JPS6058289B2 - 高クロム合金材の製造法 - Google Patents
高クロム合金材の製造法Info
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- JPS6058289B2 JPS6058289B2 JP54061115A JP6111579A JPS6058289B2 JP S6058289 B2 JPS6058289 B2 JP S6058289B2 JP 54061115 A JP54061115 A JP 54061115A JP 6111579 A JP6111579 A JP 6111579A JP S6058289 B2 JPS6058289 B2 JP S6058289B2
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- Japan
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- chromium
- sintering
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- Powder Metallurgy (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、7喧量%以上のクロムを含有し、しかも、
耐熱性材料および耐食性材料として工業的に使用可能な
、板および棒等の高クロム合金材の製造法に関するもの
である。
耐熱性材料および耐食性材料として工業的に使用可能な
、板および棒等の高クロム合金材の製造法に関するもの
である。
通常の、高周波誘導炉等による溶解・鋳造によつて製造
されているクロム基合金材は、クロム含有量の最大が6
腫量%までであり、7喧量%以上のクロムを含有する高
クロム合金の板および棒等を製造するには、クロムは融
点が高いこと、活性であること、蒸気圧が高いこと、そ
して延性に乏一しい等の理由により特別の手段を講じな
ければならず、通常の溶解・鋳造によつて、これを製造
することは不可能であつた。
されているクロム基合金材は、クロム含有量の最大が6
腫量%までであり、7喧量%以上のクロムを含有する高
クロム合金の板および棒等を製造するには、クロムは融
点が高いこと、活性であること、蒸気圧が高いこと、そ
して延性に乏一しい等の理由により特別の手段を講じな
ければならず、通常の溶解・鋳造によつて、これを製造
することは不可能であつた。
しかしながら、近年、、苛酷な条件の下で使用する耐熱
性材料や耐食性材料に対する要求が増々厳しくなり、ま
たスパッタリングのためのターゲット材としても、高ク
ロム合金材の重要性が増してきている。従来、7踵量%
以上のクロムを含有する高クロム合金材を製造するに際
しては、大別すると、アーク溶解法を粉末冶金法が採用
されている。
性材料や耐食性材料に対する要求が増々厳しくなり、ま
たスパッタリングのためのターゲット材としても、高ク
ロム合金材の重要性が増してきている。従来、7踵量%
以上のクロムを含有する高クロム合金材を製造するに際
しては、大別すると、アーク溶解法を粉末冶金法が採用
されている。
アー・ク溶解法は、水冷モールドを用いて不活性ガス中
でアーク溶解してインゴットを製造する方法で、このイ
ンゴットから所望の寸法に板や棒を切り出して製品とす
るため、シユリンケージ等の鋳造欠陥が避けられず、ま
たデンドライトが発達していると共に、結晶粒も大きく
、したがつて極めて脆く、取り扱いに注意を要するもの
である。また、溶解後の冷却過程ての割れの問題もあり
、大型のインゴットの製造が困難であつた。一方、粉末
冶金法では、クロムが高融点をもつことや蒸気圧が高い
ことから、通常の成型・焼結では高密度の焼結体を得る
のが困難であり、そのため熱間プレス法を採用している
が、それでも得られる製品の密度は約95%が限界であ
り、また製品の大きさの制限もあるうえ、生産性も悪く
、クロムの含有量が増加するほどこの傾向が強くなり、
純クロムでは最も密度が上りにくいという問題があつた
。このように、従来の製造方法によつて製造された、特
に7睡量%以上のクロムを含有する高クロム合金の板お
