる事ができる。
(5)光ファイバとの位置合わせが容易である。ホトダ
イオードをICチップの中心に配置しているからである
。又ホトダイオードを、円、正多角形というように、対
称性の高い形状としているから、異方性を持たず、光フ
アイバ先端のねじれなどが入射光量に影響を及ぼさない
(力)  回  路  例 この発明は、光受信回路をIC化したところに特徴があ
るのであって、どのような回路にも応用できる。広い汎
用性を持つ。
しかし、自ら最適の回路というものがあるので、ここで
簡単に説明する。
第3図、第4図は光受信ICの全回路図である。
第3図の右端のX1fが第4図の左端のX1fに続いて
いる。
ホトダイオード1は、第1図中でAと記しているもので
ある。
入力信号光がホトダイオード1に入ると、トランジスタ
Q4、抵抗R1からホトダイオード1に光電流が流れる
ホトダイオード1のカソードは、4つのトランジスタQ
l〜Q4のベース・エミッタ降下分の電圧が常に掛って
いる。定電位点である。
b点は、抵抗R1のために、光電流工、に比例して、I
 R1だけ、カソード電位より高くなる。
C32、C33及びR17、R18はC4の定電流回路
になる。
C48、C47、R36、R37、R35も定電流回路
である。
以上が、光電流を電圧I R1に変換する電流室圧変換
回路2である。
b点から、2つの殆ど同一の2つの回路に分かれる。
下方に書いたものが微分回路8である。上方に書いたも
のが、基準電位発生回路9である。
微分回路gから、コンデンサC2を除いたものが基準電
位発生回路9である。抵抗の値、トランジスタの特性も
全て等しい。
第5図は、回路素子の波形図を示す。ただし、デジタル
信号を扱うので、振幅の差は無視して書いである。(1
)の実線は、c、a、b、y、zの波形を示す。
微分回路8はb点の信号を微分するものである。
このため、R3、C2よりなる遅延回路3を用いる。
d点の波形は第5図(1)の破線のように、パルス立上
り、立下りで、遅延した波形になる。
C7、C8、C5、C6は差動増幅回路である。入力は
、c、d点である。Cは遅延のない波形、dは遅延波形
が入るので、差動増幅回路4の出力eは、第5図(1)
の実線で示すようになる。これは微分波形である。さら
にエミッタフォロワ(Q9)を経て微分信号fとなる。
これは、信号すの微分であって直流分は、回路構成によ
る。
基準電位発生回路9にも差動増幅回路があるが、コンデ
ンサがなく、遅延回路がない。2人力y、2はbと同じ
ものである。
つまり、差動増幅回路の2人力が等しい。出力はW点か
らとり出し、エミッタフォロワ(T9)を経て基準電位
Xを得る。
b点の電位がどのように変化したところで、Xの電位は
変らない。差動増幅回路(T5〜T8 )は常に平衡し
ているからである。
もし、b点の電位が遅延回路3の時定数より長く一定で
あるとすると、回路8.9の作用は同一であるので、X
とfは等しい筈である。
又fは直流分を除きbの微分波形であるから、変動分の
時間平均は0である。
この2つの事から、Xはfの平均値である事が分る。
x      =      (f) である。w、xの波形は、第5図(2)の破線で表わし
ている。
第4図tdヒステリシス付コンパレークを示している。
QlB 、C14ハコンパレータである。エミッタは共
通で定電流回路のトランジスタQ45につながっている
。C52、Cl5Bも定電流回路である。
ヒステリシスを与えるのは、抵抗R8に流れる電流Ih
である。
微分信号fは、R9を経てj入力に入る。
平均値XはR8を経て、コンパレータのに入力にる。
Q51は、Q60によって定電流回路となっている。
定電流工。は、k点からQ16、Q46へ流れるか、又
はに点からR8を通って流れるかである。
Q46は、Q61によって定電流回路となっている。
定電流はI、である。11はI。02倍である。
もしも、Q16がオンであれば、q15はオフで、Q、
16には工1だけの電流が流れなければならない。
Q51は半分の工。だけしか流せないので、残りの半分
は、R8を通りX−+にの方向へ流れる電流工。によっ
て補われる。つまり、とステリシス電流xhは工h==
