RU2205096C1 - Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2205096C1
RU2205096C1 RU2001126383/02A RU2001126383A RU2205096C1 RU 2205096 C1 RU2205096 C1 RU 2205096C1 RU 2001126383/02 A RU2001126383/02 A RU 2001126383/02A RU 2001126383 A RU2001126383 A RU 2001126383A RU 2205096 C1 RU2205096 C1 RU 2205096C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
nozzle
pressure
predetermined distance
gap
focusing unit
Prior art date
Application number
RU2001126383/02A
Other languages
English (en)
Inventor
М.И. Горбуленко
к В.В. Кор
В.В. Коряк
Е.Б. Кульбацкий
Original Assignee
Горбуленко Михаил Илларионович
Кульбацкий Евгений Борисович
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Горбуленко Михаил Илларионович, Кульбацкий Евгений Борисович filed Critical Горбуленко Михаил Илларионович
Priority to RU2001126383/02A priority Critical patent/RU2205096C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2205096C1 publication Critical patent/RU2205096C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Изобретения относятся к области лазерной обработки различных материалов и могут найти применение при резке, сварке, гравировке, маркировке и т.п. в различных отраслях машиностроения. Одновременно с измерением статического давления в зазоре между соплом узла фокусировки и обрабатываемой поверхностью измеряют статическое давление внутри сопла. Заданное расстояние между соплом и обрабатываемой поверхностью поддерживают по изменению давления в зазоре под соплом при условии неизменного давления в сопле. В случае одновременного увеличения давления под соплом и внутри сопла поддерживают заданное расстояние по изменению давления внутри сопла. Для этого в устройстве имеется датчик статического давления технологического газа внутри сопла, который установлен в корпусе узла фокусировки между линзой и соплом, схемы усиления и компенсации сигналов и система сравнения сигналов. Каждый из датчиков соединен через схемы усиления и компенсации сигналов с системой сравнения сигналов, электрически соединенной с приводом перемещения узла фокусировки. Изобретения позволяют расширить диапазон поддержания заданного расстояния в область меньших расстояний до обрабатываемой поверхности и тем самым исключить случаи падения сопла на обрабатываемую поверхность. 2 с.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Изобретения относится к области лазерной обработки материалов и может быть использовано в устройствах лазерной резки, сварки, гравировки, маркировки и т.п. в различных отраслях промышленности.
В процессе лазерной обработки материалов сфокусированный лазерный луч направляют на обрабатываемую поверхность. Соосно лазерному лучу из сопла подается технологический газ. На эффективность лазерной обработки, в частности лазерной резки, гравировки, существенно влияют как параметры сфокусированного луча, такие как мощность, диаметр пятна фокусировки, так и давление в газовой струе в зоне обработки. Оптимальное для конкретного вида обработки давление в струе газа задается давлением газа в сопле. Это давление сохраняется в газовой струе в непосредственной близости от среза сопла. По мере удаления от сопла давление в струе газа снижается. Поэтому наиболее эффективно процесс обработки будет происходить, когда зазор между соплом и поверхностью близок к нулю.
Однако при этом происходит быстрое разрушение сопла, особенно при резке металла из-за высоких температур на его поверхности или налипания на него брызг металла. Поэтому приходится обеспечивать оптимальный зазор между соплом и поверхностью и поддерживать его на заданном уровне.
Из уровня техники известны способы и устройства поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью.
При обработке металлических поверхностей известен способ поддержания заданного расстояния от сопла до обрабатываемой поверхности путем измерения электрической емкости между деталью и изолированным металлическим соплом. При изменении зазора изменяется емкость, по изменению емкости вырабатывается управляющий сигнал, поступающий на привод, который регулирует расстояние [1] .
Недостаток известного решения - низкая помехозащищенность от брызг и выплесков расплавленного металла на обрабатываемую поверхность, что приводит к невысокой точности поддержания заданного расстояния, а также принципиальная невозможность работы с неметаллическими материалами.
Известны также способ и устройство для поддержания заданного расстояния с использованием подпружиненного сопла на воздушной подушке [2]. Регулирование заданного расстояния в данном решении осуществляется изменением давления технологического или дополнительного потока газа, что не всегда удобно, так как многие неметаллические материалы обрабатываются при относительно невысоком давлении газа, что снижает возможности регулирования.
