JPS6065424A - 電子エミツタ−とその製造方法および該電子エミツタ−の活性化法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は長寿命を持つ′電子エミッターとその製造方法
および該電子エミッターの活性化法に関するものである
。

［従来技術］ 電子量ミツターは、°電子管の陰極として使用されてい
る。第１図は従来の酸化物陰極形の電子エミッターの原
理を示す図である。第１図において、ｌＯはＳｒＯ２等
の電子放出用酸化物層、２２は加熱用ヒーター、３３は
酸化物層１０を支持し、かつ内側にヒーター２２を収め
たスリーブである。

ヒータ２２によって酸化物層１０を例えば８００°Ｃ前
後の温度に加熱するこによって、酸化物層１０から電子
放出がなされる。

しかしながら、このような電子エミッターにおいては、
使用によって酸化物層１０の表面が劣化すると、その内
部が健全であっても、電子エミ・ンターとしての特性が
低下して、寿命がつきてしまうという欠点があった。

［目的］ そこで、本発明の目的は、以上のような欠点を解消し、
長寿命を持つ電子エミッターを提供することにある。

本発明の他の目的は、かかる゛電子エミッターを簡単な
工程で製造することができる方法を提供することにある
。

本発明のさらに他の目的は、電子エミッターを簡単に活
性化することができる方法を提供することにある。

［発明の構成］ 本発明電子エミッターは、メツシュ状支持体と、メツシ
ュ状支持体の表面上に形成した金属膜と、金属股上に刺
着させた電子放出用酸化物粉末と、金属１？Ｑを加熱溶
融して流動させるための加熱手段とを具える。

本発明製造方法では、酸化物粉末と金属粉末との混合物
を、メツシュ状支持体上に保持し、次いで、混合物中の
金属粉末を加熱溶融して、メツシュ状支持体の表面上を
加熱溶融した金属の膜によって覆うと共に、金属の膜状
に酸化物粉末を配置する。

さらに本発明活性化法では、メツシュ状支持体と、メツ
シュ状支持体の表面上に形成した金属膜と、金属膜上に
付着させた電子放出用酸化物粉末と、金属膜を加熱溶融
して流動させるための加熱手段とを′具えた電子エミッ
ターを活性化するにあたり、金７Ｍ　ＩＩりを加熱溶融
して流動させ、その流動に伴なって酸化物粉末を移動さ
せて酸化物粉末の電子放出能を活性化する。

［実施例コ 以下に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第２図は本発明にかかる電子エミッターの一実施例の概
略構成図である。第２図において、１は電子放出部、２
は加熱用ヒーター、３は電子放出部ＩＱ支持し、内側に
ヒーター２を収めたスリーブである。

第３図ＣＡ）は製造途中の電子放出部１の一部を拡大し
た断面図であって、ここにＩＡは例えばタングステン製
の例えばメツシュサイズが４００メツシュ程度のメツシ
ュ、ＩＢはメツシュＩＡ上に保持した、電子放出用の例
えば粒径が１〜５ルｍ程度の酸化物（例えば酸化バリウ
ムまたは酸化ストロンチウム）粉末１１と金粉１２との
混合物である。混合物ＩＢは次のようにしてメツシュＩ
Ａ上に保持することができる。すなわち、酸化物粉末１
１と金粉１２とを混合した混合粉をバイングーとしての
コロジオンに懸濁し、これをメツシュＩＡ上に塗布する
か、または、上記混合粉をメツシュＩＡに圧着する。

このような電子放出部ｌを、ヒーター２によって金の融
点以上の温度に加熱する。これによって、金粉１２は溶
融して金膜１２ＡとなってメツシュＩＡの表面を覆い、
しかも金よりも比重が小さく、かつ金に対する朧れ性が
メツシュＩＡより悪い酸化物粉末１１は金膜１２Ａの表
面に集り、最終的に第３図ＣＢ）に示すように、金膜１
２Ａ上に層状に酸化物粉末１１（便宜上、最も外側の酸
化物粉末をｌｉＢで、その内側の酸化物粉末をＩＩＡで
示す）が付着したかたちになる。このような構造をもつ
電子放山部ｌをヒーター２によって例えば８００℃前後
に加熱することによって、熱電子を酸化物粉末１１から
放出させることができる。

