JPS61103400A - 超音波検出センサ - Google Patents

超音波検出センサ

Info

Publication number
JPS61103400A
JPS61103400A JP60237157A JP23715785A JPS61103400A JP S61103400 A JPS61103400 A JP S61103400A JP 60237157 A JP60237157 A JP 60237157A JP 23715785 A JP23715785 A JP 23715785A JP S61103400 A JPS61103400 A JP S61103400A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transducer
foil
substrate
synthetic resin
sensor according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP60237157A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0511713B2 (ja
Inventor
フアレンチン、マゴリ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Publication of JPS61103400A publication Critical patent/JPS61103400A/ja
Publication of JPH0511713B2 publication Critical patent/JPH0511713B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2968—Transducers specially adapted for acoustic level indicators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0688—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F23/00—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm
    • G01F23/22—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water
    • G01F23/28—Indicating or measuring liquid level or level of fluent solid material, e.g. indicating in terms of volume or indicating by means of an alarm by measuring physical variables, other than linear dimensions, pressure or weight, dependent on the level to be measured, e.g. by difference of heat transfer of steam or water by measuring the variations of parameters of electromagnetic or acoustic waves applied directly to the liquid or fluent solid material
    • G01F23/296—Acoustic waves
    • G01F23/2962—Measuring transit time of reflected waves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028—Material parameters
    • G01N2291/02836—Flow rate, liquid level
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491—Disposition
    • H01L2224/4918—Disposition being disposed on at least two different sides of the body, e.g. dual array

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、バッキングとして作用する板の上に取付けら
れている少なくとも１つの超音波変換器と、変換器を超
音波送信器或は超音波受信器として作動させるための電
子回路とを備え、液体中での検出に使用することのでき
る超音波検出センサに関する。
〔従来の技術〕
超音波により物体の間に存在する距離を検出することは
公知である。その際、通常、１つの超音波変換器が一方
の物体に取付けられており、またそれから距離をおいて
向き合っている他方の物体で反射されて受信された超音
波が評価される。送信変換器および受信変換器が互いに
分離してそれぞれ互いに向き合っている物体に取付けら
れていｉ）１　　　　　　　　てもよいが、この場合に
は２つの分離した変換器を必要とする。一方または双方
の物体はたとえば液体表面のような超音波を反射する境
界面であってもよい。これは超音波による液体レベル検
出に利用される。その際、液体表面において液体内へも
しくは液体外へ反射された超音波が評価される。
