JPS607062U - ガス検知素子 - Google Patents
ガス検知素子Info
- Publication number
- JPS607062U JPS607062U JP9872583U JP9872583U JPS607062U JP S607062 U JPS607062 U JP S607062U JP 9872583 U JP9872583 U JP 9872583U JP 9872583 U JP9872583 U JP 9872583U JP S607062 U JPS607062 U JP S607062U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistance value
- oxide semiconductor
- resistor
- noble metal
- detection element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図a、 bはこの考案の一実施例を示す平面図お
よびA−A線による断面図、第2図は動作回路の一例を
示す図、第3図は合成抵抗値と白金抵抗体の抵抗値の比
に対するガス感度との関係を示す図である。 図中、1はアルミナ基板、2はpt膜電極、3はSnO
2焼結体、4はガス検知素子、5は定電流電源、6は電
圧検出端子である。 補正 昭59. 3.13 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 O実用新案登録請求の範囲 耐熱性、電気絶縁性基板上に形成した貴金属薄膜抵抗体
、または貴金属線コイル抵抗体に酸化物半導体を塗布し
、大気中通電状態での前記いずれかの抵抗体と酸化物半
導体の合成抵抗値Roが前記抵抗体の抵抗値r。に対し
て0. 3<R,/r。<0゜98の範囲にあるように
前記酸化物半導体の粉体の比抵抗値を調整して焼結した
ことを特徴とするガス検知素子。 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第6頁第20行のrA −A線」をrA −A′
線」と補正する。
よびA−A線による断面図、第2図は動作回路の一例を
示す図、第3図は合成抵抗値と白金抵抗体の抵抗値の比
に対するガス感度との関係を示す図である。 図中、1はアルミナ基板、2はpt膜電極、3はSnO
2焼結体、4はガス検知素子、5は定電流電源、6は電
圧検出端子である。 補正 昭59. 3.13 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する。 O実用新案登録請求の範囲 耐熱性、電気絶縁性基板上に形成した貴金属薄膜抵抗体
、または貴金属線コイル抵抗体に酸化物半導体を塗布し
、大気中通電状態での前記いずれかの抵抗体と酸化物半
導体の合成抵抗値Roが前記抵抗体の抵抗値r。に対し
て0. 3<R,/r。<0゜98の範囲にあるように
前記酸化物半導体の粉体の比抵抗値を調整して焼結した
ことを特徴とするガス検知素子。 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第6頁第20行のrA −A線」をrA −A′
線」と補正する。
Claims (1)
- 耐熱性、電気絶縁性基板上に形成した貴金属薄膜抵抗体
、または貴金属線コイル抵抗体に酸化物半導体を塗布し
、通電待ち状態での前記いずれかの抵抗体と酸化物半導
体の合成抵抗値R,が前記抵抗体の抵抗値r。に対して
0.3〈Rolro<0゜98の範囲にあるように前記
酸化物半導体の粉体の抵抗値を調整して焼結したことを
特徴とするガス検知素子。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9872583U JPS607062U (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | ガス検知素子 |
KR1019830006122A KR870001325B1 (ko) | 1982-12-28 | 1983-12-22 | 가스검지소자 |
DE8484300573T DE3476270D1 (en) | 1983-02-03 | 1984-01-30 | Gas sensor |
EP19840300573 EP0115953B1 (en) | 1983-02-03 | 1984-01-30 | Gas sensor |
US06/579,926 US4509034A (en) | 1983-03-22 | 1984-02-14 | Gas sensor |
CA000448323A CA1196990A (en) | 1983-03-22 | 1984-02-27 | Gas sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9872583U JPS607062U (ja) | 1983-06-28 | 1983-06-28 | ガス検知素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS607062U true JPS607062U (ja) | 1985-01-18 |
JPH0220681Y2 JPH0220681Y2 (ja) | 1990-06-05 |
Family
ID=30234270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9872583U Granted JPS607062U (ja) | 1982-12-28 | 1983-06-28 | ガス検知素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS607062U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037361A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | New Cosmos Electric Corp | 半導体式ガス検知素子とその製造方法 |
JP2019002878A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガスセンサおよびガス検知方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3003626B1 (fr) * | 2013-03-20 | 2015-04-17 | Technip France | Panneau de protection pour une installation d'exploitation de fluide a basse temperature, ensemble, installation et procede associes |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5320392A (en) * | 1976-08-10 | 1978-02-24 | Tama Denki Kougiyou Kk | Gas sensor |
JPS5396895A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Nitto Electric Ind Co | Gas sensor element |
JPS5434640A (en) * | 1977-08-23 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Memory unit |
JPS5587941A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-03 | Toshiba Corp | Humidity sensor |
-
1983
- 1983-06-28 JP JP9872583U patent/JPS607062U/ja active Granted
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5320392A (en) * | 1976-08-10 | 1978-02-24 | Tama Denki Kougiyou Kk | Gas sensor |
JPS5396895A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Nitto Electric Ind Co | Gas sensor element |
JPS5434640A (en) * | 1977-08-23 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Memory unit |
JPS5587941A (en) * | 1978-12-27 | 1980-07-03 | Toshiba Corp | Humidity sensor |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037361A (ja) * | 2002-07-05 | 2004-02-05 | New Cosmos Electric Corp | 半導体式ガス検知素子とその製造方法 |
JP2019002878A (ja) * | 2017-06-19 | 2019-01-10 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガスセンサおよびガス検知方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0220681Y2 (ja) | 1990-06-05 |
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