JPS6074250A - 磁界型レンズ - Google Patents
磁界型レンズInfo
- Publication number
- JPS6074250A JPS6074250A JP58181533A JP18153383A JPS6074250A JP S6074250 A JPS6074250 A JP S6074250A JP 58181533 A JP58181533 A JP 58181533A JP 18153383 A JP18153383 A JP 18153383A JP S6074250 A JPS6074250 A JP S6074250A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic pole
- pole piece
- lens
- objective lens
- magnetic field
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査電子顕微鏡等の対物レンズとしく用い（
θＩ′適な磁界型レンズの改良に関づる。
θＩ′適な磁界型レンズの改良に関づる。
走査電子顕微鏡−＼ゝ）Ｘ線ンイク１］ｊ′ナライリー
ーで（よ、電子線を集束づるｌこめに複数の電子レンズ
が用いられるが、その中Ｃし特に最終段の集束レンズ、
即ち対物レンズには種々の条１′［がめられる。
ーで（よ、電子線を集束づるｌこめに複数の電子レンズ
が用いられるが、その中Ｃし特に最終段の集束レンズ、
即ち対物レンズには種々の条１′［がめられる。
第１図の右側は、このようなλ・１物レンスの 部凹面
図を承り−もので、円１ｎ状の内側−１−り１の外側に
はレンズ凹イル２が巻回され、レンズコイルの外側を覆
うようにして外側−１−９３が；：旧ノらね、外側ヨー
９３と内側ヨー９１とは−１１５１（ｃ磁気的（、二接
続している。内側ＥＴ−り１及び外側−ｊ−り３の夫々
の下端には内側磁（ＡＩＪｌと外側磁極ハｊ〕が１に続
されており、前記レンズ−１イルを励起し１５と込に発
生りる磁束が両磁極Ｊ’ｉ”ｌ及び５の間を流れること
にＪ、す、両磁４４ｉ）’を間にレンス磁鴨が形成（き
れる１、外側磁極ｊ″１５は対物レンズの１・部を）Ｖ
′）ような形状をしてＪ３す、対物１ノンスの磁場が・
ぞの１・万に設問される試料６に及ばない、」、う（Ｊ
配置ｒＫｉされ（いる５、ヂのＩｃめ、外側磁極片５
ＬＬ ’ｌ・磁極ｊ１どオ；」・されることもある。又
、試料６からＲ引りるＸ線弯を検出りる際の陣害になら
ないＪ、うに、外側１ａ ４４ｒ片５は、十プｉにいく
につれてぞの夕日Ｙか小さくなるように形成されている
。内側）３＋−９１の内径１つ１とは、その内側に配置
される電子線偏向装置＼゛）光学顕微鏡等の大きざによ
って決まるが、一般に外側磁極Ｊｉ−５の内径［）２Ｊ
、りもはるかに大さくなる３、第１図の左側に承り曲線
ｃ１は、対物レンズの光１１ｑｌ ｌに夕・１称’＋７
レンズ磁場のＺ軸方向成分の強度をＺ軸に沿って表わし
たものであり、曲線ｃ１（，１、比較的鋭いピークを示
し、その？１（値幅ｄは小さり４ｆる３、叉、曲線Ｃ１
のピークは内側磁極片４ど外側）４１〜片５の中間より
も幾分外側磁極片に近い側にあり、その傭行ば通常レン
ズ主面の位置に近い。
図を承り−もので、円１ｎ状の内側−１−り１の外側に
はレンズ凹イル２が巻回され、レンズコイルの外側を覆
うようにして外側−１−９３が；：旧ノらね、外側ヨー
９３と内側ヨー９１とは−１１５１（ｃ磁気的（、二接
続している。内側ＥＴ−り１及び外側−ｊ−り３の夫々
の下端には内側磁（ＡＩＪｌと外側磁極ハｊ〕が１に続
されており、前記レンズ−１イルを励起し１５と込に発
生りる磁束が両磁極Ｊ’ｉ”ｌ及び５の間を流れること
にＪ、す、両磁４４ｉ）’を間にレンス磁鴨が形成（き
れる１、外側磁極ｊ″１５は対物レンズの１・部を）Ｖ
′）ような形状をしてＪ３す、対物１ノンスの磁場が・
ぞの１・万に設問される試料６に及ばない、」、う（Ｊ
配置ｒＫｉされ（いる５、ヂのＩｃめ、外側磁極片５
ＬＬ ’ｌ・磁極ｊ１どオ；」・されることもある。又
、試料６からＲ引りるＸ線弯を検出りる際の陣害になら
ないＪ、うに、外側１ａ ４４ｒ片５は、十プｉにいく