 −IO である。ここでに−+Xへと流れるものを正にとってい
る。
反対に、もしもQ、16がオフであれば、Q51の電流
工。は、k点より1点に向けてR8を通って流れる電流
となる。ヒステリシス電流工、は I、=+I。
である。Δ=roRgとする。
前者の場合、k点は1点よりΔだけ低く、後者の場合、
k点は1点よりΔだけ高くなる。
コンパレークに於て、 (1) j>kとすると、 Q13がオン、Q14がオフである。定電流回路のQ5
2から、m点を通って、トランジスタQ22〜Q25へ
電流が流れる。第5図(3)で、実線がj1破線がkで
ある。jが正に立上っている部分である。この電流のた
め、R11に電流が流れ、0点の電位が高くなる。n点
の電位は、はぼQVである。
差動増幅回路Q15、Q、16の内、Q16がオンにな
る。Q16へ流れる電流は、抵抗R8を通ってX→にへ
と流れてくる。これは負のヒステリシス−Δを与える。
k=x  −Δ j=f である。
0点以降は出力回路である。0点がゞH#であるから、
Q27はオン、Q28はオフ、Q29はオン、Q、31
はオフであり、出力vout c v 点) ハ、′H
′である。
つまり、振動の差などを無視して、この時m1o、s、
vは% Haになり、4、n1q、r、uは′L′にな
る。ヒステリシスは負である。第5図(4)、(5)、
(6)はこれを示す。
(11)j<kとすると、 Q、13はオフ、Q14はオンである。4点が高く、m
点が低い、0点が低く−n点が高くなる。Q、16はオ
フになる。第5図(3)で、jが下向きパルスになった
部分である。
Q51から電流工。は、k−+zへとR8を流れる。
ヒステリシスは正であって、k点は1点より+Δだけ高
い k   =   x   十  Δ j=f である。
0点がゝL#であるから、Q27がオフ、Q28はオン
、Q29はオフ、Q、31はオンである。出力Vout
は1L′になる。
この時、m、o、slvは% L eで、A’ s n
 sq、r、uは’H’−7:ある。
第5図(5)のVが出力Voutである。これは、(1
)の入力信号b(c、a、b、・・・・・・)と同じパ
ルス信号であり、入力信号すを再現しているのである。
以上述べた回路は、光受信回路の一例である。
第1図に於て、Bの部分に、全回路が構成されている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光受信ICの略平面図。 第2図は第1図中のll−1[断面の略図。 第3図は光受信回路の一例を示し、その前半の部分の回
路図。 第4図は光受信回路の後半の部分の回路図。 第5図は第3図、第4図の回路の構成部分の波形側図。 A ・・・・・・・・・ ホトダイオードB  ・・・
・・・・・・ ホトダイオード以外の回路部分C・・・
・・・・・・ 集光レンズ G ・・・・・・・・・ アースラインエ  ・・・・
・・・・・  絶  縁  膜M ・・・・・・・・・
金属部膜 Sl、S2・・・・・・  バ  ン  ド発  明 
 者      沢  井  孝  典特許出願人  
住友電気工業株式会社 出願代理人 弁理士  川 瀬 茂 ′−樹□第10 
8 第2図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  円又は正多角形状のホトダイオードAを中心にし、ホ
    トダイオードAの電流信号を増幅し二値化する回路部分
    BをホトダイオードAの周囲に配置し、ホトダイオード
    Aと他の回路部分Bの間にはアースラインGを有し、パ
    ッドS_1、S_2、・・・・・・を除く回路部分Bの
    上には絶縁膜Iと金属薄膜Mを設けてあり、ホトダイオ
    ードAの上には集光レンズCがあり、ホトダイオードA
    と他の回路部分がひとつのICチップの上に一体に形成
    されている事を特徴とする光受信IC。
JP59233899A 1984-11-05 1984-11-05 光受信ic Pending JPS61111578A (ja)

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