JP2551547B2 - レーザ加工機のフォーカスヘッド - Google Patents
レーザ加工機のフォーカスヘッドInfo
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- JP2551547B2 JP2551547B2 JP4101594A JP10159492A JP2551547B2 JP 2551547 B2 JP2551547 B2 JP 2551547B2 JP 4101594 A JP4101594 A JP 4101594A JP 10159492 A JP10159492 A JP 10159492A JP 2551547 B2 JP2551547 B2 JP 2551547B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- electrode
- workpiece
- center electrode
- guard electrode
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工機のフォーカ
スヘッドに関し、より詳しくは静電容量センサとダメー
ジセンサとを備えるフォーカスヘッドに関する。
スヘッドに関し、より詳しくは静電容量センサとダメー
ジセンサとを備えるフォーカスヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォーカスヘッドと被加工物との
間隔を一定に制御するために、静電容量センサを用いる
ことが知られている。そして通常、静電容量センサを備
えたフォーカスヘッドは、ハウジングに設けられて先端
部から被加工物に向けてレーザ光線を照射する中空逆円
錐形状のノズルと、このノズルの先端部に絶縁して設け
た中心電極と、この中心電極に電気的に接続され、中心
電極と被加工物との間の静電容量を検出して該中心電極
と被加工物との間隔を一定に制御する制御装置とを備え
ている。ところで、上記被加工物が立体物の場合等に、
被加工物のレーザ加工部分以外の部分が中心電極に近接
するとそれに伴なって静電容量が変動するので、該中心
電極とレーザ加工部分との間隔測定に誤差が発生するよ
うになる。このため従来、上記中心電極を囲み、かつ該
中心電極に対して絶縁したガード電極を設け、上記レー
ザ加工部分以外の部分が中心電極に接近しても上記ガー
ド電極でその影響を遮断して、検出精度を向上させるこ
とが行なわれている（特開昭６２−８９５９２号公
報）。
間隔を一定に制御するために、静電容量センサを用いる
ことが知られている。そして通常、静電容量センサを備
えたフォーカスヘッドは、ハウジングに設けられて先端
部から被加工物に向けてレーザ光線を照射する中空逆円
錐形状のノズルと、このノズルの先端部に絶縁して設け
た中心電極と、この中心電極に電気的に接続され、中心
電極と被加工物との間の静電容量を検出して該中心電極
と被加工物との間隔を一定に制御する制御装置とを備え
ている。ところで、上記被加工物が立体物の場合等に、
被加工物のレーザ加工部分以外の部分が中心電極に近接
するとそれに伴なって静電容量が変動するので、該中心
電極とレーザ加工部分との間隔測定に誤差が発生するよ
うになる。このため従来、上記中心電極を囲み、かつ該
中心電極に対して絶縁したガード電極を設け、上記レー
ザ加工部分以外の部分が中心電極に接近しても上記ガー
ド電極でその影響を遮断して、検出精度を向上させるこ
とが行なわれている（特開昭６２−８９５９２号公
報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のレー
ザ加工機のフォーカスヘッドにおいては、上記中心電極
とガード電極とはノズルに一体に、すなわちノズルに分
解不能に取付けられており、中心電極とガード電極の一
方ないし双方が損傷した際にはノズルごと交換する必要
があり、不経済であった。
ザ加工機のフォーカスヘッドにおいては、上記中心電極
とガード電極とはノズルに一体に、すなわちノズルに分
解不能に取付けられており、中心電極とガード電極の一
方ないし双方が損傷した際にはノズルごと交換する必要
があり、不経済であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明はそのような事情
に鑑み、上述した静電容量センサを備えたレーザ加工機
のフォーカスヘッドにおいて、すなわちハウジングに設
けられて先端部から被加工物に向けてレーザ光線を照射
する中空逆円錐形状のノズルと、このノズルの先端部に
絶縁して設けた中心電極と、この中心電極を囲み、かつ
該中心電極に対して絶縁して設けたガード電極と、上記
中心電極に電気的に接続され、中心電極と被加工物との
間の静電容量を検出して該中心電極と被加工物との間隔
