JPS6074655A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPS6074655A JPS6074655A JP58183478A JP18347883A JPS6074655A JP S6074655 A JPS6074655 A JP S6074655A JP 58183478 A JP58183478 A JP 58183478A JP 18347883 A JP18347883 A JP 18347883A JP S6074655 A JPS6074655 A JP S6074655A
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- JP
- Japan
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- projection
- side wall
- air gap
- agent
- buffer agent
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/16—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations, e.g. centering rings
- H01L23/18—Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device
- H01L23/24—Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device solid or gel at the normal operating temperature of the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3121—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
- H01L23/3135—Double encapsulation or coating and encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は側壁と底板とからなる容器内の収容された半導
体素子の半導体チップがゲル状またはゴム状のバッファ
剤により被覆され、さらにそのバッファ剤を覆ってエポ
キシ樹脂などの樹脂が注入硬化される半導体装置に関す
る。
体素子の半導体チップがゲル状またはゴム状のバッファ
剤により被覆され、さらにそのバッファ剤を覆ってエポ
キシ樹脂などの樹脂が注入硬化される半導体装置に関す
る。
第1図および第2図はそのような半導体装置の一例を示
し、側壁1と底板2からなる容器の底板2の上に複数の
半導体チップ3が銅ブロック4および共通絶縁板5を介
して固着され、チップ3は銅ブロック4およびリード線
6を介して接続フレーム7.8が接続されている。半導
体チップ3を外部のふん囲気から保護するために容器内
に樹脂を注入することが行われるが、直接注入すると樹
脂硬化時あるいは外的、内的に加わる熱による膨張の際
に半導体チップ3に応力が加わるおそれがあるため、チ
ップ3をゲル状あるいはゴム状のバッファ剤9により被
覆し、その上に樹脂1oも注入する。しかしバッファ剤
9の熱膨張による発生応力も考慮しなければならず、こ
れをバッファ剤の種類、量により軽減させようとしてき
た。しかしバッファ剤の熱膨張係数は3〜4X10/”
Cでモールド樹脂よりも1桁大きく、しかもバッファ効
果と熱膨張係数は相反するものであり、半導体装置の構
造1寸法に応じてバッファ効果をある程度抑制して最適
のバッファ剤の種類、量を選定しなければならなかった
。そのためバッファ剤の量により容器1とモールド樹脂
10の剥離などを引き起こしていた。
し、側壁1と底板2からなる容器の底板2の上に複数の
半導体チップ3が銅ブロック4および共通絶縁板5を介
して固着され、チップ3は銅ブロック4およびリード線
6を介して接続フレーム7.8が接続されている。半導
体チップ3を外部のふん囲気から保護するために容器内
に樹脂を注入することが行われるが、直接注入すると樹
脂硬化時あるいは外的、内的に加わる熱による膨張の際
に半導体チップ3に応力が加わるおそれがあるため、チ
ップ3をゲル状あるいはゴム状のバッファ剤9により被
覆し、その上に樹脂1oも注入する。しかしバッファ剤
9の熱膨張による発生応力も考慮しなければならず、こ
れをバッファ剤の種類、量により軽減させようとしてき
た。しかしバッファ剤の熱膨張係数は3〜4X10/”
Cでモールド樹脂よりも1桁大きく、しかもバッファ効
果と熱膨張係数は相反するものであり、半導体装置の構
造1寸法に応じてバッファ効果をある程度抑制して最適
のバッファ剤の種類、量を選定しなければならなかった
。そのためバッファ剤の量により容器1とモールド樹脂
10の剥離などを引き起こしていた。
本発明は、熱膨張係数が大きいバッファ効果の大きなバ
ッファ剤を使用することができる半導体装置を提供する
ことを目的とする。
ッファ剤を使用することができる半導体装置を提供する
ことを目的とする。
本発明による半導体装置は、容器の側壁がバッファ剤の
上面とほぼ同じ平面にその上端を有する突起部を備え、
その突起部は少なくとも一部に底板に向って開口する空
隙部を有することによって上記の目的を達成する。
上面とほぼ同じ平面にその上端を有する突起部を備え、
その突起部は少なくとも一部に底板に向って開口する空
隙部を有することによって上記の目的を達成する。
第3図は本発明の一実施例を示し、第1.第2図と共通
の部分には同一の符号が付されている。
の部分には同一の符号が付されている。
第1.第2図に示1−た半導体装置と異なる点は側壁1
に断面かぎ形の突起部11を有する。突起部11の側壁
lから垂直に突出する部分は、半導体チップ3を被覆す
るバッファ剤9の上面とほぼ同じ高さにあり、突起部1
