JPS6056494A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS6056494A JPS6056494A JP58163938A JP16393883A JPS6056494A JP S6056494 A JPS6056494 A JP S6056494A JP 58163938 A JP58163938 A JP 58163938A JP 16393883 A JP16393883 A JP 16393883A JP S6056494 A JPS6056494 A JP S6056494A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- distance
- laser
- back pressure
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、被加工物とこれにレーザ光線を照射するビー
ムヘッドとの４間の距離を、精度よく計徂１」制御でき
るようにしたレーザ加工装置に関する。
ムヘッドとの４間の距離を、精度よく計徂１」制御でき
るようにしたレーザ加工装置に関する。
レーザ発振器で発生したレーザ光ｆｊｌｅビームヘッド
内の集光レンズにより収束して被加工物にスポット状に
照射し、被加工物に対して穿孔、切断。
内の集光レンズにより収束して被加工物にスポット状に
照射し、被加工物に対して穿孔、切断。
溶接等の加工を行なうレーザ加工装置は、精密加工には
欠くことができない装置になりつつある。
欠くことができない装置になりつつある。
レーザ加工装置による被加工物の加エバターンは、被加
］−物に対するレーザ光線の照射位置と、被加工物に対
するレーザ光線のスポット径によって決ることは周知で
あるが、レーザ光線のスポット径については、ビームヘ
ッドと被加工物との間の距＃ｆｆｌに応じて変化するた
め、被加工物に対するビーＪ・ヘッドの距離制御が型費
となる。
］−物に対するレーザ光線の照射位置と、被加工物に対
するレーザ光線のスポット径によって決ることは周知で
あるが、レーザ光線のスポット径については、ビームヘ
ッドと被加工物との間の距＃ｆｆｌに応じて変化するた
め、被加工物に対するビーＪ・ヘッドの距離制御が型費
となる。
しかして、従来、被加工物に対するビームヘッドの距離
は、作業者による［１視ないしはタッチセンサや磁気セ
ンサ等のセンサにより計測していた。
は、作業者による［１視ないしはタッチセンサや磁気セ
ンサ等のセンサにより計測していた。
このため、目視による方法では、作業者の個人差によシ
精度を望むことはできす、またタッチセンサの場合は、
被加工面を傷つける屑れがらるだけでなく、タッチセン
サが常に被加工物上を走査するようにするための機構が
必侠でめシ、それだけ構成が被包化する欠点があて）た
。
精度を望むことはできす、またタッチセンサの場合は、
被加工面を傷つける屑れがらるだけでなく、タッチセン
サが常に被加工物上を走査するようにするための機構が
必侠でめシ、それだけ構成が被包化する欠点があて）た
。
また、磁気センサの場合Ｖ１、非接触で距離検出できる
利点はあるが、被加工物Ｊの材質を変えた場合、検出し
た磁気を距離に変える変換部も材質に応じて変えなけれ
ばならず、さらに被加工物がプラスナック材やゴム材或
いはセラミック材等の非磁性材の場合には、磁気センサ
がまったく役に立たない等の欠点があった。
利点はあるが、被加工物Ｊの材質を変えた場合、検出し
た磁気を距離に変える変換部も材質に応じて変えなけれ
ばならず、さらに被加工物がプラスナック材やゴム材或
いはセラミック材等の非磁性材の場合には、磁気センサ
がまったく役に立たない等の欠点があった。
本発明は、上記欠点を除去したものでるり、被加工物と
これにレーザ光線を照射するビームヘッドとの間の距離
を、ビームヘッドに設けた背圧式の距離センサによって
検出し、こ扛によシ被加工物に非接触でしかも被加工物
の材質に関係なく、常に精度の高い距離検出を可能とし