よび棒等は、内在する欠陥により非常に脆いものとなり
、切削加工その他の取り扱いにおいて割れやすい等の問
題があり、また、加工を施す場合には超高圧押出し等の
ような特殊な加工方法しか採用できず、通常の熱間圧延
等による加工は不可能であつた。本発明者等は、上述の
ような観点から、内部欠陥が無く、高密度を有し、かつ
、その後の取り扱いにおいても割れ等を発生することが
なく、工業的に使用可能な、7鍾量%以上のクロムを含
有する高クロム合金材を生産性良く製造すべく、特に粉
末冶金法におけるクロム粉末の焼結性に着目し、研究を
行なつた結果、以下に示す知見を得るに至つたのである
。
でアーク溶解してインゴットを製造する方法で、このイ
ンゴットから所望の寸法に板や棒を切り出して製品とす
るため、シユリンケージ等の鋳造欠陥が避けられず、ま
たデンドライトが発達していると共に、結晶粒も大きく
、したがつて極めて脆く、取り扱いに注意を要するもの
である。また、溶解後の冷却過程ての割れの問題もあり
、大型のインゴットの製造が困難であつた。一方、粉末
冶金法では、クロムが高融点をもつことや蒸気圧が高い
ことから、通常の成型・焼結では高密度の焼結体を得る
のが困難であり、そのため熱間プレス法を採用している
が、それでも得られる製品の密度は約95%が限界であ
り、また製品の大きさの制限もあるうえ、生産性も悪く
、クロムの含有量が増加するほどこの傾向が強くなり、
純クロムでは最も密度が上りにくいという問題があつた
。このように、従来の製造方法によつて製造された、特
に7睡量%以上のクロムを含有する高クロム合金の板お
よび棒等は、内在する欠陥により非常に脆いものとなり
、切削加工その他の取り扱いにおいて割れやすい等の問
題があり、また、加工を施す場合には超高圧押出し等の
ような特殊な加工方法しか採用できず、通常の熱間圧延
等による加工は不可能であつた。本発明者等は、上述の
ような観点から、内部欠陥が無く、高密度を有し、かつ
、その後の取り扱いにおいても割れ等を発生することが
なく、工業的に使用可能な、7鍾量%以上のクロムを含
有する高クロム合金材を生産性良く製造すべく、特に粉
末冶金法におけるクロム粉末の焼結性に着目し、研究を
行なつた結果、以下に示す知見を得るに至つたのである
。
すなわち、(a)特に高クロム合金粉末原料の焼結性に
は、該原料粉末中の吸着ガスや水分が大きな影響を及ぼ
しており、この吸着ガスや水分が焼結操作中に粉末表面
を酸化して焼結の困難性を招いたり、製品純度を下けた
り、内部欠陥や密度低下の原因となるものであつて、吸
着ガスや水分の存在しない状態で原料粉末を加熱・圧縮
すれば、高クロム合金であつても200k9/C7l!
以上の加圧下にして、1000゜C以上の温度で、完全
な焼結が可能であり、高密度の焼結体を得ることができ
ること。
は、該原料粉末中の吸着ガスや水分が大きな影響を及ぼ
しており、この吸着ガスや水分が焼結操作中に粉末表面
を酸化して焼結の困難性を招いたり、製品純度を下けた
り、内部欠陥や密度低下の原因となるものであつて、吸
着ガスや水分の存在しない状態で原料粉末を加熱・圧縮
すれば、高クロム合金であつても200k9/C7l!
以上の加圧下にして、1000゜C以上の温度で、完全
な焼結が可能であり、高密度の焼結体を得ることができ
ること。
(b)原料粉末に吸着しているガスや水分は、真空度が
10−2t0rr以下の高真空中で150℃以上の温度
に加熱することにより、焼結性に悪影響を与.えない程
度に十分に除去できること。
10−2t0rr以下の高真空中で150℃以上の温度
に加熱することにより、焼結性に悪影響を与.えない程
度に十分に除去できること。
(C)原料粉末から吸着ガスや水分を除去すると同時に
、これを熱間加工可能な金属容器に密封してしまい、つ
いで、これを所定温度の不活性ガス圧下で加圧すれは、
原料粉末が吸着ガスや水.分を有しない状態を焼結作業
の間中持ち続けることができ、簡単な操作で、複雑な特
殊な装置を用いることなく、比較的大型の焼結体が容易
に得られること。
、これを熱間加工可能な金属容器に密封してしまい、つ
いで、これを所定温度の不活性ガス圧下で加圧すれは、
