JPS6091231A - ヘリウムリ−ク検査装置 - Google Patents
ヘリウムリ−ク検査装置Info
- Publication number
- JPS6091231A JPS6091231A JP20055383A JP20055383A JPS6091231A JP S6091231 A JPS6091231 A JP S6091231A JP 20055383 A JP20055383 A JP 20055383A JP 20055383 A JP20055383 A JP 20055383A JP S6091231 A JPS6091231 A JP S6091231A
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- JP
- Japan
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- helium
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- checked
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば、ＴＯパッケージ等の気密容器の気密
性を検査するために使用されるヘリウムリーク検査装置
「こ関する。
性を検査するために使用されるヘリウムリーク検査装置
「こ関する。
ヘリウムはその分子が極めて小さく、小さい空所ｌこも
容易に侵入していくことから気密容器、例えば工Ｃ素子
を収納する工Ｃパッケージ等の容器内部を貫通する慨孔
の存在を確認し、その気密性を検査するのに多用されて
いる。
容易に侵入していくことから気密容器、例えば工Ｃ素子
を収納する工Ｃパッケージ等の容器内部を貫通する慨孔
の存在を確認し、その気密性を検査するのに多用されて
いる。
従来、このヘリウムを使用した検査装置は、第被検査物
が載置される載置台（１）と、該載置台（１）の貫通孔
に連通し、内部ｆこヘリウムを検知するセンサー（２１
を配置したサクションパイプ（３）と、該サクションパ
イプ（３）内を真空とするだめの真空減圧ポンプ（４）
多こより構成されており、ｉ載置台（１）上に被検査物
（５）を載皿して真空減圧ポンプ（４１により被検査物
の内部及びサクションパイプｆ３１の内部を真空とする
とともに被検査物外部よりヘリウムガスを照射し、被検
査物内部へのヘリウムガスの侵入をセンサー（２）で検
知することによって被検査物の気密性を検査している。
が載置される載置台（１）と、該載置台（１）の貫通孔
に連通し、内部ｆこヘリウムを検知するセンサー（２１
を配置したサクションパイプ（３）と、該サクションパ
イプ（３）内を真空とするだめの真空減圧ポンプ（４）
多こより構成されており、ｉ載置台（１）上に被検査物
（５）を載皿して真空減圧ポンプ（４１により被検査物
の内部及びサクションパイプｆ３１の内部を真空とする
とともに被検査物外部よりヘリウムガスを照射し、被検
査物内部へのヘリウムガスの侵入をセンサー（２）で検
知することによって被検査物の気密性を検査している。
しかし乍ら、この従来のヘリウムリーク検査装置は、被
検査物を載皿する載置台が一般に硬度６０’以上のシリ
コーンゴム等により形成されており、極めて硬く変形し
にくいため、表面が粗面である被検査物を載置した場合
、被検査物と載置台とが密接せず両者間に隙間を形成し
てしまい、その結果ヘリウムが隙間から被検査物内部に
侵入し、所期の目的である被検査物自体の気密性の検査
かでｘ＞＋−＋＋−＝Ｌ＋、Ｊ−＋−＋−覗ｒ菅−ｌ−
ノーまたこの欠点を改良するために載置台上にあらかじ
めグリース等の粘着材を塗布しておき、該粘着剤によっ
て被検査物と載置台間の隙間を埋めることも考えられる
が、被検査物及びサクションパイプ内部が真空状態であ
ることから粘着材が被検査物内部に吸引され、被検査物
と載置台の密接が破れて被検査物の気密性の検査に誤判
定を生じたり、検査後被検査物に付着した粘着材を除去
しなければならず、粘着材除去作業に多大の人員及び労
力を必要とし、更に粘〃を剤の除去が不完全であると最
終製品の品質を大きく低下させるという重大な欠点を誘
発する。
検査物を載皿する載置台が一般に硬度６０’以上のシリ
コーンゴム等により形成されており、極めて硬く変形し
にくいため、表面が粗面である被検査物を載置した場合
、被検査物と載置台とが密接せず両者間に隙間を形成し
てしまい、その結果ヘリウムが隙間から被検査物内部に
侵入し、所期の目的である被検査物自体の気密性の検査
かでｘ＞＋−＋＋−＝Ｌ＋、Ｊ−＋−＋−覗ｒ菅−ｌ−
ノーまたこの欠点を改良するために載置台上にあらかじ
めグリース等の粘着材を塗布しておき、該粘着剤によっ
て被検査物と載置台間の隙間を埋めることも考えられる