たレーザ加工装置を提供することを目的とする。
これにレーザ光線を照射するビームヘッドとの間の距離
を、ビームヘッドに設けた背圧式の距離センサによって
検出し、こ扛によシ被加工物に非接触でしかも被加工物
の材質に関係なく、常に精度の高い距離検出を可能とし
たレーザ加工装置を提供することを目的とする。
この目的を連成するため、本発明は、レーザ発振器で発
生したレーザ光線をビームヘッドによシ収束して被加工
物に照射し、被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装
置において、前記ビームヘッドに背圧式の距離センサ全
役け、該距離センサが前記被加工物に噴射した気体の背
圧に応じて、前記ビームヘッドと被加工物の間の距離を
計測する構成したこと’ｋｆｆ旨とするものである。
生したレーザ光線をビームヘッドによシ収束して被加工
物に照射し、被加工物にレーザ加工を施すレーザ加工装
置において、前記ビームヘッドに背圧式の距離センサ全
役け、該距離センサが前記被加工物に噴射した気体の背
圧に応じて、前記ビームヘッドと被加工物の間の距離を
計測する構成したこと’ｋｆｆ旨とするものである。
本発明によれば、被加工物とビームヘッドとの間の距離
を、ビーノ・ヘッドに設けた背圧式の距離センサによっ
て検出する構成としたから、作業者の目視による検出力
法とは比較にならない高精度の距離検出が可能″（′β
ｐ、またタッチセンサの如く被加工物との接触を必要と
しないから、被加工面を傷つける處れりなく、さらに磁
気センサの如く被加工物の拐質ｔζよってはまったく検
出不能であったシすることもなく、或いは変換部を被加
工物の本・１質によって変える等の面倒な作業も不用で
あり、これによυツー”圧式の距離センサからの正確な
信号にもとづい１、′帛に高精度のレーザ加工がＴｉＪ
能ア必る等の優）また効果を奏する。
を、ビーノ・ヘッドに設けた背圧式の距離センサによっ
て検出する構成としたから、作業者の目視による検出力
法とは比較にならない高精度の距離検出が可能″（′β
ｐ、またタッチセンサの如く被加工物との接触を必要と
しないから、被加工面を傷つける處れりなく、さらに磁
気センサの如く被加工物の拐質ｔζよってはまったく検
出不能であったシすることもなく、或いは変換部を被加
工物の本・１質によって変える等の面倒な作業も不用で
あり、これによυツー”圧式の距離センサからの正確な
信号にもとづい１、′帛に高精度のレーザ加工がＴｉＪ
能ア必る等の優）また効果を奏する。
以下、本発明の実施例について、図面を参照し′Ｃ説明
する。第１図は、本発明のレーザ加工装置の一実施例を
示す仙面図、第２図は、第１図に示した距離センサ部勺
の要部縦断面図である。
する。第１図は、本発明のレーザ加工装置の一実施例を
示す仙面図、第２図は、第１図に示した距離センサ部勺
の要部縦断面図である。
第１図中、レーザ加工装置ｌは、レーザ発振器２で発生
させたレーデ光線全、所定の光路を介し”Ｃビームヘッ
ド３に導ひき、ワークテーブル４上の被加工物５に対し
、、−１：ビームヘッド３から照射したレーザ光線によ
シ、切断、穿孔或いは溶接等の加工を行なう構成とさ牡
ている。被加工物５を取りイボけるためのベースとなる
ワークテーブル４もシくハビームヘッド３のいずれか一
方は、直交２軸上を自由に移動することができるよう支
持されておシ、位置検出器（図示せず）等によシ読み取
った軸移動量を、数値制御方式によシ軸位置制御するこ
とによシ、被加工物５もしくはビームヘッド３の位置決
めがなさｎる。
させたレーデ光線全、所定の光路を介し”Ｃビームヘッ
ド３に導ひき、ワークテーブル４上の被加工物５に対し
、、−１：ビームヘッド３から照射したレーザ光線によ
シ、切断、穿孔或いは溶接等の加工を行なう構成とさ牡
ている。被加工物５を取りイボけるためのベースとなる
ワークテーブル４もシくハビームヘッド３のいずれか一
方は、直交２軸上を自由に移動することができるよう支
持されておシ、位置検出器（図示せず）等によシ読み取
