JPH06308076A - 固体電解質ガスセンサ - Google Patents
固体電解質ガスセンサInfo
- Publication number
- JPH06308076A JPH06308076A JP5100721A JP10072193A JPH06308076A JP H06308076 A JPH06308076 A JP H06308076A JP 5100721 A JP5100721 A JP 5100721A JP 10072193 A JP10072193 A JP 10072193A JP H06308076 A JPH06308076 A JP H06308076A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid electrolyte
- base material
- gas sensor
- heater
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 固体電解質を用いたガスセンサがコンパクト
に形成できてその作製も容易にでき、複数種のガス検知
にも好適に利用できる。 【構成】 固体電解質の基材１０に、特定のガスを検知
するための検知電極１２、参照電極１４および外部接続
用のアウターリード２０、２２等の導体部と、前記固体
電解質の基材１０を所要温度まで加熱するためのヒータ
部２４が設けられる。
に形成できてその作製も容易にでき、複数種のガス検知
にも好適に利用できる。 【構成】 固体電解質の基材１０に、特定のガスを検知
するための検知電極１２、参照電極１４および外部接続
用のアウターリード２０、２２等の導体部と、前記固体
電解質の基材１０を所要温度まで加熱するためのヒータ
部２４が設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はジルコニアセラミックス
等の固体電解質材料を用いた固体電解質ガスセンサに関
する。
等の固体電解質材料を用いた固体電解質ガスセンサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】固体電解質材料はイオン伝導性が高いと
いう特性を有することから、その特性を生かしてガスセ
ンサに利用されている。たとえば、ジルコニアセラミッ
クスは酸素イオンの伝導性を有することから酸素ガスセ
ンサとしての適応性があり、実際に酸素濃度検出用セン
サとして用いられている。ジルコニアセラミックスを用
いて酸素ガスセンサを構成した例としては、図５に示す
ようにジルコニアセラミックスの筒体４を用いて筒体４
の内面と外面に白金の電極５、６を被着し、筒体４内に
被検ガスを流通させ電極５、６間の起電力を検出するよ
うにしたものがある。
いう特性を有することから、その特性を生かしてガスセ
ンサに利用されている。たとえば、ジルコニアセラミッ
クスは酸素イオンの伝導性を有することから酸素ガスセ
ンサとしての適応性があり、実際に酸素濃度検出用セン
サとして用いられている。ジルコニアセラミックスを用
いて酸素ガスセンサを構成した例としては、図５に示す
ようにジルコニアセラミックスの筒体４を用いて筒体４
の内面と外面に白金の電極５、６を被着し、筒体４内に
被検ガスを流通させ電極５、６間の起電力を検出するよ
うにしたものがある。
【０００３】この酸素ガスセンサの作用はジルコニアセ
ラミックスの両面で酸素濃度が異なると酸素イオンがジ
ルコニアセラミックス中を移動し、両面で起電力が生じ
ることからこれを測定することによって酸素ガス濃度を
検知するものである。したがって、ガスセンサの検知能
率を上げるためにはイオン伝導性を良くする必要があ
り、固体電解質を用いたガスセンサを実際に使用する場
合は数百度以上に加熱して使用している。
ラミックスの両面で酸素濃度が異なると酸素イオンがジ
ルコニアセラミックス中を移動し、両面で起電力が生じ
ることからこれを測定することによって酸素ガス濃度を
検知するものである。したがって、ガスセンサの検知能
率を上げるためにはイオン伝導性を良くする必要があ
り、固体電解質を用いたガスセンサを実際に使用する場
合は数百度以上に加熱して使用している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように固体電解
質材料を用いたガスセンサは使用の際は高温に加熱する
必要があるから、前記酸素ガスセンサではジルコニアセ
ラミックスの筒体４の外側にニクロム線ヒータ７を設置
して筒体４を加熱するようにしている。なお、８は熱電
対である。このため、従来のガスセンサは装置が大型に
なり、構成も複雑になるという問題点があった。
質材料を用いたガスセンサは使用の際は高温に加熱する
必要があるから、前記酸素ガスセンサではジルコニアセ
ラミックスの筒体４の外側にニクロム線ヒータ７を設置