につれてぞの夕日Ｙか小さくなるように形成されている
。内側）３＋−９１の内径１つ１とは、その内側に配置
される電子線偏向装置＼゛）光学顕微鏡等の大きざによ
って決まるが、一般に外側磁極Ｊｉ−５の内径［）２Ｊ
、りもはるかに大さくなる３、第１図の左側に承り曲線
ｃ１は、対物レンズの光１１ｑｌ ｌに夕・１称’＋７
レンズ磁場のＺ軸方向成分の強度をＺ軸に沿って表わし
たものであり、曲線ｃ１（，１、比較的鋭いピークを示
し、その？１（値幅ｄは小さり４ｆる３、叉、曲線Ｃ１
のピークは内側磁極片４ど外側）４１〜片５の中間より
も幾分外側磁極片に近い側にあり、その傭行ば通常レン
ズ主面の位置に近い。
一般に、高分解能の像を寄るためには１．１に対物レン
ズの球面収差を小さくりる必要があるが、この球面収差
は試わ１ど対物レンズ主面との間の距離１か短くなる程
小さくなる。所が、第１図の従来装置にｄ３い（は、試
わ１６と外側ＮｋＩ！′ｉ片５の下端面との間の距離（
ワーキングディスタンスＷ［〕）を小さクシ（零にした
どじでも、陽極片の下端面からり・］物レしズ主面まで
の距離を知くづることができｔ、、い。即も、外側磁極
Ｊ１５の下端にお）プる厚みをＷとりると試わ１６と対
物レンズ主面との距離は距Ｎｌ ｗ以ＴζにはでさイＬ
がった１、ぞのため、従来芸ｆ＋’／にＪ３い−（は球
面収差を余り小さくりろことが（さず、高分解能の像を
寄ることが（さイヱがった２、この問題を解決りるため
、試１′１１を対物レンズ）１録揚内に設置りる装置も
あるが、この場合には人４（ソの試ボ＋１が観察ぐ込な
くなるＩこＧＪ ｒイｆく、（優１’１体試別活′のＪ
、うに磁気の影響を受りる試石のｉｌ３ｉ察が？−１な
えなく ％る欠点がある。。
ズの球面収差を小さくりる必要があるが、この球面収差
は試わ１ど対物レンズ主面との間の距離１か短くなる程
小さくなる。所が、第１図の従来装置にｄ３い（は、試
わ１６と外側ＮｋＩ！′ｉ片５の下端面との間の距離（
ワーキングディスタンスＷ［〕）を小さクシ（零にした
どじでも、陽極片の下端面からり・］物レしズ主面まで
の距離を知くづることができｔ、、い。即も、外側磁極
Ｊ１５の下端にお）プる厚みをＷとりると試わ１６と対
物レンズ主面との距離は距Ｎｌ ｗ以ＴζにはでさイＬ
がった１、ぞのため、従来芸ｆ＋’／にＪ３い−（は球
面収差を余り小さくりろことが（さず、高分解能の像を
寄ることが（さイヱがった２、この問題を解決りるため
、試１′１１を対物レンズ）１録揚内に設置りる装置も
あるが、この場合には人４（ソの試ボ＋１が観察ぐ込な
くなるＩこＧＪ ｒイｆく、（優１’１体試別活′のＪ
、うに磁気の影響を受りる試石のｉｌ３ｉ察が？−１な
えなく ％る欠点がある。。
本発明は、このような欠点を解決りること合目的とりる
ーｂのＣ１ｌ’Ｊ筒状の内側１−りど、該内側−１−り
に巻回されｌごレンズ＝１イルど、該レンズＩイルを覆
う形状の外側ヨークと、前記内側−１−り及び外側＝ュ
ータの人々の十ｏ２）に取（＝Ｊられた内側１發１’！
ｉ Ｊ’＋及び外側磁極Ｊ′ｌを（ｌｉｌ“Ｉえ、前記
内側ｌ１ｉｋ １４＋ １１ど夕）側磁極Ｂの間に流れ
る隘東にＪ、ってレンズ揚を形成するレンズにＪ５い（
、前記内側ＩＭ ４４ｉ Ｉ’＋ど外側磁極片の下端面
を略一致さけると共に、前記内側磁極片の一部に環状の
間隙を５９ｍ）たことを９、°ｒ徴と・ｌるものＣ′あ
る。
ーｂのＣ１ｌ’Ｊ筒状の内側１−りど、該内側−１−り
に巻回されｌごレンズ＝１イルど、該レンズＩイルを覆
う形状の外側ヨークと、前記内側−１−り及び外側＝ュ
ータの人々の十ｏ２）に取（＝Ｊられた内側１發１’！
ｉ Ｊ’＋及び外側磁極Ｊ′ｌを（ｌｉｌ“Ｉえ、前記
内側ｌ１ｉｋ １４＋ １１ど夕）側磁極Ｂの間に流れ
る隘東にＪ、ってレンズ揚を形成するレンズにＪ５い（
、前記内側ＩＭ ４４ｉ Ｉ’＋ど外側磁極片の下端面
を略一致さけると共に、前記内側磁極片の一部に環状の
間隙を５９ｍ）たことを９、°ｒ徴と・ｌるものＣ′あ
る。
第２図の右側は、本発明による対物レンズの一部断面図
を承りしの（、円筒状内側ヨー９７にレンスニ１イル２
か巻回され、該コイル２の外側を覆うかたりの外側ヨー
ク８が設（プられ−（いる。内側−１−り７の下端には
」ユ部磁］〜ｊ１９が、又該上部磁４４１ Ｊ’ｌ ９
