JPS6093411A - 互に相補的な若干の顕微鏡的試験を実施するための方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一つの対象物に関して互いに相補的な複数の顕
微鏡的試験を実施するための方法並びに該方法を実施す
るための装置に関する。゛米国特許第４０１１７４８号
公報によれば音波的（ａｋｕｓｔｉｓｃｈｅ）および光
学的な鏡検を行うための方法および装置が公知になって
いる。この方法は対象物の音波像および光学的像を同時
に図として表わすことができるばかりでなく、さらに、
光学レンズによって結像された対象物の細部を目視観察
することを可能−ならしめている。これに対応している
顕微鏡は光学的および音波レンズ系を有し、これらの系
は光波と音波（ａｋｕｓｔｉｓｃｈｅｎ　Ｗｅｌｌｅｎ
）を同一の焦点面内に結像させそして対象物から反射さ
れ又は対象物を透過して来る変調された光波又は音波を
電気信号に変換する。それからこれらの信号は陰極線管
のスクリーン上において対象物の顕微鏡的像として表現
される。対象物は走査されそしてその際網目模様の如く
焦点面を横切って動かされ、この網目模様は陰極線管の
網目模様と同期している。対象物が動かされない様にな
っている場合もある。この場合には顕微鏡全体が陰極線
管の同期的駆動装置により網目状に動かされなければな
らない。光線分割器を用いることによって陰極線管上に
表現された対象物は、従来の光学顕微鏡による如く目視
的に観察可能である。陰極線管のスクリーン上に図が表
現されている時にはこの様に直接目視的な観察は、対象
物が網目状に動かされているか又は全体の系が網目状に
動かされているため、不可能である。

米国特許第３７９０２８１号公報によれば、走査するレ
ーザー光線並びに音波を使用して、動かない対象物を同
時に音波的・光学的試験するための組合された系が公知
になっている。焦点を結ばない波動を用いているため、
この装置を用いては、いささかの拡大も不可能でありそ
して更に、特殊な波模様を形成するため、対象物に結合
し、一部分を反射しそして弾性的に変形可能な中ｉ面が
必要である。この波模様を光学的に走査することによっ
て直ちに音波による像が得られ、音波走査運動は実施さ
れない。

実願昭５６−２２１７２号には一つの顕微鏡装置が記載
されており、この装置は光学的および音波的顕微鏡を包
含し、そして基板上に固定的に取付けられている。２つ
の顕微鏡の間には切換え装置が設けられ、斯くして相前
後して光学的および音波的顕微鏡観察が実施可能になっ
ている。対象物の同じ側に配置されている光学および音
波対物レンズを用いて同時に試験を行うことは、この装
置では不可能である。何故ならば音波像の形成のために
は走査運動が必要であり、この走査運動では対象物が動
くからである。

最後に、音波走査顕微鏡と落射光線顕微鏡と組合わせる
ことが公知になっている（ライフ・ミトタイルンゲン、
ヴイッセンシャフト　ラント　テヒニーク　バンド■、
阻３／４、頁６１−６７　、ウニソラー、１９８２年５
月（Ｌｌ！ＩＴＺ−Ｍｉｔｔ、Ｗｉｓｓ　、ｕ、Ｔｅｃ
ｈｎ、Ｂｄ、■、Ｎｒ、３　／４　、　Ｓ　６ｌ−６７
Ｊｅｔｚｌａｒ　、Ｍａｉ　１９８２））。この配置は
、載物机と垂直に作動位置に旋回可能な、音波対物レン
ズを備えた旋回系並びに水平に旋回可能な担持体上に取
付けられた落射光線顕微鏡を有する下部構造を包括して
いる。この顕微鏡は、音波対物レンズを有する旋回系の
代りに対象物上方の作動位置に移されることが可能であ
る。音波および光学顕微鏡は相互に調整されており、光
学顕微鏡で選択された対象物の細部が引続いて何等変わ
りなく音波顕微鏡の像の中に再度見出すことが可能にな
っている。超音波の焦点を用いて対象物を網目状に走査
する際、網目の行の方向の速い運動は質量が一定な対物
レンズに付設され、そして行の方向に直交するゆっくり
した一歩宛の運動は、質量が変化する対象物を有する戴
物机に付設されている。従ってこの装置を用いて対象物
を同時に光学的に試験することは不可能である。

本発明の目的は冒頭に述べたＮ類の方法を提供し、この
方法は特に質量が等しくなく或いは質量が変化する大な
る装置部材の網目運動の正確な同期なしに実施可能であ
りそしてさらに時間を浪費する対象物の準備と位置決め
を全く必要としないことによってそれ自体の多くの変形
を可能ならしめている。本発明の別の目的に対応してこ
の方法を実施する一つの装置が用意されており、この装
置により、重さや大きさが広い範囲に亘って任意な対象
物を収容して、個々の試験が高い精度で実施可能であり
、斯くして同時的な試験が行われる時、対象物の同じ細
部上に焦点を結ばせそして交互に試験が行われる場合で
も正確な焦点合わせが再現可能になっている。