を一定に制御する制御装置とを備えたレーザ加工機のフ
ォーカスヘッドにおいて、上記ガード電極を中空逆円錐
形状の部材から構成するとともに、該ガード電極内に絶
縁体を介して上記中心電極を収容し、さらに該ガード電
極を上記ノズルの先端部に螺着したものである。
に鑑み、上述した静電容量センサを備えたレーザ加工機
のフォーカスヘッドにおいて、すなわちハウジングに設
けられて先端部から被加工物に向けてレーザ光線を照射
する中空逆円錐形状のノズルと、このノズルの先端部に
絶縁して設けた中心電極と、この中心電極を囲み、かつ
該中心電極に対して絶縁して設けたガード電極と、上記
中心電極に電気的に接続され、中心電極と被加工物との
間の静電容量を検出して該中心電極と被加工物との間隔
を一定に制御する制御装置とを備えたレーザ加工機のフ
ォーカスヘッドにおいて、上記ガード電極を中空逆円錐
形状の部材から構成するとともに、該ガード電極内に絶
縁体を介して上記中心電極を収容し、さらに該ガード電
極を上記ノズルの先端部に螺着したものである。
【０００５】
【作用】上記構成によれば、ノズルの先端部に螺着した
ガード電極をノズルの先端部から取外すことができ、ま
た必要に応じてガード電極内の中心電極をガード電極か
ら取外すことが可能なので、中心電極とガード電極の一
方ないし双方が被加工物との衝突やレーザ光線の照射時
に生じるスパッタ等によって損傷された際には、その損
傷に応じて、ノズルを交換することなく、中心電極とガ
ード電極の一方ないし双方を交換することができ、経済
的となる。
ガード電極をノズルの先端部から取外すことができ、ま
た必要に応じてガード電極内の中心電極をガード電極か
ら取外すことが可能なので、中心電極とガード電極の一
方ないし双方が被加工物との衝突やレーザ光線の照射時
に生じるスパッタ等によって損傷された際には、その損
傷に応じて、ノズルを交換することなく、中心電極とガ
ード電極の一方ないし双方を交換することができ、経済
的となる。
【０００６】
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、レーザ加工機のフォーカスヘッド１は、筒状金属製
のハウジング２と、このハウジング２内にホルダ３を介
して取付けた集光レンズ４と、さらに上記ハウジング２
の下端部に取付けた金属製の中空逆円錐形状のノズル５
とを備えている。上記ハウジング２の軸部に鉛直下方に
向けて導入されたレーザ光線Ｌは、上記集光レンズ４で
集光され、上記ノズル５の軸部を通過して被加工物６に
照射されるようになっている。またこの際、上記ハウジ
ング２内にアシストガス供給通路７を介してアシストガ
スが導入され、このアシストガスも上記ノズル５の軸部
を流通してレーザ光線Ｌの照射位置に供給されるように
なっている。
と、レーザ加工機のフォーカスヘッド１は、筒状金属製
のハウジング２と、このハウジング２内にホルダ３を介
して取付けた集光レンズ４と、さらに上記ハウジング２
の下端部に取付けた金属製の中空逆円錐形状のノズル５
とを備えている。上記ハウジング２の軸部に鉛直下方に
向けて導入されたレーザ光線Ｌは、上記集光レンズ４で
集光され、上記ノズル５の軸部を通過して被加工物６に
照射されるようになっている。またこの際、上記ハウジ
ング２内にアシストガス供給通路７を介してアシストガ
スが導入され、このアシストガスも上記ノズル５の軸部
を流通してレーザ光線Ｌの照射位置に供給されるように
なっている。
【０００７】上記ハウジング２は図示しない昇降機構に
よって昇降され、またこのハウジング２と上記被加工物
６を載置した図示しない加工テーブルとを適宜の駆動機
構によって水平面内で相互に直交する方向に相対移動さ
せることにより、上記被加工物６の任意の位置に所要の
レーザ加工を施すことができるようにしている。上記ノ
ズル５の下部先端には、ノズル５と導電性を有する被加
工物６との間の間隔を測定するための中心電極１０を絶
縁体１１を介して取付けてあり、該中心電極１０を制御
装置１２の一部を構成する発振装置１３に接続してい
る。この発振装置１３は、上記中心電極１０と被加工物
６の加工部６ａとの間の間隙変化に伴なう静電容量の変
化を、発振周波数の変化として検出し、上記制御装置１
２はその検出値に基づいて上述した昇降機構を制御し、
中心電極１０と加工部６ａとの間隔が一定となるように
フォーカスヘッド１を昇降させるようになっている。
よって昇降され、またこのハウジング２と上記被加工物
６を載置した図示しない加工テーブルとを適宜の駆動機
構によって水平面内で相互に直交する方向に相対移動さ
せることにより、上記被加工物６の任意の位置に所要の
レーザ加工を施すことができるようにしている。上記ノ
ズル５の下部先端には、ノズル５と導電性を有する被加
工物６との間の間隔を測定するための中心電極１０を絶
