JPS609336B2 - 厚膜磁器コンデンサの製造法 - Google Patents
厚膜磁器コンデンサの製造法Info
- Publication number
- JPS609336B2 JPS609336B2 JP48103526A JP10352673A JPS609336B2 JP S609336 B2 JPS609336 B2 JP S609336B2 JP 48103526 A JP48103526 A JP 48103526A JP 10352673 A JP10352673 A JP 10352673A JP S609336 B2 JPS609336 B2 JP S609336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- porcelain
- paste
- base layer
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title claims description 26
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 14
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 claims description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 10
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J titanic acid Chemical compound O[Ti](O)(O)O LLZRNZOLAXHGLL-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 2
- 239000003985 ceramic capacitor Substances 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002710 Au-Pd Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000255925 Diptera Species 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は厚膜集積回路を構成する厚膿磁器コンデンサの
製造法に関するものである。
製造法に関するものである。
従釆のこの種のコンデンサは、アルミナ磁器基板上に、
ガラスフリツトを含むＡｇ一Ｐｄ，Ａｕ，Ａｕ−Ｐｔ，
Ａｕ−Ｐｄなどの電極ペーストを下部電極として印刷、
乾燥して形成し、その上に譲蚤体として、チタン酸系磁
器材料よりなる磁器ペーストを印刷「乾燥して譲電体層
を形成し、さらにその上に前記電極ペーストを印刷、乾
燥して上部電極を形成した後、１０５び○を超えない温
度で焼成していた。この焼成温度はチタン酸系磁器の最
適の焼成温度１３００℃〜１斑０℃より著しく低い。こ
れは、ガラスフリットを含む鰭極べ−ストが１０５ぴ○
以上の温度に耐えられないからである。そのため、誘電
率が２０００〜１００００のチタン酸系磁器材料の磁器
ペーストを使用しても、焼成後の誘電率は５００〜１０
０の里度に止まり、チタン酸系磁器誘電体のもつ高議電
特性を十分に生かすことができない。商議電率をうるた
めには競成温度を上げる必要があるが、そのために、電
極を形成する電極ペーストをガラスフリツトを含まない
ものにすればよいが、ガラスフリットを含まない亀極ペ
ーストによって形成された下部電極は、アルミナ磁器基
板との接着力が弱く、機械的に安定した構造とすること
ができない。本発明はこの問題を解決して高温焼成が可
能な厚膿磁器コンデンサの製造方法を提供することを目
的とするものである。本発明の厚膜磁器コンデンサの製
造方法は、アルミナ磁器基板の上にチタン酸系磁器組成
物よりなる磁器ペーストを印刷、乾燥して厚さ１０〜５
蚊の電極下地層を形成し、この電極下地層の上にガラス
フリットを含まない電極ペーストを印刷、乾燥して下部
電極を形成し、さらにその上にチタン酸系磁器材料より
なる磁器ペーストを印刷、乾燥して誘電体層を形成し、
またその上に前記電極ペーストを印刷、乾燥して上部電
極を形成した後、これを１１５ぴ０〜１２５０ｑｏの温
度で焼成することを特徴とする。
ガラスフリツトを含むＡｇ一Ｐｄ，Ａｕ，Ａｕ−Ｐｔ，
Ａｕ−Ｐｄなどの電極ペーストを下部電極として印刷、
乾燥して形成し、その上に譲蚤体として、チタン酸系磁
器材料よりなる磁器ペーストを印刷「乾燥して譲電体層
を形成し、さらにその上に前記電極ペーストを印刷、乾
燥して上部電極を形成した後、１０５び○を超えない温
度で焼成していた。この焼成温度はチタン酸系磁器の最
適の焼成温度１３００℃〜１斑０℃より著しく低い。こ
れは、ガラスフリットを含む鰭極べ−ストが１０５ぴ○
以上の温度に耐えられないからである。そのため、誘電