して筒体４を加熱するようにしている。なお、８は熱電
対である。このため、従来のガスセンサは装置が大型に
なり、構成も複雑になるという問題点があった。
【０００５】本発明者は従来の固体電解質ガスセンサに
おける問題点を解消すべく本発明をなしたものであり、
その目的とするところは、センサの構造を単純化してコ
ンパクトに形成することができ、ガスセンサとして手軽
に取り扱うことができ、製造も容易な固体電解質ガスセ
ンサを提供しようとするものである。
おける問題点を解消すべく本発明をなしたものであり、
その目的とするところは、センサの構造を単純化してコ
ンパクトに形成することができ、ガスセンサとして手軽
に取り扱うことができ、製造も容易な固体電解質ガスセ
ンサを提供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、固体電解質の基
材上に、特定のガスを検知するための検知電極、参照電
極および外部接続用のアウターリード等の導体部と、前
記固体電解質の基材を所要温度まで加熱するためのヒー
タ部が設けられたことを特徴とする。また、前記固体電
解質の基材上に異種のガスを検知するための複数の検知
部が設けられ、該検知部の各々に特定ガスを検知するた
めのセンサを配置したことを特徴とする。また、前記固
体電解質の基材の一方の面に検知部を設け、前記基材の
他方の面に前記検知部に配置したセンサの各々に共通に
利用する参照電極を設けたことを特徴とする。また、前
記固体電解質の基材がジルコニアセラミックスであり、
基材の一方の面に検知電極が設けられ他方の面に参照電
極が設けられたことを特徴とする。
するため次の構成を備える。すなわち、固体電解質の基
材上に、特定のガスを検知するための検知電極、参照電
極および外部接続用のアウターリード等の導体部と、前
記固体電解質の基材を所要温度まで加熱するためのヒー
タ部が設けられたことを特徴とする。また、前記固体電
解質の基材上に異種のガスを検知するための複数の検知
部が設けられ、該検知部の各々に特定ガスを検知するた
めのセンサを配置したことを特徴とする。また、前記固
体電解質の基材の一方の面に検知部を設け、前記基材の
他方の面に前記検知部に配置したセンサの各々に共通に
利用する参照電極を設けたことを特徴とする。また、前
記固体電解質の基材がジルコニアセラミックスであり、
基材の一方の面に検知電極が設けられ他方の面に参照電
極が設けられたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】固体電解質材料を用いた基材に検知電極、参照
電極等の所要の導体部とヒータ部を一体に形成したこと
によって、ガスセンサ用のデバイスをコンパクトに形成
でき、従来のセラミックの焼成方法とセラミック体への
導体部の形成方法が好適に適用でき固体電解質を利用し
たガスセンサを容易に作製することができる。また、異
種ガス成分を検知するため複数種のセンサを同一基材上
に配置することができ、一つのデバイスで複数種類のガ
スを検知することが可能になる。
電極等の所要の導体部とヒータ部を一体に形成したこと
によって、ガスセンサ用のデバイスをコンパクトに形成
でき、従来のセラミックの焼成方法とセラミック体への
導体部の形成方法が好適に適用でき固体電解質を利用し
たガスセンサを容易に作製することができる。また、異
種ガス成分を検知するため複数種のセンサを同一基材上
に配置することができ、一つのデバイスで複数種類のガ
スを検知することが可能になる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図１および図２は本発明に係る
固体電解質ガスセンサの実施例として酸素ガスセンサを
構成した例を示す。図１はセンサの断面図、図２は平面
図である。実施例のセンサは固体電解質材料としてジル
コニアセラミックスを使用したもので、イットリアで安
定化したジルコニアを用いて焼成して成る。図で１０は
ジルコニアセラミックスの基材で、１２は基材１０の上
面に設けた検知電極、１４は基材１０の下面に設けた参
照電極である。
づいて詳細に説明する。図１および図２は本発明に係る
固体電解質ガスセンサの実施例として酸素ガスセンサを
構成した例を示す。図１はセンサの断面図、図２は平面
図である。実施例のセンサは固体電解質材料としてジル
コニアセラミックスを使用したもので、イットリアで安
定化したジルコニアを用いて焼成して成る。図で１０は
ジルコニアセラミックスの基材で、１２は基材１０の上
面に設けた検知電極、１４は基材１０の下面に設けた参
照電極である。
【０００９】図示するように基材１０の上下面には基材
１０と同材料を用いて各々矩形の枠体部１６、１８を一
体に焼成して形成する。検知電極１２および参照電極１
４はこの枠体部１６、１８の内側の基材１０の表面に設