縁体１１を介して取付けてあり、該中心電極１０を制御
装置１２の一部を構成する発振装置１３に接続してい
る。この発振装置１３は、上記中心電極１０と被加工物
６の加工部６ａとの間の間隙変化に伴なう静電容量の変
化を、発振周波数の変化として検出し、上記制御装置１
２はその検出値に基づいて上述した昇降機構を制御し、
中心電極１０と加工部６ａとの間隔が一定となるように
フォーカスヘッド１を昇降させるようになっている。
【０００８】また、上記ノズル５の下部先端には中心電
極１０を囲むガード電極１４を取付けてあり、このガー
ド電極１４によって例えば被加工物６の突起部６ｂが中
心電極１０に接近しても、上記中心電極１０と加工部６
ａとの間の静電容量に影響を受ることのないようにして
いる。上記ガード電極１４は上記絶縁体１１により中心
電極１０に対して絶縁して設けているが、ノズル５には
電気的に接続している。上記ガード電極１４は下方が窄
まった逆円錐形状に形成してあり、その上方内周面を上
記ノズル５の下方先端部の外周に着脱自在に螺着してい
る。また、上記中心電極１０と絶縁体１１は逆円錐形状
のガード電極１４内に収容してあり、ガード電極１４を
ノズル５の先端部に螺着することにより、該ノズル５の
先端部に着脱自在に取付けている。然して、上記ノズル
５の上端部外周には環状の絶縁体１５を取付けてあり、
該絶縁体１５を上記ハウジング２の一部を構成する金属
製の筒状パイプ１６内に嵌合するとともに、該筒状パイ
プ１６の下端部に半径方向内方に向けて形成したフラン
ジ部１６ａ上に載置させている。そしてハウジング２と
絶縁体１５との間にばね１７を弾装することにより、通
常はノズル５の軸心をハウジング２の軸心に一致させた
図示状態に維持し、ノズル５に上記突起部６ｂ等が当接
した際には、上記ばね１７に抗してノズル５を揺動させ
ることができるようにしている。
極１０を囲むガード電極１４を取付けてあり、このガー
ド電極１４によって例えば被加工物６の突起部６ｂが中
心電極１０に接近しても、上記中心電極１０と加工部６
ａとの間の静電容量に影響を受ることのないようにして
いる。上記ガード電極１４は上記絶縁体１１により中心
電極１０に対して絶縁して設けているが、ノズル５には
電気的に接続している。上記ガード電極１４は下方が窄
まった逆円錐形状に形成してあり、その上方内周面を上
記ノズル５の下方先端部の外周に着脱自在に螺着してい
る。また、上記中心電極１０と絶縁体１１は逆円錐形状
のガード電極１４内に収容してあり、ガード電極１４を
ノズル５の先端部に螺着することにより、該ノズル５の
先端部に着脱自在に取付けている。然して、上記ノズル
５の上端部外周には環状の絶縁体１５を取付けてあり、
該絶縁体１５を上記ハウジング２の一部を構成する金属
製の筒状パイプ１６内に嵌合するとともに、該筒状パイ
プ１６の下端部に半径方向内方に向けて形成したフラン
ジ部１６ａ上に載置させている。そしてハウジング２と
絶縁体１５との間にばね１７を弾装することにより、通
常はノズル５の軸心をハウジング２の軸心に一致させた
図示状態に維持し、ノズル５に上記突起部６ｂ等が当接
した際には、上記ばね１７に抗してノズル５を揺動させ
ることができるようにしている。
【０００９】さらに、上記絶縁体１５とノズル５との間
に金属製のプレート１８を挟着し、ノズル５の軸心がハ
ウジング２の軸心に一致した図示状態ではプレート１８
を筒状パイプ１６から離隔させているが、ノズル５が筒
状パイプ１６に対して所定量以上揺動した際には、プレ
ート１８を筒状パイプ１６に接触させて電気的に接続す
るようにしている。そして上記ハウジング２および筒状
パイプ１６をアース電極としてこれに上記被加工物を電
気的に接続するとともに、該アース電極を上記制御装置
１２の電源回路１９に接続している。他方、上記ノズル
５およびガード電極１４も上記電源回路１９に接続し、
それによってガード電極１４と被加工物６とが接触した
こと、およびノズル５側のプレート１８とハウジング２
側の筒状パイプ１６とが接触したことを上記制御装置１
２で検出できるようにしている。
に金属製のプレート１８を挟着し、ノズル５の軸心がハ
ウジング２の軸心に一致した図示状態ではプレート１８
を筒状パイプ１６から離隔させているが、ノズル５が筒
状パイプ１６に対して所定量以上揺動した際には、プレ
ート１８を筒状パイプ１６に接触させて電気的に接続す
るようにしている。そして上記ハウジング２および筒状
パイプ１６をアース電極としてこれに上記被加工物を電
気的に接続するとともに、該アース電極を上記制御装置
１２の電源回路１９に接続している。他方、上記ノズル
５およびガード電極１４も上記電源回路１９に接続し、
それによってガード電極１４と被加工物６とが接触した
こと、およびノズル５側のプレート１８とハウジング２
側の筒状パイプ１６とが接触したことを上記制御装置１