たとえばタンクレベル測定装置、特に自動車の燃料タン
ク用のレベル測定装置は公知である。このような装置に
は、たとえば燃料タンクの底に取付けられた超音波変換
器が用いられ、それから出射された超音波がタンク内の
燃料の表面で反射され、受信変換器（これは送信変換器
でもあってよい）に到達する。このような測定装置にお
ける評価の仕方も公知である。
たとえば自動本川のように大量な用途では、高性能であ
ると共に簡単かつ特に堅牢な構造を有ししかも廉価な変
換器を利用する必要がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、このような変換器を提供することであ
る。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　１〔問題点を解決するための手段〕 この目的は、本発明によれば、特許請求の範囲第１項に
記載されている超音波センサにより達成される０本発明
の好ましい実施態様は特許請求の範囲第２項ないし第１
４項に示されている。
本発明によれば、合成樹脂材料により簡単な仕方で音響
インピーダンス整合を達成することによって、良好な音
響インピーダンス整合が可能な超音波変換器が得られる
。さらに、本発明によれば、集積製造法を可能にするだ
けでなく使用者における装置の組込みの費用をも節減し
得るコンパクトな構造を有する超音波変換器が得られる
。本発明では、硬い音響質量を“バッキングとして形成
する基板材料が用いられている０本来の超音波変換器は
圧電セラミックスから成る１つの層とその前側および後
側に被着された合成樹脂層とから成っている。この複合
変換器は１つの四分の一波長変換器（λ／４または（２
ｎ＋１）　　・λ／４変換器）を形成する。この複合変
換器（以下単に変換器と呼ぶ）は一方の面で基板に取付
けられる。変換器の他方の面は、超音波伝搬媒体、特に
液体に境を接する超音波出射面である０本発明では、で
きるかぎり広範囲な音響インピーダンス整合が達成され
る。変換器における音響速度と密度との積の平均値が基
板材料の相応の積値と隣接液体の相応の積値との間の値
となるようにできるかぎり努力される。圧電セラミック
ス箔と合成樹脂または圧電ポリマー箔とから成る積層構
造により、変換器に対してこのような平均値が得られる
。
上記のような基板の上に個々の超音波変換器が被着され
ていてよい、一方は送信変換器として、また地方は受信
変換器として使用される２つの変換器が被着されていて
よい、しかし、本発明は、機能的に分離されて１つの同
じ基板の上に被着されている複数個の変換器から成り、
それぞれ公知のパターンに従って送信変換器アレーとし
て励振される超音波アレー装置をも含んでいる。
本発明では、包持的な措置として、基板の上に電子的評
価回路も配置されている。このような場合には、この装
置は供給電圧の供給端子だけでなく、直接に最終的指示
計（計器盤内のタンクレベル針）に導かれ得る信号出力
端子をも有する必要がある。基板上の電気的接続は好ま
しくは導電帯として構成されている。振動する変換器に
おける電極への短い接続が線により行われていることは
好ましい。好ましい基板材料は、厚膜回路で使用される
ような材料である。
電子回路としては例えばドイツ連邦共和国特許出願公開
第３００３３１７号明細書に示されるような回路を用い
ることができる。
〔実施例〕
以下、図面に示されている実施例により本発明を一層詳
細に説明する。
第１図中で参照符号１を付されているのは変換器装置で
ある。たとえば焼結された酸化アルミニウムまたはセラ
ミックスから成る基板２の上にた４・））　　　　　　
　とえば４つの超音波変換器３．３．１．３．２．３．
３が好ましくは直列に配置されている。個々−の変換器
３または変換器３ないし３．３を有するアレー装置の（
同相励振の際の）主出射方向は矢印４で示されている。
参照符号５を付されているのは、基板の上に配置されて
いる電子回路であり、これは導電帯５ａｓ厚膜構成要素
５ｂおよび場合によってはハイブリッド技術で追加的に
被着された構成要素５Ｃである。端子６．６ａには供給
電圧Ｕが与えられる。
端子７は１極または２極の信号出力端である。電子回路
５は特に、変換器の送信励振も、変換器から取出された
受信信号の評価も行い得るように構成されている。
破線８はたとえばタンクレベルセンサとして使用すべき
超音波距離センサの第１図中で左側の境界を示している
。破線８により境されて第１図中の右側の部分は（送信
変換器としてまた受信変換器として使用すべき）一方の
超音波変換器３および電子回路５から成っている。この
超音波変換器３および電子回路５はハイブリッド構成と
して共通の基板２の上に位置している。参照符号９．１
０を付されているのは変換器３と電子回路５との間の接
続導線である。
変換器３．３．１・・・は基板２の一方の側の表面に、
また電子回路５は同一および（または）他方の側の表面
に配置されている。
第２図には、本発明で使用される変換器３の層構造が拡
大図で示されている。変換器３は圧電セラミックス基３
３とそれに隣接する箔３１および３２から成っており、
箔３１および３２は特に（炭素−および（または）ケイ
素−）ポリマー合成樹脂であってよい２よりも小さい密
度を有する材料から成っている０合成樹脂としてはたと
えばポリマーエチレン、エポキシド、ＰＶＤＦなどが通
している。合成樹脂がセラミックスを側面でも包んでい
る（第３図、第６図、第７図）ことは好ましい。
表面上にセラミックス基３３はそれ自体は公知の電極被
覆層３５．３６を有する。箔３３から電気的に絶縁して
導き出されている変換器３の第１および第２のリード線