本発明の方法は上記の目的を次の様にして達成する即ち
対応する数の放射線源を用いて、相異なる１ｍｉ類又は
振動数の少くとも２つの放射線を発生し、同時又は相前
後して対象物上に焦点を結び、そして自体公知の手段に
より目視可能に表現し、その際動かない対象物は、相互
に直交する２つの方向に網目状に走査されそして走査の
ため１つの種類の放射線の放射線源だけが動がされる。

相異なる種類の放射線として特に光線レーザー光線およ
び超音波（Ｕｌｔｒａｓｃｈａｌｌｗｅｌｌｅｎ　）を
用いることが可能である。例えば光線と音波（ａｋｕｓ
ｔｉｓｃｈｅｒ　５ｔｒａｈｌ）が対象物の同じ側面に
当てられ、その際焦点を結ばせられた光線は対象物の細
部を選択しそして落射光線又は透過光線試験のために用
いられ、この細部はさらに焦点を結ばせられた音波によ
り、相互に直交する２つの方向、即ち網目状に走査され
そしてそれから電気信号に変換された後で目視可能に表
現される。またさらに、相異なる振動数の２つの音波が
相前後して対象物の同じ側面に当てられそして対象物の
１つの範囲を走査してからその範囲に焦点を合わすこと
が可能であり、そのことにより相異なる分解力を持った
音波像が得られる。光学顕微鏡による試験と音波顕微鏡
による試験並びに像の形成とを同時に行うため、光線と
音波とを対象物の相互に向き合った側面に当てそして同
時に同じ対象物細部に焦点を合わすことが可能である。

何故ならば対象物は何時も静止しておりそして音波のみ
゛が走査運動を実施しているからである。本発明の方法
の別の態様においでは、レーザー光線と音波とが対象物
の相互に向き合った側面に当てられそしてその対象物の
細部を同時に試験するためにその細部に焦点を合わせら
れる。この際レーザー光線の走査運動のため、レーザー
光線の光源自体は固定配置可能でありそしてレーザー光
線は、音波による走査運動と同期している方向変換−素
上に向けられている。

この様にして対象物の膨張測定および試験が音波顕微鏡
的観察と共に目視可能になる。

本発明はさらに、互に相補的な若干の顕微鏡的試験を実
施するための装置にも関するものでありこの装置は次の
様な特徴ｉ有しているものである。

即ち１つの基板上に１つの柱体が固定されており、この
柱体は高さを調節可能な回転盤を担持し、この回転盤の
平面は基板に平行になっておりそしてこの回転盤は、種
々異なる顕微鏡的試験装置のための収容装置を少くとも
２つ有しこれら試験装置の観察軸は平行で回転盤の回転
軸に対して等しい距離に位置していること、観察軸が旋
回移動する範囲の基板上には、基板から距離を隔てて対
象物収容装置が設けられていること、および回転盤は停
止位置を有しており□、これらの停止位置では旋回して
その位置に置かれた試験装置の観察軸がその都度、□対
象物収容装置に対して同じ位置にあるという特徴を持っ
ている。この装置は機能的に相互に結合される共通部材
を有する若干間の基本的構造群を用いることにより、相
異なる一連の顕微鏡的試験過程を、同時にまたは相前後
して実施することを可能ならしめ、その際対象物並びに
対象物収容装置はそれらが固定配置されているため、重
さや大きさが広い範囲に亘って変化可能であり、そして
対象物の一定の細部の探索又は同一であることの確認は
簡単な軸承と停止装置を用いて困難なく大なる精度で実
施可能になっている。

柱体はＵ字形の２つの要素から成り立つのが合目的であ
り、これらの要素の間には、粗動・微動調節によって垂
直方向に動くことが可能な移動部材が配置され、この移
動部材は、予備緊張されているローラー案内装置により
、Ｕ字形要素と結合している。このことにより、す速く
移動する粗動調節のほかに、極端に僅かな調節量を有す
る移動部材の遊隙のない移動が、移動部材の任意の位置
で可能になっている。

本発明の装置の有利な形態によれば回転盤が移動部材に
回転可能に支承されそして固定された作業位置から移動
部材と一緒に、そして移動部材の粗動・微動装置と無関
係に持上げることによって固定が解除される。この様社
して対物レンズ又は対象物の破損が確実に避けられる。

