JPS62263803A - Ｃｏ−Ｃｒスパツタリングタ−ゲツトの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＣｏ−Ｃｒスパッタリングターゲットの製造方
法に関する。

［従来の技術］ Ｃｏ−Ｃｒ合金は、光磁気記録、垂直磁気記録、光記録
等に用いられる薄膜の製造技術の一つであるスパッタリ
ングのターゲツト材として用いられている。

従来、かかるＣｏ−Ｃｒスパッタリングターゲットの製
造方法としては次のものが知られている（東洋曹達研究
報告ｖｏＭ２９　　Ｎｏ２　１９８５　　Ｐ７５〜８−
１）。

■原料を溶解後鋳造し、ついで、鋳塊をそのまま鍛造し
圧延、加工、ボンディングする方法。

■原料を粉砕後プレスし、ついで焼結、加工、ボンディ
ングする方法。

［発明が解決しようとする問題点］ しかし、上記■の方法においては、鍛造あるいは熱間圧
延時に素材の温度が低下する。特に素材の端部の温度の
低下が大きく、その結果、鍛造シ１゜れあるいは圧延割
れが発生する。

また、■の方法、は、粉砕工程等の工程があるため製造
に手間がかかる。

し問題点を解決するための手段］ 本発明は、原料の溶解・ＰＩ造、ｎ造した鋳塊の鍛造、
鍛造した鍛塊の熱間圧延、加工、ボンディング工程を含
むスパッタリングターゲットの製造方法において、該原
料が００２６５重量％、Ｃｒ≦３５重量％であり（ただ
しＣｏとＣｒの総和は９９．５重量％以上）、不可避的
不純物がその総和でＱ　、　ｌ　ｇＬＱ％以下よりなる
Ｃｏ−Ｃｒ二元合金よりなり、鍛造及び／又は熱間圧延
時に鋳塊又は鍛塊をコンボジフトに封入した状態で加熱
し、１０００〜１３００℃の温度において鍛造及び／又
は熱間圧延を行なうことを特徴とするＣｏ−Ｃｒスパッ
タリングターゲットの製造方法である。

まず成分の限定理由を述べる。

００２６５重量％： Ｃｏは６５重量％未満では熱間加工性が悪くなるので下
限を６５重量％とする。

Ｃｒ≦３５重量％： Ｃｒ量を増すと１耐食性が向上し、長期の磁気重犯ｔα
保持に右利となる。そして原料コストも低下する。しか
し、３５重量％を越えるとＭｌ織にはδ相、σ相、β相
が生成し、熱間加工性が極端に悪くなる。

なお、ＣｏとＣｒの総和は９９．５重量％以上である。

不可避的不純物は、その総和は０．１重量％以下である
。これを越えると磁気的性質が低下する。たとえば、Ｃ
＜０．０１０重量％、０く０、Ｏ０５ｆｆｉＭ％、Ｆｅ
＜０．０５重量％、Ｎく０．００５重量％、Ａ立＜０．
０１重量％、Ｓｉ＜ｏ、ｔｏ重Ｈ％、Ｃｕ＜０．０１０
ｉ量％。

Ｃａ＜０．０１重量％、Ｍｇ＜０．Ｏ１ｉ量％、Ｋ＜０
　、０１ｒｒＸＱ％、Ｔ　ｉ　＜　０　、０１　ｆｆｔ
　＝％、Ｓ＜０．０１重量％であり、かつその総和を０
．１重量％以下とする。従って、たとえば、Ｃ，ＡＭ等
は脱酸に必要な最小限度でよい。

加工温度１０００〜１３００℃： Ｃｏ−Ｃｒ二元合金を鍛造、熱間加工するには加工が比
較的容易なα単相まで加熱する必要がある０本発明の組
成においては具体的には１０００〜１３００℃である。

１３００°Ｃｆｃ越えると熱間強度が低下するとともに
熱間靭性も低下する。またコストアー、ブとなる。

逆に１０００°Ｃ未満の温度では、熱間強度は上昇する
が熱間靭性が低下する。すなわち、加工温度が１０００
℃未満になると加工材端部が冷却され温度低下による靭
性の低下が起こり加工割れが生じる。故に、加工温度は
１０００〜１３００℃とする。

なお、割れ防止の観点からのより好ましい温度は、１０
００〜１２００℃である。

本発明においては鋳塊の鍛造及び／又は鍛魂の熱間圧延
はコンポジットに封入して行なう。すなわち、鍛造のみ
コンポジットに封入して行なってもよいし、熱間圧延の
みをコンポジットに１量人して行なってもよい、また、
鍛造及び熱間圧延の両、ｊＬｌ、１ツギ、’；　、、、
　１．、　ｒデトｌＩＩイ４□−す、−−プ半　μ？−
コンポジットは加工性を有し、かつ保温性を有する材料
ならばいかなるものでもよい。経済性の観点から炭素鋼
が好ましい。