け、検知電極１２および参照電極１４と電気的に導通す
るアウターリード２０、２２を基材１０の上面および下
面に設ける。アウターリード２０、２２は基材１０の外
縁部まで引き出され、外部接続用として用いられる。
１０と同材料を用いて各々矩形の枠体部１６、１８を一
体に焼成して形成する。検知電極１２および参照電極１
４はこの枠体部１６、１８の内側の基材１０の表面に設
け、検知電極１２および参照電極１４と電気的に導通す
るアウターリード２０、２２を基材１０の上面および下
面に設ける。アウターリード２０、２２は基材１０の外
縁部まで引き出され、外部接続用として用いられる。
【００１０】２４は枠体部１６、１８の表面に設けたヒ
ータ部である。ヒータ部２４は図２に示すように枠体部
１６、１８の頂部面の全体に設け、ヒータ部２４と電気
的に接続するヒータ用リード２６を基材１０の表面に設
ける。ヒータ用リード２６はヒータ部２４の縁部から枠
体部１６、１８の外側面を通り、基材１０の外縁部まで
引き出される。
ータ部である。ヒータ部２４は図２に示すように枠体部
１６、１８の頂部面の全体に設け、ヒータ部２４と電気
的に接続するヒータ用リード２６を基材１０の表面に設
ける。ヒータ用リード２６はヒータ部２４の縁部から枠
体部１６、１８の外側面を通り、基材１０の外縁部まで
引き出される。
【００１１】ヒータ部２４、ヒータ用リード２６、検知
電極１２、参照電極１４およびアウターリード２０、２
２は基材１０および枠体部１６、１８に形成する導体部
であるが、実施例ではこれら導体部を白金で形成した。
酸素ガスを実際に検知する場合には基材１０および導体
部全体が高温になるから、導体部としては耐熱性があっ
て信頼性の高い金属を使用する必要があるからである。
なお、白金以外の適宜導体金属を用いてももちろんかま
わない。
電極１２、参照電極１４およびアウターリード２０、２
２は基材１０および枠体部１６、１８に形成する導体部
であるが、実施例ではこれら導体部を白金で形成した。
酸素ガスを実際に検知する場合には基材１０および導体
部全体が高温になるから、導体部としては耐熱性があっ
て信頼性の高い金属を使用する必要があるからである。
なお、白金以外の適宜導体金属を用いてももちろんかま
わない。
【００１２】上記のような固体電解質ガスセンサを形成
する場合には、半導体装置用パッケージとして用いられ
るセラミックパッケージの製造技術が有効に利用でき
る。すなわち、基材１０、枠体部１６、１８を形成する
複数枚のジルコニアセラミックスのグリーンシートに検
知電極１２、参照電極１４、アウターリード２０、２
２、ヒータ部２４、ヒータ用リード２６等の導体パター
ンを白金メタライズにより形成し、これらを積層して焼
成することにより固体電解質ガスセンサを得ることがで
きる。
する場合には、半導体装置用パッケージとして用いられ
るセラミックパッケージの製造技術が有効に利用でき
る。すなわち、基材１０、枠体部１６、１８を形成する
複数枚のジルコニアセラミックスのグリーンシートに検
知電極１２、参照電極１４、アウターリード２０、２
２、ヒータ部２４、ヒータ用リード２６等の導体パター
ンを白金メタライズにより形成し、これらを積層して焼
成することにより固体電解質ガスセンサを得ることがで
きる。
【００１３】上記実施例の固体電解質ガスセンサは検知
電極１２と参照電極１４の両側における酸素濃度の相違
を検知するから、検知電極１２側と参照電極１４側を別
々の遮断空間にすることによって酸素濃度の相違を検知
することができる。酸素濃度を測定する際にはヒータ部
２４に通電して基材１０を加熱するとともに、検知電極
１２と参照電極１４との間で生じる起電力を検知するこ
とによって行う。ヒータ部２４は枠体部１６、１８に被
着されているから基材１０へ直接的に熱伝導し、ヒータ
用リード２６からの通電により容易に500 〜700 ℃の高
温に基材１０（ジルコニアセラミックス）を加熱するこ
とができ、効果的な測定を行うことができる。
電極１２と参照電極１４の両側における酸素濃度の相違
を検知するから、検知電極１２側と参照電極１４側を別
々の遮断空間にすることによって酸素濃度の相違を検知
することができる。酸素濃度を測定する際にはヒータ部
２４に通電して基材１０を加熱するとともに、検知電極
１２と参照電極１４との間で生じる起電力を検知するこ
とによって行う。ヒータ部２４は枠体部１６、１８に被
着されているから基材１０へ直接的に熱伝導し、ヒータ
用リード２６からの通電により容易に500 〜700 ℃の高
温に基材１０（ジルコニアセラミックス）を加熱するこ
とができ、効果的な測定を行うことができる。
【００１４】本実施例の固体電解質ガスセンサはジルコ
ニアセラミックスの基材１０に検知電極１２および参照
電極１４を設け、かつヒータ部２４をジルコニアセラミ
ックスによる酸素ガスの検知部に接近させて配置したか