何故ならば回転盤の旋回運動は、回転盤が移動部材と一
緒に、作業位置から上方に動がされた後で始めて可能に
なっているからである。この旋回された位置においては
さらに、音波対物レンズの清掃並びにインメルジョン液
体（１ｍｌＩｌｅｒｓｉｏｎｓｆｌｕｓｓｉｇｋｅｉｔ
　）の付着が行われる。

本発明の別の形成に対応して、基板上に、少なくとも１
つの別の顕微鏡的試験装置を固定するための高さ力を調
節可能な案内装置を有する１つの支柱が取付けられ、ε
の試験装置は対象物収容装置の下側に付設されている。

対応する顕微鏡的試験装置が支柱の案内装置およθ回転
盤の収容装置の中に配置されることによって多くの試験
が実施されそして次の例が示す様な組合わせが実施可能
である。

１）光学顕微鏡による個々の試験 （ａｌ　一定の対象物の細部禿探索しそしてそれに焦点
を合わせるため並びに音波像の付加的な解釈のため、回
転盤の収容装置に落射照明顕１＊鏡が挿入され、この顕
微鏡は、対応する照明装置によって、 明視野像 暗視野像 偏光による像 螢光による像および 干渉コントラスト像 を従来通りに結像することができる。

（ｂｌ　透過光線による試験のため、対象物面の上方の
回転盤の収容装置の中に１つの顕微鏡が挿入されそして
、対象物面の下方の支柱の案内装置には、照明装置と組
合わされた種々異なるコンデンサーが取付けられ、この
ことにより、前同様に、明視野、暗視野、偏光および干
渉顕微鏡の公知の方法が行われる。

（Ｑ）　落射光線による試験にも透過光線による試験に
も使用可能にするため、対象物収容装置の下方の支柱の
案内装置に、この案内装置に付設されている顕微鏡が配
置可能になっている。この顕微鏡は、回転盤に設けられ
た収容装置に挿入された照明装置と組合わされて透過光
線による試験に、又は、オパークイルミネーター（Ｏｐ
ａｋｉｌｌｕｍｉｎａｔ。

ｒｓ）を使用した時には、落射光線による試験に使用可
能になっている。焦点合わせのための上下方向の調節は
、倒立した顕微鏡全体が、支柱の案内装置の粗動・微動
調節装置によって動かされる。

２）音波顕微鏡による個々の試験　− （ａｌ　必要な場合には対象物の細部が前辺て光学的に
探索されそして確認されている対象物を音波によって試
験するため、音波対物レンズを有する音波顕微鏡装置の
頭部□が回転盤に設けられた収容装置の中に挿入される
。音波対物レンズは音波源としても、焦点を合わされた
音波の受信器としても役立ち、像を形成するためには対
象物の細部を計画的に網目状に走査することが必要であ
りそして構造と作動態様は公知のものである。

像を形成している開停止している対象物を走査するのは
、全ての音波による試験において、本発明の重要な特徴
として、専ら音波対物レンズを相互に直交する２つの方
向に、次の記述においてＸ−ｙ振動子と呼ばれている装
置を用いて運動させることで行われる。この装置は西ド
イツ国特許公開第３１３５１８０号公報により公知のも
のであり、従ってここでは音波対物レンズと関連して機
能態様を簡単に述べるだけで十分である。

ｘ−ｙ振動子は本質的に、音波対物レンズのｙ方向の運
動のための内部振動子系とＸ方向の運動のための外部振
動子系から成立っている。内部振動子系は対象的な連結
棒伝動装置として形成されており、そのことにより該伝
動装置と固く結合されている音波対物レンズは直線上を
動かされる。

大なる振動数によって発生する振動は動力学的質量の平
衡によって補償され、その際反対方向に動く質量の運動
は振動運動に対して１８０°だけ位相がずれている。音
波対物レンズのＸ方向の一歩宛の運動のためには、外部
振動子系としてばね平行四辺形振動子が用いられている
。双方の振動子系を駆動するのはボイスコイル振動子に
よって行われ、その際、内部振動子系の運動が方向変換
する間に正確な量だけ移動させなければならない大なる
質量のため、外部振動子系にはそれに対応する強力な振
動子又は２個の振動子が使用されている。駆動系を操作
するため発光ダイオードおよびフォト差動ダイオードが
用いられる。これら振動子装置を用いて、一方では操作
装置と結合している測定系により、運動の大きさが大な
る精度で変化させられ、他方では振動運動の運動方向が
変換される間に１歩宛の運動が実施される。

（ｂ）　回転盤の収容装置の中に、相異なる振動数の音
波対物レンズを有する音波顕微鏡装置の２つのヘッドが
挿入されたとすれば、本発明の装置を用いて、大なる解
像力を有するが侵入の深さが少ない音波顕微鏡の像と小
なる解像力を有するが侵入の深さが大なる音波顕微鏡の
像とを速く交換することが可能である。この際この交換
は±５μｍの位置決め精度で実施可能であることが示さ
れており、そのことにより試験と評価は事実上正確に同
し対象物細部の所で行われる。製造公差が比較的僅かで
ある場合には、音波対物レンズの交換は、同じｘ−ｙ振
動子を用いて、直接行われることも可能である。