率が２０００〜１００００のチタン酸系磁器材料の磁器
ペーストを使用しても、焼成後の誘電率は５００〜１０
０の里度に止まり、チタン酸系磁器誘電体のもつ高議電
特性を十分に生かすことができない。商議電率をうるた
めには競成温度を上げる必要があるが、そのために、電
極を形成する電極ペーストをガラスフリツトを含まない
ものにすればよいが、ガラスフリットを含まない亀極ペ
ーストによって形成された下部電極は、アルミナ磁器基
板との接着力が弱く、機械的に安定した構造とすること
ができない。本発明はこの問題を解決して高温焼成が可
能な厚膿磁器コンデンサの製造方法を提供することを目
的とするものである。本発明の厚膜磁器コンデンサの製
造方法は、アルミナ磁器基板の上にチタン酸系磁器組成
物よりなる磁器ペーストを印刷、乾燥して厚さ１０〜５
蚊の電極下地層を形成し、この電極下地層の上にガラス
フリットを含まない電極ペーストを印刷、乾燥して下部
電極を形成し、さらにその上にチタン酸系磁器材料より
なる磁器ペーストを印刷、乾燥して誘電体層を形成し、
またその上に前記電極ペーストを印刷、乾燥して上部電
極を形成した後、これを１１５ぴ０〜１２５０ｑｏの温
度で焼成することを特徴とする。
以下その実施例を図面とともに説明する。図において、
１はアルミナ磁器基板、２は酸化チタン、チタン酸マグ
ネシウム、チタン酸バリウム等のチタン酸系組成物より
なる厚さ１０〜５帆の電極下地層、３はＡｇ−Ｐｄ，Ａ
ｕ，Ａｕ−Ｐｔ，Ａｕ−Ｐｄなどのガラスフリツトを含
まない電極ペーストによって形成された下部電極、４は
酸化チタン、チタン酸マグネシウム、チタン酸バリウム
等、チタン酸系の高誘電率磁器材料、たとえば、８１母
Ｔｉｏ３，１７鞠Ｚの３，ＸａＺの３（モル％）よりな
る組成物に、添加物としてＷ０３０．４％、Ｎ２０３０
．２％、Ｚｒ００．７％（いづれも重量％）を加えたも
のを有機樹脂バィンダ溶液に分散混合させて印刷に適し
たペースト状となし、この磁器ペーストを印刷、乾燥し
て形成した誘電体層、５は前記電極ペーストによって形
成された上部電極である。
１はアルミナ磁器基板、２は酸化チタン、チタン酸マグ
ネシウム、チタン酸バリウム等のチタン酸系組成物より
なる厚さ１０〜５帆の電極下地層、３はＡｇ−Ｐｄ，Ａ
ｕ，Ａｕ−Ｐｔ，Ａｕ−Ｐｄなどのガラスフリツトを含
まない電極ペーストによって形成された下部電極、４は
酸化チタン、チタン酸マグネシウム、チタン酸バリウム
等、チタン酸系の高誘電率磁器材料、たとえば、８１母
Ｔｉｏ３，１７鞠Ｚの３，ＸａＺの３（モル％）よりな
る組成物に、添加物としてＷ０３０．４％、Ｎ２０３０
．２％、Ｚｒ００．７％（いづれも重量％）を加えたも
のを有機樹脂バィンダ溶液に分散混合させて印刷に適し
たペースト状となし、この磁器ペーストを印刷、乾燥し
て形成した誘電体層、５は前記電極ペーストによって形
成された上部電極である。
本発明においては、まづ磁器基板１に前記磁器ペースト
をスクリーン印刷法によって印刷、乾燥して電極下地層
２を形成する。
をスクリーン印刷法によって印刷、乾燥して電極下地層
２を形成する。
次に該下地層２の上に、ガラスフリットを含まない前記
電極ペーストを印刷、乾燥して下部電極３を形成する。
そして、その上に前記高議電率磁器材料よりなる磁器ペ
ーストを印刷、乾燥して誘電体層４を形成し、さらにそ
の上に前記電極ペーストを印刷、乾燥して上部電極５を
形成する。なお、以上の工程中に行なわれる乾燥は、す
べて１００００〜１５０００の温度で１５〜３０分間行
なわれる。以上の工程を終了した後、１１５び０〜１２
５ぴ０の温度で１粉ふ〜４粉ご間、焼成が行なわれる。
焼成温度が１２５０００を超えるとアルミナ磁器基板１
とチタン酸系磁器組成物よりなる電極下地層２が化学反
応を起す。これはァルミナ磁器とチタン酸系磁器組成物
が共に焼成温度の上昇により拡散溶融するからである。
このことは、１１５０ｑｏ〜１２５０ｑｏの焼成温度に
おいては適度の拡散と溶融が行なわれ、アルミナ磁器基
板１と電極下地層２の強固な結合が得られることを意味
している。さらに、このチタン酸系磁器組成物を電極下
地層とすることによってガラスフリットを含まない電極
ペーストを使用した場合、電極材料の金属元素の一部が
電極下地層に拡散融合して強固に結合する。すなわち本
発明においては電極金属およびアルミナ磁器との結合が
良好なチタン酸系磁器組成物を電極下地層とすることに
よって磁器基板１と、電極下地層２と、下部電極３とを
一体に強固に結合させることができる。しかし、理想の
焼成温度は前述のように１３００ｏＣ〜１３８０ｏｏで
あって本発明の焼成温度１１５０３０〜１２５０ｑ０は
これに及ばないが従来の焼成温度１０５０ｑ○よりは高
い。なお、電極下地層の厚さを１０〜５帆としたのは１
０山以下では下地層としての効果が著しく低下し、５妙
以上は不必要で無駄になるからである。本発明の方法で
製造した前記実施例の磁器コンデソサ（焼成温度１２５
０ｏｏ、焼成時間４５分）を焼成後、２独時間、常温、