はそれぞれ参照符号３７．３８を付されている。これら
のリード線３７および３８は導体片９および１０と、従
ってまた電子回路５と接続されている。
基板２は、変換器３．３．１・・・が設けられている個
所で電気的遮蔽および接着性改善の目的でたとえば焼付
けまたはスパッタリングにより金属から成る導電性の層
を被覆されていてよい。
第３図には、第１図中で破線８から右側の部分に相当す
るが、全面に保護外被４１を有する１つのセンサ４０の
側断面図が示されている。保護外被はたとえばワニス浸
せきまたは粉末浸せきにより被覆されている０図示され
ているように、変換器３の超音波を出射する表面は被覆
されていない。
変換器３のこの表面は箔３２０合成樹脂から成っている
。リード線６．６ａおよび７は保護外被４１を通して導
き出されている。第３図中の他の構成要素は同一の参照
符号を付されている第１図および第２図中の構成要素と
同一である。
第３図による装置は多面に使用可能であり、たとえば液
体を入れた容器のなかに浸せきして使用され得る。液体
は腐食性の液体であってもよいし、溶剤特性を有する液
体であってもよい。なぜならば、保護外被としてそのつ
ど適当な材料を公知の仕方で使用し得るからである。
第４図には、本発明による装置に対する１つの変換器ア
レーの実施例の一部が断面図で示されている。この断面
図は、変換器アレー３．３．１．３゜２・・・が位置し
ている基板２の部分を示している。
参照符号３１および３２を付されているのは、たとえば
帯状の圧電セラミックス箔４２を図示されているように
包む合成樹脂箔である。ここで変換器３．３．１．３．
２・・・は全変換器アレー３００の集積された構成部分
である。参照符号３５を付されているのは、変換器３、
変換器３．１、変換器３．２１・）１．　　　　　　　
　などのそれぞれ１つの電極被覆層である。向かい合う
電極被覆層１３６は、変換器３．３．　ｌ、３．２・・
・を互いに１極で接続している通しの帯状の被覆層であ
ってよい。リード線３７を介しての相応の励振により個
々の変換器３．３．１．３．２・・・がアレーの所与の
作動の仕方に相応して、たとえば同相または異なる位相
で超音波振動で励振され得る。
第５図には第４図の線ｖ−■に沿って切断した面、すな
わち圧電セラミックス帯４２の下面の高さの面が平面図
で示されている。圧電セラ（−７クス帯４２への切込み
５１により個々の変換器３．３．１．３．２・・・がそ
れらの超音波振動子としての機能に関して互いに減結合
されている。
第６図には、１つの変換器３の圧電セラミックス箔３３
の電極被覆層３５および３６の接続形成の実施例が示さ
れている。参照符号２を付されているのは、同じく基板
の相応の部分である。参照符号３３を付されているのは
、電極被覆層３５および３６を有する圧電セラミックス
箔である。リード線３７および３８は、変換器３または
その合　　　　　　　　１成樹脂箔３１および３２の側
面の金属化層１３７および１３８に導かれている細い線
である。参照符号９および１０を付されているのは、同
じく変換器３の接続用として基板２の上に被着されてい
る導電帯である。参照符号１０９および１１０を付され
ているのは、それぞれ導電帯９と金属化層１３７との間
および導電帯１０と金属化Ｆｉｉ１３８との間のはんだ
付けである。このようなはんだ付けは厚膜回路から、ま
たこのような金属化層は合成樹脂コンデンサから公知で
ある。
第７図には、本発明で使用される多層構造の変換器１０
３の実施例が断面図で示されている０図示されている実
施例は重ねられた圧電セラミックス箔３３．３３ａおよ
び３３ｂを有する。参照符号３１および３２を付されて
いるのは、同じく円外側合成樹脂箔である。圧電セラミ
ックス箔を互いに隔てる別の合成樹脂箔が参照符号３１
ａおよび３１ｂを付して示されている。第７図には、第
２図に相応して設けられている圧電セラミックス箔の電
極液ｒｊＬＮおよびそれらのリード線は図示されていな
い。第７図による多層構造の変換器の作動の仕方は第２
図による変換器のそれと原理的に同一である。たとえば
第４図および第５図に相当する１つのアレーが第７図に
よる多層構造の変換器として構成されていてもよい。
圧電セラミックス箔３３．３３ａおよび３３ｂの厚みと
しては約０．５ｆｉよりも小さい寸法が選定される０合
成樹脂箔の厚みは、使用されているセラミックス箔より
もそれぞれ１０倍まで厚い同一オーダーの値の範囲内に
ある。
第８図には、タンク４１０内の液体レベルのセンサとし
ての本発明によるセンサの応用例が示されている。液体
表面４２０から反射されてセンサ４０により再び受信さ
れる超音波の伝搬時間が液体レベルの尺度として用いら
れる。
【図面の簡単な説明】
第１図は変換器装置の斜視図、第２図は本発明で使用さ
れる変換器の層構造の拡大斜視図、第３図はセンサの側
断面図、第４図は変換器アレーの部分の側断面図、第５
図は第４図の線Ｖ−Ｖに沿って切断した平面図、第６図
は接続形成の実施例を示す断面図、第７図は変換器の多
層構造を示す断面図、第８図はタンク内の液体レベルセ
ンサとしての応用例を示す図である。 ２・・・基板、３．３．１〜３．３・・・超音波変換器
、５．５ａ〜５ｃ・・・厚膜電子回路、６．６ａ、７・
・・端子、３１．３１ａ、３　ｌ　ｂ、　３２・・・合
成樹脂箔、３３．３３ａ、３３ｂ、４２・・・圧電セラ
ミックス、４１・・・保護外被、１０３・・・超音波変
換器、１０９．１１０・・・はんだ、１３３・・・圧電
セラミックス箔、１３７．１３８・・・接続部。 ＩＧ　３ ＩＧ　４ ＩＧ　５

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）バッキングとして作用する板の上に取付けられてい
