JPS6098638A - 乾板等移送装置 - Google Patents
乾板等移送装置Info
- Publication number
- JPS6098638A JPS6098638A JP58206389A JP20638983A JPS6098638A JP S6098638 A JPS6098638 A JP S6098638A JP 58206389 A JP58206389 A JP 58206389A JP 20638983 A JP20638983 A JP 20638983A JP S6098638 A JPS6098638 A JP S6098638A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- section
- inspection
- photographic plate
- stage
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シリコンウェハー、ハードマスク用乾板等の
表面欠陥を検査する装置等において、検査前の乾板等を
供給部がら検査装置へ移置するとともに、検査を終わっ
た乾板等を回収部へ移送するだめの乾板等移送装置に関
するものである。
表面欠陥を検査する装置等において、検査前の乾板等を
供給部がら検査装置へ移置するとともに、検査を終わっ
た乾板等を回収部へ移送するだめの乾板等移送装置に関
するものである。
」二記検査装置等においては、薄手の乾板等を確実に検
査台上に載置するとともに、検査終丁後そこから回収し
なけゎばならず、しがも大量の乾板等を検査する関係上
、供給、検査、収納の一連の動作を迅速に効率よく行な
わせる必要がある。
査台上に載置するとともに、検査終丁後そこから回収し
なけゎばならず、しがも大量の乾板等を検査する関係上
、供給、検査、収納の一連の動作を迅速に効率よく行な
わせる必要がある。
本発明はかかる要請に応えるためのものであって、乾板
等の薄板を検査装置等に対し迅速かつ確実に供給し、ま
た、そこから回収しうる乾板等移送装置を提供すること
を目的とするものである。
等の薄板を検査装置等に対し迅速かつ確実に供給し、ま
た、そこから回収しうる乾板等移送装置を提供すること
を目的とするものである。
本発明は、一体的に移動して同じチャソキン・グ動作を
する２つのチャック部を備え、一方のチャック部は乾板
等供給部と検査部との間を往復動し、他方のチャック部
は検査部と収納部の間を往復動するようになしたことを
特徴とする乾板等移送装置であって、図面はその実施例
を示すものである。第１図は本発明に係る装置を組め入
れた乾板表面自動検査装置を示す正面図で、図中へが本
発明の部分、Ｂが検査装置本体、Ｃが乾板供給装置、Ｄ
が乾板収納装置である。乾板供給装置Ｃは、未検査の乾
板を次々と供給する装置であり、また、乾板収納装置Ｉ
〕は、検査の終了した乾板を回収して収納する装置で、
これらの詳細な機構については、本発明と直接関係がな
いので説明を省略する。第２図乃至第４図は、本発明に
おけるチャッキング機構を示すもので、■、■は、先端
部に乾板２をすくい上げる受け台３．３を備えたチャッ
クで、その後端部にはスクリューブツシュ４．４を備え
、それらにスクリューシャフト５を挿通する。
する２つのチャック部を備え、一方のチャック部は乾板
等供給部と検査部との間を往復動し、他方のチャック部
は検査部と収納部の間を往復動するようになしたことを
特徴とする乾板等移送装置であって、図面はその実施例
を示すものである。第１図は本発明に係る装置を組め入
れた乾板表面自動検査装置を示す正面図で、図中へが本
発明の部分、Ｂが検査装置本体、Ｃが乾板供給装置、Ｄ
が乾板収納装置である。乾板供給装置Ｃは、未検査の乾
板を次々と供給する装置であり、また、乾板収納装置Ｉ
〕は、検査の終了した乾板を回収して収納する装置で、
これらの詳細な機構については、本発明と直接関係がな
いので説明を省略する。第２図乃至第４図は、本発明に
おけるチャッキング機構を示すもので、■、■は、先端
部に乾板２をすくい上げる受け台３．３を備えたチャッ
クで、その後端部にはスクリューブツシュ４．４を備え
、それらにスクリューシャフト５を挿通する。
スクリューシャフト５のネジ部５ａとネジ部５ｂとでは
、前者を左ネジとし、後者を右ネジとする如く螺し切り
方向を逆にする。４ａ、 ４ａはブツシュ締イ１扱であ