が、被検査物及びサクションパイプ内部が真空状態であ
ることから粘着材が被検査物内部に吸引され、被検査物
と載置台の密接が破れて被検査物の気密性の検査に誤判
定を生じたり、検査後被検査物に付着した粘着材を除去
しなければならず、粘着材除去作業に多大の人員及び労
力を必要とし、更に粘〃を剤の除去が不完全であると最
終製品の品質を大きく低下させるという重大な欠点を誘
発する。
本発明は上述の諸欠点に鑑み案出されたもので、その目
的はグリース等の粘着材を使用することなく被検査物の
気密性の検査を正確に行なうことができるヘリウムリー
ク検査装置を提供することにある。
的はグリース等の粘着材を使用することなく被検査物の
気密性の検査を正確に行なうことができるヘリウムリー
ク検査装置を提供することにある。
本発明は載置台上の被検査物にヘリウムを照射し、該ヘ
リウムの４ｎれを検知して被検査物の気密を検査するヘ
リウムリーク検査装置において、前記載置台が硬度ｌＯ
°〜３０°の弾性部材から成ることを特徴とするもので
ある。
リウムの４ｎれを検知して被検査物の気密を検査するヘ
リウムリーク検査装置において、前記載置台が硬度ｌＯ
°〜３０°の弾性部材から成ることを特徴とするもので
ある。
以下、本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。
尚、従来品と同一箇所には同一符号が付しである。
第２図は、本発明のヘリウムリーク検査装置の一実施例
を示す要部拡大断面図であり、αＤは上面多こ被検査物
（５）を載置する載置角（３）はサクションパイプであ
る。
を示す要部拡大断面図であり、αＤは上面多こ被検査物
（５）を載置する載置角（３）はサクションパイプであ
る。
とが重要である。このために、前記載置台（１１１は、
天然ゴム、ジエン糸ゴム、オレフィン系ゴム、フッ素ゴ
ム、エーテル・チオエーテルゴム、ウレタンゴム、シリ
コーンゴム等の弾性材料により構成されている。なお載
置台ａ１１の中央部にはサクションパイプ（３）と連通
ずるように貫通孔ａ２が形成されている。
天然ゴム、ジエン糸ゴム、オレフィン系ゴム、フッ素ゴ
ム、エーテル・チオエーテルゴム、ウレタンゴム、シリ
コーンゴム等の弾性材料により構成されている。なお載
置台ａ１１の中央部にはサクションパイプ（３）と連通
ずるように貫通孔ａ２が形成されている。
このように載置台（１υを特定の弾性材料により構成し
たことにより、載置台ａυは変形し易くなり、検査の際
、載置台（１１１上面に被検査物（５）を載置し、被検
査物（５）の内部を真空状態とした場合、被検査物（５
）の下部（５ａ）が自重及び外部圧力によって載置台ａ
Ｄ内部に埋入し、これによって載置台ａυと密接するこ
ととなる。これにより被検査物（５）と載置台ａ１Ｊと
の間に隙間が形成されることは皆無となる。
たことにより、載置台ａυは変形し易くなり、検査の際
、載置台（１１１上面に被検査物（５）を載置し、被検
査物（５）の内部を真空状態とした場合、被検査物（５
）の下部（５ａ）が自重及び外部圧力によって載置台ａ
Ｄ内部に埋入し、これによって載置台ａυと密接するこ
ととなる。これにより被検査物（５）と載置台ａ１Ｊと
の間に隙間が形成されることは皆無となる。
尚、弾性材料の硬度が１０８未満であると検査の際に被
検査物（５）内部を真空状態とした場合、載置台（Ｉｌ
ｌの貫通孔０２周辺が大きく反り上り、被検査物（５）
の内面に密着して被検査物（５）中に存在する気孔を塞
いでしまい、被検査物（５）の気密性の正確な検査が出
来なくなり、また硬度が３０°以上となると被検査物と
の密接が不完全となって、被検査物と載置台的）との間
に隙間が形成され、該隙間からヘリウムが侵入して誤判
を生じ易くなるため、本発明においては１弾性材判の硬
度は１０’〜３０°の範囲に特定される。
検査物（５）内部を真空状態とした場合、載置台（Ｉｌ
ｌの貫通孔０２周辺が大きく反り上り、被検査物（５）
の内面に密着して被検査物（５）中に存在する気孔を塞
いでしまい、被検査物（５）の気密性の正確な検査が出
来なくなり、また硬度が３０°以上となると被検査物と
の密接が不完全となって、被検査物と載置台的）との間
に隙間が形成され、該隙間からヘリウムが侵入して誤判
を生じ易くなるため、本発明においては１弾性材判の硬
度は１０’〜３０°の範囲に特定される。
また前記サクションパイプ（３）は、その一端が載置台
０１１０貫通孔（１６に、また他端が真空減圧ポンプ（
不図示）に連通されており、真空減圧ポンプの作動に伴
ない載置台任υ上の被検査物（５）内部を真空状態に為
す。この被検声（５１の内部を真空状態ｆこすると被検
査物（５）内に気孔が存在している場合、該気孔からの
ヘリウムの侵入をより一層容易とし検査の信頼性及び高
