JPH08141768A - レーザー加工装置の加工ヘッド - Google Patents
レーザー加工装置の加工ヘッドInfo
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- JPH08141768A JPH08141768A JP6281994A JP28199494A JPH08141768A JP H08141768 A JPH08141768 A JP H08141768A JP 6281994 A JP6281994 A JP 6281994A JP 28199494 A JP28199494 A JP 28199494A JP H08141768 A JPH08141768 A JP H08141768A
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- Japan
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- cooling water
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- laser beam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 デッドゾーンが少なく被加工材上の障害物と
干渉しない静電容量センサーを備えた材料冷却式レーザ
ー加工ヘッドの提供。 【構成】 レーザー光とアシストガスとが通過可能にア
シストガス噴射口を形成したノズルの先端部の周囲に、
被加工材との間隙を非接触で検出する静電容量センサー
の円環状平板状電極を前記ノズルと同軸に配置すると共
に、該円環状平板状電極の下面と前記ノズルの下端面と
を同一平面に配置したことを特徴とするレーザー加工装
置の加工ヘッド。
干渉しない静電容量センサーを備えた材料冷却式レーザ
ー加工ヘッドの提供。 【構成】 レーザー光とアシストガスとが通過可能にア
シストガス噴射口を形成したノズルの先端部の周囲に、
被加工材との間隙を非接触で検出する静電容量センサー
の円環状平板状電極を前記ノズルと同軸に配置すると共
に、該円環状平板状電極の下面と前記ノズルの下端面と
を同一平面に配置したことを特徴とするレーザー加工装
置の加工ヘッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被加工材との距離を非接
触で測定するための静電容量式センサーを備えたレーザ
ー加工装置の加工ヘッドに関する。
触で測定するための静電容量式センサーを備えたレーザ
ー加工装置の加工ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザー加工装置によってレーザー加工
を行う場合、加工ヘッドのノズルの先端と被加工物との
間隙が変化するとレーザービームの焦点位置が変化して
切断品質が不均一になるのでこの間隙を一定に維持する
必要がある。前記間隙を一定に制御するための手段には
色々の手段があるが静電容量方式または渦電流方式がよ
く利用されている。
を行う場合、加工ヘッドのノズルの先端と被加工物との
間隙が変化するとレーザービームの焦点位置が変化して
切断品質が不均一になるのでこの間隙を一定に維持する
必要がある。前記間隙を一定に制御するための手段には
色々の手段があるが静電容量方式または渦電流方式がよ
く利用されている。
【０００３】また、レーザーで金属の厚板を切断加工す
る場合には、切断部分の熱影響部分をできる限り少なく
して良好な切断品質で切断するために、切断部分の周囲
を水冷しながら切断する加工ヘッドが使用されている。
図２は、このような加工ヘッドの例であり、この加工ヘ
ッドの構成において本件発明に関係する部分についてそ
の概要を説明する。
る場合には、切断部分の熱影響部分をできる限り少なく
して良好な切断品質で切断するために、切断部分の周囲
を水冷しながら切断する加工ヘッドが使用されている。
図２は、このような加工ヘッドの例であり、この加工ヘ
ッドの構成において本件発明に関係する部分についてそ
の概要を説明する。
【０００４】図２に示した加工ヘッド２０は、集光レン
ズ（図示省略）を取付けた加工ヘッド本体２１の下方位
置に、切断加工時に使用される冷却水を噴射するアウタ
ーノズル２３が取付けられている。このアウターノズル
２３の下端部には水路２９から給水される冷却用水の噴
出口が設けられている。このアウターノズル２３の内側