Наиболее близким к изобретению является устройство и реализуемый в нем способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью путем измерения статического давления газа датчиком, расположенным на передней стенке сопла на расстоянии от оси сопла, большем, чем зазор между соплом и поверхностью [3]. Устройство включает в себя узел фокусировки, содержащий корпус с линзой и соплом, имеющим осевое или кольцевое отверстие для формирования струи технологического газа, датчик статического давления радиального потока газа в зазоре между соплом и обрабатываемой поверхностью, привод перемещения узла фокусировки. При изменении сигнала с датчика давления вырабатывается сигнал, управляющий приводом перемещения, в результате чего поддерживается определенное заданное расстояние между соплом и обрабатываемой поверхностью.
Проведенные экспериментальные исследования показали, что это устройство работоспособно только при расстояниях между соплом и поверхностью, которые больше определенного критического расстояния. Это критическое расстояние определяется условием, когда площадь цилиндрической поверхности начала распространения радиальной струи газа равна площади поперечного сечения сопла
πd0hкр=πd02/4,
где d0 - диаметр сопла, hкp - расстояние между соплом и поверхностью. Отсюда
hкр=d0/4.
В случае лазерной резки при определении hкp необходимо вносить поправки на наличие реза в обрабатываемой поверхности, так как часть газа распространяется по резу.
Если заданное расстояние h>hкp, то при увеличении зазора статическое давление газа в зазоре тоже растет. Оно воспринимается датчиком, который вырабатывает управляющий сигнал для привода перемещения, и привод уменьшает расстояние до заданного. При уменьшении зазора соответственно снижается и статическое давление в зазоре, и привод отрабатывает этот сигнал от датчика надлежащим образом.
Однако при уменьшении зазора до критического расстояния и ниже, как показали проведенные исследования, давление в зазоре вместо снижения начинает быстро расти, оно воспринимается датчиком так же, как и на расстояниях выше критического, и привод опускает сопло вплоть до касания с поверхностью, что может привести устройство к негодности.
Техническим результатом изобретения является расширение диапазона поддержания заданного расстояния в область меньших расстояний до обрабатываемой поверхности и тем самым исключение случаев падения сопла на обрабатываемую поверхность.
Указанный технический результат достигается тем, что в способе поддержания заданного расстояния между соплом узла фокусировки и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке материалов, включающем измерение статического давления в зазоре между соплом узла фокусировки и обрабатываемой поверхностью, дополнительно одновременно измеряют статическое давление внутри сопла, и при неизменном давлении в сопле поддерживают заданное расстояние между соплом и обрабатываемой поверхностью по изменению давления в зазоре под соплом, а при одновременном увеличении давления под соплом и внутри сопла поддерживают заданное расстояние по изменению давления внутри сопла.
Способ реализован в устройстве, включающем узел фокусировки, содержащий корпус с линзой и соплом, имеющим осевое или кольцевое отверстие для формирования струи технологического газа, датчик статического давления радиального потока газа в зазоре между соплом и обрабатываемой поверхностью, привод перемещения узла фокусировки, отличающемся тем, что в корпус узла фокусировки между линзой и соплом установлен дополнительный датчик статического давления технологического газа внутри сопла, при этом каждый из датчиков соединен через схемы усиления и компенсации сигналов с системой сравнения сигналов, электрически соединенной с приводом перемещения узла фокусировки.
Устройство, реализующее способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке материалов, представлено на фиг.1 и 2.
Оно состоит из узла фокусировки, имеющего корпус 1, с одной стороны герметично закрытый линзой 2. К узлу фокусировки примыкает сопло 3, в котором выполнено осевое отверстие (фиг.1) или кольцевое отверстие (фиг.2) для формирования струи технологического газа, соосной лазерному лучу. На обрабатываемую поверхность 4 направляется лазерный луч 5, который фокусируется линзой 2. Технологический газ подается под давлением внутрь сопла 3, истекает через отверстие в нем в виде осевой струи 6 на обрабатываемую поверхность 4. При истечении осевая струя газа 6 тормозится и превращается в радиально распространяющуюся струю 7. На пути радиальной струи 7 установлен датчик статического давления 8. В корпус 1 узла фокусировки также установлен датчик давления 9. Сигналы с датчиков давления 8 и 9 через схемы усиления и компенсации 10 поступают в систему сравнения сигналов 11. Система сравнения сигналов 11 сравнивает сигналы, определяет, какой из них преобразовать в управляющий, и вырабатывает управляющий сигнал для привода перемещения 12 узла фокусировки.