常温の下に放置した後、その誘電率を測定したところ、
４０００を超える商議電率を記録した。これは誘電体の
膜厚が２執の場合、ｌｍｍ２当りの容量が１５００ＰＦ
｝こ相当し、従来の厚腰磁器コンデンサ（誘電率１００
０、ｌｍｍ２当りの容量３５０ＰＦ）に比べて約４倍の
高容量とすることができた。また、このコンデンサの容
量の温度変化を測定したところ、一３０午○〜２５ｑｏ
で−４０％〜一５０％、２５ｑｏ〜８５２０で−３０％
〜４０％で、膜厚化以前の磁器とほ）、等しい良好な温
度特性を示した。従来の厚膜磁器コンデンサは、磁器基
板に直接下部電極を融着させていたため、下部電極を形
成する電極ペーストにガラスフリットを配合する必要が
あったが、本発明においては、磁器基板１の上にこれと
接着性の良好な電極下地層２を設け、その上に磁器コン
デンサを融着させる方法を採用したため、電極ペースト
にガラスフリットを配合しなくても強固な接合が得られ
、その結果、高温焼成が可能となり、高誘電率の厚勝磁
器コンデンサとすることができる。以上述べたように本
発明の方法は、磁器基板との接合を弱化することなく厚
膜磁器コンデンサの容量を高めることのできるすぐれた
効果を有する。
電極ペーストを印刷、乾燥して下部電極３を形成する。
そして、その上に前記高議電率磁器材料よりなる磁器ペ
ーストを印刷、乾燥して誘電体層４を形成し、さらにそ
の上に前記電極ペーストを印刷、乾燥して上部電極５を
形成する。なお、以上の工程中に行なわれる乾燥は、す
べて１００００〜１５０００の温度で１５〜３０分間行
なわれる。以上の工程を終了した後、１１５び０〜１２
５ぴ０の温度で１粉ふ〜４粉ご間、焼成が行なわれる。
焼成温度が１２５０００を超えるとアルミナ磁器基板１
とチタン酸系磁器組成物よりなる電極下地層２が化学反
応を起す。これはァルミナ磁器とチタン酸系磁器組成物
が共に焼成温度の上昇により拡散溶融するからである。
このことは、１１５０ｑｏ〜１２５０ｑｏの焼成温度に
おいては適度の拡散と溶融が行なわれ、アルミナ磁器基
板１と電極下地層２の強固な結合が得られることを意味
している。さらに、このチタン酸系磁器組成物を電極下
地層とすることによってガラスフリットを含まない電極
ペーストを使用した場合、電極材料の金属元素の一部が
電極下地層に拡散融合して強固に結合する。すなわち本
発明においては電極金属およびアルミナ磁器との結合が
良好なチタン酸系磁器組成物を電極下地層とすることに
よって磁器基板１と、電極下地層２と、下部電極３とを
一体に強固に結合させることができる。しかし、理想の
焼成温度は前述のように１３００ｏＣ〜１３８０ｏｏで
あって本発明の焼成温度１１５０３０〜１２５０ｑ０は
これに及ばないが従来の焼成温度１０５０ｑ○よりは高
い。なお、電極下地層の厚さを１０〜５帆としたのは１
０山以下では下地層としての効果が著しく低下し、５妙
以上は不必要で無駄になるからである。本発明の方法で
製造した前記実施例の磁器コンデソサ（焼成温度１２５
０ｏｏ、焼成時間４５分）を焼成後、２独時間、常温、
常温の下に放置した後、その誘電率を測定したところ、
４０００を超える商議電率を記録した。これは誘電体の
膜厚が２執の場合、ｌｍｍ２当りの容量が１５００ＰＦ
｝こ相当し、従来の厚腰磁器コンデンサ（誘電率１００
０、ｌｍｍ２当りの容量３５０ＰＦ）に比べて約４倍の
高容量とすることができた。また、このコンデンサの容
量の温度変化を測定したところ、一３０午○〜２５ｑｏ
で−４０％〜一５０％、２５ｑｏ〜８５２０で−３０％
〜４０％で、膜厚化以前の磁器とほ）、等しい良好な温
度特性を示した。従来の厚膜磁器コンデンサは、磁器基
板に直接下部電極を融着させていたため、下部電極を形
成する電極ペーストにガラスフリットを配合する必要が
あったが、本発明においては、磁器基板１の上にこれと
接着性の良好な電極下地層２を設け、その上に磁器コン
デンサを融着させる方法を採用したため、電極ペースト
にガラスフリットを配合しなくても強固な接合が得られ
、その結果、高温焼成が可能となり、高誘電率の厚勝磁
器コンデンサとすることができる。以上述べたように本
発明の方法は、磁器基板との接合を弱化することなく厚
膜磁器コンデンサの容量を高めることのできるすぐれた
効果を有する。
第１図は本発明の方法による厚膜磁器コンデンサの平面
図、第２図はその側面図である。 １…磁器基板、２…電極下地層、３…下部電極、４・・
・誘電体層、５・・・上部電極。 第１図第２図
図、第２図はその側面図である。 １…磁器基板、２…電極下地層、３…下部電極、４・・
・誘電体層、５・・・上部電極。 第１図第２図
Claims (1)
- １ アルミナ磁器基板の上にチタン酸系磁器組成物より
なる磁器ペーストを印刷、乾燥して厚さ１０〜５０μの
電極下地層を形成し、この電極下地層の上にガラスフリ
ツトを含まない電極ペーストと印刷、乾燥して下部電極
を形成し、さらにその上にチタン酸系高誘電率磁器材料
よりなる磁器ペーストを印刷、乾燥して誘電体層を形成