には切断加工時に使用されるアシストガス（酸素、窒
素、空気など）を被加工材Ｗに噴射するインナーノズル
ノズル２５が取付けられている。なおこのインナーノズ
ルノズル２５のアシストガス噴出口２７は前記アウター
ノズル２３から若干突出させて設けられている。
ズ（図示省略）を取付けた加工ヘッド本体２１の下方位
置に、切断加工時に使用される冷却水を噴射するアウタ
ーノズル２３が取付けられている。このアウターノズル
２３の下端部には水路２９から給水される冷却用水の噴
出口が設けられている。このアウターノズル２３の内側
には切断加工時に使用されるアシストガス（酸素、窒
素、空気など）を被加工材Ｗに噴射するインナーノズル
ノズル２５が取付けられている。なおこのインナーノズ
ルノズル２５のアシストガス噴出口２７は前記アウター
ノズル２３から若干突出させて設けられている。
【０００５】前記噴出口２７からは、アシストガスが噴
射されると共にレーザービームが被加工材Ｗのほぼ表面
に焦点を結ぶように照射される。またそれと同時に前記
アウターノズル２３からは冷却水が噴出され、レーザー
切断部の周囲は冷却されながらレーザー切断が進行する
ようになっている。
射されると共にレーザービームが被加工材Ｗのほぼ表面
に焦点を結ぶように照射される。またそれと同時に前記
アウターノズル２３からは冷却水が噴出され、レーザー
切断部の周囲は冷却されながらレーザー切断が進行する
ようになっている。
【０００６】また前記アウターノズル２３の周囲には、
被加工材追従部材３１が前記加工ヘッド本体２１の胴部
のブッシュ３３に上下方向に摺動可能に設けられ、この
被加工材追従部材３１の下面には回転自在のボール３５
が複数箇所に埋設されている。
被加工材追従部材３１が前記加工ヘッド本体２１の胴部
のブッシュ３３に上下方向に摺動可能に設けられ、この
被加工材追従部材３１の下面には回転自在のボール３５
が複数箇所に埋設されている。
【０００７】上記構成において被加工材追従部材３１
は、その自重によって被加工材Ｗの方向に付勢されてい
るので前記ボール３５は常時被加工材Ｗに接触してい
る。従って被加工材Ｗに反りがあれば、被加工材追従部
材３１はその反りに合わせて上下動することになる。
は、その自重によって被加工材Ｗの方向に付勢されてい
るので前記ボール３５は常時被加工材Ｗに接触してい
る。従って被加工材Ｗに反りがあれば、被加工材追従部
材３１はその反りに合わせて上下動することになる。
【０００８】また被加工材Ｗの表面と前記インナーノズ
ル２５の先端との間隙Ｄを検出するための静電容量セン
サー３９は、前記アウターノズル２３から噴出される冷
却水の影響を避けるために、前記被加工材追従部材３１
の外周の上方位置に設けると共に、この静電容量センサ
ー３９に間隙Ｇをおいて対峙する板状の被検知体３７が
設けられている。なお該被検知体３７と静電容量センサ
ー３９との間隙Ｇと、前記ノズル２７の先端と被加工材
Ｗとの間隙Ｄとは等しくなるように予め調整されてい
る。
ル２５の先端との間隙Ｄを検出するための静電容量セン
サー３９は、前記アウターノズル２３から噴出される冷
却水の影響を避けるために、前記被加工材追従部材３１
の外周の上方位置に設けると共に、この静電容量センサ
ー３９に間隙Ｇをおいて対峙する板状の被検知体３７が
設けられている。なお該被検知体３７と静電容量センサ
ー３９との間隙Ｇと、前記ノズル２７の先端と被加工材
Ｗとの間隙Ｄとは等しくなるように予め調整されてい
る。
【０００９】上記構成において、前記被検知体３７と静
電容量センサー３９との間隙Ｇが設定された値になるよ
うに、図示しない制御手段と加工ヘッド駆動手段とによ
り制御されているものである。
電容量センサー３９との間隙Ｇが設定された値になるよ
うに、図示しない制御手段と加工ヘッド駆動手段とによ
り制御されているものである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、アシス
トガスと共に冷却水を用いる従来の加工ヘッドにおいて
は、被加工材Ｗの反りに追従して上下動する被加工材追
従部材３１がアウターノズル２３の周囲に設けられてい
るので、被加工材Ｗを加工できる範囲が制限され、いわ
ゆるデッドゾーンが大きくなるという問題がある。
トガスと共に冷却水を用いる従来の加工ヘッドにおいて
は、被加工材Ｗの反りに追従して上下動する被加工材追
従部材３１がアウターノズル２３の周囲に設けられてい