    る少なくとも１つの超音波変換器と、変換器を超音波送
    信器および（または）超音波受信器として作動させるた
    めの電子回路とを有する超音波検出センサにおいて、 板が厚膜回路用として使用すべき基板（２）であり、 基板（２）の上に電子回路が端子（６、６ａ、７）を有
    する厚膜回路（５、５ａ、５ｂ、５ｃ）として構成され
    ており、 超音波変換器（３、３．１、３．２・・・）が、圧電セ
    ラミックスから成る少なくとも１つの箔（３３、３３ａ
    、３３ｂ、４２）と約２よりも小さい密度を有する合成
    樹脂材料から成る少なくとも２つの箔（３１、３２、３
    １ａ、３１ｂ）とから成る積層構造を有し、これらの合
    成樹脂箔およびセラミックス箔が交互に積み重なってお
    り、またこの箔パケットが外側にそれぞれ１つの合成樹
    脂箔（３１および３２）を有し、変換器（３、３．１、
    ３．２・・・）の出射または受信面が一方の外側合成樹
    脂箔（３２）に属し、またこの変換器が他方の外側合成
    樹脂箔（３１）により基板（２）の上に取付けられてお
    り、 この変換器に対してあてはまる変換器（３、３．１、３
    ．２・・・）の材料における音速−密度積の平均値が基
    板（２）の材料における相応の積の値よりも小さく選定
    されている ことを特徴とする超音波検出センサ。 ２）少なくとも１つの超音波変換器（３、・・・）の積
    層構造により、この変換器に対してあてはまる変換器（
    ３、・・・）の材料における音速−密度積の値が、一方
    では基板材料に対して他方では超音波出射（４）が行わ
    れる媒体に対してあてはまる相応の積の平均値に少なく
    とも近似的に等しく選定されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第１項記載のセンサ。 ３）少なくとも１つの超音波変換器（３、・・・）およ
    び電子回路（５）が基板（２）の１つの同じ表面側の上
    に被着されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
    項または第２項記載のセンサ。 ４）少なくとも１つの超音波変換器（３、・・・）が基
    板（２）の一方の表面側の上に、また電子回路（５）の
    少くとも一部分が基板（２）の他方の表面側の上に被着
    されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項また
    は第２項記載のセンサ。 ５）電子回路がすべての送信および受信回路（５）を含
    んでいることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし
    第４項のいずれか１項に記載のセンサ。 ６）複数個の超音波変換器（３、３．１、３．２・・・
    ）が変換器アレーとして基板（２）の上に構成されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第５項
    のいずれか１項に記載のセンサ。 ７）少なくとも１つの超音波変換器（１０３）が合成樹
    脂箔（３１、３１ａ、３１ｂ、３２）を介して積み重ね
    られた複数個の圧電セラミックス箔（３３、３３ａ、３
    ３ｂ）を有する変換器であり、圧電セラミックス箔およ
    び合成樹脂箔がそれぞれ外側に合成樹脂箔（３１、３２
    ）を有する１つの箔パックを形成していることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項ないし第６項のいずれか１項
    に記載のセンサ。 ８）合成樹脂箔（３１、３１ａ、３１ｂ、３２）が圧電
    セラミックス箔（３３、３３ａ、３３ｂ）の外縁を越え
    て延びていることを特徴とする特許請求の範囲第１項な
    いし第７項のいずれか１項に記載のセンサ。 ９）基板（２）の上に位置する電子回路（５）、少なく
    とも１つの超音波変換器（３、・・・）および基板（２
    ）が１つの保護外被（４１）により包まれており、当該
    変換器のそれぞれ外側の合成樹脂箔（３２）の基板（２
    ）と反対側の表面は、超音波の送出および受信を妨げな
    いように、保護外被により包まれておらず、また供給電
    圧の供給および信号出力のための端子（６、６ａ、７）
    が保護外被（４１）を通して外に導き出されていること
    を特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第８項のいず
    れか１項に記載のセンサ。 １０）圧電セラミックス箔（３３、３３ａ、３３ｂ）の
    接続形成がそれぞれ隣接する合成樹脂箔（３１、３２、
    ３１ａ、３１ｂ）の金属化により行われていることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項ないし第９項のいずれか
    １項に記載のセンサ。 １１）接続用の層（１３７、１３８）が変換器の側面に
    設けられており、これらの層（１３７、１３８）が基板
    表面上に設けられている導電帯（９、１０）と厚膜回路
    技術によりはんだ付け（１０９、１１０）されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第１０項の
    いずれか１項に記載のセンサ。 １２）１つのアレーに対して少なくとも１つの圧電セラ