にはト部磁極ハ１０が昇磁ｆ＋体から４ｆるスベーリ１
１を介して取付けられており、環状のギトツノが形成さ
れ補助のレンズ磁場を光クエリるＪ、うに措成されでい
る１、外側ヨーク８には、外側磁（かハ１２が取（ｉｌ
られてＪ３す、イの下端は下部磁極Ｊ’ｌ−１０の１・
端面ど略一致している。第２図の左側−には、光軸Ｚ土
におりるレンズ磁場強度の分イｌｉ ＋ｌｌ＋線か示さ
れηｉｌ３す、曲線Ｃ２は下部磁極）”＋−１０ど外側
磁極ｊ１１２にＪ、っ（−発生りる磁場分イｌｉを、曲
線０３は−に１部磁極片９ど下部磁極だ１１０の間のギ
ｔ・ツノに形成される磁場分布を、曲線Ｃ４はＣ２どＣ
３の曲線を加締したものを表している。。
を承りしの（、円筒状内側ヨー９７にレンスニ１イル２
か巻回され、該コイル２の外側を覆うかたりの外側ヨー
ク８が設（プられ−（いる。内側−１−り７の下端には
」ユ部磁］〜ｊ１９が、又該上部磁４４１ Ｊ’ｌ ９
にはト部磁極ハ１０が昇磁ｆ＋体から４ｆるスベーリ１
１を介して取付けられており、環状のギトツノが形成さ
れ補助のレンズ磁場を光クエリるＪ、うに措成されでい
る１、外側ヨーク８には、外側磁（かハ１２が取（ｉｌ
られてＪ３す、イの下端は下部磁極Ｊ’ｌ−１０の１・
端面ど略一致している。第２図の左側−には、光軸Ｚ土
におりるレンズ磁場強度の分イｌｉ ＋ｌｌ＋線か示さ
れηｉｌ３す、曲線Ｃ２は下部磁極）”＋−１０ど外側
磁極ｊ１１２にＪ、っ（−発生りる磁場分イｌｉを、曲
線０３は−に１部磁極片９ど下部磁極だ１１０の間のギ
ｔ・ツノに形成される磁場分布を、曲線Ｃ４はＣ２どＣ
３の曲線を加締したものを表している。。
第２図の磁場分イｒｉ曲線（ン２から分かるＪ、うに、
曲線Ｃ２のピーク位置従っ（対物レンズの主面位１ハ”
が、第１図の従来装置Ｊ、りも対物レンズの下端面に近
イ・」い（いる。その結果、従来に較ぺＣ試別と対物レ
ンズ主面どの距姻をＷ＋７ ＜ Ｌ ’（球面収差４小
さくづることが可能どイＴる。史に、補助的ｈ１ノンス
磁揚を形成しＣレンス磁場分イ１］曲線Ｃ／ｌ （１）
崖値幅ｄ′を人すくシ（いるため、１ノー１ンク）′イ
スタンスＷ ＋’）を艮＜シ（も球面収差の増加りるｆ
′！１度が少’；Ｔ ＜ ’ｅＬる３、第３図（３Ｌこ
の関係を表わしたｔ）ので、縦＋Ｍ１口Ｊ、球面収差に
比例した球面収ＺＣ係数（ｍ＋＋＋）を、横軸はワール
１ングゲイスタンスＷ＋）（ｍｍ）を、実曲線１３は第
２図にａハノる（イ炎揚分イ１）曲線Ｃ２にＪ、るしの
を、貞線曲線１（Ｊ磁場ｊ） イｂ曲線Ｃ４によるもの
を表わり。所℃・、ＣのＪ、′うにレンズ磁場のピーク
をＦ ７’ｊ ’＼十げろと当然対物レンズ−Ｆ ｙｉ
ｊｊ面から上側に漏れる磁場ち勇）くなるの（、λ・ｊ
物しンスの下端面Ｍ ｉｌ３りる磁極１’ｌ’ １０ど
１２の間の距η（ＩＳをてきる／ｅ＋プ小さく シー（
’ ｉｌ＋ｉｉれ１４１場の拡がりを小さく抑えること
がりｒましい３゜尚、本発明は第２図の実施例装着に限
定されるもの（゛はイＴく、例え（３（，１６棒Ｊ′Ｉ
ど−１１−りど召−分離して放つ１．：手Ａで！のもの
どＵザに、−１−りど（φ蚤４４ｉＪ’１どを一体に構
成しても差支えない。
曲線Ｃ２のピーク位置従っ（対物レンズの主面位１ハ”
が、第１図の従来装置Ｊ、りも対物レンズの下端面に近
イ・」い（いる。その結果、従来に較ぺＣ試別と対物レ
ンズ主面どの距姻をＷ＋７ ＜ Ｌ ’（球面収差４小
さくづることが可能どイＴる。史に、補助的ｈ１ノンス
磁揚を形成しＣレンス磁場分イ１］曲線Ｃ／ｌ （１）
崖値幅ｄ′を人すくシ（いるため、１ノー１ンク）′イ
スタンスＷ ＋’）を艮＜シ（も球面収差の増加りるｆ
′！１度が少’；Ｔ ＜ ’ｅＬる３、第３図（３Ｌこ
の関係を表わしたｔ）ので、縦＋Ｍ１口Ｊ、球面収差に
比例した球面収ＺＣ係数（ｍ＋＋＋）を、横軸はワール
１ングゲイスタンスＷ＋）（ｍｍ）を、実曲線１３は第
２図にａハノる（イ炎揚分イ１）曲線Ｃ２にＪ、るしの
を、貞線曲線１（Ｊ磁場ｊ） イｂ曲線Ｃ４によるもの
を表わり。所℃・、ＣのＪ、′うにレンズ磁場のピーク
をＦ ７’ｊ ’＼十げろと当然対物レンズ−Ｆ ｙｉ
ｊｊ面から上側に漏れる磁場ち勇）くなるの（、λ・ｊ
物しンスの下端面Ｍ ｉｌ３りる磁極１’ｌ’ １０ど