るので、被加工材Ｗを加工できる範囲が制限され、いわ
ゆるデッドゾーンが大きくなるという問題がある。
【００１１】また被加工材Ｗに反りがあって、被加工材
追従部材３１に設けられた複数のボール３５の内、被加
工材追従部材３１に埋設されたの片側のボールにしか被
加工材Ｗが接触しない場合には、インナーノズル２５と
被加工材追従部材３１に埋設されたボールとが離れてい
るため、インナーノズル２５の位置における間隙Ｄに誤
差（設定値より大となる）が生じるという問題がある。
追従部材３１に設けられた複数のボール３５の内、被加
工材追従部材３１に埋設されたの片側のボールにしか被
加工材Ｗが接触しない場合には、インナーノズル２５と
被加工材追従部材３１に埋設されたボールとが離れてい
るため、インナーノズル２５の位置における間隙Ｄに誤
差（設定値より大となる）が生じるという問題がある。
【００１２】また被加工材上の突起物などの障害物が前
記被加工材追従部材３１またはボール３５に衝突して加
工ヘッドが損傷されるなどの問題がある。
記被加工材追従部材３１またはボール３５に衝突して加
工ヘッドが損傷されるなどの問題がある。
【００１３】またアシストガスと共に冷却水を用いる従
来の加工ヘッドにおいては、被加工材Ｗの表面とノズル
２５の先端との間隙Ｄを検出するための静電容量センサ
ー３９は、アウターノズル２３から噴出される冷却水の
影響を避けるために、被加工材追従部材３１の外周の上
方位置に設けねばならず構造が複雑になるという問題が
ある。
来の加工ヘッドにおいては、被加工材Ｗの表面とノズル
２５の先端との間隙Ｄを検出するための静電容量センサ
ー３９は、アウターノズル２３から噴出される冷却水の
影響を避けるために、被加工材追従部材３１の外周の上
方位置に設けねばならず構造が複雑になるという問題が
ある。
【００１４】さらに、従来の加工ヘッドにおいては加工
ヘッドの上下摺動部にレーザー加工時の粉塵が侵入し動
きがスムーズにいかなくなるなどの問題もあった。
ヘッドの上下摺動部にレーザー加工時の粉塵が侵入し動
きがスムーズにいかなくなるなどの問題もあった。
【００１５】本発明は上述の如き問題点に鑑みてなされ
たものであり、本発明の目的はレーザー加工時に冷却水
を使用する加工ヘッドにおいて、加工ヘッド周囲のデッ
ドゾーンの少ない構造が簡単な静電容量センサーを備え
たレーザー加工ヘッドを提供することである。また被加
工材上に多少の突起物などの障害物があっても加工ヘッ
ドと干渉しない静電容量センサーを備えたレーザー加工
ヘッドを提供することである。
たものであり、本発明の目的はレーザー加工時に冷却水
を使用する加工ヘッドにおいて、加工ヘッド周囲のデッ
ドゾーンの少ない構造が簡単な静電容量センサーを備え
たレーザー加工ヘッドを提供することである。また被加
工材上に多少の突起物などの障害物があっても加工ヘッ
ドと干渉しない静電容量センサーを備えたレーザー加工
ヘッドを提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明のレーザー加工ヘッドは、レーザー光ＬＢとア
シストガスとが通過可能にアシストガス噴射口９を形成
したノズル５の先端部の周囲に、被加工材Ｗとの間隙Ｄ
を非接触で検出する静電容量センサー１７の円環状平板
状電極２１を前記ノズル５と同軸に配置すると共に、該
円環状平板状電極２１の下面と前記ノズル５の下端面と
を同一平面に配置してなるものである。
に本発明のレーザー加工ヘッドは、レーザー光ＬＢとア
シストガスとが通過可能にアシストガス噴射口９を形成
したノズル５の先端部の周囲に、被加工材Ｗとの間隙Ｄ
を非接触で検出する静電容量センサー１７の円環状平板
状電極２１を前記ノズル５と同軸に配置すると共に、該
円環状平板状電極２１の下面と前記ノズル５の下端面と
を同一平面に配置してなるものである。
【００１７】また、前記ノズル５には冷却水を噴射する
ための環状の冷却水噴射口１１を設けるかまたは複数の
冷却水噴出孔１１を円環状に設けることが望ましい。
ための環状の冷却水噴射口１１を設けるかまたは複数の
冷却水噴出孔１１を円環状に設けることが望ましい。
【００１８】
【作用】本発明のレーザー加工装置の加工ヘッドは、円
環状の平板状電極をノズルの周囲に同軸に配置する構成
としたので、静電容量センサーの平板状電極に対して冷
却水が直接的にかかることがない。
環状の平板状電極をノズルの周囲に同軸に配置する構成
としたので、静電容量センサーの平板状電極に対して冷