った軸移動量を、数値制御方式によシ軸位置制御するこ
とによシ、被加工物５もしくはビームヘッド３の位置決
めがなさｎる。
ビームヘッド３は、レーザ発振器２から水平方向に出射
されたレーザ光線を下方に反射するビームベンダ６が頂
部に取シ付けて必り、ビームベンダ６にて反射屈曲され
たレーザ光線は、蛇腹胴７を介してビームベンダ６に連
結されたホルダ８内の集光レンズ８ａで集束さ扛、さら
に先細のノズル９内を通り、被加工物５に対してスポッ
ト状に照射される。
されたレーザ光線を下方に反射するビームベンダ６が頂
部に取シ付けて必り、ビームベンダ６にて反射屈曲され
たレーザ光線は、蛇腹胴７を介してビームベンダ６に連
結されたホルダ８内の集光レンズ８ａで集束さ扛、さら
に先細のノズル９内を通り、被加工物５に対してスポッ
ト状に照射される。
ところで、ホルダ８は、モーフ駆動のねじ送シ機構１０
によってブラケット１１に支持固定しである。このねじ
送シ機ｙｔｉｏは、ホルダ８の端部に固層した中空有底
筒状の支柱１２の頂部にナツト１３を回動不能い固定し
、このナツト１３に螺合すン）送シねじ１４全軸受１５
にて支持するとともに、送シねじ１４の上端部を継手１
６を介してモータ１７の回転１１１１７ａに連結した構
成である。
によってブラケット１１に支持固定しである。このねじ
送シ機ｙｔｉｏは、ホルダ８の端部に固層した中空有底
筒状の支柱１２の頂部にナツト１３を回動不能い固定し
、このナツト１３に螺合すン）送シねじ１４全軸受１５
にて支持するとともに、送シねじ１４の上端部を継手１
６を介してモータ１７の回転１１１１７ａに連結した構
成である。
この９．−夕１７は、ｆｌｊｌｊ １ｉｉＩＩ装置１８
からの指令により正逆転するもの一１゛ロシ、適宜のギ
ヤ比を有する歯車機構（図示せず）により変速さ扛た回
転が回転軸１７ａの回転となってとり出される。制御装
置１８＋；１：、後述する距離センサ１９からの出力に
応じて、モータ１７る。正逆転【７、被加工物５に対す
るビームヘッド７の距離全制御する。距離センサ１９は
、ビームヘッド３の先端部に取りイ１けてあり、背圧を
利用して被加工物５とビームヘッド３間の距離を測定す
る背圧式が用いら訂る。この距離センサ１９は、壁紙等
の気体を所定圧力に調節して送シ出す気体供給装置２０
と、この気体供給装置２０から供給される所定圧力の気
体を、被加工物５に向は噴射フるノズル２１とから構成
されている。ノズル２１は、第２図に示した如く、その
円錐面に沼って気体を噴出する噴出孔２１ａと、噴出孔
２１ａの中央部に設けた背圧検出孔２１ｂを有しており
、噴出孔２１ａから１へ出する噴流の巻き込みにもとづ
く負圧と、被加工物５に反射された噴流による正圧との
相互作用により、背圧検出孔２１ｂにはノズル２１或い
はビームヘッド３と被加工物５との間の距離に応じた背
圧が検出される。通常、気体供給装置２０から供給され
る気体の圧力が変動することは考えられないので、背圧
検出孔２１ｂが検出する背圧は、きわめて正確に被加工
物５とビームヘッド３０曲の距離に対応しており、これ
により、被加工物５には非接／？Ｉ＋で被加工物５から
ビームヘッド３才での距離測定が可能である。
からの指令により正逆転するもの一１゛ロシ、適宜のギ
ヤ比を有する歯車機構（図示せず）により変速さ扛た回
転が回転軸１７ａの回転となってとり出される。制御装
置１８＋；１：、後述する距離センサ１９からの出力に
応じて、モータ１７る。正逆転【７、被加工物５に対す
るビームヘッド７の距離全制御する。距離センサ１９は
、ビームヘッド３の先端部に取りイ１けてあり、背圧を
利用して被加工物５とビームヘッド３間の距離を測定す
る背圧式が用いら訂る。この距離センサ１９は、壁紙等
の気体を所定圧力に調節して送シ出す気体供給装置２０
と、この気体供給装置２０から供給される所定圧力の気
体を、被加工物５に向は噴射フるノズル２１とから構成
されている。ノズル２１は、第２図に示した如く、その
円錐面に沼って気体を噴出する噴出孔２１ａと、噴出孔
