JPS61108569A - サ−マルプリントヘツド - Google Patents
サ−マルプリントヘツドInfo
- Publication number
- JPS61108569A JPS61108569A JP59230837A JP23083784A JPS61108569A JP S61108569 A JPS61108569 A JP S61108569A JP 59230837 A JP59230837 A JP 59230837A JP 23083784 A JP23083784 A JP 23083784A JP S61108569 A JPS61108569 A JP S61108569A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- print head
- silicon carbide
- thermal print
- curve
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N97/00—Electric solid-state thin-film or thick-film devices, not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
この発明は、サーマルプリントヘッド、特に保護膜層に
特徴を有するサーマルプリントヘッドに関す・る。
特徴を有するサーマルプリントヘッドに関す・る。
（ロ）従来の技術
一般にサーマルプリントヘッドは、セラミック等の基板
上に、発熱抵抗体が形成され、この発熱抵抗体の上部に
、ドツト形成部分を除いて１対の導体電極が積層され、
さらに発熱抵抗体のドツト形成部分及び導体電極を覆っ
てＳｉＯ２層、保護膜層が形成されて構成されている。
上に、発熱抵抗体が形成され、この発熱抵抗体の上部に
、ドツト形成部分を除いて１対の導体電極が積層され、
さらに発熱抵抗体のドツト形成部分及び導体電極を覆っ
てＳｉＯ２層、保護膜層が形成されて構成されている。
この種のサーマルプリントヘッドの保護膜（耐摩耗膜）
としては従来より、７ａｚＯｙ（五酸化タンタル）が多
く用いられている。（例：特開昭５６−１５４９７４号
、特開昭５７−１０２３７３号）このＴａｚＯｒＦｉの
形成は、保護膜を形成すべき基板を０２ガスを含むアル
ゴンガス中に置き、７ａｚＯｒを焼結ターゲットに用い
て、スバ、ツタリングを行っていた。
としては従来より、７ａｚＯｙ（五酸化タンタル）が多
く用いられている。（例：特開昭５６−１５４９７４号
、特開昭５７−１０２３７３号）このＴａｚＯｒＦｉの
形成は、保護膜を形成すべき基板を０２ガスを含むアル
ゴンガス中に置き、７ａｚＯｒを焼結ターゲットに用い
て、スバ、ツタリングを行っていた。
（ハ）発明が解決しようとする問題点
上記Ｔａ２０ｓ−膜は、耐熱衝撃性に優れているという
利点がある反面、膜硬度が）Ｉｖ７００程度であるとこ
ろから■走行方向に傷が入り易く、へ。
利点がある反面、膜硬度が）Ｉｖ７００程度であるとこ
ろから■走行方向に傷が入り易く、へ。
ラドの寿命を加速度的に短（すること。■上記■を防止
するため膜厚を大きく （通常１０μｍ程度）形成する
が、このため熱応答性が悪くなる。という欠点があった
。
するため膜厚を大きく （通常１０μｍ程度）形成する
が、このため熱応答性が悪くなる。という欠点があった
。
この発明は、上記に鑑み、膜硬度が高く、それでいて耐
熱衝撃性に優れた保護膜を持つサーマルプリントヘッド
を提供することを目的としている。
熱衝撃性に優れた保護膜を持つサーマルプリントヘッド
を提供することを目的としている。
（ニ）問題点を解決するための手段及び作用この発明の
サーマルプリントヘッドは、上記目的を達成するために
、保護膜層として、炭化ケイ素（Ｓ ｉ Ｃ）と五酸化
タンタル（ＴａｚＣ）ｒ）の混合物を使用するようにし
ている。
サーマルプリントヘッドは、上記目的を達成するために
、保護膜層として、炭化ケイ素（Ｓ ｉ Ｃ）と五酸化
タンタル（ＴａｚＣ）ｒ）の混合物を使用するようにし
ている。
炭化ケイ素は、高い膜硬度を有するが、スパッタされた
膜は大きい内部応力を持つため、クラックが入り易く、
単体では保護膜として使用するのに難がある。しかし、
炭化ケイ素に五酸化タンタルを混ぜることにより、内部
応力が緩和されて、クラック性が改善され、五酸化タン
タル単体より膜硬度の高い、かつ耐熱衝撃性に優れたも
のが得られる。
膜は大きい内部応力を持つため、クラックが入り易く、
単体では保護膜として使用するのに難がある。しかし、
炭化ケイ素に五酸化タンタルを混ぜることにより、内部
応力が緩和されて、クラック性が改善され、五酸化タン
タル単体より膜硬度の高い、かつ耐熱衝撃性に優れたも
のが得られる。
（ホ）実施例
；′ ウニ、え□９よ９、。。□□、６３□。
説明する。
第１図は、この発明の１実施例を示すサーマルプリント