ら、酸素ガスの検知部を容易に高温に加熱して有効な測
定を可能にするとともに、構成的にもジルコニアセラミ
ックスの基材１０に導体部を作り込んだ形態としたこと
で単純化してコンパクトに形成でき、製造も容易で、か
つ取扱いも容易なガスセンサデバイスとして使用するこ
とが可能である。
ニアセラミックスの基材１０に検知電極１２および参照
電極１４を設け、かつヒータ部２４をジルコニアセラミ
ックスによる酸素ガスの検知部に接近させて配置したか
ら、酸素ガスの検知部を容易に高温に加熱して有効な測
定を可能にするとともに、構成的にもジルコニアセラミ
ックスの基材１０に導体部を作り込んだ形態としたこと
で単純化してコンパクトに形成でき、製造も容易で、か
つ取扱いも容易なガスセンサデバイスとして使用するこ
とが可能である。
【００１５】上記実施例の固体電解質ガスセンサは酸素
ガス濃度を検出するため固体電解質としてジルコニアセ
ラミックスを使用し、基材１０を挟んだ位置に検知電極
１２と参照電極１４を配置することによって酸素ガスの
検知部を設けた。しかし、基材１０に任意のパターンで
導体部を形成することは容易にできるし、枠体部等の基
材部分の形状も任意に設定できるからデザインの異なる
デバイスを容易に提供することができる。そして、基材
上での導体部のパターンや枠体部の形状を適宜設定し、
特定のガス検知用の検知部を基材１０上に設けることに
よって、異種類のガスを検知する複合型のガスセンサを
構成することが可能になる。
ガス濃度を検出するため固体電解質としてジルコニアセ
ラミックスを使用し、基材１０を挟んだ位置に検知電極
１２と参照電極１４を配置することによって酸素ガスの
検知部を設けた。しかし、基材１０に任意のパターンで
導体部を形成することは容易にできるし、枠体部等の基
材部分の形状も任意に設定できるからデザインの異なる
デバイスを容易に提供することができる。そして、基材
上での導体部のパターンや枠体部の形状を適宜設定し、
特定のガス検知用の検知部を基材１０上に設けることに
よって、異種類のガスを検知する複合型のガスセンサを
構成することが可能になる。
【００１６】図３および図４は酸素ガスの他に異種類の
ガスを同時に検知できるよう構成した固体電解質ガスセ
ンサの実施例を示す。このセンサも固体電解質としてジ
ルコニアセラミックスを使用し、ジルコニアセラミック
スを焼成して基材１０とする。図４に示すように実施例
のデバイスは上記実施例と同様に基材１０上に枠体部１
６を設けるとともに枠体部１６の中側に十字の仕切り部
２８を設けて枠体部１６の中側を４つの検知部に分離し
ている。
ガスを同時に検知できるよう構成した固体電解質ガスセ
ンサの実施例を示す。このセンサも固体電解質としてジ
ルコニアセラミックスを使用し、ジルコニアセラミック
スを焼成して基材１０とする。図４に示すように実施例
のデバイスは上記実施例と同様に基材１０上に枠体部１
６を設けるとともに枠体部１６の中側に十字の仕切り部
２８を設けて枠体部１６の中側を４つの検知部に分離し
ている。
【００１７】４つの検知部には各々異なる種類のガスを
検知するためのセンサを設けることが可能であり、これ
によって同時に４種類のガスを検知することが可能にな
る。図４で１２は上記実施例と同様の構成によって酸素
ガスを検知するための検知電極である。図３に示すよう
に基材１０の下面には上記実施例と同様な枠体部１８が
設けられており、枠体部１８の中側には全面に参照電極
１４が設けられている。これによって、検知電極１２部
分ではジルコニアセラミックスを検知電極１２と参照電
極１４で挟んだ酸素ガスセンサを構成する。
検知するためのセンサを設けることが可能であり、これ
によって同時に４種類のガスを検知することが可能にな
る。図４で１２は上記実施例と同様の構成によって酸素
ガスを検知するための検知電極である。図３に示すよう
に基材１０の下面には上記実施例と同様な枠体部１８が
設けられており、枠体部１８の中側には全面に参照電極
１４が設けられている。これによって、検知電極１２部
分ではジルコニアセラミックスを検知電極１２と参照電
極１４で挟んだ酸素ガスセンサを構成する。
【００１８】３０、３２、３４は仕切り部２８と枠体部
１６によって仕切られた残りの３つの検知部で基材１０
上に設けた酸素ガス以外のガスを検知するためのセンサ
である。センサ３０、３２、３４で検知するガスとして
はたとえば、ＳＯx 、ＣＯX、ＮＯX といったガスを対
象とすることができる。これらのガスを検知するための
センサは各々のガスイオンについてそのイオン伝導性を
有する固体電解質をジルコニアセラミックスの基材１０
上に形成し、固体電解質の最上層に接続用の電極を設け
る。
１６によって仕切られた残りの３つの検知部で基材１０
上に設けた酸素ガス以外のガスを検知するためのセンサ
である。センサ３０、３２、３４で検知するガスとして