３）光学顕微鏡による試験と音波顕微鏡による試験を同
時的に行うこと （ａｌ　この同時試験は、回転盤の収容装置に音波顕微
鏡装置の頭部が挿入されそして倒立構造の光学顕微鏡が
対象物面の下部の支柱に設けられた案内装置に取付けら
れた時に実施可能である。試験されるべき対象物はその
際対象物収容装置に配置されそしてこの収容装置のｘ−
ｙ変位装置によって位置決めされる。試験が行われてい
る間対象レンズ収容装置と対象物とは共に動かされない
で静止しており、この際対象物は音波対物レンズによっ
てすでに前述した態様で網目状に走査される。

対象物の表面の下方を音波的に試験するため侵入の深さ
を精密に調節するため移動部材の微動装置が用いられる
。その際光学顕微鏡による試験は落射照明によって行わ
れ、そのＰｉ　１　ａ　）項において記載した結像過程
のすべてが可能である。

（ｂｌ　必要な場合には光学顕微鏡も回転盤の一つの収
容装置に挿入されそして音波顕微鏡装置の頭部が支柱の
案内装置に配置可能であることは明らかである。

４、その他の変形 （ａ）２つの音波顕微鏡装置の頭部を同時に使用するこ
とは透過法による試験を可能ならしめる。

対象物の一方の側面に配置された装置の頭部はこの際超
音波用発信器として作用し、そして反対側の側面に配置
された装置の頭部は受信器として使用され、その際双方
のｘ−ｙ振動子は同期的に動かされる。

Ｔｂ１３ａ）項および　ｂ）項に記載した光学結像系の
代わりにレーザーパルス装置も使用可能であり、そのこ
とにより光学・音波による試験（ｐｈｏｔｏａｋｕｓｔ
ｉｓｃｈｅ　Ｕｎｔｅｒｓｕｃｈｕｎｇ）が実施可能で
ある（欧州特許第００１２２６２号公報）。レーザー装
置は支柱の案内装置に取付けられるか又は、倒立構造の
顕微鏡を使用する場合にはその顕微鏡の鏡筒収容装置に
配置されることが可能である。何れの場合にもレーザー
光線の光源は動かず、そしてレーザー光線による網目状
の走査は、例えば走査ミラーき如き、方向変換要素によ
って行われ、このミラーの運動はｘ−ｙ振動子の運動と
同期している。

この際、音波の信号が対象物細部から得られた瞬間に、
その都度この細部はレーザーパルスによって照射されて
いる。個々の方法によって得られた顕微鏡による像を表
現し図に示すための公知の手段として、残光スクリーン
を有するオッシログラフ表示系並びにアナログ的又はデ
ジタル的な像記憶装置が結合している通常のテレビモニ
ターが使用される。

本発明のその他の詳細は、添付図に略図によって示され
ている若干の実施例を説明する次の記述によって明らか
にされる。

第１および２図に示した実施例において基板１０の上に
、０字系の２個の要素から成立っている柱体１１および
対象物収容装置１２が取付けられている。柱体１１は垂
直に動くことが可能な移動部材１３のための案内を形成
し、この移動部材は後で詳細が記述されている構成要素
を用いて回転盤１４を担持し、この回転盤の平面は基板
１０に対して平行になっている。回転盤１４には、それ
ぞれ９０°だけずれた停止位置に、種々異なる顕微鏡試
験用装置を取付けるための収容装置１５（唯１個のみ図
示）が設けられており、その際これら試験用装置の観察
軸１６，１６”は平行でありそして回転１）ｉ１４の回
転軸１７から等距離に位置する。この実施例では収容装
置１５に、落射光線顕微鏡による試験のための光学顕微
鏡装置１８および使用位置外に旋回させられた音波顕微
鏡装置１９が、反射する超音波を用いて、引続いて次に
観察するために取付けられている。光学顕微鏡装置１Ｂ
は主として双眼接眼鏡筒２０並びに対物レンズレボルバ
−２１に取付けられた１つの対物レンズ２２を包含しそ
してそれ自体公知のものであり、従って詳細な記述は無
用である。暗示的に示された音波対物レンズ２３を有す
る全体が示されている音波顕微鏡装置１９についても同
様であり、この際この装置は重要な構成部材として振動
子とそれの駆動装置とを包含しそして対物レンズ２３は
同時に超音波送信器および受信器としての役目を果たし
ている。