ヘッドの断面図である。このサーマルプリントヘッド１
は、セラミック等の基板上に、発熱抵抗体３が形成され
、この発熱抵抗体３の上部にドツト形成部分４を除いて
共通導体電極５と個別の導体電極６が形成され、さらに
発熱抵抗体３及び導体電極５．６上に保護膜層７が形成
されている。この保護膜層７は、炭化ケイ素と五酸化タ
ンタルの混合物である。
ヘッドの断面図である。このサーマルプリントヘッド１
は、セラミック等の基板上に、発熱抵抗体３が形成され
、この発熱抵抗体３の上部にドツト形成部分４を除いて
共通導体電極５と個別の導体電極６が形成され、さらに
発熱抵抗体３及び導体電極５．６上に保護膜層７が形成
されている。この保護膜層７は、炭化ケイ素と五酸化タ
ンタルの混合物である。
この保護膜Ｎ７は、発熱抵抗体３及び導体電極５．６が
形成された基板２をアルゴンガス雰囲気中におき、例え
ば第２図に示す炭化ケイ素板８に、五酸化タンタル板９
を貼り付けたものをスパッタリングターゲットとしてス
パッタリングを行うことにより形成される。混合比は、
炭化ケイ素板８と五酸化タンタル板９の表面積比によっ
て定まる。
形成された基板２をアルゴンガス雰囲気中におき、例え
ば第２図に示す炭化ケイ素板８に、五酸化タンタル板９
を貼り付けたものをスパッタリングターゲットとしてス
パッタリングを行うことにより形成される。混合比は、
炭化ケイ素板８と五酸化タンタル板９の表面積比によっ
て定まる。
以上のようにして形成される保護膜層７の五酸化タンタ
ルの面積比（混合比）と膜硬度の関係を図示すると第３
図に示す通りである。この図によると、五酸化タンタル
の面積比が３０％で、膜硬度がＨｖ１５００程度となる
。図より五酸化クンタルの混合比２０％〜５０％が実用
的である。
ルの面積比（混合比）と膜硬度の関係を図示すると第３
図に示す通りである。この図によると、五酸化タンタル
の面積比が３０％で、膜硬度がＨｖ１５００程度となる
。図より五酸化クンタルの混合比２０％〜５０％が実用
的である。
今、硬度がＨｖ１２５０となる程度に混合形成された上
記保護膜層７を採用した場合のサーマルプリントヘッド
の熱衝撃性テスト結果を第４図に示している。承４図に
おいて、横軸はドツト毎の印加電力、縦軸は抵抗値変化
率である。図中の曲線ａは従来の五酸化タンタル膜であ
り、曲線すは本実施例の炭化ケイ素系膜の場合である。
記保護膜層７を採用した場合のサーマルプリントヘッド
の熱衝撃性テスト結果を第４図に示している。承４図に
おいて、横軸はドツト毎の印加電力、縦軸は抵抗値変化
率である。図中の曲線ａは従来の五酸化タンタル膜であ
り、曲線すは本実施例の炭化ケイ素系膜の場合である。
この図によると、曲線すの方がより高印加電力まで抵抗
値変化率が±１０％内に入っており、本実施例の炭化ケ
イ素系膜の方が耐熱衝撃性が良いことがわかる。この実
施例サーマルプリントヘッドは、従来設けられていた発
熱抵抗体と保護膜間の耐酸化防止膜（例：５ｉＯ２）を
設ける必要がな（、保護膜層の厚さを従来のヘッドの２
分の１以下とすることができる。また、之の実施例サー
マルプリントヘッドにおいて、感熱体による摩耗度を測
定したところ、五酸化タンタルを保護膜層に用いた従来
のものに対し、半分程度であった。
値変化率が±１０％内に入っており、本実施例の炭化ケ
イ素系膜の方が耐熱衝撃性が良いことがわかる。この実
施例サーマルプリントヘッドは、従来設けられていた発
熱抵抗体と保護膜間の耐酸化防止膜（例：５ｉＯ２）を
設ける必要がな（、保護膜層の厚さを従来のヘッドの２
分の１以下とすることができる。また、之の実施例サー
マルプリントヘッドにおいて、感熱体による摩耗度を測
定したところ、五酸化タンタルを保護膜層に用いた従来
のものに対し、半分程度であった。
なお、上記実施例において、保護膜層７を形成するため
のスパッタリングターゲットとして、炭化ケイ素板上に
五酸化タンタル板を貼り付けたものを示したが、これに
代え、炭化ケイ素と五酸化タンタルの混合焼結体をスパ
ッタリングターゲットとしてもよい。
のスパッタリングターゲットとして、炭化ケイ素板上に
五酸化タンタル板を貼り付けたものを示したが、これに
代え、炭化ケイ素と五酸化タンタルの混合焼結体をスパ
ッタリングターゲットとしてもよい。
（へ）発明の効果
この発明のサーマルプリントヘッドによれば、保護膜の
硬度が大となったので、走行方向の傷等が生じることな
く、従ってサーマルプリントヘッドの寿命が伸びる。ま
た保護膜の硬度が大となった分１．膜厚を小さくするこ
とができ、その結果、生産性が向上し、熱対応性も向上
する。また耐酸化防止層を設ける必要がないので、小型
化、コストダウンが完現する。
硬度が大となったので、走行方向の傷等が生じることな
く、従ってサーマルプリントヘッドの寿命が伸びる。ま
た保護膜の硬度が大となった分１．膜厚を小さくするこ
とができ、その結果、生産性が向上し、熱対応性も向上
する。また耐酸化防止層を設ける必要がないので、小型
化、コストダウンが完現する。