    ミックス箔が少なくとも多数の変換器（３、・・・）に
    対して一体であり、また当該の圧電セラミックス箔（１
    ３３）の変換器に割り当てられる個々の部分の間に音響
    的減結合のための切り込み（５１）が設けられているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第１１項の
    いずれか１項に記載のセンサ。 １３）箔（３１、３２、３１ａ、３１ｂ）の合成樹脂材
    料が主として炭化水素および（または）ケイ化水素から
    成るポリマーの形式の材料であることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項ないし第１２項のいずれか１項に記載
    のセンサ。 １４）液体中での超音波送出に用いられることを特徴と
    することを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第１
    ３項のいずれか１項に記載のセンサ。
JP60237157A 1984-10-25 1985-10-23 超音波検出センサ Granted JPS61103400A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3439168.1 1984-10-25
DE3439168 1984-10-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61103400A true JPS61103400A (ja) 1986-05-21
JPH0511713B2 JPH0511713B2 (ja) 1993-02-16

Family

ID=6248780

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60237157A Granted JPS61103400A (ja) 1984-10-25 1985-10-23 超音波検出センサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4656384A (ja)
EP (1) EP0182140B1 (ja)
JP (1) JPS61103400A (ja)
DE (1) DE3570325D1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020137966A1 (ja) * 2018-12-26 2020-07-02 京セラ株式会社 超音波デバイス

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4763524A (en) * 1985-04-30 1988-08-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Automatic underwater acoustic apparatus
US4864179A (en) * 1986-10-10 1989-09-05 Edo Corporation, Western Division Two-dimensional piezoelectric transducer assembly
JPS63207300A (ja) * 1987-02-24 1988-08-26 Toshiba Corp 超音波プロ−ブ
US4833360A (en) * 1987-05-15 1989-05-23 Board Of Regents The University Of Texas System Sonar system using acoustically transparent continuous aperture transducers for multiple beam beamformation
DE3920663A1 (de) * 1989-06-23 1991-01-10 Siemens Ag Breitstrahlender ultraschallwandler
FR2728754A1 (fr) * 1989-08-21 1996-06-28 Raytheon Co Transducteur composite piezoelectrique
US5095747A (en) * 1989-12-26 1992-03-17 Barnstead Thermolyne Corporation Cryogenic liquid level sensing apparatus
DE59010738D1 (de) * 1990-04-09 1997-08-21 Siemens Ag Frequenzselektiver Ultraschall-Schichtwandler
DE4017698C2 (de) * 1990-06-01 1994-01-13 Bosch Gmbh Robert Verfahren zum Aufbau und zur Vereinzelung von Sensoren in Dickschichttechnik
US5852589A (en) * 1990-07-19 1998-12-22 Raytheon Company Low cost composite transducer
FR2669423B1 (fr) * 1990-11-16 1993-07-30 Electricite De France Capteur de pression acoustique audiofrequence a haute resolution spatiale.
