JPS58166248A - 感温感湿素子 - Google Patents
感温感湿素子Info
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- JPS58166248A JPS58166248A JP4858482A JP4858482A JPS58166248A JP S58166248 A JPS58166248 A JP S58166248A JP 4858482 A JP4858482 A JP 4858482A JP 4858482 A JP4858482 A JP 4858482A JP S58166248 A JPS58166248 A JP S58166248A
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- Japan
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- temperature
- sensitive
- humidity
- electrode
- substrate
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、温度および湿度を検出する素子。
すなわち感温感湿素子に感するものである。
従来、温度を検出する素子としては、サーミスタ、熱電
対などの感温素子があった。
対などの感温素子があった。
また、湿度を検出する素子としては、多孔質セラミック
ス、無機電解質、有機電解質などの感湿素子があった。
ス、無機電解質、有機電解質などの感湿素子があった。
しかし、従来は、ある雰囲気の中の温度および湿度を検
知するのに、上述した温度検出素子と湿度検出素子の２
つをそれぞれ別個に使用していた。そのため、取付スペ
ースが、かなり広くなり、また高価になるなどの欠点が
あった。
知するのに、上述した温度検出素子と湿度検出素子の２
つをそれぞれ別個に使用していた。そのため、取付スペ
ースが、かなり広くなり、また高価になるなどの欠点が
あった。
この発明は、前述のように従来は２つの素子を用いてい
たのを改善して、１つの素子で温度および湿度を検出で
きるように、従来の温度検出すなわち感温材料と湿度検
出すなわち感湿材料とを一体化して、２つの素子を用い
るのに比べ、設置スペースが小さくてすみ、かつ取付け
が簡易にでき、安価な感温感湿素子を提供することを目
的としている。
たのを改善して、１つの素子で温度および湿度を検出で
きるように、従来の温度検出すなわち感温材料と湿度検
出すなわち感湿材料とを一体化して、２つの素子を用い
るのに比べ、設置スペースが小さくてすみ、かつ取付け
が簡易にでき、安価な感温感湿素子を提供することを目
的としている。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図（Ａ）、 （Ｂ）はこの発明の一実施例を示す。
これらの区において、（ｌ）は感湿材料からなる累子基
板であり、前記感湿材料としては、水酸アパタイトｅ
Ｔ ｌ ０２ ｅ ｚｎ Ｏ＊ リチウムフェラ
イトなどの高温でも安定な多孔質セラミックが用いられ
、これらを２００〜４００μ程度の厚みに焼結体から切
９出し、研磨したものか、グリーンシートを焼成したも
のなどが素子基板として用いられる。ｉ＠１図＜Ａ）に
示すように、前記素子基板（１）の表面に、ＲｕＯ２ペ
ースト、金ペーストからなる多孔質面電極（２ａ） ＋
（２ｂ） （第２．第３電。
板であり、前記感湿材料としては、水酸アパタイトｅ
Ｔ ｌ ０２ ｅ ｚｎ Ｏ＊ リチウムフェラ
イトなどの高温でも安定な多孔質セラミックが用いられ
、これらを２００〜４００μ程度の厚みに焼結体から切
９出し、研磨したものか、グリーンシートを焼成したも
のなどが素子基板として用いられる。ｉ＠１図＜Ａ）に
示すように、前記素子基板（１）の表面に、ＲｕＯ２ペ
ースト、金ペーストからなる多孔質面電極（２ａ） ＋
（２ｂ） （第２．第３電。
極）をある間隔で互に分離させて設ける。なお。
前記両電極（２１Ｌ） ｍ （２１））間の間隔は後述
する感温材料の抵抗値によって、任意に変えるものとす
る。第１図（Ｂｌに示すように、前記素子基板（１）の
裏面には、これのほぼ全面に多孔質面電極（２ｃ） （
第１電極）を設ける。または表面と同様に分離してもよ
い。（３）は素子基板（１）表面の多孔質面電極（２ａ
） 、 （２ｂ）間に、これらの’［Ｖ７！（２ａ）。
する感温材料の抵抗値によって、任意に変えるものとす
る。第１図（Ｂｌに示すように、前記素子基板（１）の
裏面には、これのほぼ全面に多孔質面電極（２ｃ） （