対象物収容装置１２は担持枠２４上に配置され、この担
持枠は基板１０上に取付けられておりそして対象物２５
を収容しそしてｘ−ｙ座標上で位置決めするのに役立っ
ている。試験問題によっては対象物収容装置１２として
種々異なるそれ自体公知の載物机、例えば標準机又は回
転−および心出し可能で座標と角度値記憶装置を備え並
びに加熱戴物机のための収容穿孔を備えた十字動載物机
が用いられることが可能であり、その際載物机６駆動は
モーター又は手動により行われることが可能になってい
る。

第３図に示されている実施例は、第１および２図に示さ
れた実施例とは、主として、双眼接眼鏡筒２０′を有す
る光学顕微鏡装置の配置によって区別され、この顕Ｉｋ
鏡装置は倒立顕微鏡として基板１０に取付けられている
支柱２６に収容されそして案内２７の中で、この図には
示されていない粗動・微動調節装置により、上下に移動
可能になっている。対物レンズ２２゛を有する対物レン
ズレボルバ−２１゛は、対象物収容装置１２の下部の、
担持枠２４の内部の自由空間に存在している観察軸１６
゛には公知の態様で反射鏡２Ｂが配置されている。この
場合、回転盤１４の１つの収容装置１５にはコンデンサ
ー３０を有する照明装置２９が取付けられ、一方、別の
収容装置１５゛　に取付けられている音波顕微鏡装置１
９は使用位置外に旋回させられている。この配置によっ
て光学顕微鏡による試験が落射照明によっても透過照明
によっても可能であり、並びにそれに引続いて音波顕微
鏡による観察が可能になっている。

第４図に示されている実施例では、光学顕微鏡装置１８
゛　は前同様に倒立顕微鏡から成立っている。音波顕微
鏡による試験を同時に実施するため、すでに前述した様
に、対象物２５をｘ−ｙ方向に対物レンズ２３で走査す
るための、この図には表現されていない駆動装置を備え
た音波顕微鏡装置１９が使用位置の所に旋回させられそ
して対象物の反対側の面の上方に配置される。

第５図に示されている配置により光・音波的試験（ｐｈ
ｏｔｏａｋｕｓｔｉｓｃｈｅ　Ｕｎｔｅｒｓｕｃｈｕｎ
ｇ）が実施可能になっている。倒立顕微鏡の形の光学顕
微鏡装置１８°の代わりに、この実施例では支柱２６に
レーザー装置３１が上下に調節可能な如く配置され、そ
の際音波顕微鏡装置１９がレーザー装置に向き合って同
時に駆動位置に存在しているレーザー装置３１から放射
される脈動するレーザー光線は走査鏡３２によって対象
物２５の下側の面上に向かって反射され、その際走査鏡
３２は、音波顕微鏡装置１９の中の振動子の運動と同期
させられて動き、斯くしてレーザー装置３１が固定され
ている場合でも対象物２５はレーザーパルスによって網
目状に走査される。　第６図において断面図で示されて
いる配置では、基板の上面に取付られている柱体１１を
有する基板１ｏが再度示されており、この柱体の中で移
動部材１３が垂直に導かれている。案内装置としては遊
隙を避けるため予備緊張させられた球軸承４０が用いら
れている。移動部材１３の上には、１つのフランジ４１
が、軸方向軸承４２、円錐ローラー軸承４３並びに締め
付はリング４４を用いて回転可能に取付けられている。

フランジ４１は、この図には示されていない顕微鏡試験
装置を有する回転盤１４の収容装置１５゜１５°　と、
例えばねし止めにより固く結合されそして、下方に向か
って延長している円筒形の管部４５を有している。此の
管部は１つの連行ピン４６および１つの球軸承４７を用
いて軸承リング４日と回転不可能に結合されている。球
軸承４７は支えリング４９によって担持されている。軸
承リング４８には支えピン５０が挿入されており、これ
らの支えピンによって軸承リング４８は皿５１上に載せ
られている。皿５１には垂直な阻止ピン５２が挿入され
ており、これらの阻止ピンの上方部分は軸承リング４８
の中に導入されている。別の長いピン５３は移動部材１
３と皿５１との間に挿入されておりそして皿５１の周縁
部分を貫通している。

皿５１は下方に向かって延長している円筒状の突出部５
４を有し、この突出部は外側ねじ５５並びに上方部分に
内側ねじ５７を有する中心部の孔５６を有している。孔
５６の中には雄ねじ軸５８が導入されそして内側ねじの
中で垂直方向に変位可能になっている。雄ねじ軸５８の
上端は、皿５１の中心のリング状の切欠き部分５９から
突出しそして支えリング４９の板面に接触している。雄
ねじ軸５８の内部には六角形の棒６０が同軸的に配置さ
れている。この棒は基板１０を貫通して下方に導かれそ
してこの図には詳細に示されていない態様でモーターに
より又は手動によっても駆動雄ねじ棒５８の円筒状延長
部分がフランジの中心軸６１としてフランジ４１を貫通
し、この延長部分の下端は支えリング４９に支承されそ
して上端はフランジ４１に支承されそし２つのロックナ
ツト６２によってフランジに保持されている。

