JPS605631Y2 - 弾性表面波素子 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、弾性表面波素子の構造に係るもので、不要な
弾性表面波を吸収するための構造の改良に関するもので
ある。

弾性表面波素子は、圧電特性を利用して、インターデジ
タル電極によって電気−機械変換を行なうものである。

すなわち、入力のインターデジタル電極によって入力電
気信号を弾性表面波に変換し、基板表面を伝搬した弾性
表面波を出力のインターデジタル電極によって出力電気
信号に変換するものである。

その周波数特性、遅延時間特性を利用して、フィルタ、
遅延線などとして用いられる。

この弾性表面波素子においては、入力信号によって励振
された弾性表面波が直接出力のインターデジタル電極に
到達して出力信号に変換されるだけではない。

入力電極において電気信号から変換される弾性表面波は
、出力電極側に向って伝播するとともにその反対側の基
板端面に向って伝搬して行く。

また、出力電極に到達した弾性表面波の一部は出力電気
信号に変換されないまま出力のインターデジタル電極を
通過して基板端面に向って伝搬する。

上記のようにして基板の端面に向って伝搬する弾性表面
波は、基板の端面において反射して向きを変え出力電極
に向って伝播する。

この反射して伝播した弾性表面波は出力電極において電
気信号に変換されてしまう。

この弾性表面波は、入出力電極間を直接伝播した弾性表
面波とは位相、遅延時間が異なるので、出力電気信号の
特性に大きな影響を及ぼし、フィルタに用いる場合には
リップルの要因となっている。

そこで、上記のような不要の弾性表面波を除去するため
の手段が考えられといる。

現在、弾性表面波素子として最適と考えられえいる圧電
薄膜を用いた弾性表面波素子においては、第１図のよう
に、基板１０の表面にインターデジタル電極１１を設け
、その上に酸化亜鉛等の圧電薄膜１２を形威し、弾性表
面波の伝播路の延長上の基板端面付近に吸収材１３を塗
布している。

しかし、上記の吸収材の塗布は製造上の大きな困難を伴
う。

先ず、入出力電極上に吸収材が塗布されないようにしな
ければならない。

そのために塗布する領域の寸法精度を非常に高くしなけ
ればならない。

圧電薄膜を用いた場合には、基板表面と圧電薄膜の表面
との間に段差ができるので精度を上げることは難しい。

また、吸収材に十分な効果を持たせるためには、ある程
度広い面積にわたって吸収材を塗布しなければならない
。

上記の問題を解決するためには、基板の寸法を大きくし
て端面付近に吸収材を塗布する領域を広くとれば良いが
、これでは、パッケージが困難になって装置自体が大型
化し、高価となってしまつ。

本考案は、上記のような欠点を解消し、小型で製造が容
易な、しかも信頼性の高い弾性表面波素子を得ることを
目的とする。

本考案による弾性表面波素子は、圧電薄膜を形成し更に
その上に吸収材を塗布する領域の基板表面に凹凸を具え
るものである。

以下図面に従って説明する。

第２図は、本考案の実施例の正面図である。

ガラス等の絶縁性の基板２０の表面にインターデジタル
電極２１を設けるが、このとき、入力出のインターデジ
タル電極の基板の端面側に付加電極２１を同時に設ける
。

すなわちインターデジタル電極をフォトエツチングによ
って形成するときに、同時に付加電極２１′をも形成す
る。

電極パターンのマスクを形成するときに付加電極２１′
のパターンをも形成しておくようにすれば、工数を増加
させることもなく付加電極が形成される。

なお、この付加電極は浮遊電極としても接地電極として
も良い。

電極を形成した基板２０の表面に酸化亜鉛などの圧電薄
膜２２を形成する。

この圧電薄膜２２は全体的には平坦な表面となるが、付
加電極２１′のある領域においては、その厚みに応じて
表面に凹凸が形成される。

次に、圧電薄膜２２の端部の凹凸が形成された部分と基
板２０の端部付近に吸収材２３を塗布して弾性表面波素
子にか完成する。

上記の例では付加電極を用いたが、基板表面そのものに
凹凸を形成しても良い。

すなわち、上記の例で付加電極を設けた領域に、溝を設
けるか、サンドブラスト等によって粗面にすることによ
っても同様な凹凸が圧電薄膜の表面に形成される。

付加電極または溝によって圧電薄膜の表面に凹凸を形成
すると、その凹凸は付加電極または溝の形状とは＞”一
致した形状となる。

インターデジタル電極の電極指と平行な向きに付加電極
または荷を形成しておけば、圧電薄膜の表面に形成され
る凹凸の溝もインターデジタル電極の電極指の向きと平
行になる。

このようにして形成された溝すなわち谷の部分と隣接す
る山の部分によって、吸収材を塗布した場合に吸収材が
インターデジタル電極の」二に流出することを防止でき
る。

本考案によれば、上記のように吸収材の塗布が容易にな
り、製造上の困難を解消することができる。

また、圧電薄膜と吸収材との接触面積が大きくなるので
、吸収材の塗布面積を小さくすることができる。

その面でも、インターデジタル電極の上に吸収材が流出
しにくくできるとともに、基板の寸法を小さくすること
ができる。

更に、圧電薄膜と吸収材との接触面積が大きくなるとと
もに、その密着性も向上する。

密着性が向上することによって、吸収材の吸収効率が向
上するとともに、経時変化による劣化が生じにくくなる
利点もある。

前記のように、本考案によれば、小型で信頼性が高くし
かも製造容易な弾性表面波素子が得られるが、上記の例
だけでなく、圧電薄膜と吸収材を用いて成るすべての弾
性表面波素子に適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の弾性表面波素子の正面図、第２図は本考
案による弾性表面波素子の一例の正面図を示す。 １０．２０・・・・・・基板、１１，２１・・・・・・
インターデジタル電極、１１．２２・・・・・・圧電薄
膜、１３゜２３・・・・・・吸収材、２１′・・・・・
・付加電極。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 絶縁性の基板上にインターデジタル電極による入出力電
   極と圧電薄膜を具え、該入出力電極間を結ぶ弾性表面波
   の伝播路の入出力電極と基板端面の間に吸収材が塗布さ
   れて成る弾性表面波素子において、該吸収材を塗布する
   領域の基板表面に該インターデジタル電極と同一の金属
   から成る付加電極による凹凸を具えることを特徴とする
   弾性表面波素子。