第１電極）を設ける。または表面と同様に分離してもよ
い。（３）は素子基板（１）表面の多孔質面電極（２ａ
） 、 （２ｂ）間に、これらの’［Ｖ７！（２ａ）。
（２ｂ）に一部を重ねて、スクリーン印刷、蒸着などに
よって設けられる温体材料である。この感温材料（３）
としては、遷移金属の酸化物が好ましい。
よって設けられる温体材料である。この感温材料（３）
としては、遷移金属の酸化物が好ましい。
ま−ａ、 （４１，（５）、 （６）は電極（２ａ）
ｌ （２ｂ） Ｉ Ｃ２ｃ）Ｋそれぞれ接続したリード
線である。電極を多孔質和する理由は、素子基板（１１
の面に設けられ友電極を通して水蒸気が感湿材料に到達
しゃすくするためである。
ｌ （２ｂ） Ｉ Ｃ２ｃ）Ｋそれぞれ接続したリード
線である。電極を多孔質和する理由は、素子基板（１１
の面に設けられ友電極を通して水蒸気が感湿材料に到達
しゃすくするためである。
したがって電極は多孔質以外に開孔、スリットを多数設
けた構造のものでもよい。
けた構造のものでもよい。
前述のように構成した感温感湿素子で、湿度を検出する
場合には、リード線（４）と（５）とを短絡させ、電極
（”） ｗ （”ｂ）を同電位にし、これと電極（２Ｃ
）との間の電気抵抗を測定する。なお。
場合には、リード線（４）と（５）とを短絡させ、電極
（”） ｗ （”ｂ）を同電位にし、これと電極（２Ｃ
）との間の電気抵抗を測定する。なお。
リード線（４）と（５）とは短絡させなくてもよいが。
この場合には電気抵抗値が高くなる。又裏面も分離電極
にする場合は９表面、裏面の分離電極をそれぞれ短絡し
９両者の間の抵抗を副足するのが好ましい。そして、相
対湿度０−１００％に対応する電気抵抗値は、感湿材料
によって異なるが、水酸アパタイトでは素子基板（１１
の大きさが４．５ Ｘ ４５ Ｘ （１，３關のもので
、１０８〜１０’Ω程度となる。
にする場合は９表面、裏面の分離電極をそれぞれ短絡し
９両者の間の抵抗を副足するのが好ましい。そして、相
対湿度０−１００％に対応する電気抵抗値は、感湿材料
によって異なるが、水酸アパタイトでは素子基板（１１
の大きさが４．５ Ｘ ４５ Ｘ （１，３關のもので
、１０８〜１０’Ω程度となる。
温度を検出する場合には、電極（２ａ） 、 （２ｂ）
間すなわちリード線＋４１ 、 （５１間の′電気抵抗
を測定する。感温材料としてＮ１−ｃｕ系酸化物を用い
たときの電気抵抗は、電極間隔３００μで０（〕〜２０
０ ’（１０間で１０３〜１Ω程Ｉｆ変化する。
間すなわちリード線＋４１ 、 （５１間の′電気抵抗
を測定する。感温材料としてＮ１−ｃｕ系酸化物を用い
たときの電気抵抗は、電極間隔３００μで０（〕〜２０
０ ’（１０間で１０３〜１Ω程Ｉｆ変化する。
なお感温材料（３）は、電極（２ａ）と電極（２ｂ）上
に設けたが、素子基板ｉｌｌ上に設け、その上Ｖこ電極
（２ａ）と電極（２ｂ）を設けても工い。このとき素子
基板（１）には、感協材料（３）を電極（２ａ）と電極
（２ｂ）の一部に接触する大きさに制限して設置ｒ。
に設けたが、素子基板ｉｌｌ上に設け、その上Ｖこ電極
（２ａ）と電極（２ｂ）を設けても工い。このとき素子
基板（１）には、感協材料（３）を電極（２ａ）と電極
（２ｂ）の一部に接触する大きさに制限して設置ｒ。
素子基板（１）への水蒸気の到達を容易にする。
又、この発明において感温材料で素子基板を構成し、温
湿材料を分離させた電極を挾んで設けても前述した実施
例のものと同様な作用が得られる。
湿材料を分離させた電極を挾んで設けても前述した実施
例のものと同様な作用が得られる。
第２図はこの発明の他の実施例を示す。この実施例の感
温感湿素子は１ｇ温湿材料たは温湿材料の一万からなる
筒状の素子基板（１１の外周面に多孔質面１極（２ａ）
ｔ （２ｂ）が互に分離して設けられ、前記素子基板
（１１の内周面に多孔質面電極（２Ｃ）が設けられ、互
に分離した前記１１ｆｆｌ（２ａ）。
温感湿素子は１ｇ温湿材料たは温湿材料の一万からなる
筒状の素子基板（１１の外周面に多孔質面１極（２ａ）
ｔ （２ｂ）が互に分離して設けられ、前記素子基板
（１１の内周面に多孔質面電極（２Ｃ）が設けられ、互
に分離した前記１１ｆｆｌ（２ａ）。
（２ｂ）間には、これらに一部を重ね合せて感會、材料
または感湿材料の他方（３）が設けられてい、る。なお
図中、 （４１，（５）、 （６）はリード線である。
または感湿材料の他方（３）が設けられてい、る。なお
図中、 （４１，（５）、 （６）はリード線である。
そして。
この実施例でも第１図（Ａ） ｅ （Ｂ）に示す実施例
のものと同様な作用が得られる。
のものと同様な作用が得られる。
以上説明したように、この発明によれば、温度および湿