第１図は、この発明の１実施例を示すサーマルプリント
ヘッドの断面図、第２図は、同サーマルプリントヘッド
の保護膜層を形成する際に使用されるスパッタリングタ
ーゲットの１例を示す図、第３図は、同サーマルプリン
トヘッドに使用される保護膜層の五酸化タンタルの面積
比と膜硬度の関係を示す図、第４図は、同サーマルプリ
ントヘッドの熱衝撃性テスト結果を示す図である。 １：サーマルプリントヘッド、２：基板、３：発熱抵抗
体、 ４ニド・ソト部分、５．６：導体電
極、 ７：保護膜層。 特許出願人 ローム株式会社代理人
弁理士 中 村 茂 信第１図
ヘッドの断面図、第２図は、同サーマルプリントヘッド
の保護膜層を形成する際に使用されるスパッタリングタ
ーゲットの１例を示す図、第３図は、同サーマルプリン
トヘッドに使用される保護膜層の五酸化タンタルの面積
比と膜硬度の関係を示す図、第４図は、同サーマルプリ
ントヘッドの熱衝撃性テスト結果を示す図である。 １：サーマルプリントヘッド、２：基板、３：発熱抵抗
体、 ４ニド・ソト部分、５．６：導体電
極、 ７：保護膜層。 特許出願人 ローム株式会社代理人
弁理士 中 村 茂 信第１図
Claims (1)
- （１）基板上に、ドット部分を含む発熱抵抗体が形成さ
れ、この発熱抵抗体の上部に、ドット形成部分を除いて
１対の導体電極が積層され、さらに少なくとも前記ドッ
ト形成部分及び導体電極を覆って保護膜層が形成されて
なるサーマルプリントヘッドにおいて、 前記保護膜層が炭化ケイ素と五酸化タンタルの混合物で
形成されたものであることを特徴とするサーマルプリン
トヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230837A JPS61108569A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | サ−マルプリントヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59230837A JPS61108569A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | サ−マルプリントヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61108569A true JPS61108569A (ja) | 1986-05-27 |
| JPH0139913B2 JPH0139913B2 (ja) | 1989-08-24 |
Family
ID=16914055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59230837A Granted JPS61108569A (ja) | 1984-10-31 | 1984-10-31 | サ−マルプリントヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61108569A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2340243A1 (es) * | 2008-10-01 | 2010-05-31 | Jecsalis Dissenys I Patents, S.L. | Motor por interaccion selectiva de campos magneticos de imanes permanentes. |
| JP2015006791A (ja) * | 2013-05-27 | 2015-01-15 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
-
1984
- 1984-10-31 JP JP59230837A patent/JPS61108569A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2340243A1 (es) * | 2008-10-01 | 2010-05-31 | Jecsalis Dissenys I Patents, S.L. | Motor por interaccion selectiva de campos magneticos de imanes permanentes. |
| JP2015006791A (ja) * | 2013-05-27 | 2015-01-15 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびこれを備えるサーマルプリンタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0139913B2 (ja) | 1989-08-24 |
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