JPS6063513A - 長作動距離対物レンズ - Google Patents

長作動距離対物レンズ

Info

Publication number
JPS6063513A
JPS6063513A JP17167883A JP17167883A JPS6063513A JP S6063513 A JPS6063513 A JP S6063513A JP 17167883 A JP17167883 A JP 17167883A JP 17167883 A JP17167883 A JP 17167883A JP S6063513 A JPS6063513 A JP S6063513A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
lens group
group
positive
aberration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP17167883A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0411006B2 (ja
Inventor
Hiroshi Yamada
浩 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Nippon Kogaku KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp, Nippon Kogaku KK filed Critical Nikon Corp
Priority to JP17167883A priority Critical patent/JPS6063513A/ja
Publication of JPS6063513A publication Critical patent/JPS6063513A/ja
Publication of JPH0411006B2 publication Critical patent/JPH0411006B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/02Telephoto objectives, i.e. systems of the type + - in which the distance from the front vertex to the image plane is less than the equivalent focal length

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明は顕微鏡対物レンズ、特に中倍率で長い作動距離
を有する対物レンズに関する。
(発明の背景) 最近の顕微鏡の使われ方として、標本を観察しながら、
その標本にいろいろと操作を加えたりすることがふえて
いる。例えば、工業関係、金属関係では標本に磁界をか
けたり、温度変化をさせたりする。また、生物関係では
組織や細胞に電気を通したり、針を刺したりなども行わ
れている。これれらの場合、標本の周囲には、各種の装
置、回路、触針などが配置されることが多く、また、標
本の挿脱、交換を容易にする為にも、対物レンズの作動
距離は大きいことが望ましい。
従来はこれらの為に作動距離の大きい実体顕微鏡や5×
〜lO×の低倍対物レンズが使用されていた。しかし、
最近は、特に、工業関係において、解像力と倍率の大き
い対物レンズが使われることが多く、それらの中漬対物
レンズにおいて、低倍対物レンズ並みの作動距離の大き
いものが要求されるようになってきた。中倍率以上の対
物レンズでは、これまで、作動距離の大きいものでもせ
いぜい5龍前後であり、これらの要求を完全に満たすこ
とはできなかった。
また、これまで、作動距離の大きい中漬対物の設計が困
難であった理由の一つとしては、色収差の補正が難しか
ったということがある。すなわち、作動距離を大きくす
ると、前群の焦点距離を大きくせざるを得す、色収差等
が大きくなる。特に、残存2次スペクトルの量が大きく
なり、また、短波長の高次の球面収差がオーバーになり
すぎ、その補正が非常に困難な為であった。
これに対し、特公昭47−37455号公報に開示され
た顕微鏡対物レンズでは、負屈折力の後群を3枚の接合
レンズとして構成し、特に短波長の球面収差を良好に補
正しつつ比較的長い作動距離を確保している。しかしな
がら、このような対物レンズでも倍率は30倍程度であ
り、また作動距離も焦点距離の8割程度に過ぎず、上記
のごとき最近の要求を十分に満たすことはできなかった
(発明の目的) 本発明の目的は、倍率40倍程度の中倍率でありながら
極めて長大な作動距離を有し、しかも諸収差が良好に補
正され優れた結像性能を有する顕微鏡対物レンズを提供
することにある。
(発明の概要) 本発明による長作動距離対物レンズは、物体側から順に
、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ及び貼合せ
正レンズを有し物体からの光束を収斂光束に変換する収
斂性の第1271群、互いに接合された正レンズと負レ
ンズとを有する発散性の第2レンズ群、及び互いに接合
された正レンズと負レンズを有する発散性の第3レンズ
群を有するものである。そしてさらに、全系の焦点距離