２で検出できるようにしている。
【００１０】以上の構成において、被加工物６が導電性
を有する場合には、先ず該被加工物６をアース電極であ
るハウジング２に接続する。このとき、被加工物６を電
源回路１９のアース電極側に直接接続してもよいことは
勿論である。そしてこの状態でレーザ加工を行なえば、
上記制御装置１２は発振装置１３からの検出信号を入力
しながら上記中心電極１０と被加工物６との間隙を一定
に保って該被加工物６にレーザ加工を施す。この状態で
は、前述したように中心電極１０はガード電極１４に囲
まれているので、被加工物６の突起部６ｂが中心電極１
０に接近しても中心電極１０と加工部６ａとの間の静電
容量に影響を受ることがなく、したがって中心電極１０
と加工部６ａとの間隙を常に一定に保ちながらレーザ加
工を施すことができる。そしてティーチングミスや被加
工物６のセットミス等により、上記突起部６ｂがガード
電極１４若しくはノズル５に接触した際には、ノズル
５、ガード電極１４、被加工物６およびハウジング２を
介して閉回路が形成されるので、上記制御装置１２は直
ちにフォーカスヘッド１と被加工物６との相対移動を停
止させるとともに、レーザ発振を停止させる。またこの
際、フォーカスヘッド１と被加工物６との相対移動速度
が大きくて上記突起部６ｂとガード電極１４若しくはノ
ズル５とが接触した後に両者が相対移動したとしても、
上記ノズル５がハウジング２に対して揺動することがで
きるので、該ノズル５やガード電極１４が破損されるこ
とがない。
を有する場合には、先ず該被加工物６をアース電極であ
るハウジング２に接続する。このとき、被加工物６を電
源回路１９のアース電極側に直接接続してもよいことは
勿論である。そしてこの状態でレーザ加工を行なえば、
上記制御装置１２は発振装置１３からの検出信号を入力
しながら上記中心電極１０と被加工物６との間隙を一定
に保って該被加工物６にレーザ加工を施す。この状態で
は、前述したように中心電極１０はガード電極１４に囲
まれているので、被加工物６の突起部６ｂが中心電極１
０に接近しても中心電極１０と加工部６ａとの間の静電
容量に影響を受ることがなく、したがって中心電極１０
と加工部６ａとの間隙を常に一定に保ちながらレーザ加
工を施すことができる。そしてティーチングミスや被加
工物６のセットミス等により、上記突起部６ｂがガード
電極１４若しくはノズル５に接触した際には、ノズル
５、ガード電極１４、被加工物６およびハウジング２を
介して閉回路が形成されるので、上記制御装置１２は直
ちにフォーカスヘッド１と被加工物６との相対移動を停
止させるとともに、レーザ発振を停止させる。またこの
際、フォーカスヘッド１と被加工物６との相対移動速度
が大きくて上記突起部６ｂとガード電極１４若しくはノ
ズル５とが接触した後に両者が相対移動したとしても、
上記ノズル５がハウジング２に対して揺動することがで
きるので、該ノズル５やガード電極１４が破損されるこ
とがない。
【００１１】これに対し、被加工物６が非導電性材料で
ある場合には、該被加工物６と中心電極８との間隙を検
出できないこととなるが、フォーカスヘッド１の高さを
一定に維持したままレーザ加工を施すことが可能であ
る。そしてこの場合には、ガード電極１４や中心電極１
０若しくはノズル５が被加工物６の突起部６ｂに接触し
た場合には、上述の場合と異なりその接触を直ちに検出
することはできないが、該接触によってノズル５が筒状
パイプ１６に対して所定量以上揺動されると、ノズル５
側のプレート１８が筒状パイプ１６に接触するので、ノ
ズル５、プレート１８、筒状パイプ１６およびハウジン
グ２を介して閉回路が形成されるようになる。したがっ
てこの場合にも、上記制御装置１２によって直ちにフォ
ーカスヘッド１と被加工物６との相対移動が停止される
とともに、レーザ発振も停止される。このようなノズル
５の揺動による衝突の検出は、導電性材料からなる被加
工物６を加工している最中に、ノズル５がその被加工物
６以外の非導電性材料からなる障害物に衝突した際にお
いても有効である。
ある場合には、該被加工物６と中心電極８との間隙を検
出できないこととなるが、フォーカスヘッド１の高さを
一定に維持したままレーザ加工を施すことが可能であ
る。そしてこの場合には、ガード電極１４や中心電極１
０若しくはノズル５が被加工物６の突起部６ｂに接触し
た場合には、上述の場合と異なりその接触を直ちに検出
することはできないが、該接触によってノズル５が筒状
パイプ１６に対して所定量以上揺動されると、ノズル５
側のプレート１８が筒状パイプ１６に接触するので、ノ
ズル５、プレート１８、筒状パイプ１６およびハウジン
グ２を介して閉回路が形成されるようになる。したがっ
てこの場合にも、上記制御装置１２によって直ちにフォ
ーカスヘッド１と被加工物６との相対移動が停止される