却水が直接的にかかることがない。
【００１９】また、加工部から平板状電極までの距離が
短かいのでノズルと被加工材との間隙の測定誤差が小さ
くなった。
短かいのでノズルと被加工材との間隙の測定誤差が小さ
くなった。
【００２０】また加工ヘッドが被加工材に接触していな
い簡明な構造のため、被加工材上の突起物などの障害物
が加工ヘッド衝突して加工ヘッドが損傷することを極力
避けられると共に加工範囲が従来に比較して拡大した。
い簡明な構造のため、被加工材上の突起物などの障害物
が加工ヘッド衝突して加工ヘッドが損傷することを極力
避けられると共に加工範囲が従来に比較して拡大した。
【００２１】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を用いて説
明する。図１はレーザー加工装置のレーザー加工ヘッド
部の一部を示した図面である。なおこのレーザー加工ヘ
ッドは、例えば光軸移動タイプのレーザー加工装置の場
合には、加工ヘッド位置決め装置（図示省略）によっ
て、Ｘ，Ｙ軸方向の任意の位置に位置決できるようにな
っているものである。
明する。図１はレーザー加工装置のレーザー加工ヘッド
部の一部を示した図面である。なおこのレーザー加工ヘ
ッドは、例えば光軸移動タイプのレーザー加工装置の場
合には、加工ヘッド位置決め装置（図示省略）によっ
て、Ｘ，Ｙ軸方向の任意の位置に位置決できるようにな
っているものである。
【００２２】さて図１に示す筒状のレーザー加工ヘッド
１には、レーザー光ＬＢを集光する凸レンズまたは凹面
鏡などの光学系３が適宜な位置に保持されている。適宜
な位置とは、この光学系３の焦点がレーザー加工ヘッド
１の下方の位置に取付けられたノズル５の外部にくるよ
うな位置である。また光学系３より下方のレーザー加工
ヘッド１の適宜な位置には、前記アシストガスを供給す
るアシストガス供給口７が設けられている。
１には、レーザー光ＬＢを集光する凸レンズまたは凹面
鏡などの光学系３が適宜な位置に保持されている。適宜
な位置とは、この光学系３の焦点がレーザー加工ヘッド
１の下方の位置に取付けられたノズル５の外部にくるよ
うな位置である。また光学系３より下方のレーザー加工
ヘッド１の適宜な位置には、前記アシストガスを供給す
るアシストガス供給口７が設けられている。
【００２３】前記ノズル５は下方に行くにしたがって小
径となるように形成されており、その先端には切断加工
時に使用されるアシストガス（酸素、窒素、空気など）
を被加工材Ｗに噴射するアシストガス噴射口９が設けら
れている。またこのノズル５の前記噴射口９の周囲に
は、冷却水を噴射するための環状の冷却水噴射口１１が
設けられている。なお上記冷却水噴射口１１へは冷却水
が給水口１３から給水路１５を経由して図示しない給水
ポンプから給水されるようになっている。なお前記冷却
水噴射口１１は環状に設けずに多数の噴出孔を環状に設
けても同様な冷却効果を得ることができる。
径となるように形成されており、その先端には切断加工
時に使用されるアシストガス（酸素、窒素、空気など）
を被加工材Ｗに噴射するアシストガス噴射口９が設けら
れている。またこのノズル５の前記噴射口９の周囲に
は、冷却水を噴射するための環状の冷却水噴射口１１が
設けられている。なお上記冷却水噴射口１１へは冷却水
が給水口１３から給水路１５を経由して図示しない給水
ポンプから給水されるようになっている。なお前記冷却
水噴射口１１は環状に設けずに多数の噴出孔を環状に設
けても同様な冷却効果を得ることができる。
【００２４】前記レーザー加工ヘッド１の下方の外壁に
は静電容量センサー装置１７が加工ヘッド１と電気的に
絶縁された状態で取付けられている。この静電容量セン
サー装置１７からは交換が容易なセンサー端子１９が前
記ノズル５の先端部まで延長されている。このセンサー
端子１９の先端部１９Ａは面積Ｓの円環状の平板状電極
２１に形成されており、この円環状の平板状電極２１を
前記ノズル５の周囲に同軸に配置すると共に、該円環状
の平板状電極２１の下面と前記ノズル５の下端面とが同
一平面に配置されている。この円環状の平板状電極２１
と被加工材Ｗとは間隙Ｄをもって対峙していて静電容量
Ｃを有するコンデンサーを形成している。なお前記円環
状の平板状電極２１の形状は円環に限られるものではな
く例えば中空の多角形平板電極にしてもよい。また平板
電極はアルミニウムの板材を打抜き加工またはレーザー
加工して、折曲げ機などで曲げたものを利用すれば安価