をF、該第1271群の焦点距離をfl、該第2レンズ
群と該第3レンズ群との空気間隔をり、該第2レンズ群
と該第3レンズ群との合成焦点距離をF′とするとき、 1.5 F< f、<3.OF l、5F< D <2.5F 1.9F< lF’l <2.8F の各条件を満足するものである。
このような本発明に先だち、前述した特公昭47−37
455号公報に開示された構成について検討した結果、
正屈折力の前群の焦点距離を大きくすれば作動距離をよ
り大きくすることができるが、この場合前群で発生する
色収差が大きくなり過ぎ3枚貼合せの後群のみでは十分
に補正することが難しいこと、また前群の焦点距離を大
きくせずに無理に作動距離を大きくすると前群で特に短
波長の高次の球面収差の発生が大きくなりこの場合にも
1つの負屈折力群のみでの補正が難しいことが判明した
。従って、本発明では、上記のごとく、収斂性の第12
71群の後方に第2と第3の2つの発散性レンズ群を設
けると共に、上記のごとき収差補正のための最適条件を
見い出したのである。
以下に各条件式について詳述する。
(1)式は第1271群のパワーに関するものである、
この条件の下限を越えると、即ちf、が小さくなるとベ
ッツヴアール和が、大きくなり像面湾曲が補正不足にな
る。また、短波長についての高次の球面収差が補正不足
になりすぎ、負の非対称収差が生じる。特に、これは短
波長において著しい。更に、第1271群の焦点距離が
小さくなるため作動距離を大きくできない。
他方、この条件の上限を越えると、即ち、f。
が大きくなると、第1271群を通過した光束の径が大
きくなり高次の球面収差が発生する。また、第1271
群の焦点距離が大きい為、第2及び第3レンズ群の負の
パワーも弱くならざるを得ない。
従って、第2レンズ群の軸上色収差補正と第3レンズ群
の倍率色収差補正のパワーが弱くなり、特に、倍率色収
差が残存してしまう。また、短波長の高次の球面収差が
、補正過剰になってしまう。
(2)式は第2レンズ群と第3レンズ群の間隔に関する
ものであり、メリディオナル像面、倍率色収差、コマ収
差をバランスさせるための条件である。
この条件の下限を越えると、即ち、第2レンズ群と第3
レンズ群との間隔が小さくなると倍率色収差は補正不足
となりメリディオナル像面もアンダーとなる。この倍率
色収差を補正するために第2レンズ群、第3レンズ群の
パワーを強くすると短波長の高次の球面収差がアンダー
に行きすぎる。
またメリデイオナル像面を補正するために第3レンズ群
の物体側の面の収斂作用を強くすると、コマ収差のバラ
ンスが崩れ、外方コマ収差が発生してしまう。
他方この条件の上限を越えると、即ち、第2レンズ群と
第3レンズ群の間隔が大きくなると、メリディオナル像
面がオーバーに行きすぎる。これを補正するために第3
レンズ群の物体側の面の収斂作用を弱くすると、内方コ
マ収差が発生してしまう。また、この群間隔を大きくす
ることにより、レンズ全長が物像間距離に比して長くな
り、レンズが対物鏡筒内に収まらなくなってしまう。即
ち、同焦点距離(物体から対物レンズ後端の胴付面まで
の距離)が他の対物レンズと異なってしまうため倍率変
換の度に、大巾な焦点合わせの修正が必要になり操作性
が非常に悪くなる。
(3)式は第2レンズ群と第3レンズ群の合成のパワー
に関するものであり、第ルンズ群で発生した球面収差、
コマ収差を補正して、全系の収差を良好にバランスさせ
るためのものである。この条件の下限を越えると、即ち
、後群系としての第2、第3レンズ群の負のパワーが強
くなると、球面収差が補正過剰となり、コマ収差のバラ
ンスが崩れて内方コマ収差が発生してしまう。第2、第
3レンズ群は、負のパワーの作用により、第ルンズ群で
収束した光束を発散させ、全長を所定の直まで長くして
いる。従って、負のパワーが強すぎると全長が長くなり
すぎる為全体を小さくする必要が生じ、結果的に、作動
距離が小さくなってしまう。
他方、この条件の上限を越えると、即ち後群系としての
負のパワーが弱くなると、第ルンズ群で発生していた外
方コマ収差を打消す為第2及び第3レンズ群で発生させ
ていた内方コマ収差の量が小さくなり、外方コマ収差が
残存してしまう。
また、第2、第3レンズ群の発散のパワーが弱くなるた
め全長が伸びない。このため、全系の焦点′ 距離を大
きくして全長を伸ばすと、レンズ全長も同時に伸びるた
めレンズが対物鏡筒内に収まらなくなってしまう。
以上のごとき本発明の基本構成において、第3レンズ群
を形成する正レンズ及び負レンズの屈折率をそれぞれn
、 、 n、またそれぞれのア・ンベ数ν2.νNきす
るとき、ざらに、 0.05<np−n、<0.17 (4)Vνくν、(
5) の条件を満足することが望ましい。
第3レンズ群においては、短波長の高次の球面収差及び
倍率色収差が全系として補正されるよう各収差をバラン
スさせている。即ち、第ルンズ4群で発生する短波長の
高次の球面収差を打消し、また第1、第2レンズ群で、
補正過剰になった細土色収差を第3レンズ群で補正して
いる。また同時に第1%第2レンズ群で補正しきれなか
った残存倍率色収差の補正も併せて行なっている。
(4)式の条件の下限を越えると、即ち屈折率の差が小
さくなると、球面収差がオーバーになる。このため第3
レンズ群の接合面の曲率を強くして球面収差を補正する
とメリディオナル像面が大きくアンダーとなり、コマ収