とともに、レーザ発振も停止される。このようなノズル
５の揺動による衝突の検出は、導電性材料からなる被加
工物６を加工している最中に、ノズル５がその被加工物
６以外の非導電性材料からなる障害物に衝突した際にお
いても有効である。
【００１２】さらに、上記ガード電極１４や中心電極１
０が被加工物６の突起部６ｂに接触した場合には、上述
したようにフォーカスヘッド１と被加工物６との相対移
動が停止されるが、それでもガード電極１４と中心電極
１０とのいずれか一方ないし双方が損傷された場合に
は、ノズル５を交換することなくそれらを交換すること
ができる。すなわちその場合には、ノズル５に螺着され
たガード電極１４を該ノズル５から取外し、ガード電極
１４の内部の中心電極１０と絶縁体１１との一体物を該
ガード電極１４から分離する。そして損傷されたガード
電極１４と中心電極１０の一方ないし双方を新品に交換
して、再びノズル５に組付ければよい。
０が被加工物６の突起部６ｂに接触した場合には、上述
したようにフォーカスヘッド１と被加工物６との相対移
動が停止されるが、それでもガード電極１４と中心電極
１０とのいずれか一方ないし双方が損傷された場合に
は、ノズル５を交換することなくそれらを交換すること
ができる。すなわちその場合には、ノズル５に螺着され
たガード電極１４を該ノズル５から取外し、ガード電極
１４の内部の中心電極１０と絶縁体１１との一体物を該
ガード電極１４から分離する。そして損傷されたガード
電極１４と中心電極１０の一方ないし双方を新品に交換
して、再びノズル５に組付ければよい。
【００１３】なお、上記実施例では絶縁体１１は中心電
極１０の外周を囲んでそれと一体となっているが、両者
を分解可能に組立てることができることは勿論である。
また、上記ガード電極１４や中心電極１０の交換は、そ
れらが突起部６ｂに接触して損傷された際だけではな
く、レーザ光線Ｌの熱やスパッタによって損傷された際
にも行なうことができることも勿論である。また上記実
施例では、ノズル５をハウジング２に対して揺動可能と
しているが、導電性材料の被加工物６を加工する場合に
はより簡単に、ガード電極１４に電気的に接続したノズ
ル５をハウジング２に絶縁体を介して固定し、又はハウ
ジング２に固定したノズル５にガード電極１４を絶縁体
を介して固定し、そのガード電極１４と被加工物６とを
それぞれ電源回路１９に接続して、該ガード電極と被加
工物との接触を検出できるようにしてもよい。
極１０の外周を囲んでそれと一体となっているが、両者
を分解可能に組立てることができることは勿論である。
また、上記ガード電極１４や中心電極１０の交換は、そ
れらが突起部６ｂに接触して損傷された際だけではな
く、レーザ光線Ｌの熱やスパッタによって損傷された際
にも行なうことができることも勿論である。また上記実
施例では、ノズル５をハウジング２に対して揺動可能と
しているが、導電性材料の被加工物６を加工する場合に
はより簡単に、ガード電極１４に電気的に接続したノズ
ル５をハウジング２に絶縁体を介して固定し、又はハウ
ジング２に固定したノズル５にガード電極１４を絶縁体
を介して固定し、そのガード電極１４と被加工物６とを
それぞれ電源回路１９に接続して、該ガード電極と被加
工物との接触を検出できるようにしてもよい。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、中心電
極とガード電極の一方ないし双方が被加工物との衝突や
レーザ光線の照射時に生じるスパッタ等によって損傷さ
れた際には、その損傷に応じて、ノズルを交換すること
なく、中心電極とガード電極の一方ないし双方を交換す
ることができるので、経済的になるという効果が得られ
る。
極とガード電極の一方ないし双方が被加工物との衝突や
レーザ光線の照射時に生じるスパッタ等によって損傷さ
れた際には、その損傷に応じて、ノズルを交換すること
なく、中心電極とガード電極の一方ないし双方を交換す
ることができるので、経済的になるという効果が得られ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す部分断面系統図。
１…フォーカスヘッド ２…ハウジング ５…ノ
ズル ６…被加工物 １０…中心電極 １１、
１５…絶縁体 １２…制御装置 １３…発振装置 １４…
ガード電極 １６…筒状パイプ １８…プレート １９…
電源回路 Ｌ…レーザ光線
ズル ６…被加工物 １０…中心電極 １１、
１５…絶縁体 １２…制御装置 １３…発振装置 １４…
ガード電極 １６…筒状パイプ １８…プレート １９…