であると同時に破損した時でも簡単に入手できる。
は静電容量センサー装置１７が加工ヘッド１と電気的に
絶縁された状態で取付けられている。この静電容量セン
サー装置１７からは交換が容易なセンサー端子１９が前
記ノズル５の先端部まで延長されている。このセンサー
端子１９の先端部１９Ａは面積Ｓの円環状の平板状電極
２１に形成されており、この円環状の平板状電極２１を
前記ノズル５の周囲に同軸に配置すると共に、該円環状
の平板状電極２１の下面と前記ノズル５の下端面とが同
一平面に配置されている。この円環状の平板状電極２１
と被加工材Ｗとは間隙Ｄをもって対峙していて静電容量
Ｃを有するコンデンサーを形成している。なお前記円環
状の平板状電極２１の形状は円環に限られるものではな
く例えば中空の多角形平板電極にしてもよい。また平板
電極はアルミニウムの板材を打抜き加工またはレーザー
加工して、折曲げ機などで曲げたものを利用すれば安価
であると同時に破損した時でも簡単に入手できる。
【００２５】上記構成における静電容量センサーでの前
記間隙Ｄの検出原理を簡単に説明する。周知のように、
コンデンサーを形成する両極間の絶縁体の誘電率をε、
電極面積をＳ、極間距離をＤとするとき静電容量Ｃは一
般に次の式 Ｃ＝（ε＊Ｓ）／Ｄ で与えられる。ここで、 ε＝ε0 ＊εｓ ε0 ：真空の誘電率、εｓ：比誘電率である。
記間隙Ｄの検出原理を簡単に説明する。周知のように、
コンデンサーを形成する両極間の絶縁体の誘電率をε、
電極面積をＳ、極間距離をＤとするとき静電容量Ｃは一
般に次の式 Ｃ＝（ε＊Ｓ）／Ｄ で与えられる。ここで、 ε＝ε0 ＊εｓ ε0 ：真空の誘電率、εｓ：比誘電率である。
【００２６】また一般にインダクタンス（Ｌ）と静電容
量（Ｃ）とからなる共振回路の共振周波数ｆ0 は次の式 ｆ0 ＝１／｛２π（Ｌ＊Ｃ）1/2 ｝ で与えられる。
量（Ｃ）とからなる共振回路の共振周波数ｆ0 は次の式 ｆ0 ＝１／｛２π（Ｌ＊Ｃ）1/2 ｝ で与えられる。
【００２７】静電容量センサーでの前記間隙Ｄを検出す
るには上記の関係式を利用している。前記ノズル７の下
端面と被加工材Ｗとの距離Ｄが変化すると、すなわち静
電容量センサーの静電容量Ｃが変化するので、上記の共
振周波数ｆ0 を求める式においての静電容量Ｃを変化さ
せることになり、その結果、共振周波数ｆ0 が変化する
ことになる。従って、この共振周波数ｆ0 を検出するこ
とにより、前記ノズル５の下端面と被加工材Ｗとの間の
間隙Ｄを検出することができることになる。
るには上記の関係式を利用している。前記ノズル７の下
端面と被加工材Ｗとの距離Ｄが変化すると、すなわち静
電容量センサーの静電容量Ｃが変化するので、上記の共
振周波数ｆ0 を求める式においての静電容量Ｃを変化さ
せることになり、その結果、共振周波数ｆ0 が変化する
ことになる。従って、この共振周波数ｆ0 を検出するこ
とにより、前記ノズル５の下端面と被加工材Ｗとの間の
間隙Ｄを検出することができることになる。
【００２８】実際には、図示しない制御装置により、加
工ヘッド１を上下方向（Ｚ軸）に駆動するサーボモータ
を、上述の静電容量センサー１７において検出された間
隙Ｄの値が常に設定値になるように制御して、ノズル５
の下端面と被加工材Ｗとの間隙を制御するものである。
工ヘッド１を上下方向（Ｚ軸）に駆動するサーボモータ
を、上述の静電容量センサー１７において検出された間
隙Ｄの値が常に設定値になるように制御して、ノズル５
の下端面と被加工材Ｗとの間隙を制御するものである。
【００２９】以上の構成において、前記ノズル５のアシ
ストガス噴射口９からアシストガスを噴射させると共に
レーザー光ＬＢを被加工材Ｗに照射し、前記冷却水噴射
口１１から噴射する冷却水により被加工材Ｗの切断部近
傍を冷却しながらレーザー加工がなされる。一方、被加
工材Ｗとノズル５との間隙Ｄは上記構成の静電容量セン
サー１７により設定された間隙Ｄが正確に維持される。
なお被加工材Ｗの切断部近傍に噴射された冷却水は、水
噴霧の状態で噴出される上にアシストガスのジェットと
レーザーの熱エネルギーによって瞬時に気化されるので
静電容量センサーの測定にはほとんど影響がない。
ストガス噴射口９からアシストガスを噴射させると共に
レーザー光ＬＢを被加工材Ｗに照射し、前記冷却水噴射
口１１から噴射する冷却水により被加工材Ｗの切断部近
傍を冷却しながらレーザー加工がなされる。一方、被加
工材Ｗとノズル５との間隙Ｄは上記構成の静電容量セン