る。６はスクリューシャフト５のプーリ７と、チャック
開閉モーター８のプーリ９との間に掛ｉＪ渡したベルト
である。１０．１１は、昇降フレーム１２．１３間に渡
したガイドバーで、チャック１．１の、スクリューシャ
フト５の軸方向への移動を支持するだめのものである。
、前者を左ネジとし、後者を右ネジとする如く螺し切り
方向を逆にする。４ａ、 ４ａはブツシュ締イ１扱であ
る。６はスクリューシャフト５のプーリ７と、チャック
開閉モーター８のプーリ９との間に掛ｉＪ渡したベルト
である。１０．１１は、昇降フレーム１２．１３間に渡
したガイドバーで、チャック１．１の、スクリューシャ
フト５の軸方向への移動を支持するだめのものである。
チャック１．１は、これらのガイドバー１０．１１に対
し摺動自在にする。１４はセンサー、１５はセンサーデ
ィスクで、スクリューシャフト５の動きを検知する。１
６．１７はカバーである。１８．１８は、天板１９と底
板２０との間に一対立設したガイドシャフトで、それら
に摺動筒２１を摺動自在に装着する。摺動筒２１の上面
には、胛隆フレーム１２．１３と一体化した昇降プレー
ト２２を定着する。２３はブラケソＩ・２４を介して昇
降プレー１・２２裏側に固定したリンクで、クランクシ
ャツ１−２５を軸にクランク運動する。２６はクランク
アーム、２７．２８はクランクシャフト２５を支える軸
受である。２９はヘルド３０を介してクランクシャツ１
−２５を回転させ、以てリンク２３を上下動させる昇降
モーターである。３１はクランクシャフト２５０回転を
検知するセンサー、３２はセンサーディスクである。３
３ばマイクロスイソヂドノグ、３４はリミ、トスイソチ
である。３５はチャック１．１の開閉を検知するセンサ
ー、３６はセンザードノグシャフトである。３７は昇降
フレーム１２．１３と天板１９間に掛装した引張コイル
ハネである。続いて第５図及び第６図によって１船道部
の機構について説明するに、４０は側板４１．４１間に
渡したガイドシャフトで、これに、両側にスライドプレ
ート４２．４２を定着した摺動筒４３．４４を摺動自在
にして装着する。４５は摺動筒４３側と摺動筒４４側と
を結合する連結プレートで、その下側にブラケット４６
を介してリードナツト４７を固定する。
し摺動自在にする。１４はセンサー、１５はセンサーデ
ィスクで、スクリューシャフト５の動きを検知する。１
６．１７はカバーである。１８．１８は、天板１９と底
板２０との間に一対立設したガイドシャフトで、それら
に摺動筒２１を摺動自在に装着する。摺動筒２１の上面
には、胛隆フレーム１２．１３と一体化した昇降プレー
ト２２を定着する。２３はブラケソＩ・２４を介して昇
降プレー１・２２裏側に固定したリンクで、クランクシ
ャツ１−２５を軸にクランク運動する。２６はクランク
アーム、２７．２８はクランクシャフト２５を支える軸
受である。２９はヘルド３０を介してクランクシャツ１
−２５を回転させ、以てリンク２３を上下動させる昇降
モーターである。３１はクランクシャフト２５０回転を
検知するセンサー、３２はセンサーディスクである。３
３ばマイクロスイソヂドノグ、３４はリミ、トスイソチ
である。３５はチャック１．１の開閉を検知するセンサ
ー、３６はセンザードノグシャフトである。３７は昇降
フレーム１２．１３と天板１９間に掛装した引張コイル
ハネである。続いて第５図及び第６図によって１船道部
の機構について説明するに、４０は側板４１．４１間に
渡したガイドシャフトで、これに、両側にスライドプレ
ート４２．４２を定着した摺動筒４３．４４を摺動自在
にして装着する。４５は摺動筒４３側と摺動筒４４側と
を結合する連結プレートで、その下側にブラケット４６
を介してリードナツト４７を固定する。
４８はリードナツト４７に蝮じ込むドライブスクリュー
で、その両端は側板４１．４１において軸支する。４９
ばヘルド５０を介してドライブスクリュー４８を回転駆
動する搬送モーター、５１はドライブスクリュー４８を
被覆する蛇腹カバーである。５２はセンサー５３を載置
するセンサープレート、５４ばセンサートングである。
で、その両端は側板４１．４１において軸支する。４９
ばヘルド５０を介してドライブスクリュー４８を回転駆
動する搬送モーター、５１はドライブスクリュー４８を
被覆する蛇腹カバーである。５２はセンサー５３を載置
するセンサープレート、５４ばセンサートングである。
５５は、ガイドシャフト４０同様に構成したガイドシャ
フトである。５６は検査装置本体Ｂのステージで、その
