JPH04213404A - 光照射装置 - Google Patents
光照射装置Info
- Publication number
- JPH04213404A JPH04213404A JP41381390A JP41381390A JPH04213404A JP H04213404 A JPH04213404 A JP H04213404A JP 41381390 A JP41381390 A JP 41381390A JP 41381390 A JP41381390 A JP 41381390A JP H04213404 A JPH04213404 A JP H04213404A
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- JP
- Japan
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- sample
- lens
- optical
- barrel
- lens barrel
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- Pending
Links
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 claims description 10
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 4
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は顕微鏡システムを用いた
、レーザ光を鏡筒をとおし電子材料等に照射しミクロス
コピックな品質を評価する装置等において、材料の厚み
等の変化に応じて鏡筒の高さ調節をともなう顕微鏡の焦
点調整を行う際、レーザ光の顕微鏡への入射位置の光軸
調整をあらかじめ行っておけば評価のたび毎に光軸の調
整を必要とせずに容易に行える光照射装置に関するもの
である。
、レーザ光を鏡筒をとおし電子材料等に照射しミクロス
コピックな品質を評価する装置等において、材料の厚み
等の変化に応じて鏡筒の高さ調節をともなう顕微鏡の焦
点調整を行う際、レーザ光の顕微鏡への入射位置の光軸
調整をあらかじめ行っておけば評価のたび毎に光軸の調
整を必要とせずに容易に行える光照射装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】電子材料等の試料を顕微鏡の対物レンズ
の下に置き、レーザ光を鏡筒の途中から鏡筒をとおし材
料に照射しフォトルミネッセンス測定等を行うため試料
の厚みに応じて焦点合わせを行おうとすると、（ａ）レ
ーザ発振器からの光を鏡筒へ導くためのミラーやプリズ
ムを鏡筒の動きにともない動かし調整するか、（ｂ）小
さいレーザ発振器をもちいて鏡筒の上下の動きに連動し
た台に固定するか、（ｃ）鏡筒を固定し試料台を上下す
る等の方法が取られてきた。しかし、（ａ）の方法は入
射レーザ光のスポットサイズ、位置調整のために試料の
交換ごとにミラーやプリズムの調整が必要で面倒かつ時
間がかかる、（ｂ）の方法は重量のある大きいレーザを
使いにくいため照射パワー等がとれない、（ｃ）の方法
は試料台の上に例えばクライオスタット（試料冷却容器
）のように重量のあるものを設置しているため焦点合わ
せをしにくい、等の欠点があった。
の下に置き、レーザ光を鏡筒の途中から鏡筒をとおし材
料に照射しフォトルミネッセンス測定等を行うため試料
の厚みに応じて焦点合わせを行おうとすると、（ａ）レ
ーザ発振器からの光を鏡筒へ導くためのミラーやプリズ
ムを鏡筒の動きにともない動かし調整するか、（ｂ）小
さいレーザ発振器をもちいて鏡筒の上下の動きに連動し
た台に固定するか、（ｃ）鏡筒を固定し試料台を上下す
る等の方法が取られてきた。しかし、（ａ）の方法は入
射レーザ光のスポットサイズ、位置調整のために試料の
交換ごとにミラーやプリズムの調整が必要で面倒かつ時
間がかかる、（ｂ）の方法は重量のある大きいレーザを
使いにくいため照射パワー等がとれない、（ｃ）の方法
は試料台の上に例えばクライオスタット（試料冷却容器
）のように重量のあるものを設置しているため焦点合わ
せをしにくい、等の欠点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
材料等の品質を顕微鏡システムを用い、レーザ光を鏡筒
をとおし材料に照射しフォトルミネッセンス等の評価す
る場合に、鏡筒の上下の動きに連動した台に固定できな
い大きいレーザを用いても、また試料台の上にクライオ
スタットのような重量のあるものを置いても入射レーザ