し、またその上に前記電極ペーストを印刷、乾燥して上
部電極を形成した後、これを１１５０℃〜１２５０℃の
温度で焼成することを特徴とする厚膜磁器コンデンサの
製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48103526A JPS609336B2 (ja) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | 厚膜磁器コンデンサの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP48103526A JPS609336B2 (ja) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | 厚膜磁器コンデンサの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5053856A JPS5053856A (ja) | 1975-05-13 |
| JPS609336B2 true JPS609336B2 (ja) | 1985-03-09 |
Family
ID=14356344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP48103526A Expired JPS609336B2 (ja) | 1973-09-13 | 1973-09-13 | 厚膜磁器コンデンサの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS609336B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5598818A (en) * | 1979-01-22 | 1980-07-28 | Hitachi Ltd | High dielectric thick film capacitor |
-
1973
- 1973-09-13 JP JP48103526A patent/JPS609336B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5053856A (ja) | 1975-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5851362B2 (ja) | 誘電体粉末組成物 | |
| JP2568208B2 (ja) | セラミツク及びこれを用いた回路基体と電子回路基体並びにセラミツクの製造方法 | |
| US4353153A (en) | Method of making capacitor with CO-fired end terminations | |
| JP3064659B2 (ja) | 積層型セラミック素子の製造方法 | |
| JP3327045B2 (ja) | 誘電体ペースト及びそれを用いた厚膜コンデンサ | |
| JPH08315634A (ja) | 導電ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品 | |
| JPS609336B2 (ja) | 厚膜磁器コンデンサの製造法 | |
| JPH11340090A (ja) | 粒界絶縁型積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
| JPS6012773B2 (ja) | 厚膜磁器コンデンサの製造法 | |
| JP2646573B2 (ja) | 半導体積層コンデンサの製造方法 | |
| JPS6032752Y2 (ja) | 複合部品 | |
| JPH1012043A (ja) | 導電性組成物および粒界絶縁型半導体磁器コンデンサ | |
| JPH01166599A (ja) | 積層セラミック基板の製造方法 | |
| JPS622612A (ja) | 積層型セラミツクコンデンサ素子 | |
| JPS6031244Y2 (ja) | 複合部品 | |
| JPS58163102A (ja) | 磁器コンデンサの内部電極用導電性ペ−スト | |
| JPS6231108A (ja) | セラミツクコンデンサ | |
| JP2697113B2 (ja) | 粒界絶縁型積層半導体コンデンサ | |
| JPH0992567A (ja) | 積層セラミックスコンデンサの製造方法 | |
| JPS6216006B2 (ja) | ||
| JPS6016042B2 (ja) | 厚膜コンデンサ | |
| JP3554779B2 (ja) | 非線形誘電体素子 | |
| JPH02155211A (ja) | 積層磁器コンデンサ用グリーンシート | |
| JP2000150293A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JPH06176954A (ja) | 積層型粒界絶縁型半導体セラミックコンデンサ |