差のバランスが崩れて内方コマ収差が発生する。(1式
の条件の上限を越えると、即ち屈折率の差が大きくなる
と、球面収差がアンダーになる為、接合面の曲率を弱く
して高次の球面収差を整えると低次の球面収差が補正不
足のまま残存してしまう。一方、短波長の高次の球面収
差は補正過剰となる。更に、メリディオナル像面がオー
バーになり外方コマ収差が発生する。
(5)式の条件を外れると、即ち第3レンズ群の正レン
ズのアツベ数が負レンズのアツベ数よりも大きくなると
、細土色収差が補正過剰となり逆に、倍率色収差は補正
不足となってしまう。そこで細土色収差を整えるため、
 第1. 第2レンズ群での細土色収差の補正の量を少
なくすると、倍率色収差は更に一層補正不足となり、結
局、倍率色収差だけが大きく残存してしまう。
また、最も物体側のレンズ面の曲率半径をr。
とするとき、 −3F < rl (6) の条件を満たすことも望ましい。
この条件は第ルンズ群の物体側に一番近い正メニスカス
レンズの物体側の面の曲率に関するものである。この条
件の下限を越えると、即ち最も物体側のレンズ面の発散
作用が強すぎるとベツツヴアール和が小さくなりすぎ像
面湾曲が補正過剰になる。また、第ルンズ群のfが大き
くなり、短波長の球面収差の補正がオーバーとなる。さ
らにレンズの主点が像側に寄るため実質的な作動距離が
小さくなってしまう。
(実施例) 本発明による実施例は第1図のレンズ構成図に示すごと
く、収斂性の第ルンズ群(G+ )は、物体(0)側か
ら順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズ(L
l ) 、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ(
L、)とこれと接合された両凸正レンズ(L、)及び両
凸正レンズ(L、)を有している。発散性の第2レンズ
群(G、)は、物体側に凸面を向けた負メニスカスレン
ズ(Lりε 両凸正レンズ(L6)及び物体側より曲率の強い面を向
けた負レンズ(L、)の3個のレンズの貼合せで構成さ
れている。また、発散性の第3レンズ群(G3)は像側
により曲率の強い面を向けた正レンズ(L8)とこれと
接合された両凹負レンズ(L、)とで構成されている。
第1図には、各レンズ群の作用を理解し易くするために
、軸上物点からの周縁光線を示した。
以下に、本発明による第1〜第4実施例の諸元を示す。
但し、Fは全体の焦点距離、βは倍率、N、A、は開口
数、W、D、は作動距離(物体面から最前レンズ面の頂
点までの距離)、Pはペッツバール和を表わし、rは各
レンズ面の曲率半径、dは各レンズの中心厚及び空気間
隔、nは各レンズの屈折率、νは各レンズのアツベ数を
表わし、添数字は物体側からの順序を表わすものとする
第1実施例 F−5,14 β−40× N、A、 = 0.5 W、D、 = 10.83 p−0,028 f、冒10.75 F’=−迄3 第2実施例 F=5.13 βヨ40X N、A、 = n、5 W、D、 = 10.8 I P=0.028 f、 = 10.28 F′子−10,88 第3実施例 F=5.09 β−40X N、A、 −0,5 W、D、 = 10.89 P−0,022 f、−11,27 F’ −−12−91 第4実施例 N、A、 = 0.5 W、D、 = 1 +1.87 P−(1,028 f+ −10,36 F′干−10,93 上記第1〜第4実施例の諸収差図をそれぞれ順に第2図
〜第5図に示す。各収差図には、球面収差(SPh )
、非点収差(Allt)、歪曲収差(Dis)、コマ収
差(Coma )を示し、球面収差図中には基準光線き
してのd線(λ= 587.61m )に加えてC線(
J=656.3mm)、F線(λ= 486.1mm 
)及びg線(λ=435.8nm)の様子も併記した。
各収差図から、いずれの実施例も40倍という倍率を有
し、作動距離が焦点距離の2倍以上きいう長大な吃ので
あるにもかかわらず、優れた結像性能を維持しているこ
とが明らかである。
(発明の効果) 以上のごとく、本発明は作動距離を大きくした場合に、
曲解で発生する大きな収差を補正するため、後群を2つ
の負レンズ群で構成することにより、焦点距離の2倍以
上という作動距離を有する超長作動距離中倍率対物レン
ズを達成したものである。そして40倍対物レンズにお
いては、従来はせいぜい2〜3mmの作動距離であった
ものが111mm以上となり、従来の10倍対物レンズ
に相当する作動距離を有する為、標本の扱い等、操作性
が一段と向上する。しかも、倍率、開口数(N、A、)
ともに10倍対物レンズよりも大きいことは明らかであ
り、従って、解像力ももちろん優れており、解像力と同
時に操作性も必要という、最近のユーザーの要求を十分
に満たすものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による対物レンズの一例ヲ示すレンズ構
成図、第2図〜第5図は本発明による第1〜第4実施例
の賭収差図である。 (主要部分の符号の説明) 0・・・・・・・・・物体 G、・・・・川・・収斂性の第ルンズ群G、・・・・川
・・発散性の第2レンズ群G8・・・・・・・・・発散
性の第3レンズ群出願人 日本光学工業株式会社 代理人 渡 辺 隆 男 72図 Cto’tna 才5図 −lυ υ 7.(1 0す Oo*a 才4図 c10徂α (7す Ctomα