光のスポットサイズ、位置調整を伴う焦点合わせが容易
な光照射装置を提供することである。
材料等の品質を顕微鏡システムを用い、レーザ光を鏡筒
をとおし材料に照射しフォトルミネッセンス等の評価す
る場合に、鏡筒の上下の動きに連動した台に固定できな
い大きいレーザを用いても、また試料台の上にクライオ
スタットのような重量のあるものを置いても入射レーザ
光のスポットサイズ、位置調整を伴う焦点合わせが容易
な光照射装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の、本発明では、顕微鏡システムにおいて、レーザ光を
顕微鏡システムに導入するための光ファイバと、顕微鏡
の鏡筒の動きに連動しうる導入光学系とを設けるように
している。
の、本発明では、顕微鏡システムにおいて、レーザ光を
顕微鏡システムに導入するための光ファイバと、顕微鏡
の鏡筒の動きに連動しうる導入光学系とを設けるように
している。
【０００５】
【作用】本発明は、顕微鏡を通して試料表面の像を見る
際の焦点合わせを行うため鏡筒の上下を行っても、レー
ザ発振器からの光を光ファイバを使い鏡筒に連動してい
る光学系によって導入しているため、試料の像と試料上
でのレーザ光スポット径の焦点、位置に関する相互関係
が変化せず容易に調整ができるものである。
際の焦点合わせを行うため鏡筒の上下を行っても、レー
ザ発振器からの光を光ファイバを使い鏡筒に連動してい
る光学系によって導入しているため、試料の像と試料上
でのレーザ光スポット径の焦点、位置に関する相互関係
が変化せず容易に調整ができるものである。
【０００６】
【実施例】［実施例１］
【０００７】以下、本発明の実施例に従って説明する。
第１図は本発明に係わる一実施例を示したフォトルミネ
ッセンスによる材料の光学的評価装置の概略図を示した
ものである。同図に示すように大きなレーザ発振器１か
ら顕微鏡の鏡筒１１へのレーザ光の導入を光ファイバ２
および鏡筒動きに連動した光学台４上の光学レンズ５お
よび６をとおして行っている。そのため接眼レンズ１２
で試料９の像が鮮明に見える鏡筒１１位置でレーザ光の
視野の中央で所定の大きさにスポットを結ぶようにファ
イバ支持台３およびレンズ５および６の位置を始めに調
節しておけば、試料９の厚みまたは位置が変化しても、
つねに接眼レンズで見た試料９の像の焦点あわせだけ鏡
筒を動かしさえすれば自動的に一定のレーザ光スポット
条件で試料に照射できる。この場合、試料の冷却容器す
なわちクライオスタット８の重量が大きいために、水平
方向のＸＹ移動台７を上下方向に動かし鏡筒１１を固定
して焦点を調節するのは簡単ではない。なお、第１図に
おいてはフォトルミネッセンス信号の取り出しのため、
レンズ１４を用いてもうひとつの光ファイバ１５にいれ
その光ファイバ１５をとおして大きな分光器をともなう
光検出器１６に信号を導入し、鏡筒１１の上下により信
号取り出し側の光軸調整も行う必要がないようにしてあ
る。
ッセンスによる材料の光学的評価装置の概略図を示した
ものである。同図に示すように大きなレーザ発振器１か
ら顕微鏡の鏡筒１１へのレーザ光の導入を光ファイバ２
および鏡筒動きに連動した光学台４上の光学レンズ５お
よび６をとおして行っている。そのため接眼レンズ１２
で試料９の像が鮮明に見える鏡筒１１位置でレーザ光の
視野の中央で所定の大きさにスポットを結ぶようにファ
イバ支持台３およびレンズ５および６の位置を始めに調
節しておけば、試料９の厚みまたは位置が変化しても、
つねに接眼レンズで見た試料９の像の焦点あわせだけ鏡
筒を動かしさえすれば自動的に一定のレーザ光スポット
条件で試料に照射できる。この場合、試料の冷却容器す
なわちクライオスタット８の重量が大きいために、水平
方向のＸＹ移動台７を上下方向に動かし鏡筒１１を固定
して焦点を調節するのは簡単ではない。なお、第１図に
おいてはフォトルミネッセンス信号の取り出しのため、
レンズ１４を用いてもうひとつの光ファイバ１５にいれ
その光ファイバ１５をとおして大きな分光器をともなう
光検出器１６に信号を導入し、鏡筒１１の上下により信
号取り出し側の光軸調整も行う必要がないようにしてあ
る。
【０００８】［実施例２］
【０００９】第２図は本発明に係わる一実施例を示した
レーザ光による光誘起電流およびフォトキャパシタンス
法による材料の光学的評価装置の概略図を示したもので
ある。実施例１との相違点はフォトルミネッセンス信号
の取り出しの光学系がないかわりに、試料９´からの電
気信号取出し線１７があることである。図で取出し線１
７につながる電流計、キャパシタンスメータ、またレー
ザ光のシャッタ等は省略してある。実施例１と同様、接