突出部５４の外側ねじ５５にはウオームホイール６３が
嵌り、このウオームホイールはウォ−ムロ４によって球
軸承Ｇ５を介して回転可能な如く軸承要素６６に取付ら
れていおり、斯くして皿５１を担持している。突出部５
４の下端にはねしリング６７が取付けられている。

軸承要素６６には上部球軸承７ｏが取付けられており、
これらの球軸承の外側のリングは、僅かに楔状に形成さ
れている移動要素７１上に載っており、この移動要素は
他方では下部球軸承７２上に支えられておりそしてその
ことにより、この図には示されていない駆動装置を用い
て外部から水平に移動可能になっている。支承要素６６
の一端は板ばね平行四辺形７３に固定されそして案内さ
れており、この平行四辺形の他端は中間板７４を用いて
基板１０に取付られた垂寧な担持体７５上に保持されて
いる。移動要素７１が遊隙なしに運動させられるため、
この移動要素には引張りばね７６が取付けられ、ばねの
他端は担持体７５にかけられている。移動要素７１を直
線状に導くのは、この移動要素の内部に挿入された案内
ピン７７によって行われ、この案内ピンの他端は担持体
７５に固定されている。

柱体の配置の機能態様を次に述べるに当たって、回転盤
１４が第６図に示されている作動位置にある所から出発
しよう。この位置においては回転盤１４の旋回運動は不
可能になっている。何故ならば一方では軸承リング４８
は、連行ピン４６によりフランジ４１と相互、回転不可
能に結合されておりそして他方では軸承リング４８は垂
直な阻止ピン５２によって回転を阻止されているからで
ある。

この様、にして回転盤１４の旋回により対物レンズと対
象物との接触又はこれらの破壊が確実に阻止される。こ
の作動位置においては配置の粗動調節も微動調節も行わ
れるが、このことに関しては後述する。

回転盤１４をそれぞれ９０”だけずれている停止位置に
旋回させるための垂直方向のす速い変位は、六角形の棒
６０を駆動することにより行われ、そのことにより孔５
６の中の雄ねじ軸５８は円筒形の突出部５４の内側ねじ
５７の中で上方に向ってねじ回される。その際球軸承４
７を担持する支えリング４９は、連行ピン４６を有する
軸承リング４８、締め付リング４４、軸方向軸承および
円錐ローラー軸承４２．４３を有するフランジ４１およ
びこれらと共に移動部材１３および回転Ｊｕ１４を持ち
上げる。軸承リング４８の下の縁が阻止ピン５２の上端
を超えた位置にきた時開放位置に到達し、それから雄ね
じ軸５８並びに上記した構成部材の上方に向う運動は突
出部５４の孔５６の内部にある内部衝当て７８によって
制限される。

この位置では回転盤１４は、移動部材１３の内部のフラ
ンジ４１の中心軸、軸方向軸承４２および円錐ローラー
軸′承４３の中心軸６１のまわりに、９０°宛ずれた停
止位置に旋回可能であり、この際移動部材１３と皿５１
との間の回転阻止は、双方の間に配置されている長いピ
ン５３によって維持されている。

回転盤１４の下向きの運、動はこの際停止位置において
のみ可能である。何故ならば、中間位置においては軸承
リング４８の下側が阻止ピン５２に衝当たりそしてこの
部材の下方に向う運動を阻止しているからである。回転
盤１４の新らしい停止位置に到達した後で、六角形の棒
６０を反対向きに駆動することによって、回転ｆｆ１１
４は、構成部材（１３および４ｌ−４９）と共に下に降
ろされ、その際阻止ピン２５は軸承リング４日を再び収
容しそして前述した状態に再び戻る。その際この降下運
動の下方の衝当ては支えピン５０によって形成されてお
り、これらの支えピンは皿５１に衝当る。

予備的焦点合わせのための粗動調節は停止位置において
ウオーム６４を作動させることで行われ、外側に導き出
されている、それ自体公知であり従ってこの図には示さ
れていないウオームの駆動装置は手動又はモーターによ
って駆動可能になっている。ウオーム６４を作動させる
こと嵯よって支承要＠６６の内部に固定されているウオ
ームホイール６３は球軸承６５を介して回転させられそ
して突出部５４の外側ねじ５５に嵌合することによって
移動部材１３の内部で１５１を垂直方向に動かす。皿５
１はこの運動を支えピン５０を介して軸承リング４８、
フランジ４１並びに回転盤１４に伝え、斯くして８４に
鏡試験装置に伝える。図示の実施例では垂直方向の粗動
調節行程は４０龍になっている。この行程はねじリング
６７とウオームホイール６３の衝当て面としての下端の
面で制限される。