1と側壁1の間に形成される下方に開口した空隙部12
は、バッファ剤が充てん時に入り込まず、大部分がその
まま空隙として残る。
に断面かぎ形の突起部11を有する。突起部11の側壁
lから垂直に突出する部分は、半導体チップ3を被覆す
るバッファ剤9の上面とほぼ同じ高さにあり、突起部1
1と側壁1の間に形成される下方に開口した空隙部12
は、バッファ剤が充てん時に入り込まず、大部分がその
まま空隙として残る。
従ってバッファ剤9の上にモールド樹脂1oが注入され
た半導体装置の作動時に、バッファ剤が膨張してもこの
空隙部に膨張分が逃げることにより内部応力を緩和させ
ることができる。
た半導体装置の作動時に、バッファ剤が膨張してもこの
空隙部に膨張分が逃げることにより内部応力を緩和させ
ることができる。
空隙部12は突起部11の全周にわたりて設けなくても
よく、一部に下方に開口する穴または溝として設けても
よい。また突起部11も容器側壁1の全面でなく、一部
にだけ設けてもよい。さらにこの突起部11の位置をバ
ッファ剤の充てん量に対する目安として利用することも
できる。
よく、一部に下方に開口する穴または溝として設けても
よい。また突起部11も容器側壁1の全面でなく、一部
にだけ設けてもよい。さらにこの突起部11の位置をバ
ッファ剤の充てん量に対する目安として利用することも
できる。
本発明は容器側壁に下方に向って開口する空隙部を有す
る突起部を設けたものでこの空隙部がバッファ側光てん
時に残ることによりバッファ剤の熱膨張分の吸収に役又
ち、装置の温度上昇時に発生する内部応力を緩和するた
め信頼性の高い半導体装置を得ることができる。
る突起部を設けたものでこの空隙部がバッファ側光てん
時に残ることによりバッファ剤の熱膨張分の吸収に役又
ち、装置の温度上昇時に発生する内部応力を緩和するた
め信頼性の高い半導体装置を得ることができる。
第1図は従来の半導体装置の一例の平面図、第2図はそ
の断面図、第3図は本発明の一実施例における第2図と
同様の断面図である。 1・・・側壁、2・・・底板、3・・・半導体チップ。 4・・・銅ブロック、5・・・絶縁板、9・・・バッフ
ァ剤、10・・・モールド樹脂、11・・・突起部、1
2・・・空隙部。 (5) 才2(¥1 −′P3図
の断面図、第3図は本発明の一実施例における第2図と
同様の断面図である。 1・・・側壁、2・・・底板、3・・・半導体チップ。 4・・・銅ブロック、5・・・絶縁板、9・・・バッフ
ァ剤、10・・・モールド樹脂、11・・・突起部、1
2・・・空隙部。 (5) 才2(¥1 −′P3図
Claims (1)
- 1)側壁と底板とからなる容器内に収容された半導体素
子の半導体チップがゲル状またはゴム状のバッファ剤に
より被覆され、さらに該バッファ剤を覆って樹脂が注入
硬化されるものにおいて、容器の側壁がバッファ剤の上
面とほぼ同じ平面に上端を有する突起部を備え、該突起
部は少なくとも一部に底板に向って開口する空隙部を有
することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58183478A JPS6074655A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58183478A JPS6074655A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6074655A true JPS6074655A (ja) | 1985-04-26 |
Family
ID=16136502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58183478A Pending JPS6074655A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6074655A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62170641U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
US5956231A (en) * | 1994-10-07 | 1999-09-21 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having power semiconductor elements |
WO2013056927A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Osram Gmbh | Aufsatzstück für einen träger einer halbleiterleuchtvorrichtung |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP58183478A patent/JPS6074655A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62170641U (ja) * | 1986-04-18 | 1987-10-29 | ||
JPH0432758Y2 (ja) * | 1986-04-18 | 1992-08-06 | ||
US5956231A (en) * | 1994-10-07 | 1999-09-21 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having power semiconductor elements |
WO2013056927A1 (de) * | 2011-10-20 | 2013-04-25 | Osram Gmbh | Aufsatzstück für einen träger einer halbleiterleuchtvorrichtung |
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