原料粉末が吸着ガスや水.分を有しない状態を焼結作業
の間中持ち続けることができ、簡単な操作で、複雑な特
殊な装置を用いることなく、比較的大型の焼結体が容易
に得られること。
(d)得られた焼結体は、金属容器により完全に密・着
・拘束されており、また無欠陥であるため、本来困難と
されている高クロム合金でも容易に通常の熱間加工が行
なえること。
・拘束されており、また無欠陥であるため、本来困難と
されている高クロム合金でも容易に通常の熱間加工が行
なえること。
したがつて、この発明は上記知見にもとづいてなされた
もので、7哩量%以上のクロムを含有する合金材を製造
するにあたり、まず、目的とする合金組成となるように
粉末原料を配合し、混合し、ついでその後の熱間加工に
耐え得る金属容器中に、10−2t0rr以下の減圧下
、温度150〜800Cで真空封入した後、200k9
/Cll以上の不活性ガス圧下で、温度1000〜14
00Cに加熱して加圧焼結し、引続いて温度800〜1
3500Cで、1回の加工率が30%以下の圧延または
スウエージ加工を行ない、そ゛の後、面削あるいは酸洗
によつて表面部の金属容器および変質層を取り除いて、
内部欠陥が存在せず、高密度で、しかも寸法精度の良い
板あるいは棒を得ることに特徴を有するものである。
もので、7哩量%以上のクロムを含有する合金材を製造
するにあたり、まず、目的とする合金組成となるように
粉末原料を配合し、混合し、ついでその後の熱間加工に
耐え得る金属容器中に、10−2t0rr以下の減圧下
、温度150〜800Cで真空封入した後、200k9
/Cll以上の不活性ガス圧下で、温度1000〜14
00Cに加熱して加圧焼結し、引続いて温度800〜1
3500Cで、1回の加工率が30%以下の圧延または
スウエージ加工を行ない、そ゛の後、面削あるいは酸洗
によつて表面部の金属容器および変質層を取り除いて、
内部欠陥が存在せず、高密度で、しかも寸法精度の良い
板あるいは棒を得ることに特徴を有するものである。
使用する金属容器は、所望の形状を得るに適した構造を
有するものとし、その材質は、融点がその後の加圧焼結
温度よりも高く、かつ熱間加工に耐えるものを選択する
。
有するものとし、その材質は、融点がその後の加圧焼結
温度よりも高く、かつ熱間加工に耐えるものを選択する
。
例えば、75%Cr−20%Ni−5%Zr合金板(以
後、組成%はすべて重量%とする)を製造する場合には
、110CfCで加圧焼結および熱間加工を行うとすれ
ば、封入容器としてはSUS3O標で十分である。焼結
後の、圧延またはスウエージ加工の熱間加工は、所望寸
法の製品を得るためのものであり、これにより、焼結に
よる不均一な変形やそりが矯正され、寸法精度が向上し
、歩留りも向上する。
後、組成%はすべて重量%とする)を製造する場合には
、110CfCで加圧焼結および熱間加工を行うとすれ
ば、封入容器としてはSUS3O標で十分である。焼結
後の、圧延またはスウエージ加工の熱間加工は、所望寸
法の製品を得るためのものであり、これにより、焼結に
よる不均一な変形やそりが矯正され、寸法精度が向上し
、歩留りも向上する。
また、熱間加工後の表面仕上げである面削あるいは酸洗
としては、グラインダー研削等の通常の機械的表面仕上
げ法や、エッチング等の通常の化学的あるいは電気化学
的方法を採用し得るものである。なお、クロム以外の主
要合金元素は、クロムと合金化する元素であればどのよ
うなものでもよく、またクロムと合金化しない元素であ
つても1%以下の含有量であればこの発明の合金材の製
造法が適用可能である。
としては、グラインダー研削等の通常の機械的表面仕上
げ法や、エッチング等の通常の化学的あるいは電気化学
的方法を採用し得るものである。なお、クロム以外の主
要合金元素は、クロムと合金化する元素であればどのよ
うなものでもよく、またクロムと合金化しない元素であ
つても1%以下の含有量であればこの発明の合金材の製
造法が適用可能である。
ついで、この発明の高クロム合金材の製造法において、
粉末原料の真空封入温度やその際の減圧の度合、焼結温
度および加圧力、そして熱間加工温度およびその際の加
工率の範囲を上述の通りに限定した理由を説明する。