２１ａの中央部に設けた背圧検出孔２１ｂを有しており
、噴出孔２１ａから１へ出する噴流の巻き込みにもとづ
く負圧と、被加工物５に反射された噴流による正圧との
相互作用により、背圧検出孔２１ｂにはノズル２１或い
はビームヘッド３と被加工物５との間の距離に応じた背
圧が検出される。通常、気体供給装置２０から供給され
る気体の圧力が変動することは考えられないので、背圧
検出孔２１ｂが検出する背圧は、きわめて正確に被加工
物５とビームヘッド３０曲の距離に対応しており、これ
により、被加工物５には非接／？Ｉ＋で被加工物５から
ビームヘッド３才での距離測定が可能である。
また、この背圧式距離センサ“１９は、被加工物５の利
賀金選ばず、どのような利賀の被加工物５に対しても同
一精度での測定ができるから、汎用性は高く、シかも使
用気体は、例えＯづ″レーザ加工時に飛散する火花をパ
ージするのに用いる気体との共用がｏＪ能であるから、
設侃１コストの低減も可能である。
賀金選ばず、どのような利賀の被加工物５に対しても同
一精度での測定ができるから、汎用性は高く、シかも使
用気体は、例えＯづ″レーザ加工時に飛散する火花をパ
ージするのに用いる気体との共用がｏＪ能であるから、
設侃１コストの低減も可能である。
ところが、距１’ｆｌｉ−１＝ンサ１９のノズル２１は
、可罹性のチューブ配’ｌ’＋ ２２ ’ｅ介して、制
御装置１８内のダイヤフラム式の空電変換器２３に接続
してあり、この空電変換器２３は、ナユーブ配管２２を
介して供給される距Ｆ、１１七ンサ１９の背圧検出出力
を電気４８号に変換する構成とされている。また、制御
装置１８内にｔ」、空電変換器２３の他に、空電変換器
２３によって電気信号に変換された距離センサ１９の出
力２、るらかじめ定めた設定値を比較するサーボ回路２
４が設けられており、検出された距離の設定値からのず
れの大きさとその極性に応じたサーボ出力が、サーボ回
路２４からモータＪ７に供給さノする構成とされている
。
、可罹性のチューブ配’ｌ’＋ ２２ ’ｅ介して、制
御装置１８内のダイヤフラム式の空電変換器２３に接続
してあり、この空電変換器２３は、ナユーブ配管２２を
介して供給される距Ｆ、１１七ンサ１９の背圧検出出力
を電気４８号に変換する構成とされている。また、制御
装置１８内にｔ」、空電変換器２３の他に、空電変換器
２３によって電気信号に変換された距離センサ１９の出
力２、るらかじめ定めた設定値を比較するサーボ回路２
４が設けられており、検出された距離の設定値からのず
れの大きさとその極性に応じたサーボ出力が、サーボ回
路２４からモータＪ７に供給さノする構成とされている
。
被加工物５の加Ｈ＋に際しては、まずワークテーブル・
ｌ上の所定位置に被加工物５を載置固定し、次に１７−
ザ発振器２或いは制御装置１８等を作動する。その結果
、制御ｉＩ装置１８からの指令によりモータ１７が正転
［１、送りねじ１４０回転とともにナツト１３．支＄、
’＋１２ 、ホルダ８等が一体的に下降変位する。また
同時に、背圧式距離センサ１９への気体供給が開始てれ
、距離センサ１９が検出する出熱があらかじめ定めた所
定の距離に遅するまで、モータ１７は正転する。
ｌ上の所定位置に被加工物５を載置固定し、次に１７−
ザ発振器２或いは制御装置１８等を作動する。その結果
、制御ｉＩ装置１８からの指令によりモータ１７が正転
［１、送りねじ１４０回転とともにナツト１３．支＄、
’＋１２ 、ホルダ８等が一体的に下降変位する。また
同時に、背圧式距離センサ１９への気体供給が開始てれ
、距離センサ１９が検出する出熱があらかじめ定めた所
定の距離に遅するまで、モータ１７は正転する。
ビームヘッド３が所定の加工位置に達すると、１ｉＩＪ
御装置ｉ：１１８；０・らの指令によりモータ１７は正
転を停止し、そこではじめてレーザ発振器２からのレー
ザ光線が被加工物５に照射され、レーザ加工が開始ζｎ
、る。
御装置ｉ：１１８；０・らの指令によりモータ１７は正
転を停止し、そこではじめてレーザ発振器２からのレー
ザ光線が被加工物５に照射され、レーザ加工が開始ζｎ