電源回路 Ｌ…レーザ光線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−278981（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−49389（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−113882（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】 ハウジングに設けられて先端部から被加
工物に向けてレーザ光線を照射する中空逆円錐形状のノ
ズルと、このノズルの先端部に絶縁して設けた中心電極
と、この中心電極を囲み、かつ該中心電極に対して絶縁
して設けたガード電極と、上記中心電極に電気的に接続
され、中心電極と被加工物との間の静電容量を検出して
該中心電極と被加工物との間隔を一定に制御する制御装
置とを備えたレーザ加工機のフォーカスヘッドにおい
て、上記ガード電極を中空逆円錐形状の部材から構成すると
ともに、該ガード電極内に絶縁体を介して上記中心電極
を収容し、さらに該ガード電極を上記ノズルの先端部に
螺着し たことを特徴とするレーザ加工機のフォーカスヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101594A JP2551547B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | レーザ加工機のフォーカスヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4101594A JP2551547B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | レーザ加工機のフォーカスヘッド |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63108788A Division JPH01278981A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | レーザ加工機のフォーカスヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05115988A JPH05115988A (ja) | 1993-05-14 |
| JP2551547B2 true JP2551547B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=14304712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4101594A Expired - Lifetime JP2551547B2 (ja) | 1992-03-27 | 1992-03-27 | レーザ加工機のフォーカスヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551547B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008302385A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Amada Co Ltd | レーザ加工ヘッド及び同レーザ加工ヘッドに使用するレンズユニットとアシストガスノズルの製作方法 |
| WO2013133415A1 (ja) | 2012-03-09 | 2013-09-12 | 株式会社トヨコー | レーザー照射装置、レーザー照射システム及び塗膜又は付着物除去方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62109887U (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-13 | ||
| JPH0321828Y2 (ja) * | 1985-12-28 | 1991-05-13 | ||
| JPH0761555B2 (ja) * | 1986-08-18 | 1995-07-05 | 株式会社日平トヤマ | レ−ザ加工装置 |
| JPH01278981A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-09 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ加工機のフォーカスヘッド |
-
1992
- 1992-03-27 JP JP4101594A patent/JP2551547B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05115988A (ja) | 1993-05-14 |
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