１２の間の距η（ＩＳをてきる／ｅ＋プ小さく シー（
’ ｉｌ＋ｉｉれ１４１場の拡がりを小さく抑えること
がりｒましい３゜尚、本発明は第２図の実施例装着に限
定されるもの（゛はイＴく、例え（３（，１６棒Ｊ′Ｉ
ど−１１−りど召−分離して放つ１．：手Ａで！のもの
どＵザに、−１−りど（φ蚤４４ｉＪ’１どを一体に構
成しても差支えない。
以−にのように本発明にＪ、れば、従来装置のｆｉｔ
３告を余り複雑にりることなく対物レンズ下端面とレン
ズＥ）−面との距Ｉｆを知くしでいるため、対物レンズ
にＪ５ｆプる球面収差を小さくすることがて゛きるだ（
）Ｃ４１く、レンズ磁場の半（１１１幅を長＜ＬＴワー
キングアイスタンスの増加による球面収差の増加を４１
（＜抑えることが可能となる。又、従来装置に比較しく
外側（４１極片が対物レンズの底部を覆うよう４ｆ形状
にりる必要か無く４γるため、ス・１物レンズの光’１
ＩＩｌ ’ｂ向の大きさを幾分短くできる効果も得られ
る。。
３告を余り複雑にりることなく対物レンズ下端面とレン
ズＥ）−面との距Ｉｆを知くしでいるため、対物レンズ
にＪ５ｆプる球面収差を小さくすることがて゛きるだ（
）Ｃ４１く、レンズ磁場の半（１１１幅を長＜ＬＴワー
キングアイスタンスの増加による球面収差の増加を４１
（＜抑えることが可能となる。又、従来装置に比較しく
外側（４１極片が対物レンズの底部を覆うよう４ｆ形状
にりる必要か無く４γるため、ス・１物レンズの光’１
ＩＩｌ ’ｂ向の大きさを幾分短くできる効果も得られ
る。。
第１図は従来のス・１物レンズの断面図とそのレンズ磁
場強度分布を承り略図、第２図は本発明の１実１ｊ（Ｉ
ｉ例装首の断面図とそのｖｔｘ場強度分布を表わ覆略図
、第３図（Ｊ第２図の実施例装置にｄ５ ＆ｊる球面収
差とワー−（−ングディスタンスの関係を表わＪ略図で
・ある、。 １．７：内側：ュータ、２：レンスニｊイル、３゜８；
外側ヨーク、４．内側磁極片、５：外側磁極片、６：試
わ１．９ニド部磁極ハ、１０ ： 、１一部磁４か片、
１１：スペーリーー。 特Ｗ１−出願人 ＩＪホ電電子株式層 着表者 伊Ｊ１苓 −人
場強度分布を承り略図、第２図は本発明の１実１ｊ（Ｉ
ｉ例装首の断面図とそのｖｔｘ場強度分布を表わ覆略図
、第３図（Ｊ第２図の実施例装置にｄ５ ＆ｊる球面収
差とワー−（−ングディスタンスの関係を表わＪ略図で
・ある、。 １．７：内側：ュータ、２：レンスニｊイル、３゜８；
外側ヨーク、４．内側磁極片、５：外側磁極片、６：試
わ１．９ニド部磁極ハ、１０ ： 、１一部磁４か片、
１１：スペーリーー。 特Ｗ１−出願人 ＩＪホ電電子株式層 着表者 伊Ｊ１苓 −人
Claims (1)
- ｌＪ］ １ｒｔｌ状の内側ヨークと、該内側ヨークに巻
回されたレンズコイルと、該レンズコイルの夕）側を覆
う形状の外側」−りと、前記内側刊−り及び外側：１−
りの人々の下端に取イ」られた内側磁極片及び外側１稲
極片とを備え、前記内側磁極片及び外側磁極ハの間に流
れる磁束ににつてレンズ揚を形成゛りるレンズにおいて
、６イ１記内側ｌｉ！１極片と外側磁極ｊｉのト昭：面
を一致さけると共に、前記内側磁極）１ｑ）一部にＩτ
１状の間隙を設りたことを特ｔ′ｌｉとづる磁界型しン
・ス゛。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181533A JPS6074250A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 磁界型レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181533A JPS6074250A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 磁界型レンズ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6074250A true JPS6074250A (ja) | 1985-04-26 |
Family