はたとえば、ＳＯx 、ＣＯX、ＮＯX といったガスを対
象とすることができる。これらのガスを検知するための
センサは各々のガスイオンについてそのイオン伝導性を
有する固体電解質をジルコニアセラミックスの基材１０
上に形成し、固体電解質の最上層に接続用の電極を設け
る。
【００１９】各々のセンサ３０、３２、３４から信号を
取り出すため、各々のセンサ３０、３２、３４に対して
基材１０の上面にアウターリード３６、３８、４０を設
け、各々のセンサ３０、３２、３４と各々のアウターリ
ード３６、３８、４０をワイヤボンディングによって接
続する。各センサ３０、３２、３４の参照電極について
は基材１０の下面に設けた参照電極１４を共通に利用す
ることができる。
取り出すため、各々のセンサ３０、３２、３４に対して
基材１０の上面にアウターリード３６、３８、４０を設
け、各々のセンサ３０、３２、３４と各々のアウターリ
ード３６、３８、４０をワイヤボンディングによって接
続する。各センサ３０、３２、３４の参照電極について
は基材１０の下面に設けた参照電極１４を共通に利用す
ることができる。
【００２０】なお、ヒータ部２４は基材１０の下面側で
は枠体部１８に設け、基材１０の上面側では仕切り部２
８の上面に設ける。測定に際してはヒータ部２４によっ
て各検知部を加熱しイオン伝導性を良好にして検査す
る。本実施例のガスセンサの場合は、基材１０上に異な
る種類のガスを検知できるセンサを設置することがで
き、酸素ガスに加えて他の種類のガスをも検知すること
が可能になる。
は枠体部１８に設け、基材１０の上面側では仕切り部２
８の上面に設ける。測定に際してはヒータ部２４によっ
て各検知部を加熱しイオン伝導性を良好にして検査す
る。本実施例のガスセンサの場合は、基材１０上に異な
る種類のガスを検知できるセンサを設置することがで
き、酸素ガスに加えて他の種類のガスをも検知すること
が可能になる。
【００２１】前述したように基材１０に形成する導体部
等のパターンは任意に設定できるから、センサ３０、３
２、３４等を配置する検知部等の配置も種々の変更が可
能である。基材１０に設定する検知部の数をさらに増や
すことによって、さらに多種類のガスを検知できるよう
にすることも可能である。このように、本発明に係る固
体電解質ガスセンサはデバイスのデザインとして任意の
パターンを選択することができ、これによって多用途に
適用できるという特徴がある。
等のパターンは任意に設定できるから、センサ３０、３
２、３４等を配置する検知部等の配置も種々の変更が可
能である。基材１０に設定する検知部の数をさらに増や
すことによって、さらに多種類のガスを検知できるよう
にすることも可能である。このように、本発明に係る固
体電解質ガスセンサはデバイスのデザインとして任意の
パターンを選択することができ、これによって多用途に
適用できるという特徴がある。
【００２２】なお、上記各実施例の固体電解質ガスセン
サは適宜用途に応じてガスセンサを組み込んだデバイス
として提供でき、その使用方法はとくに限定されない。
図１にはデバイスの例としてキャップ状に形成したケー
ス４２の端面にガスセンサを封着した例を示す。
サは適宜用途に応じてガスセンサを組み込んだデバイス
として提供でき、その使用方法はとくに限定されない。
図１にはデバイスの例としてキャップ状に形成したケー
ス４２の端面にガスセンサを封着した例を示す。
【００２３】上記各実施例では固体電解質としてジルコ
ニアセラミックスを使用した例について説明したが、本
発明に係る固体電解質ガスセンサは基材としてジルコニ
アセラミックスを使用するものに限定されるものではな
い。ガスイオンの伝導性の良好な固体電解質を用いれ
ば、同様の構成によって酸素以外のガスセンサとしても
もちろん使用することが可能である。
ニアセラミックスを使用した例について説明したが、本
発明に係る固体電解質ガスセンサは基材としてジルコニ
アセラミックスを使用するものに限定されるものではな
い。ガスイオンの伝導性の良好な固体電解質を用いれ
ば、同様の構成によって酸素以外のガスセンサとしても
もちろん使用することが可能である。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係る固体電解質ガスセンサによ
れば、上述したように、固体電解質の基材に検知電極、
参照電極等の所要の導体部とヒータ部を一体に形成した
ことによって小型で簡易な構成とすることができる。ま
た、公知のセラミックの焼成方法等を適用することによ
って導体部の形状等を任意のパターンで作製でき、容易
に種々用途に適応することが可能になる。また、異種ガ
ス成分を検知するための複数のセンサを同一基材上に組
み込むことも容易に可能であり、一つのデバイスで複数
種類のガス検知が可能になる。また、基材の固体電解質
としてジルコニアセラミックスを使用したセンサは酸素