上に乾板２が乗る。なお、第３図におけるＬｌはチャッ
ク１．１部の」−昇端を示し、第５図におりる１、２は
、検査装置本体Ｂのセンターラインを示す。
フトである。５６は検査装置本体Ｂのステージで、その
上に乾板２が乗る。なお、第３図におけるＬｌはチャッ
ク１．１部の」−昇端を示し、第５図におりる１、２は
、検査装置本体Ｂのセンターラインを示す。
本発明の作用につき説明するに、本発明に係る装置が中
立位置、即ち、第５図において摺動筒４３．４４の中間
位置がセンターライン１，２に一致する位置にあるとき
、搬送モーター４９が始動するとヘルド５０を介し”ζ
ドライブスジリプ。−４８が回転し、その回転に伴い、
ドライブスクリュー４８に螺合しているリードナツト４
７が、先ず図において右方向に移動させられる。すると
、リードナツト４７と一体となった連結プレート４５に
よって結合されている左右のチャック部も、リードナソ
１〜４７が動くに従って右方向に移動し、摺動筒４３は
センターラインＬ２上に達し、また、摺動筒４４は右端
に達する（第５図に示す位置）。
立位置、即ち、第５図において摺動筒４３．４４の中間
位置がセンターライン１，２に一致する位置にあるとき
、搬送モーター４９が始動するとヘルド５０を介し”ζ
ドライブスジリプ。−４８が回転し、その回転に伴い、
ドライブスクリュー４８に螺合しているリードナツト４
７が、先ず図において右方向に移動させられる。すると
、リードナツト４７と一体となった連結プレート４５に
よって結合されている左右のチャック部も、リードナソ
１〜４７が動くに従って右方向に移動し、摺動筒４３は
センターラインＬ２上に達し、また、摺動筒４４は右端
に達する（第５図に示す位置）。
その移動はガイドシャフト４０．５５によって支持され
、また、その動きはセンサー５３によって検出される。
、また、その動きはセンサー５３によって検出される。
その間チャック１．１は開いたままである。次いで、そ
の位置から、センサー５３からの信号によって胛降モー
ター２９が始動し、ベルト３０を介してクランクシャフ
ト２５を回転させる。その結果、クランクシャフト２５
に固定したクランクアーム２６が回転し、それに枢着さ
れているリンク２３が下降しく第４図に示す位置）、以
て昇降プレート２２を下降させるごとにより、昇降フレ
ーム１２．１３を介して昇降プレー１−２２と一体とな
ったチャックｌ、１を下降さゼる。以−ヒの動きは左右
のチャック部において行われる（以下同様）。その際左
側のチャック１．１の受り台３．３は、検査装置本体Ｂ
のステージ５６上に置かれた乾板２よりも若干下に位置
し、また、右＋１１！ｌのチャック１．１の受り台３．
３は、軸板供給装置Ｃのステージ（図示せず）上に置か
れた乾板よりも若干下に位置しζいる。このチャック１
、ｌの下降はセンサー３１によって検出され、そこから
の信号によって今度はチャック開閉モーター８が始動し
、ベルト６を介し゛ζスクリューシャフト５を回転させ
る。すると、蝮切り方向を逆にしであるネジ部５ａ、５
ｂに螺合しているスクリューブツシュ４．４が、互いに
近接方向に移動させられることになる。その結果、スク
リューブツシュ４．４と一体となったチャック１、■も
、その受り台３．３上に乾板２の縁が乗る位置まで近接
し合う。このチャック１．１の動きをセンサー１４が検
出して再び昇降モーター２９を作動させ、クランクシャ
フト２５、クランクアーム２６、リンク２３の作用でチ
ャック１、■を第３図において１．１で示ず位置までト
昇させる。その際、ステージ５６上の乾板２及び乾板供
給装置Ｃのステージ上の乾板は、受り台３．３によって
すくい取られる。そこにおいて搬送モーター４９が始動
し、ベルト５０を介して１゛ライブスクリユー４８を回
転させる。すると、ドライブスクリュー４８に螺合して
いるリー ドナノド４７が、第５図１におい゛ζ左方向
に移動さ−Ｕられる。それに伴い、連結プレート４５を
介して連動する左右のチャック部も左方向に移動し、今
度は右側のチャック部がセンターラインし２」−に、ま
た、左側のチャック部は左端に達する。そごで昇降モー
ター２９の作用で各チャック部がト降する。その下降に
よって番受り台３．３は、ステージ５６及び乾板収納装
置りのステージよりも若干下方に位置することになるの
で、右側のチャック部によって搬送された検査前の乾板
はステージ５６上に取り残され、また、左側のチャック
部によってＩＩＩＪ送された検査済の乾板は、乾板収納