ID=16102433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181533A Pending JPS6074250A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 磁界型レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6074250A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004134379A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム用対物レンズおよび電子顕微鏡システム |
| WO2008107189A2 (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Objective lens |
| WO2021132130A1 (ja) | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 武藤工業株式会社 | インクジェットプリンタ用ｌｅｄランプの照射制御方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54133069A (en) * | 1978-04-07 | 1979-10-16 | Jeol Ltd | Objective lens for scanning electron microscope |
| JPS57118356A (en) * | 1981-01-14 | 1982-07-23 | Jeol Ltd | Objective lens for scan type electron microscope |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58181533A patent/JPS6074250A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54133069A (en) * | 1978-04-07 | 1979-10-16 | Jeol Ltd | Objective lens for scanning electron microscope |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004134379A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-04-30 | Leo Elektronenmikroskopie Gmbh | 電子顕微鏡システム用対物レンズおよび電子顕微鏡システム |
| JP2011222525A (ja) * | 2002-07-19 | 2011-11-04 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 電子顕微鏡システム用対物レンズおよび電子顕微鏡システム |
| WO2008107189A2 (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Objective lens |
| WO2008107189A3 (en) * | 2007-03-06 | 2009-03-05 | Zeiss Carl Nts Gmbh | Objective lens |
| US8178849B2 (en) | 2007-03-06 | 2012-05-15 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Objective lens |
| US8362443B2 (en) | 2007-03-06 | 2013-01-29 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Objective lens |
| WO2021132130A1 (ja) | 2019-12-25 | 2021-07-01 | 武藤工業株式会社 | インクジェットプリンタ用ｌｅｄランプの照射制御方法 |
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