Устройство работает следующим образом. В корпус сопла подается сжатый технологический газ под давлением р. Давление р при помощи регулятора давления (не показан) устанавливают оптимальным для конкретного вида лазерной обработки и обрабатываемого материала. При этом реальное давление р1 внутри сопла меньше заданного давления р на величину потерь
p1=p-Δp1,
где Δp1 - потери давления в подводящей магистрали от регулятора давления до сопла. Затем устанавливают срез сопла узла фокусировки на высоте h, также оптимальной для данного конкретного вида обработки и обрабатываемого материала. Лазерный луч направляют через линзу узла фокусировки на обрабатываемую поверхность и при относительном перемещении сопла и детали производят обработку. При этом датчики давления 8 и 9 могут измерять как абсолютное, так и дифференциальное давление. Выбор конкретного типа датчиков давления определяется условиями обработки.
Если оптимальная величина зазора h больше hкp для данного вида обработки и материала, то возможные отклонения величины зазора сказываются только на величине статического давления в радиальной струе технологического газа под соплом. С увеличением зазора давление растет. Внутри сопла давление не изменяется и остается равным р1. Когда величина зазора h уменьшается, начинает снижаться и давление в зазоре под соплом. При уменьшении h до величины, меньшей, чем hкp= d0/4, статическое давление в зазоре под соплом начинает расти, но при этом растет и абсолютное давление в сопле. Давление в сопле может расти не бесконечно, а только на величину Δp1 потерь давления в магистрали. Но этого изменения оказывается достаточно, чтобы выработать адекватный управляющий сигнал для привода перемещения узла фокусировки. Датчики давления вырабатывают сигналы, которые после усиления и компенсации в соответствующих схемах поступают в систему сравнения сигналов, которая работает, например, по принципу "исключающее ИЛИ", т.е. из двух поступающих сигналов она выбирает один и преобразовывает его в управляющий сигнал для привода перемещения. Таким образом, в устройстве реализуется способ по изобретению, который заключается в том, что при изменяющемся давлении под соплом, о котором судят по сигналу от соответствующего датчика, и неизменном давлении внутри сопла, система сравнения берет за основу сигнал от датчика давления под соплом и преобразовывает его в управляющий сигнал. При увеличении давления, как под соплом, так и внутри него, система сравнения берет за основу сигнал от датчика давления внутри сопла и его преобразовывает в управляющий сигнал для привода перемещения узла фокусировки. Поэтому удается с достаточной степенью надежности поддерживать заданную оптимальную величину зазора между соплом и обрабатываемой поверхностью в более широких пределах и, главное, в непосредственной близости от поверхности, при величине зазора, меньшей hкр.
Таким образом, изобретение позволяет расширить диапазон поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью в сторону меньших расстояний и тем самым повысить надежность и качество лазерной обработки различных материалов.
Литература
1. M. Jagiella, G. Sporl, A. Topkaya. Lasermatic II-A new Developed Non-contact Capacitive Clearance Control System for Laser Cutting Machines. 10 Int. Congres "Lasers in engineering", Munich, 1991, p.238-244.
2. А.с. СССР 958060, кл. В 23 К 26/00, 15.09.82г.
3. Патент RU 2139783 C1, кл. В 23 К 26/14, 20.10.99г. (прототип).

Claims (2)

1. Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке материалов, включающий измерение статического давления в зазоре между соплом узла фокусировки и обрабатываемой поверхностью и поддержание заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью по изменению давления в зазоре под соплом, отличающийся тем, что дополнительно и одновременно с измерением статического давления в зазоре между соплом узла фокусировки и обрабатываемой поверхностью измеряют статическое давление внутри сопла и поддерживают заданное расстояние между соплом и обрабатываемой поверхностью по изменению давления в зазоре под соплом при условии неизменного давления в сопле, а при одновременном увеличении давления под соплом и внутри сопла поддерживают заданное расстояние по изменению давления внутри сопла.
2. Устройство для поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке материалов, содержащее узел фокусировки, состоящий из корпуса с линзой, сопло с осевым или кольцевым отверстием для формирования осевой струи технологического газа, датчик статического давления радиального потока газа в зазоре между соплом и обрабатываемой поверхностью и привод перемещения узла фокусировки, отличающееся тем, что оно снабжено датчиком статического давления технологического газа внутри сопла, который установлен в корпусе узла фокусировки между линзой и соплом, схемами усиления и компенсации сигналов и системой сравнения сигналов, при этом каждый из датчиков соединен через схемы усиления и компенсации сигналов с системой сравнения сигналов, электрически соединенной с приводом перемещения узла фокусировки.