微動調節のためには、この図には示されそいない駆動装
置、例えば雄ねじ棒とナツトを用いて、僅かに楔状にな
っている移動゛要素７１が、軸承要素６６に取付けられ
ている上部球軸承７０と板７９上に配置されている下部
球軸承７２との間を水平方向に移動させられ、この際、
板７９は基板１０の上に取付られている。移動要素が遊
隙なく運動するため引張ばね７９が用いられ、そして移
動要素を直線状に案内するため案内ピン７７が用いられ
ている＝移動要素７１が水平方向に運動することにより
軸承要素６６が垂直方向に動き、この軸承要素は板ばね
平行四辺形７３に結合している。

軸承要素６６の運動は再び皿５１および軸承リング４８
を介してフランジ４１並びに回転１１１４に、粗動調節
の場合と同様に伝えられる。微動調節は、上方において
は、軸承要素６６に取付けられた衝当て細条８０．と覆
い板８１とにより制限される。

この覆い板は収容板８２の上端に固定されており、この
収容板の１つの開口８３を通って微動調節のための駆動
装置が外部に導き出されている。この微動調節はこの際
、±０．１論の行程を持ち０゜１μ貫を分解する。

上記した粗動・微動調節装置はまだ対象物収容袋Ｎ１′
２の下側に付設され支柱２６の案内に取付られた顕微鏡
試験装置の垂直方向の運動にも使用可能である。別々な
軸上に設けられている上記粗動・微動調節装置の代わり
に、特に手動調節の場合に、２つの粗動・微動調節装置
を共通な１つの軸上にそれ自体公知の如き態様で設ける
ことも可能である。さらに進んで自動化の場合そして特
にモーターによる装置の調節が行われる場合には、上記
した様な衝当ての代わりに端末スイッチが使用可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は光学顕微鏡を用いる試験と音波顕微鏡を用いる
試験とを相前後して実施するための本発明による装置の
第一の実施例の側面略図、第２図は第１図の装置の平面
図、第３図は倒立顕微鏡を使用した本発明の第１図に示
した装置の別の実施例、第４図は光学顕ｗＩ鏡を用いる
試験と音波顕微鏡とを用いる試験とを同時に実施する本
発明の装置の第三の実施例の側面略図、第５図はレーザ
ー装置を用いた第四の実施例、第６図は本発明による装
置の焦点調節装置の機械的構造の原理を示す断面図であ
る。 １０・・・基板　１１・・・柱体 １２・・・対象物収容装置　１３・・・移動部材１４・
・・回転ｉ　１５，１５’　・・・収容装置１６．１６
”・・・観察軸　１７・・・回転軸１８．１８’　・・
・光学顕微鏡装置 １９・・・音波顕微鏡装置　２５・・・対象物２６・・
・支柱　２７・・・案内 ２９・・・照明装置　３１・・・レーザー装置４１・・
・フランジ　４８・・・軸承リング４９・・・支えリン
グ　５１・・・血 ５４・・・突出部　５５・・・外側ねし５８・・・雄ね
じ軸　６１・・・中心軸６３・・・ウオームホイール ６４・・・ウオーム　６６・・・軸承要素７０・・・球
軸承　７１・・・移動要素７２・・・球軸承　７３・・
・坂ばね平行四辺形７５・・・担持体　７９・・・板