粉末原料の真空封入温度やその際の減圧の度合、焼結温
度および加圧力、そして熱間加工温度およびその際の加
工率の範囲を上述の通りに限定した理由を説明する。
(a)粉末原料の真空封入温度および減圧の度合真空度
が10−2t0rrに達しなかつたり、加熱温度が15
0℃より低い場合には、粉末原料中の脱ガスや吸着水分
の除去を完全に行なうことができず、粉末の酸化によつ
て製品純度が悪くなつたり、満足な焼結体が得られなか
つたりする。
が10−2t0rrに達しなかつたり、加熱温度が15
0℃より低い場合には、粉末原料中の脱ガスや吸着水分
の除去を完全に行なうことができず、粉末の酸化によつ
て製品純度が悪くなつたり、満足な焼結体が得られなか
つたりする。
一方、800Cを越えた温度に加熱しても脱ガスや水分
除去の効果は変わらないので、減圧の度合を10−2t
0rr以下の高真空度に、また加熱温度を150〜80
0℃と限定した。(b)焼結温度および加圧力 最適焼結温度は合金種類により多少異なるが、70%以
上のクロムを含有する高クロム合金では、圧力を200
k9/CFlf以上にすれば1000℃以上の温度で完
全な焼結が可能となる。
除去の効果は変わらないので、減圧の度合を10−2t
0rr以下の高真空度に、また加熱温度を150〜80
0℃と限定した。(b)焼結温度および加圧力 最適焼結温度は合金種類により多少異なるが、70%以
上のクロムを含有する高クロム合金では、圧力を200
k9/CFlf以上にすれば1000℃以上の温度で完
全な焼結が可能となる。
また、高温になると焼結は容易に完了するが、高温側で
は封入容器の材質の問題や、焼結炉からの制限もあり、
これらの条件を満足するために最高温度を1400℃と
した。したがつて、加圧力を200k9/Clt以上と
し、加熱温度を1000〜1400℃と限定した。(c
)熱間加工温度および加工率 焼結した高クロム合金に熱間圧延やスウエージ加工の熱
間加工を施す際に、その温度が800℃未満では、割れ
が発生し、一方、1350℃を越えると酸化のために熱
間加工が困難となる。
は封入容器の材質の問題や、焼結炉からの制限もあり、
これらの条件を満足するために最高温度を1400℃と
した。したがつて、加圧力を200k9/Clt以上と
し、加熱温度を1000〜1400℃と限定した。(c
)熱間加工温度および加工率 焼結した高クロム合金に熱間圧延やスウエージ加工の熱
間加工を施す際に、その温度が800℃未満では、割れ
が発生し、一方、1350℃を越えると酸化のために熱
間加工が困難となる。
また1回の加工率が30%を越えたものにするとやはり
割れが発生するので、熱間加工温度を800〜1350
℃に、そしてその際の1回の加工率を30%以下と限定
した。つぎに、この発明を実施例により、図面とともに
具体的に説明する。
割れが発生するので、熱間加工温度を800〜1350
℃に、そしてその際の1回の加工率を30%以下と限定
した。つぎに、この発明を実施例により、図面とともに
具体的に説明する。
実施例1
90%Cr−10%Feの組成をもつ板材を製造するた
めに、原料粉末としてそれぞれ200メッシュアンダー
のクロム粉末(純度99%)および鉄粉末(純度99.
9%)を、90%Cr−10%Feの最終成分組成をも
つように配合し、混合した。
めに、原料粉末としてそれぞれ200メッシュアンダー
のクロム粉末(純度99%)および鉄粉末(純度99.
9%)を、90%Cr−10%Feの最終成分組成をも
つように配合し、混合した。
この混合粉末を第1図に示すような、板厚が1Trr1
nのSUS3O4鋼製で、長さ172Wr!n1幅14
0TfrIIt1厚さ2『の寸法をもつた容器に入れ、
真空度10−3t0rr下、温度500℃に3紛間加熱
して脱ガス後、真空密封した。その後、不活性ガス圧力
1000k9/Clt下で、温度1250℃に1時間保
持して焼結を行なつたところ、第2図に示すような形状
に圧縮成形された容器入り焼結体が得られた。この焼結
体は、長さ160TI0n1幅130?、厚さ16w1
の寸法をもつものであつた。この焼結体を研削すること
により板材として使用可能であるが、これをさらに、第
3図に示すごとく、長さ32i1幅130?、厚さ7.