なお、第３図（Ｂ）に示すような電子放出部ｌの電子放
出能が低下した場合には、ヒーター２によって、電子放
出部ｌを再度金の融点以上の温俄に加熱す゛る。これに
よって再び溶融した金がメツシュＩＡの表面上を流れ、
それにともなって酸化物粉末１１も移動して、第３図（
Ｂ）に示すように、それまで電子放出部ｌの表面部分の
酸化物粉末１１Ｂの内側部分にあった酸化物粉末＋１Ａ
が第３図ＣＧ）に示すように、電子放出部１の表面に露
出し、かくして電子放出部ｌの電子放出能が回復する。

上述した実施例では、加熱用ヒーターを独立して具えて
いたが、独立してヒータを具える代わりに、電子放出部
ｌの支持体である金属製のメツシュＩＡに直接通電して
酸化物粉末１１および金粉１２（金膜１２Ａ）を加熱す
ることもできる。

さらに、酸化物粉末１１と混合する金粉１２の代わりに
、酸化物粉末１１に対する濡れ性がメツシュに材料、す
なわち、例えばインジウム゛粉末、スズ粉末などの金属
粉末を使用することもできる。

またさらに、混合粉ＩＨの支持体として、金属性のメツ
シュＩＡの代わりに、炭素繊維やガラス繊維等を用いる
こともできる。

［効果］ 以上説明したように、本発明によれば、長寿命を持つ電
子エミッターを得ることができる。しかも、本発明によ
れば、かかる電子エミッターを簡単な工程で製造するこ
とができる。さらに、本発明によれば、メツシュ状支持
体表面上を覆った金ｈバ膜を、その融点以上に加熱して
溶解させて流動させ、これによって電子放出部の内側部
分の酸化物粉末を電子放出部の表面部分に露出させて、
一旦低下した電子放出部の電子放出能を再び活性化する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の酸化物陰極形の電子エミッターの原理を
示す図、 第２図は本発明にかがる電子エミッターの一実施例の概
略構成図、 シ′５３図（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）は本発明電子エ
ミッターの製造工程を説明するための電子放出部の部分
拡大断面図である。 ｌ・・・電子放出部、 ２・・・加熱用ヒーター、 ３・・・スリーブ、 ＩＡ・・・メツシュ、 １Ｂ・・・１２合金粉 １１、　ＩＩＡ、ＩＩＢ・・・酸化物粉末、１２・・・
金粉、 １２Ａ・・・金膜。 特許出願人　日木゛屯信電話公社 代理人弁理士　谷　義　− 第１図 １０

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）　メツシュ状支持体と、 該メツシュ状支持体の表面上に形成した金属膜と、 該金属膜上・に付着させた電子放出用酸化物粉末と、 前記金属膜を加熱溶融して流動させるための加熱手段と
   を備えたことを特徴とする電子エミ・ンター。 ２）電子放出用酸化物粉末と金属粉末との混合物を、メ
   ツシュ状支持体上に保持し、 前記混合物中の前記金属粉末を加熱溶融して、前記メツ
   シュ状支持体の表面上を金属膜によって覆うと共に、前
   記金属１１り状に前記酸化物粉末を配置することを特徴
   とする゛電子エミッターの製造方法。 ３）　メツシュ状支持体と、該メツシュ状支持体の表面
   上に形成した金属膜と、該金属膜上に付着させた電子放
   出用酸化物粉末と、前記金属膜を加熱溶融して流動させ
   るための加熱手段とを具えた電子エミッターを活性化す
   るにあたり、前記金属膜を加熱溶融して流動させ、その
   流動に伴なって前記酸化物粉末を移動させて、前記酸化
   物粉末の電子放出能を活性化することを特徴とする′電
   子エミッターの活性化法。 （以　下　余　白　）