、る。
レーザ加工中の、ビームヘッド３と被加工ｑ勿５の間の
距離は、距離センサ１９によって常時監視され、モータ
１７の正逆転をともなう距ｎ１を制御が行なわれる。例
えば被加工物５からビームヘッド３までの距ｌ９１１が
増大したようなＷ合は、距ｎ「センサ１９内のノズル２
１の背圧が減少するので、この減少を阻止するべく、制
御装置１８内のサーボ回路２４はモータ１７に対して正
転指令を供給する。捷た、その逆に、被加工物５からビ
ームヘッド３までの距離が減少したような場合は、距離
センサ１９内のノズル２１の背圧が増大するので、この
増大を阻止するべく、制御装置１８内のサーボ回路２４
はモータ１７に対して逆転指令を供給する。
距離は、距離センサ１９によって常時監視され、モータ
１７の正逆転をともなう距ｎ１を制御が行なわれる。例
えば被加工物５からビームヘッド３までの距ｌ９１１が
増大したようなＷ合は、距ｎ「センサ１９内のノズル２
１の背圧が減少するので、この減少を阻止するべく、制
御装置１８内のサーボ回路２４はモータ１７に対して正
転指令を供給する。捷た、その逆に、被加工物５からビ
ームヘッド３までの距離が減少したような場合は、距離
センサ１９内のノズル２１の背圧が増大するので、この
増大を阻止するべく、制御装置１８内のサーボ回路２４
はモータ１７に対して逆転指令を供給する。
こうして、被加」物５ｅこ対するビームヘッド３の距離
は、常に一シｉ′に作た！しるため、レーザ光線のスポ
ット径は変１１＋せず、従って精度の高い加工が可能と
なる。
は、常に一シｉ′に作た！しるため、レーザ光線のスポ
ット径は変１１＋せず、従って精度の高い加工が可能と
なる。
なお、レーザ加］−の終了とともに、レーザ発振器２れ
１作動を停止し１、制御装ｆｒｔ １８からモータ１７
への逆転指令とともに、ビームヘッド３は加工開始時の
位置まで上ケ１復帰する。
１作動を停止し１、制御装ｆｒｔ １８からモータ１７
への逆転指令とともに、ビームヘッド３は加工開始時の
位置まで上ケ１復帰する。
本実施例の場合、圧部センサ１９を１個用いた場合を例
にとったが、距Ｎｕセンサ１９の使用個数ｋｍやし、複
数の距離センサ１９ｉビームヘツド３０周［用に配し、
と７１によりずべての距離センサ１９が被加工物５から
４九−ＣＬ、−ｉつたために実質上部＃＃１￥ｌ坦」が
不能上なるといった事態を招く確率を減らすことができ
、これにより安全性が高くしかも高精度のｎｌ側制御が
可能となる。
にとったが、距Ｎｕセンサ１９の使用個数ｋｍやし、複
数の距離センサ１９ｉビームヘツド３０周［用に配し、
と７１によりずべての距離センサ１９が被加工物５から
４九−ＣＬ、−ｉつたために実質上部＃＃１￥ｌ坦」が
不能上なるといった事態を招く確率を減らすことができ
、これにより安全性が高くしかも高精度のｎｌ側制御が
可能となる。
まｐｌ、上記実施例において、ダイヤフラム式の空電Ｂ
”換器２３に代え、半導体歪光子を用い７′ｃ圧刀セン
サ等ヲ用いてもよいのは勿論である。
”換器２３に代え、半導体歪光子を用い７′ｃ圧刀セン
サ等ヲ用いてもよいのは勿論である。
以上説明したように、上記構成になるレーザ加工ＨＩ；
：ｊ １によｒＬば、神力１工４勿５とビームヘッド３
との間の距離を、ビームヘッド３に設けた背圧式の距＾
１［センサ１９によって検出する構成としたから、作栗
者の目視による検出方法とは比軟にならない高精度の距
離検出が可でｉ「でを）す、またタツナセンサの如く被
加工物５との接ＰＬｌ！を必要としないから、フル加工
面をν′らつける虞れはなく、さらに碍気センサの如く
被加工物５の月乃によってはまったく検出不能であった
りすることもなく、或いは変換部を被加工物の洞性によ
って変える等の面倒な作業も不用であり、こ２’Ｌによ
り背圧式の距ｎ″Ｕセンｖ１９からの止ｑｆな信号にも
とづいて、常に高精度のレーザ加工が＋ｓＪ能である等
の甑れた効果を奏する。
：ｊ １によｒＬば、神力１工４勿５とビームヘッド３
との間の距離を、ビームヘッド３に設けた背圧式の距＾