GB9108490D0 (en) * 1991-04-20 1991-06-05 Jones Richard W Device for acoustic wave generation
US5355048A (en) * 1993-07-21 1994-10-11 Fsi International, Inc. Megasonic transducer for cleaning substrate surfaces
US5629578A (en) * 1995-03-20 1997-05-13 Martin Marietta Corp. Integrated composite acoustic transducer array
GB9518151D0 (en) * 1995-09-06 1995-11-08 Amp Great Britain Interchangeable vessel Having a Level Sensor Therewith
FR2751744B1 (fr) * 1996-07-26 1998-10-23 Marwal Systems Dispositif piezo-electrique de jaugeage de liquide
US5855049A (en) * 1996-10-28 1999-01-05 Microsound Systems, Inc. Method of producing an ultrasound transducer
DE19714606A1 (de) * 1997-04-09 1998-10-15 Itt Mfg Enterprises Inc Ultraschallsensormodul mit Folienwandler
NO982074L (no) * 1998-05-07 1999-11-08 Omnitech As Fremgangsmåte og instrument for nivåmåling
US6271620B1 (en) * 1999-05-20 2001-08-07 Sen Corporation Acoustic transducer and method of making the same
US6867535B1 (en) * 1999-11-05 2005-03-15 Sensant Corporation Method of and apparatus for wafer-scale packaging of surface microfabricated transducers
US6776050B2 (en) * 2001-09-28 2004-08-17 Osrano Opto Semiconductors Gmbh Support for bending test of flexible substrates
JP3908512B2 (ja) * 2001-11-16 2007-04-25 セイコーインスツル株式会社 圧電トランスデューサ及び脈波検出装置
FR2834062B1 (fr) 2001-12-21 2004-07-09 Marwal Systems Jauge de niveau
FR2834061B1 (fr) * 2001-12-21 2004-07-09 Marwal Systems Jauge de niveau
DE102004029662B4 (de) * 2004-06-18 2007-03-08 Jäger, Frank-Michael Vorrichtung zur Überwachung von Hydraulikzylindern
DE102004042725B3 (de) * 2004-09-03 2006-04-06 Jäger, Frank-Michael Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung von Hydraulikzylindern
DE102005005965A1 (de) * 2005-02-09 2006-08-17 SONOTEC Dr. zur Horst-Meyer & Münch oHG Ultraschallkompaktsensoreinrichtung zur Erkennung von Kolben in hydraulischen Systemen
DE102005012566A1 (de) * 2005-03-18 2006-09-21 Hella Kgaa Hueck & Co. Vorrichtung zum Messen des Füllstandes einer Flüssigkeit in einem Behälter mit einem Ultraschallwandler
US7861587B2 (en) * 2005-03-18 2011-01-04 Hella KGaA Hück & Co. Device for measuring the level of a liquid in a container with an ultrasonic transducer
DE102006043973A1 (de) * 2006-09-19 2008-03-27 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Wasserführendes Haushaltsgerät mit Reinigungsmitteldosiersystem
JP4386109B2 (ja) * 2007-07-11 2009-12-16 株式会社デンソー 超音波センサ及び超音波センサの製造方法
DE102007059584A1 (de) * 2007-12-11 2009-06-18 Conti Temic Microelectronic Gmbh Füllstandssensor
US7629728B1 (en) * 2008-07-15 2009-12-08 Iptrade, Inc. Scalable piezoelectric package
US7656076B1 (en) * 2008-07-15 2010-02-02 Iptrade, Inc. Unimorph/bimorph piezoelectric package
DE102010043108A1 (de) 2010-10-29 2012-05-03 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Teilflächen-Schallwandler
EP2916113A1 (en) * 2010-11-11 2015-09-09 SSI Technologies, Inc. Systems and methods of determining a quality and/or depth of diesel exhaust fluid
DE102012000275A1 (de) * 2012-01-10 2013-07-11 Nicolay Verwaltung Gmbh Schallwandler, insbesondere Ultraschallwandler, und Verfahren zu dessen Herstellung
CN104681711B (zh) 2014-11-24 2017-06-06 麦克思智慧资本股份有限公司 超声波传感器及其制造方法
TWI585375B (zh) * 2014-12-05 2017-06-01 麥克思股份有限公司 超音波感測器及其製造方法
DE102017107331A1 (de) 2017-04-05 2018-10-11 Turck Holding Gmbh Ultraschallsensor
US10254148B2 (en) 2017-06-16 2019-04-09 GM Global Technology Operations LLC Liquid level sensor and method
DE102018202209B3 (de) 2018-02-13 2019-05-29 Continental Automotive Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen einer Höhe und/oder Qualität eines Fluids in einem Fluidbehälter