眼レンズ１２で試料９の像が鮮明に見える鏡筒１１位置
でレーザ光が視野の中央で所定の大きさにスポットを結
ぶようにファイバ支持台３およびレンズ５および６の位
置を始めに調節しておけば、試料９´の厚みまたは位置
が変化してもつねに鏡筒１１を動かし接眼レンズで見た
試料９´の像の焦点あわせだけ行うことにより自動的に
一定のレーザ光スポット条件で試料に照射できる。した
がって、大きいレーザを用い、試料台の上にクライオス
タットのような重量物を置いても焦点合わせが容易にで
ある。
レーザ光による光誘起電流およびフォトキャパシタンス
法による材料の光学的評価装置の概略図を示したもので
ある。実施例１との相違点はフォトルミネッセンス信号
の取り出しの光学系がないかわりに、試料９´からの電
気信号取出し線１７があることである。図で取出し線１
７につながる電流計、キャパシタンスメータ、またレー
ザ光のシャッタ等は省略してある。実施例１と同様、接
眼レンズ１２で試料９の像が鮮明に見える鏡筒１１位置
でレーザ光が視野の中央で所定の大きさにスポットを結
ぶようにファイバ支持台３およびレンズ５および６の位
置を始めに調節しておけば、試料９´の厚みまたは位置
が変化してもつねに鏡筒１１を動かし接眼レンズで見た
試料９´の像の焦点あわせだけ行うことにより自動的に
一定のレーザ光スポット条件で試料に照射できる。した
がって、大きいレーザを用い、試料台の上にクライオス
タットのような重量物を置いても焦点合わせが容易にで
ある。
【００１０】上記実施例の図では光学台４が鏡筒１１に
固定されているように描かれているが、固定されていな
くても光学台４の動き即ちレーザ光導入系の動きが鏡筒
１１の動きに連動できるようになっていればよい。
固定されているように描かれているが、固定されていな
くても光学台４の動き即ちレーザ光導入系の動きが鏡筒
１１の動きに連動できるようになっていればよい。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は顕微鏡シ
ステムを用いレーザ光を鏡筒をとおし材料に照射しフォ
トルミネッセンス等の評価する場合に、鏡筒の上下の動
きに連動した台に固定できない大きいレーザを用いても
、また試料台の上にクライオスタットのような重量のあ
るものを置いても、光ファイバを用いてレーザ光を導入
しまたそれとともに光ファイバを用いてフォトルミネッ
センス等の光信号をとりだしているので、入射レーザ光
のスポットサイズ、位置調整を伴う焦点合わせが従来の
ミラー等を用いた装置より容易になっている。
ステムを用いレーザ光を鏡筒をとおし材料に照射しフォ
トルミネッセンス等の評価する場合に、鏡筒の上下の動
きに連動した台に固定できない大きいレーザを用いても
、また試料台の上にクライオスタットのような重量のあ
るものを置いても、光ファイバを用いてレーザ光を導入
しまたそれとともに光ファイバを用いてフォトルミネッ
センス等の光信号をとりだしているので、入射レーザ光
のスポットサイズ、位置調整を伴う焦点合わせが従来の
ミラー等を用いた装置より容易になっている。
【図１】本発明に係わる一実施例を示したフォトルミネ
ッセンスによる材料の光学的評価装置の概略図である。
ッセンスによる材料の光学的評価装置の概略図である。
【図２】本発明に係わる一実施例を示したレーザ光によ
る光誘起電流およびフォトキャパシタンス法による材料
の光学的評価装置の概略図を示したものである。
る光誘起電流およびフォトキャパシタンス法による材料
の光学的評価装置の概略図を示したものである。
１ レーザ発振器
２ 光ファイバ
３ ファイバ支持台
４ 光学台
５ 光学レンズ
６ 光学レンズ
７ 水平方向ＸＹ移動台
８ クライオスタット
９ 試料
９’ 試料
１０ 対物レンズ
１１ 鏡筒
１２ 接眼レンズ、
１３ ダイクロイックミラー
１４ 光学レンズ
１５ 光ファイバ
１６ 分光器をともなう光検出器
１７ 電気信号取出し線
Claims (3)
- 【請求項１】 顕微鏡システムにおいて、レーザ光を
顕微鏡システムに導入するための光ファイバと、顕微鏡
の鏡筒の動きに連動しうる導入光学系とを有す光照射装
置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記顕微鏡システ
ムが顕微フォトルミネッセンス測定装置であることを特
徴とする光照射装置。 - 【請求項３】 請求項２において、前記顕微鏡からの
フォトルミネッセンス信号の取り出しも光ファイバを用