サー１７により設定された間隙Ｄが正確に維持される。
なお被加工材Ｗの切断部近傍に噴射された冷却水は、水
噴霧の状態で噴出される上にアシストガスのジェットと
レーザーの熱エネルギーによって瞬時に気化されるので
静電容量センサーの測定にはほとんど影響がない。
【００３０】なおまた本発明のレーザー加工装置の加工
ヘッドは、光軸移動タイプのレーザー加工装置または光
軸固定タイプのどちらのレーザー加工装置にも利用する
ことができるものである。
ヘッドは、光軸移動タイプのレーザー加工装置または光
軸固定タイプのどちらのレーザー加工装置にも利用する
ことができるものである。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように本発明
は、静電容量センサーの電極にノズルからの冷却水が直
接かからないように、円環状の平板状電極をノズルの周
囲に同軸に配置する構成としたので、レーザー加工ヘッ
ドの構成をコンパクトにすることができる。その結果、
従来の冷却水を使用したレーザー加工ヘッドに比較して
被加工材の加工領域を拡大することができる。
は、静電容量センサーの電極にノズルからの冷却水が直
接かからないように、円環状の平板状電極をノズルの周
囲に同軸に配置する構成としたので、レーザー加工ヘッ
ドの構成をコンパクトにすることができる。その結果、
従来の冷却水を使用したレーザー加工ヘッドに比較して
被加工材の加工領域を拡大することができる。
【００３２】また本発明よれば、静電容量センサーの電
極をノズルの周囲に同軸に配置する構成としたので被加
工材上の障害物にレーザー加工ヘッドが干渉することが
ない。
極をノズルの周囲に同軸に配置する構成としたので被加
工材上の障害物にレーザー加工ヘッドが干渉することが
ない。
【００３３】また本発明よれば、静電容量センサーの電
極とノズルとが同軸に配置されている上に、加工部から
電極までの距離が短いので静電容量センサーの測定精度
が向上する。
極とノズルとが同軸に配置されている上に、加工部から
電極までの距離が短いので静電容量センサーの測定精度
が向上する。
【００３４】さらにまた、円環状の平板状電極は製作が
簡単で安価でありユーザーでも作ることができる。
簡単で安価でありユーザーでも作ることができる。
【図１】本発明に係わるレーザー加工ヘッドの実施例。
【図２】従来のレーザー加工ヘッドの例。
１ レーザー加工ヘッド ３ 光学系 ５ ノズル ９ アシストガス噴射口 １１ 冷却水噴射口 １７ 静電容量センサー装置 ２１ 平板状電極 Ｄ 間隙 ＬＢ レーザー光 Ｗ 被加工材
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザー光ＬＢとアシストガスとが通過
可能にアシストガス噴射口９を形成したノズル５の先端
部の周囲に、被加工材Ｗとの間隙Ｄを非接触で検出する
静電容量センサー１７の円環状平板状電極２１を前記ノ
ズル５と同軸に配置すると共に、該円環状平板状電極２
１の下面と前記ノズル５の下端面とを同一平面に配置し
たことを特徴とするレーザー加工装置の加工ヘッド。 - 【請求項２】 前記ノズル５に冷却水を噴射するための
環状の冷却水噴射口１１を設けたことを特徴とする請求
項１に記載のレーザー加工装置の加工ヘッド。 - 【請求項３】 前記ノズル５に冷却水を噴射するための
複数の冷却水噴出孔１１を円環状に設けたことを特徴と
する請求項１に記載のレーザー加工装置の加工ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6281994A JPH08141768A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | レーザー加工装置の加工ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6281994A JPH08141768A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | レーザー加工装置の加工ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08141768A true JPH08141768A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17646752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6281994A