度の検出を１つの感温感湿素子で行なうことができ、し
かも従来から用いられている安定性が高くしかも安１Ｉ
ｆｌＩな材料を用いることができるため、２つの素子を
用いるのに比べ。
度の検出を１つの感温感湿素子で行なうことができ、し
かも従来から用いられている安定性が高くしかも安１Ｉ
ｆｌＩな材料を用いることができるため、２つの素子を
用いるのに比べ。
設置スペースが小さくてすみ、取付けが簡易にでき、高
い信頼性をもつ安価な感温感湿素子を提供できるという
効果がある。
い信頼性をもつ安価な感温感湿素子を提供できるという
効果がある。
第１図（Ａｌ 、 （Ｂ）けこの発明の一実施例による
感温感湿素子を示す表面側、裏面側斜袂嫡、第２図はこ
の発明の他の実施例による感温感湿素子を示す斜視図で
ある。 ＋１１−素子基板、（２ａ）、（２ｂ）、（２ｃ）・・
・多孔質面電極すなわち第２．第３．第１電極、（３）
・・・感温または感湿材料、 １４１ 、 （５） 、
（６１・・・リード線。 なお９図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図 第２図
感温感湿素子を示す表面側、裏面側斜袂嫡、第２図はこ
の発明の他の実施例による感温感湿素子を示す斜視図で
ある。 ＋１１−素子基板、（２ａ）、（２ｂ）、（２ｃ）・・
・多孔質面電極すなわち第２．第３．第１電極、（３）
・・・感温または感湿材料、 １４１ 、 （５） 、
（６１・・・リード線。 なお９図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １０ 感温または感湿材料の一方からなる素子基板、
この基板の一面に設けた第１ ｗＬＷ、この基板の他面
に間隔を置いて設けた第２および第３電極、これら第２
および第３電極と接触させて上記素子基板に設けた感温
または感湿材料の他方を備えた感温感湿素子。 （２） 電極は多孔質面電極である特許請求の範囲第
１項記載の感温感湿素子。 （３）％許請求の範囲第１項または第２項記載のものに
おいて、第２および第３１１Ｌ極上に感温または感湿材
料の他方を設けた感温感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4858482A JPS58166248A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 感温感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4858482A JPS58166248A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 感温感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58166248A true JPS58166248A (ja) | 1983-10-01 |
Family
ID=12807445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4858482A Pending JPS58166248A (ja) | 1982-03-26 | 1982-03-26 | 感温感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58166248A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104062322A (zh) * | 2014-07-10 | 2014-09-24 | 苏州能斯达电子科技有限公司 | 一种湿度传感器及其制备方法 |
| CN104122305A (zh) * | 2014-07-28 | 2014-10-29 | 黑龙江大学 | 一种用于检测NOx的稀土掺杂改性的石墨烯复合材料气敏元件及其制备方法 |
-
1982
- 1982-03-26 JP JP4858482A patent/JPS58166248A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104062322A (zh) * | 2014-07-10 | 2014-09-24 | 苏州能斯达电子科技有限公司 | 一种湿度传感器及其制备方法 |
| CN104122305A (zh) * | 2014-07-28 | 2014-10-29 | 黑龙江大学 | 一种用于检测NOx的稀土掺杂改性的石墨烯复合材料气敏元件及其制备方法 |
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