8醜の寸法になるまで、温度1200℃で1回の加工率
30%で熱間圧延を2回行なつた。この熱間圧延板の表
面を切除および研削することによつて、幅が125Tf
n1長さが300?、そして厚さが6mの板に仕上げた
。この板材は、理論密度の99.9%の密度をもち、ま
た溶接も可能であり、耐熱性材料および耐食性材料とし
ての使用に耐えるものであつた。また、スパッタリング
のターゲットとしても十分に使用できるものであつた。
なお、第4図は、焼結条件設定のために実施した純クロ
ムにおける焼結温度と圧力の関係を示す線図である。
nのSUS3O4鋼製で、長さ172Wr!n1幅14
0TfrIIt1厚さ2『の寸法をもつた容器に入れ、
真空度10−3t0rr下、温度500℃に3紛間加熱
して脱ガス後、真空密封した。その後、不活性ガス圧力
1000k9/Clt下で、温度1250℃に1時間保
持して焼結を行なつたところ、第2図に示すような形状
に圧縮成形された容器入り焼結体が得られた。この焼結
体は、長さ160TI0n1幅130?、厚さ16w1
の寸法をもつものであつた。この焼結体を研削すること
により板材として使用可能であるが、これをさらに、第
3図に示すごとく、長さ32i1幅130?、厚さ7.
8醜の寸法になるまで、温度1200℃で1回の加工率
30%で熱間圧延を2回行なつた。この熱間圧延板の表
面を切除および研削することによつて、幅が125Tf
n1長さが300?、そして厚さが6mの板に仕上げた
。この板材は、理論密度の99.9%の密度をもち、ま
た溶接も可能であり、耐熱性材料および耐食性材料とし
ての使用に耐えるものであつた。また、スパッタリング
のターゲットとしても十分に使用できるものであつた。
なお、第4図は、焼結条件設定のために実施した純クロ
ムにおける焼結温度と圧力の関係を示す線図である。
焼結条件の決定は熱間加工の可否(図中、O印が可、×
印が否)によつて行なつたものであるが、そのときの熱
間加工条件は、800℃の温度で、1回の加工率が25
%の熱間圧延を1回行なうものであつた。また、焼結可
能範囲は、高クロム合金ではクロム含有量により左右さ
れ、クロム含有量が多くなれば高温度、高圧力側に限定
されるようになる。
印が否)によつて行なつたものであるが、そのときの熱
間加工条件は、800℃の温度で、1回の加工率が25
%の熱間圧延を1回行なうものであつた。また、焼結可
能範囲は、高クロム合金ではクロム含有量により左右さ
れ、クロム含有量が多くなれば高温度、高圧力側に限定
されるようになる。
さらに、Cr−Fe合金を、圧力500k9/Aiで焼
結した場合の焼結可能温度の下限値は、その組成(%は
いずれも重量%を示す)により次に示す温度であつた。
100%Cr:10000C 80%Cr−20%Fe:975よC 70%Cr−30%Fe:950℃ また、次に示す合金種類(%はいずれも重量%を示す)
について、圧力200k9/Cltl温度1000℃で
焼結を行なつたところ、この結果得られた焼結体はすべ
て熱間加工が可能であつた。
結した場合の焼結可能温度の下限値は、その組成(%は
いずれも重量%を示す)により次に示す温度であつた。
100%Cr:10000C 80%Cr−20%Fe:975よC 70%Cr−30%Fe:950℃ また、次に示す合金種類(%はいずれも重量%を示す)
について、圧力200k9/Cltl温度1000℃で
焼結を行なつたところ、この結果得られた焼結体はすべ
て熱間加工が可能であつた。
Cr−30%Ni,Cr−10%Ni,Cr−30%C
O,Cr−10%CO,Cr−30%MO,Cr−10
%MO,Cr−20%Mn,Cr−10%Al,Cr−
5%Ti,Cr−5%Zr,Cr−5%Nb,Cr−5
%Ta,Cr−15%Fe一10%Ni,Cr−10%
Ni−10%MO,Cr−10%Fe−5%Al,Cr
−10%CO−5%Mn,Cr−10%Fe−5%Ti
,Cr−10%Ni−5%Nb−5%Al,Cr−10
%Fe−1%Sn,Cr−1%Cu,Cr−3%SiO
上述のように、この発明によれば、従来、製造すること
が困難であつた70%以上のクロムを含有する高密度の
高クロム合金材を、内部欠陥をほとんど生ずることなく
、簡単な操作で、しかも高い生産性で製造することがで
きるうえ、大型の合金材をも容易に製造することができ
るなど工業上有用な効果がもたらされるのである。
O,Cr−10%CO,Cr−30%MO,Cr−10
%MO,Cr−20%Mn,Cr−10%Al,Cr−
5%Ti,Cr−5%Zr,Cr−5%Nb,Cr−5
%Ta,Cr−15%Fe一10%Ni,Cr−10%
Ni−10%MO,Cr−10%Fe−5%Al,Cr
−10%CO−5%Mn,Cr−10%Fe−5%Ti
,Cr−10%Ni−5%Nb−5%Al,Cr−10
%Fe−1%Sn,Cr−1%Cu,Cr−3%SiO
上述のように、この発明によれば、従来、製造すること
が困難であつた70%以上のクロムを含有する高密度の
高クロム合金材を、内部欠陥をほとんど生ずることなく
、簡単な操作で、しかも高い生産性で製造することがで