また、コンポジットの寸法は鋳塊あるいは鍛塊をよ一■
入しうるちのならば特に限定されない。

なお、鍛造あるいは熱間圧延による鍛塊あるいは鋳塊の
変形に対応するためコンポジットの側面部と鋳塊あるい
は鍛塊との間には間隙を設ける。

そして、その間隙のある部分にはコンポジー、トの外方
に連通ずる空気口を設ける。

なお、鍛造後の鍛塊とコンポジットとの分離、あるいは
、熱間圧延後の圧延材とコンポジットの分離を容易にす
るため鋳塊あるいは鍛魂とコンポジットとの間に剥離剤
を塗付する。剥離剤としては、たとえば、窒化ポロン（
ＢＮ）、アルミナ粉末（Ａ、Ｑ　　Ｏ）等を用いればよ
い。

なお、熱間圧延後の加工、ボンディング工程には特に限
定はなく、たとえば、従来の方法で行なえばよい。

［発明の実施例］ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

（第１実施例） 第１表に示す組成のＣｏ−Ｃｒ合金を真空溶解し、溶解
後鋳造を行ない鋳塊を得た。本例においてはこの鋳塊を
そのまま鍛造して鍛塊を得た。

この鍛塊をコンポジットに封入し熱間圧延を行なった。

コンポジットを第１図に示す。

本例においてはコンポジット２は炭素鋼よりなる。

コンポジット２の寸法は鍛塊１の形状よりやや大きく、
その形状は鍛塊ｌに対応している。ただ、コンポジット
２の側面には空隙６（小さくても良い）を設けてあり、
この空隙６はコンポジット２の外部と空気口８を介して
連通している。

鍛塊１とコンポジット２との上下面における間には剥離
剤３として窒化ポロン又はアルミナを介在せしめである
。

鍛塊１をかかるコンポジットに封入し、９００℃（比較
例）、１０００℃、１２００℃の各温度において熱間圧
延を行なった。ｆ！！！間圧延の全圧延率は１０％、３
０％、５０％、７０％の各場合につき行なった。なお、
１パス加工率は１０〜３０％である。熱間圧延加工時に
おける割れの発生を調査した。

なお、比較のためコンポジットに封入しない状態で熱間
加工を行なった。

以上の結果を第２表に示す。

第２表に示すように本実施例におけるコンポジットに鍛
塊を封入したものについては割れの発生は皆無であった
。一方、コンポジットに封入せずに熱間圧延加工を行な
ったものには割れの発生が認められた。

また、熱間圧延温度が１０００″Ｃ未満の場合にはコン
ポジットに封入しても割れの発生は認められた。

（第２実施例） 第２図に第２実施例を示す。

本例においては、第１実施例で示した間隙６の中に高温
において酸素と反応して発熱する材料たとえば、Ｔｉ、
Ｚｒ等からなるゲー、ター４を配置するとともに、空気
口８には空気口８をふさぐべく、ｔ！ｉ鋼板５を設けで
ある。

このＦＩＲ板５は、鋳塊あるいは鍛塊の加熱中に酸化し
、Ｉｌｌ板５の一部又は全部が消失する。その結果、コ
ンポジット２の外部と内部とは空気口８を介して連通状
態となる。その時高温の空気が空気口８を介してコンポ
ジット２の内部に流入する。流入した高温の空気はゲッ
ター４と反応し、ゲッター４は酸化発熱する。この時点
で熱間圧延を実施すると温度低下がより一層防げる。

なお、薄鋼板５が酸化により消失する板厚は前もって調
査しておけばよい、たとえば、１２００’ＣＸ１時間加
熱の場合的０．２〜０．５ｍｍｔがよい。

なお、薄鋼板５の酸化が進まず、空気口８の開口時期が
熱間圧延を行なう直前とはならない場合は熱間圧延直前
に機械的に強制開口させればよい。

なお、薄鋼板５のコンポジット２への取り付けはたとえ
ばスポット溶接によればよい。

かかるコンポジットに鍛塊を封入した熱間圧延を行なっ
たところ割れの発生は第１実施例と同様皆無であった。

［発明の効果］ 本発明は以上のように構成したので鍛造割れあるいは圧
延割れを発生させることなくＣｏ−Ｃｒスパッタリング
ターゲットを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は第１実施例を説明するための断面図である。第
２図は第２実施例を説明するための断面図である。 １・・鍛塊、２・・コンポジット、３・・２１１離剤、
４・・ゲッター、５・・薄鋼板、６・・空隙、８・・空
気口。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 原料の溶解・鋳造、鋳造した鋳塊の鍛造、鍛造した鍛塊
   の熱間圧延、加工、ボンディング工程を含むスパッタリ
   ングターゲットの製造方法において、該原料がＣｏ≧６
   ５重量％、Ｃｒ≦３５重量％であり（ただしＣｏとＣｒ
   の総和は９９．５重量％以上）、不可避的不純物がその
   総和で０．１重量％以下よりなるＣｏ−Ｃｒ二元合金よ
   りなり、鍛造及び／又は熱間圧延時に鋳塊又は鍛塊をコ
   ンポジットに封入した状態で加熱し、１０００〜１３０
   ０℃の温度において鍛造及び／又は熱間圧延を行なうこ
   とを特徴とするＣｏ−Ｃｒスパッタリングターゲットの
   製造方法。