１［センサ１９によって検出する構成としたから、作栗
者の目視による検出方法とは比軟にならない高精度の距
離検出が可でｉ「でを）す、またタツナセンサの如く被
加工物５との接ＰＬｌ！を必要としないから、フル加工
面をν′らつける虞れはなく、さらに碍気センサの如く
被加工物５の月乃によってはまったく検出不能であった
りすることもなく、或いは変換部を被加工物の洞性によ
って変える等の面倒な作業も不用であり、こ２’Ｌによ
り背圧式の距ｎ″Ｕセンｖ１９からの止ｑｆな信号にも
とづいて、常に高精度のレーザ加工が＋ｓＪ能である等
の甑れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明のレーザ加工装置ｄの一実施例を示す
側面図、第２仙は、第１図に示した距離センサ部分の要
部紺断ｉ？ｉｉし１でめる。 １・・・レーザ加工装置、２・・・レーザ発振器、３・
・・ビーフＮヘッド、５・・・被加工物、１９・・・背
圧式の化１１ｔセンブ。 特許出願人 株式会社田中製作所 へ１８ 第２図 、ハ
側面図、第２仙は、第１図に示した距離センサ部分の要
部紺断ｉ？ｉｉし１でめる。 １・・・レーザ加工装置、２・・・レーザ発振器、３・
・・ビーフＮヘッド、５・・・被加工物、１９・・・背
圧式の化１１ｔセンブ。 特許出願人 株式会社田中製作所 へ１８ 第２図 、ハ
Claims (1)
- レーザ発振器で発生したレーザ光線をビームヘッドによ
り収束して被加工物に照射し、被加工物にレーザ加工を
施すレーザ加工装置において、前記ビームヘッドに背圧
式の距離センサ′ｊｋ設け、該距離センサが前記被加工
物に向けて噴射した気体の背圧に応じて、前記ビームヘ
ッドと被加工物の間の距離を計測する構成としてなるレ
ーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163938A JPS6056494A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163938A JPS6056494A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6056494A true JPS6056494A (ja) | 1985-04-02 |
Family
ID=15783672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163938A Pending JPS6056494A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6056494A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010125518A (ja) * | 2008-12-01 | 2010-06-10 | Fanuc Ltd | レーザ加工装置 |
| DE102017218183A1 (de) | 2016-10-17 | 2018-04-19 | Fanuc Corporation | Roboter und Verfahren zum Installieren von Signalleuchte an Roboter |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56122692A (en) * | 1980-02-29 | 1981-09-26 | Shimadzu Corp | Laser working device |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP58163938A patent/JPS6056494A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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