きるうえ、大型の合金材をも容易に製造することができ
るなど工業上有用な効果がもたらされるのである。
第1図、第2図および第3図は本発明の実施例における
真空封入容器、圧縮成形状態および熱間圧延後の状態を
示す概略斜視図、第4図は純クロムに関し、焼結条件設
定のために実施した結果を示す焼結温度と焼結圧力の関
係図である。
真空封入容器、圧縮成形状態および熱間圧延後の状態を
示す概略斜視図、第4図は純クロムに関し、焼結条件設
定のために実施した結果を示す焼結温度と焼結圧力の関
係図である。
Claims (1)
- 1 70重量%以上のクロムを含有する合金材を製造す
るにあたり、まず目的とする合金組成となるように粉末
原料を配合し、混合した後、その後の熱間加工に耐え得
る金属容器中に、10^−^2torr以下の減圧下、
150〜800℃の温度範囲内の温度で真空封入し、つ
いで200kg/cm^2以上の不活性ガス圧下で、1
000〜1400℃の温度範囲内の温度に加熱保持して
加圧焼結し、引続いて800〜1350℃の温度範囲内
の温度で、1回の加工率が30%以下の圧延またはスウ
エージ加工を施し、最終的に面削あるいは酸洗によつて
表面部の金属容器および変質層を除去する基本的工程か
らなることを特徴とする高クロム合金材の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP54061115A JPS6058289B2 (ja) | 1979-05-18 | 1979-05-18 | 高クロム合金材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP54061115A JPS6058289B2 (ja) | 1979-05-18 | 1979-05-18 | 高クロム合金材の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS55154551A JPS55154551A (en) | 1980-12-02 |
JPS6058289B2 true JPS6058289B2 (ja) | 1985-12-19 |
Family
ID=13161748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP54061115A Expired JPS6058289B2 (ja) | 1979-05-18 | 1979-05-18 | 高クロム合金材の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6058289B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62174373A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-07-31 | Hitachi Metals Ltd | クロムタ−ゲツト材及びその製造方法 |
JPH0699728B2 (ja) * | 1985-10-31 | 1994-12-07 | 東ソー株式会社 | 金属クロム圧延体の製造法 |
JPS62107036A (ja) * | 1985-11-02 | 1987-05-18 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 金属クロム成型体及びその製造法 |
JPS6393803A (ja) * | 1986-10-09 | 1988-04-25 | Nippon Steel Corp | 金属粉末の成形加工法 |
JPH02258947A (ja) * | 1989-03-30 | 1990-10-19 | Kubota Ltd | 耐熱焼結合金および加熱炉内鋼材支持部材 |
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---|---|---|---|---|
JPS5370047A (en) * | 1976-12-02 | 1978-06-22 | Sumitomo Electric Industries | Preparation of target material for sputtering |
US4126451A (en) * | 1977-03-30 | 1978-11-21 | Airco, Inc. | Manufacture of plates by powder-metallurgy |
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1979
- 1979-05-18 JP JP54061115A patent/JPS6058289B2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS55154551A (en) | 1980-12-02 |
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