装置りのステージ」二に取り残されることにより、それ
ぞれチャック１．１から解放されることになる。下ｌ！
＠端に達したチャック１．１は、開閉モーター８の作用
で開き、そのまま昇降モータ〜２９の作用で乾板に接触
することなり」二昇する。このようにして、未検査の乾
板をステージ５６士に供給する動作と、検査済の乾板を
乾板収納装置りへ移送する動作とが、同時に一体的に行
われる。そして、検査済の乾板は、乾板収納装置りにお
いて収納用のカセットに次々と収納される。上昇端に達
した左右のチャック１．１は、１般送モーター４９の作
用で再び第５し１に示す位置に至り、以後上述した動作
をくり返す本発明は上述した通りであって、未検査の乾
板を検査装置本体Ｂへ供給するとともに、検査済の乾板
を収納装置１〕へ送る作業を自動的に迅速かつ正確に行
うことができるものである。
の位置から、センサー５３からの信号によって胛降モー
ター２９が始動し、ベルト３０を介してクランクシャフ
ト２５を回転させる。その結果、クランクシャフト２５
に固定したクランクアーム２６が回転し、それに枢着さ
れているリンク２３が下降しく第４図に示す位置）、以
て昇降プレート２２を下降させるごとにより、昇降フレ
ーム１２．１３を介して昇降プレー１−２２と一体とな
ったチャックｌ、１を下降さゼる。以−ヒの動きは左右
のチャック部において行われる（以下同様）。その際左
側のチャック１．１の受り台３．３は、検査装置本体Ｂ
のステージ５６上に置かれた乾板２よりも若干下に位置
し、また、右＋１１！ｌのチャック１．１の受り台３．
３は、軸板供給装置Ｃのステージ（図示せず）上に置か
れた乾板よりも若干下に位置しζいる。このチャック１
、ｌの下降はセンサー３１によって検出され、そこから
の信号によって今度はチャック開閉モーター８が始動し
、ベルト６を介し゛ζスクリューシャフト５を回転させ
る。すると、蝮切り方向を逆にしであるネジ部５ａ、５
ｂに螺合しているスクリューブツシュ４．４が、互いに
近接方向に移動させられることになる。その結果、スク
リューブツシュ４．４と一体となったチャック１、■も
、その受り台３．３上に乾板２の縁が乗る位置まで近接
し合う。このチャック１．１の動きをセンサー１４が検
出して再び昇降モーター２９を作動させ、クランクシャ
フト２５、クランクアーム２６、リンク２３の作用でチ
ャック１、■を第３図において１．１で示ず位置までト
昇させる。その際、ステージ５６上の乾板２及び乾板供
給装置Ｃのステージ上の乾板は、受り台３．３によって
すくい取られる。そこにおいて搬送モーター４９が始動
し、ベルト５０を介して１゛ライブスクリユー４８を回
転させる。すると、ドライブスクリュー４８に螺合して
いるリー ドナノド４７が、第５図１におい゛ζ左方向
に移動さ−Ｕられる。それに伴い、連結プレート４５を
介して連動する左右のチャック部も左方向に移動し、今
度は右側のチャック部がセンターラインし２」−に、ま
た、左側のチャック部は左端に達する。そごで昇降モー
ター２９の作用で各チャック部がト降する。その下降に
よって番受り台３．３は、ステージ５６及び乾板収納装
置りのステージよりも若干下方に位置することになるの
で、右側のチャック部によって搬送された検査前の乾板
はステージ５６上に取り残され、また、左側のチャック
部によってＩＩＩＪ送された検査済の乾板は、乾板収納
装置りのステージ」二に取り残されることにより、それ
ぞれチャック１．１から解放されることになる。下ｌ！
＠端に達したチャック１．１は、開閉モーター８の作用
で開き、そのまま昇降モータ〜２９の作用で乾板に接触
することなり」二昇する。このようにして、未検査の乾
板をステージ５６士に供給する動作と、検査済の乾板を
乾板収納装置りへ移送する動作とが、同時に一体的に行
われる。そして、検査済の乾板は、乾板収納装置りにお
いて収納用のカセットに次々と収納される。上昇端に達
した左右のチャック１．１は、１般送モーター４９の作
用で再び第５し１に示す位置に至り、以後上述した動作
をくり返す本発明は上述した通りであって、未検査の乾
板を検査装置本体Ｂへ供給するとともに、検査済の乾板
を収納装置１〕へ送る作業を自動的に迅速かつ正確に行
うことができるものである。
第１図は本発明に係る装置を組め入れた乾板検査システ
ムの全体構造を示ず正面積ｊ１？ｒｌｉ２１、第２図は
本発明におり）るチャック部の構成を示す平面図、第３