いることを特徴とする光照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41381390A JPH04213404A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41381390A JPH04213404A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04213404A true JPH04213404A (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=18522377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP41381390A Pending JPH04213404A (ja) | 1990-12-10 | 1990-12-10 | 光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04213404A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5920425A (en) * | 1995-09-22 | 1999-07-06 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Internal lighting device for a video microscope system |
| US6219181B1 (en) * | 1997-06-09 | 2001-04-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Monitor-aided microscope |
| JP2001272606A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 照明光学系及び照明光学系を備えた顕微鏡 |
| KR100602915B1 (ko) * | 2004-07-03 | 2006-07-19 | 한국과학기술원 | 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점장치 및 방법 |
| CN106662735A (zh) * | 2014-07-29 | 2017-05-10 | 徕卡显微系统有限公司 | 用于冷冻显微术的带有样本台的光学显微镜 |
-
1990
- 1990-12-10 JP JP41381390A patent/JPH04213404A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5920425A (en) * | 1995-09-22 | 1999-07-06 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Internal lighting device for a video microscope system |
| US6219181B1 (en) * | 1997-06-09 | 2001-04-17 | Olympus Optical Co., Ltd. | Monitor-aided microscope |
| JP2001272606A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 照明光学系及び照明光学系を備えた顕微鏡 |
| JP4671463B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2011-04-20 | オリンパス株式会社 | 照明光学系及び照明光学系を備えた顕微鏡 |
| KR100602915B1 (ko) * | 2004-07-03 | 2006-07-19 | 한국과학기술원 | 공초점 원리를 이용한 현미경 자동초점장치 및 방법 |
| CN106662735A (zh) * | 2014-07-29 | 2017-05-10 | 徕卡显微系统有限公司 | 用于冷冻显微术的带有样本台的光学显微镜 |
| JP2017522607A (ja) * | 2014-07-29 | 2017-08-10 | ライカ ミクロジュステーメ ゲーエムベーハー | クライオ顕微鏡法用の試料ステージを備えた光学顕微鏡 |
| US10901196B2 (en) | 2014-07-29 | 2021-01-26 | Leica Mikrosysteme Gmbh | Light microscope having a sample stage for cryomicroscopy |
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