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレ
    ンズ及び貼合せ正レンズを有し物体からの光束を収斂光
    束に変換する収斂性の第ルンズ群、互いに接合された正
    レンズと負レンズとを有する発散性の第2レンズ群、及
    び互いに接合されり正レンズと負レンズを有する発散性
    の第3レンズ群を有し、全系の焦点距離をF、該第ルン
    ズ群の焦点距離をf1+該第2レンズ群と蚊第3レンズ
    群との空気間隔をり、該第2レンズ群と該第3レンズ群
    との合成焦点距離をF′とするとき、1.5 F< f
    + <3−OF (1)1.5F< D <2.5F 
    (2) 1.9 F< l F’l < 2.8 F (3)の
    条件を満足することを特徴とする長作動距離対物レンズ
JP17167883A 1983-09-17 1983-09-17 長作動距離対物レンズ Granted JPS6063513A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17167883A JPS6063513A (ja) 1983-09-17 1983-09-17 長作動距離対物レンズ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17167883A JPS6063513A (ja) 1983-09-17 1983-09-17 長作動距離対物レンズ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6063513A true JPS6063513A (ja) 1985-04-11
JPH0411006B2 JPH0411006B2 (ja) 1992-02-27

Family

ID=15927666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17167883A Granted JPS6063513A (ja) 1983-09-17 1983-09-17 長作動距離対物レンズ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6063513A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008145787A (ja) * 2006-12-11 2008-06-26 Olympus Corp 長作動距離対物レンズ
WO2019063528A1 (en) * 2017-09-28 2019-04-04 Asml Netherlands B.V. OPTICAL OBJECTIVE

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50150452A (ja) * 1974-04-26 1975-12-02
JPS5159647A (en) * 1973-11-27 1976-05-24 Sopelem Kenbikyono taibutsu
JPS5479053A (en) * 1977-12-06 1979-06-23 Olympus Optical Co Ltd Microscope objective lens

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5159647A (en) * 1973-11-27 1976-05-24 Sopelem Kenbikyono taibutsu
JPS50150452A (ja) * 1974-04-26 1975-12-02
JPS5479053A (en) * 1977-12-06 1979-06-23 Olympus Optical Co Ltd Microscope objective lens

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008145787A (ja) * 2006-12-11 2008-06-26 Olympus Corp 長作動距離対物レンズ
WO2019063528A1 (en) * 2017-09-28 2019-04-04 Asml Netherlands B.V. OPTICAL OBJECTIVE
US11808930B2 (en) 2017-09-28 2023-11-07 Asml Netherlands B.V. Optical objective lens

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0411006B2 (ja) 1992-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4692698B2 (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ
JP4863132B2 (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ
JPH05249371A (ja) 大口径比対物レンズ
JPH10274742A (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ
JP4496524B2 (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ
JPH10213750A (ja) 顕微鏡対物レンズ
JPH11174345A (ja) 広視野接眼レンズ
JPH09138352A (ja) 液浸系顕微鏡対物レンズ
JPS6042452B2 (ja) ズ−ムレンズ
JPS6057315A (ja) 広視野接眼レンズ
US5532879A (en) Microscope objective lens
JPS6063513A (ja) 長作動距離対物レンズ
JP4646551B2 (ja) 顕微鏡用対物レンズ
JP4552248B2 (ja) 顕微鏡用対物レンズ
JPH11326789A (ja) 接眼レンズ
JPH0763996A (ja) 超広視野接眼レンズ
JPS61275812A (ja) 顕微鏡対物レンズ
JPH1195130A (ja) 接眼レンズ
JPH11316337A (ja) 結像レンズ
JPS60177313A (ja) トリプレツトレンズ
JPH11326772A (ja) 対物レンズ
JPS61275813A (ja) 高倍率顕微鏡対物レンズ
JPH09138351A (ja) 低倍率顕微鏡対物レンズ
JPH0574806B2 (ja)
JP5422214B2 (ja) 接眼レンズ及び光学機器