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）１つの対象物に関して互に相補的な若干の顕微鏡
   的試験を実施するための方法において、対応する数の放
   射線源を用いて、相異なる種類又は相異なる振動数の少
   くとも２つの放射線が発生させ、同時に又は相前後して
   対象物上に焦点を結ばせそして確立された手段によって
   目視可能に表現し、その際動かない対象物は、相互に直
   交する２つの方向に網目状に走査されそして走査のため
   １つの種類の放射線の放射線源だけが動かされることを
   特徴とする方法。 （２）同じ対象物細部を相前後して試験するため、対象
   物の同一側で焦点調整をしそして引続いて落射照明試験
   を行うため光線投射し、並びに音波を投射し、その際音
   波は対象物細部を相互に直交する２つの方向に走専する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 （３）　同一の対象物細部を相前後して試験するため、
   対象物の反対側の側面で焦点調整をするためそして引続
   いて透過照明試験のために光線を投射し並びに音波を投
   射り、＋の際音波は対象物細部を相互に直交する２つの
   方向に走査することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   記載の方法。 （４）相異存る振動数の２つの音波を対象物の同じ側に
   投射し、これらの音波により対象物が走査されることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 （５）　同一の対象物細部を同時に試験するため、１つ
   の光線と１つの音波とを、対、象物の互に反対側の側面
   に投射し、その際音波は対象物細部を相互に直交する２
   つの方向に走査することを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の方法。 （６）　同一の対象物細部を同時に試験するため、１つ
   のレーザー光線と１つの音波とを、対象物の互に反対側
   の側面に投射し、その際音波は直接に対象物細部を、そ
   してレーザー光線は反射した後に音波と同期的に対象物
   細部を、相互に直交する２つの方向に走査することを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の方法。 （７）１つの基板（１０）上に垂直に１つの柱体（１１
   ）が固定されており、該柱体は高さを調節可能な回転盤
   （１４）を担持し、この回転盤の平面は基板（１０）に
   平行になっており、そしてこの回転盤は、複数の異なる
   顕微鏡的試験装置のための収容装置（１５，１５″）を
   少くとも２つをし、前記試験装置の観察軸（１６，１６
   ’　）は平行で回転盤（１４）の回転軸（１７）に対し
   て等しい距離に位置していることと、基板（１０）上の
   観察軸（１６，１６’）が旋回移動する範囲に基板から
   距離を隔てて対象物収容装置（１２）が設けられている
   ことと、および回転盤（１４）は停止位置を有しており
   、これらの停止位置では旋回してその位置に置かれた試
   験装置の観察軸（１６，１６’）がその都度、対象物収
   容装置（１２）に対して同じ位置にあることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項乃至第６項に記載の方法を実施
   するための装置。 （８）　柱体（１１）は２つのＵ字形の要素から成り、
   これらの要素の間には、粗動・微動調節によって垂直方
   向に動くことが可能な、回転盤（１４）を担持している
   摺動部材（１３）が配置され、この摺動部材は、予備緊
   張されている球軸承（４０）により、Ｕ字形要素と連結
   していることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の
   装置。 （９）　回転盤（１４）は摺動部材（１３）に回転可能
   に支承されそしてロックされた作業位置から摺動部材（
   １３）と−緒に、そして摺動部材の粗動・微動関節とは
   無関係に急速位置調節することによってロックが解除さ
   れることを特徴とする特許請求の範囲第８項記載の装置
   。 ａ（Ｉｌ　基板（１０）上に、少なくとも１つの別の顕
   微鏡的試験装置を固定するための高さが調節可能な案内
   装置（２７）を有する１つの支柱（２６）が取付けられ
   、この装置は対象物収容装置（１２）の下側に付設され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の装
   置。 （１１）高さが調節可能な案内装置（２７）には照明装
   置（２９）と、レーザー装置（３１）と、音−波Ｒ微鏡
   装置（１９）又は光学顕微鏡装置（１８′）とが倒立光
   学顕Ｉｋ鏡を形成し才取付は可能になっていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１０項記載の装置。 （１２）回転盤（１４）の収容装置（１５，１５’）に
   光学顕微鏡装置（１８）と、照明装置（２９）と、レー
   ザー装置（３１）又は音波顕微鏡装置（１９）とが挿入
   可能であり、その際音波顕微鏡装置には対象物（２５）
   を直線状に走査するための駆動装置が連結していること
   を特徴とする特許請求の範囲第７項から第１１項までの
   うちのいずれか一つに記載の装置。 （１３）摺動部材（１３）上では回転ｆｆ１（１４）と
   固く結合したフランジ（４１）が、支えリング（４９）
   の上の前記フランジと相互回転不可能に結合されている
   軸承リング（４８）と−緒に、停止位置から持上げられ
   た後で中心軸（６１）のまわりに回転可能になっている
   ことと、軸承リング（４８）は停止位置において皿（５
   １）上に相互回転不可能に載っており、この皿は、中心
   軸（６１）に対して同心的に延在するスピンドル（５８
   ）の高さ調節のための垂直突出部（５４）を有し、前記
   スピンドルの上端は支えリング（４９）を支えているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第８項から第１２項まで
   のうちのいずれか一つに記載の装置。 （１４）皿（５１）の突出部（５４）は雄ねじ（５５）
   を備えており、該雄ねしには、ウオーム（６４）により
   回転可能な如く軸承要素（６６）に固定されているウオ
   ームホイール（６３）が嵌っていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１３項記載の装置。 （１５）微動調節のため、（さび状に形成された摺動要
   素（７１）が、軸承要素（６６）に取付けられた上部球
   軸承（７０）と下部球軸承（７２）の間で水平に移動可
   能な如く案内されており、その際下部球軸承は基板（１
   ０）に固定されている板（７９）に配置されておりそし
   て軸承要素（６Ｇ）は扱ばね平行四辺形（７３）の一端
   に保持されており、板ばね平行四辺形の別の端は基板（
   １０）に取付けられた担持体（７５）に結合されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第７項から第１４項ま
   でのうちのいずれか一つに記載の装置。