図はその正面縦断面図、第４図は第２図における八−Δ
線断面図、第５図は本発明における搬送部の機構を示す
正面縦断面図、第６図はその側面図である。 特許１］１願人 梢栄丁産株式会社 代理人弁理士 斎 藤 晴 男５′、゛１；１，１ １／
ムの全体構造を示ず正面積ｊ１？ｒｌｉ２１、第２図は
本発明におり）るチャック部の構成を示す平面図、第３
図はその正面縦断面図、第４図は第２図における八−Δ
線断面図、第５図は本発明における搬送部の機構を示す
正面縦断面図、第６図はその側面図である。 特許１］１願人 梢栄丁産株式会社 代理人弁理士 斎 藤 晴 男５′、゛１；１，１ １／
Claims (1)
- 一体的に移動して同じヂャソキング動作をする２つのチ
ャック部を備え、一方のチャック部は乾板等供給部と検
査部との間を往復動し、他方のチャック部は検査部と収
納部の間を往復動するようになしたごとを特徴とする乾
板等移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206389A JPS6098638A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 乾板等移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58206389A JPS6098638A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 乾板等移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6098638A true JPS6098638A (ja) | 1985-06-01 |
Family
ID=16522531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58206389A Pending JPS6098638A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 乾板等移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6098638A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10202721B2 (en) | 2010-04-29 | 2019-02-12 | 3M Innovative Properties Company | Electron beam cured siliconized fibrous webs |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513743U (ja) * | 1974-06-25 | 1976-01-12 | ||
| JPS58118125A (ja) * | 1982-01-05 | 1983-07-14 | Tatsumo Kk | 基板の搬送装置 |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58206389A patent/JPS6098638A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS513743U (ja) * | 1974-06-25 | 1976-01-12 | ||
| JPS58118125A (ja) * | 1982-01-05 | 1983-07-14 | Tatsumo Kk | 基板の搬送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10202721B2 (en) | 2010-04-29 | 2019-02-12 | 3M Innovative Properties Company | Electron beam cured siliconized fibrous webs |
| US11001962B2 (en) | 2010-04-29 | 2021-05-11 | 3M Innovative Properties Company | Electron beam cured siliconized fibrous webs |
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