速化を図ることができる。
０１１０貫通孔（１６に、また他端が真空減圧ポンプ（
不図示）に連通されており、真空減圧ポンプの作動に伴
ない載置台任υ上の被検査物（５）内部を真空状態に為
す。この被検声（５１の内部を真空状態ｆこすると被検
査物（５）内に気孔が存在している場合、該気孔からの
ヘリウムの侵入をより一層容易とし検査の信頼性及び高
速化を図ることができる。
以上の通り、本発明のヘリウムリーク検査装置によれば
載置台を硬度ｌＯ°〜３０°の弾性部材で形成したこと
によって、被検査物を載置台上Ｃご載置する際、被検査
物が載置台上面と衝突して破損するのを有効に防止する
と共に、被検査物を載置台上に載置するだけで載置台に
密接させることができ、その結果、被検査物自体の気密
性の試験を正確に行なうことが可能となる。
載置台を硬度ｌＯ°〜３０°の弾性部材で形成したこと
によって、被検査物を載置台上Ｃご載置する際、被検査
物が載置台上面と衝突して破損するのを有効に防止する
と共に、被検査物を載置台上に載置するだけで載置台に
密接させることができ、その結果、被検査物自体の気密
性の試験を正確に行なうことが可能となる。
また被検査物と載置台とが密接することから両者間にグ
リース等の粘着剤を埋め込む必要がまったくなく、粘着
剤の塗布及び除去等の作業が不要で、かつ粘着材の除去
不完全による最終製品の品質低下も発生することがない
。
リース等の粘着剤を埋め込む必要がまったくなく、粘着
剤の塗布及び除去等の作業が不要で、かつ粘着材の除去
不完全による最終製品の品質低下も発生することがない
。
尚、本発明は上述の実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可
能である。例えば、載置台全体を硬度１０°〜３０°の
弾性部材で形成するのに代えて、被検査物が載置され密
接する部位のみを弾性部材で溝成し、その他を硬質材で
構成するようｌこしてもよい。
本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可
能である。例えば、載置台全体を硬度１０°〜３０°の
弾性部材で形成するのに代えて、被検査物が載置され密
接する部位のみを弾性部材で溝成し、その他を硬質材で
構成するようｌこしてもよい。
第１図は従来のヘリウムリーク検査装置を説明するだめ
の構成図、′ｄｒＪ２図は本発明のヘリウムリーク検査
装置の要部拡大断面図である。 １．１１・・・載置台、２・・・センサー３・・・サク
ションパイプ ５・・・被検査物特許出願人 京セラ株式会社 第２図
の構成図、′ｄｒＪ２図は本発明のヘリウムリーク検査
装置の要部拡大断面図である。 １．１１・・・載置台、２・・・センサー３・・・サク
ションパイプ ５・・・被検査物特許出願人 京セラ株式会社 第２図
Claims (1)
- 載置台上の被検査物にヘリウムを照射し、該ヘリウムの
罰れを検知して被検査物の気密を検査するヘリウムリー
ク検査装置において、前記載置台が硬度１０°〜３０°
の弾性部材から成ることを特徴とするヘリウムリーク検
査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20055383A JPS6091231A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | ヘリウムリ−ク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20055383A JPS6091231A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | ヘリウムリ−ク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091231A true JPS6091231A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16426220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20055383A Pending JPS6091231A (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | ヘリウムリ−ク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091231A (ja) |
-
1983
- 1983-10-25 JP JP20055383A patent/JPS6091231A/ja active Pending
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