RU2001126383/02A 2001-10-01 2001-10-01 Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления RU2205096C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001126383/02A RU2205096C1 (ru) 2001-10-01 2001-10-01 Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001126383/02A RU2205096C1 (ru) 2001-10-01 2001-10-01 Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2205096C1 true RU2205096C1 (ru) 2003-05-27

Family

ID=20253387

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001126383/02A RU2205096C1 (ru) 2001-10-01 2001-10-01 Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2205096C1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2615428C1 (ru) * 2015-10-29 2017-04-04 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" Установка для лазерно-дуговой сварки деталей
RU2714596C2 (ru) * 2017-05-25 2020-02-18 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" Устройство для управления положением лазерной головки относительно обрабатываемой поверхности
RU2732256C1 (ru) * 2019-03-27 2020-09-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Способ лазерной сварки металлов и устройство для осуществления способа
CN115966491A (zh) * 2022-12-22 2023-04-14 武汉新芯集成电路制造有限公司 晶圆切割平面检测装置及方法、晶圆切割装置及方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
M. JAGIELLA et all, "Lasermatic II-A new Developed Non-contact Capacitive Clearanco Control System for laser Cutting Machiness", 10 Int. Congres "Lasers in ingeneering", Munich, 1991, p. 238-244. *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2615428C1 (ru) * 2015-10-29 2017-04-04 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-Производственное Объединение "Техномаш" Установка для лазерно-дуговой сварки деталей
RU2714596C2 (ru) * 2017-05-25 2020-02-18 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ" Устройство для управления положением лазерной головки относительно обрабатываемой поверхности
RU2732256C1 (ru) * 2019-03-27 2020-09-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Способ лазерной сварки металлов и устройство для осуществления способа
CN115966491A (zh) * 2022-12-22 2023-04-14 武汉新芯集成电路制造有限公司 晶圆切割平面检测装置及方法、晶圆切割装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5304774A (en) Method and apparatus for monitoring weld quality
US6528762B2 (en) Laser beam position control apparatus for a CNC laser equipped machine tool
JP5108518B2 (ja) レーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を求める方法、およびレーザ加工装置でのレーザ加工ビーム軸と加工ガス流軸の相互位置を調整する方法、ならびに当該方法に代わる装置を有するレーザ加工装置
US8410395B2 (en) Method for determining focal position
US8610030B2 (en) Laser beam processing machine
JP3037404B2 (ja) 貫通孔の大きさを測定するための方法と装置
CN113365774B (zh) 用于自动化地求取激光加工参数对激光加工的影响的方法以及激光加工机和计算机程序产品
JP2001191187A (ja) 材料加工プロセスのプロセス・パラメータを測定する方法および装置
JP4215296B2 (ja) レーザ切断機及びレーザ切断のための方法
JP4966846B2 (ja) レーザ加工用ノズルの切断性能評価方法およびその装置並びにレーザ加工用ノズルの切断性能評価装置を備えたレーザ切断加工機
KR102172957B1 (ko) 공작물의 레이저 가공 중에 거리 보정값을 결정하는 방법 및 관련 레이저 가공 기계
RU2205096C1 (ru) Способ поддержания заданного расстояния между соплом и обрабатываемой поверхностью при лазерной обработке и устройство для его осуществления
GB2300534A (en) Automatic focussing of industrial laser beam
JPH11123573A (ja) 加工ヘッドにおけるギャップセンサのキャリブレーション方法及びその装置
RU2139783C1 (ru) Устройство для лазерной резки
JPH10249560A (ja) レーザー加工方法および装置
KR102584554B1 (ko) Mct용 레이저 궤적 이송 장치
JPH06673A (ja) レーザ加工装置
JPH05177372A (ja) レーザ加工装置
JP2551547B2 (ja) レーザ加工機のフォーカスヘッド
JPS6277193A (ja) レ−ザ加工ヘツド調整装置
RU2112636C1 (ru) Способ лазерной обработки и устройство для его осуществления
JP3268085B2 (ja) レーザ加工機
KR19980056004A (ko) 레이저 용접 방법 및 장치
JPH08150490A (ja) レーザ加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20111002