ガスセンサとして好適に利用できる等の著効を奏する。
れば、上述したように、固体電解質の基材に検知電極、
参照電極等の所要の導体部とヒータ部を一体に形成した
ことによって小型で簡易な構成とすることができる。ま
た、公知のセラミックの焼成方法等を適用することによ
って導体部の形状等を任意のパターンで作製でき、容易
に種々用途に適応することが可能になる。また、異種ガ
ス成分を検知するための複数のセンサを同一基材上に組
み込むことも容易に可能であり、一つのデバイスで複数
種類のガス検知が可能になる。また、基材の固体電解質
としてジルコニアセラミックスを使用したセンサは酸素
ガスセンサとして好適に利用できる等の著効を奏する。
【図１】固体電解質ガスセンサの一実施例の断面図であ
る。
る。
【図２】固体電解質ガスセンサの一実施例の平面図であ
る。
る。
【図３】固体電解質ガスセンサの他の実施例の断面図で
ある。
ある。
【図４】固体電解質ガスセンサの他の実施例の平面図で
ある。
ある。
【図５】固体電解質ガスセンサの従来例の構成を示す説
明図である。
明図である。
４ ジルコニアセラミックスの筒体 ５、６ 電極 １０ 基材 １２ 検知電極 １４ 参照電極 １６、１８ 枠体部 ２０、２２ アウターリード ２４ ヒータ部 ２６ ヒータ用リード ２８ 仕切り部 ３０、３２、３４ センサ ３６、３８、４０ アウターリード
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年９月１３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】３０、３２、３４は仕切り部２８と枠体部
１６によって仕切られた残りの３つの検知部で基材１０
上に設けた酸素ガス以外のガスを検知するためのセンサ
である。センサ３０、３２、３４で検知するガスとして
はたとえば、ＳＯx 、ＣＯX、ＮＯX といったガスを対
象とすることができる。これらのガスを検知するための
センサは各々のガスイオンについてそのイオン伝導性を
有する固体電解質を副電極としてジルコニアセラミック
スの基材１０上に形成し、固体電解質の最上層に接続用
の電極を設ける。
１６によって仕切られた残りの３つの検知部で基材１０
上に設けた酸素ガス以外のガスを検知するためのセンサ
である。センサ３０、３２、３４で検知するガスとして
はたとえば、ＳＯx 、ＣＯX、ＮＯX といったガスを対
象とすることができる。これらのガスを検知するための
センサは各々のガスイオンについてそのイオン伝導性を
有する固体電解質を副電極としてジルコニアセラミック
スの基材１０上に形成し、固体電解質の最上層に接続用
の電極を設ける。
Claims (4)
- 【請求項１】 固体電解質の基材上に、特定のガスを検
知するための検知電極、参照電極および外部接続用のア
ウターリード等の導体部と、前記固体電解質の基材を所
要温度まで加熱するためのヒータ部が設けられたことを
特徴とする固体電解質ガスセンサ。 - 【請求項２】 固体電解質の基材上に異種のガスを検知
するための複数の検知部が設けられ、該検知部の各々に
特定ガスを検知するためのセンサを配置したことを特徴
とする請求項１記載の固体電解質ガスセンサ。 - 【請求項３】 固体電解質の基材の一方の面に検知部を
設け、前記基材の他方の面に前記検知部に配置したセン
サの各々に共通に利用する参照電極を設けたことを特徴
とする請求項２記載の固体電解質ガスセンサ。 - 【請求項４】 固体電解質の基材がジルコニアセラミッ
クスであり、基材の一方の面に検知電極が設けられ他方
の面に参照電極が設けられたことを特徴とする酸素ガス
検知用の請求項１記載の固体電解質ガスセンサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5100721A JPH06308076A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 固体電解質ガスセンサ |
| US08/236,021 US5482609A (en) | 1993-04-27 | 1994-04-26 | Solid electrolyte gas sensor |