US11828640B1 (en) * 2022-07-18 2023-11-28 Simmonds Precision Products, Inc. Methods and algorithms for liquid level measurement

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3453711A (en) * 1966-08-24 1969-07-08 Corning Glass Works Method of connecting together a plurality of transducer segments
US3587561A (en) * 1969-06-05 1971-06-28 Hoffmann La Roche Ultrasonic transducer assembly for biological monitoring
GB1406146A (en) * 1973-05-21 1975-09-17 Mullard Ltd Level sensor
US3979711A (en) * 1974-06-17 1976-09-07 The Board Of Trustees Of Leland Stanford Junior University Ultrasonic transducer array and imaging system
DE2433389A1 (de) * 1974-07-11 1976-01-22 Siemens Ag Piezoelektrischer transformator
JPS51130866A (en) * 1975-05-08 1976-11-13 Seiko Instr & Electronics Method of mounting electronic timekeeper circuits
DE2537788C3 (de) * 1975-08-25 1980-04-10 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Ultraschallwandler
US4127788A (en) * 1977-07-08 1978-11-28 Daugherty Ralph N Piezoelectric stress indicator for mine roofs
US4217684A (en) * 1979-04-16 1980-08-19 General Electric Company Fabrication of front surface matched ultrasonic transducer array
US4316183A (en) * 1980-10-24 1982-02-16 Bestobell Mobrey Limited Liquid level sensor
JPS5959000A (ja) * 1982-09-28 1984-04-04 Toshiba Corp 凹面型超音波探触子及びその製造方法
DE3241033A1 (de) * 1982-11-06 1984-05-10 Dicom Electronics GmbH, 5000 Köln Verfahren zum messen des fuellstandes von fluessigkeiten in behaeltern
US4565942A (en) * 1983-07-01 1986-01-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Energy trapped piezoelectric resonator liquid sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020137966A1 (ja) * 2018-12-26 2020-07-02 京セラ株式会社 超音波デバイス
JPWO2020137966A1 (ja) * 2018-12-26 2021-11-11 京セラ株式会社 超音波デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
EP0182140A1 (de) 1986-05-28
DE3570325D1 (en) 1989-06-22
US4656384A (en) 1987-04-07
EP0182140B1 (de) 1989-05-17
JPH0511713B2 (ja) 1993-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61103400A (ja) 超音波検出センサ
US5697248A (en) Liquid level sensor
US5644085A (en) High density integrated ultrasonic phased array transducer and a method for making
US5945770A (en) Multilayer ultrasound transducer and the method of manufacture thereof
US7471034B2 (en) Ultrasound transducer and method of producing the same
US5559388A (en) High density interconnect for an ultrasonic phased array and method for making
US6508133B1 (en) Ultrasonic flowmeter and ultrasonic generator/detector
US7696672B2 (en) Ultrasonic sensor having acoustic matching member with conductive layer formed on and extending only along acoustic matching member connecting surface
CN101098585A (zh) 柔性印刷电路板、超声探头、以及制造超声探头的方法
EP2130495A1 (en) Ultrasonic probe and method for manufacturing the same and ultrasonic diagnostic device
US4479069A (en) Lead attachment for an acoustic transducer
EP1867980A1 (en) Surface wave sensor device
US4565942A (en) Energy trapped piezoelectric resonator liquid sensor
CN104663006A (zh) 超声内窥镜及其制造方法
US20090015105A1 (en) Ultrasonic sensor and method of making the same
JP2003502617A (ja) 液体の物理的性質を測定するためのセンサー装置
CA1165470A (en) Method for manufacturing an ultra-sonic transducer arrangement
EP1452243A2 (en) Ultrasonic transmitting/receiving device and method of fabricating the same
JPH0737107U (ja) 超音波探触子
JP3530580B2 (ja) 超音波探触子の製造方法
CA1157966A (en) Method for manufacturing an ultrasonic transducer
JPH08307995A (ja) 超音波探触子
JPS584075A (ja) 超音波流量計用圧電変換器
GB2312509A (en) Ultrasonic liquid sensor
JP2008256597A (ja) 超音波トランスジューサ及び超音波レベル計