Pending JPH08141768A (ja) | 1994-11-16 | 1994-11-16 | レーザー加工装置の加工ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08141768A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000046998A (ko) * | 1998-12-31 | 2000-07-25 | 추호석 | 레이저 가공기의 갭 측정장치 |
| JP2013215743A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
| WO2018008400A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| WO2018079180A1 (ja) | 2016-10-27 | 2018-05-03 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工ヘッドに対する冷却水の供給方法及び装置並びに冷却水の製造方法 |
| CN109894755A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-06-18 | 奔腾激光(温州)有限公司 | 一种冷却激光切割头 |
| CN111014989A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-04-17 | 济南邦德激光股份有限公司 | 一种冷却系统、激光切割系统及冷却方法 |
| US11878370B2 (en) | 2016-10-27 | 2024-01-23 | Amada Holdings Co., Ltd. | Method of and apparatus for supplying cooling water to laser processing head and method of producing cooling water |
-
1994
- 1994-11-16 JP JP6281994A patent/JPH08141768A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20000046998A (ko) * | 1998-12-31 | 2000-07-25 | 추호석 | 레이저 가공기의 갭 측정장치 |
| JP2013215743A (ja) * | 2012-04-05 | 2013-10-24 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置 |
| WO2018008400A1 (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| JP2018001243A (ja) * | 2016-07-05 | 2018-01-11 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
| WO2018079180A1 (ja) | 2016-10-27 | 2018-05-03 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工ヘッドに対する冷却水の供給方法及び装置並びに冷却水の製造方法 |
| US11878370B2 (en) | 2016-10-27 | 2024-01-23 | Amada Holdings Co., Ltd. | Method of and apparatus for supplying cooling water to laser processing head and method of producing cooling water |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040909 |
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| A02 | Decision of refusal |
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