| US08/432,830 US5547556A (en) | 1993-04-27 | 1995-05-02 | Solid electrolyte gas sensor and process of producing joined body of ceramics and hard-to-sinter oxyacid salt |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5100721A JPH06308076A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 固体電解質ガスセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308076A true JPH06308076A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14281503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5100721A Pending JPH06308076A (ja) | 1993-04-27 | 1993-04-27 | 固体電解質ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308076A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6406181B1 (en) * | 1999-03-10 | 2002-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Temperature sensor |
| JP2014174178A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Robert Bosch Gmbh | 微細電子化学センサおよび微細電子化学センサの動作方法 |
-
1993
- 1993-04-27 JP JP5100721A patent/JPH06308076A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6406181B1 (en) * | 1999-03-10 | 2002-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Temperature sensor |
| JP2014174178A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Robert Bosch Gmbh | 微細電子化学センサおよび微細電子化学センサの動作方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5108577A (en) | Electrochemical device | |
| EP0310206B1 (en) | Electrochemical device | |
| US4728411A (en) | Electrochemical device | |
| JP3694377B2 (ja) | 酸素センサ及び空燃比検出方法 | |
| US5969231A (en) | Sensor for monitoring concentration of gaseous substances | |
| EP0172746B1 (en) | Electrochemical device | |
| CN110261462A (zh) | 气体传感器 | |
| JPH03272448A (ja) | 酸素センサ | |
| EP0227257B1 (en) | Electrochemical device | |
| KR20180097583A (ko) | 측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 적어도 하나의 특성을 검출하기 위한 센서 소자 | |
| JPH05126793A (ja) | 酸素濃度検出器 | |
| JPH04216452A (ja) | 混合気の組成とガス速度を同時に検出するためのセンサ | |
| US6406181B1 (en) | Temperature sensor | |
| JPH0264446A (ja) | ガスセンサ素子、組立体及び装置 | |
| JPH06308076A (ja) | 固体電解質ガスセンサ | |
| JP2001108648A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS60243558A (ja) | 酸素ガス濃度分析装置 | |
| JPH03249555A (ja) | 多成分ガスセンサ | |
| JPH081426B2 (ja) | 電気化学的装置 | |
| JPH079081Y2 (ja) | 限界電流式酸素センサ | |
| JPH10206380A (ja) | 酸素濃度検出素子 | |
| JP3509329B2 (ja) | 酸素濃度検出素子 | |
| JPH053973Y2 (ja) | ||
| JPS58166249A (ja) | 感湿感温感ガス素子 | |
| JP4653228B2 (ja) | 酸素濃度検出素子 |