JPH0221793Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔技術分野〕 本考案は、電極と反射器を圧電基板の表面に配
置して共振子などを構成した弾性表面波素子に関
する。

〔技術的背景ならびに従来技術〕

圧電基板の表面に電極などを配した弾性表面波
素子の１つに共振子を構成するものがある。第１
図は共振子を構成する弾性表面波素子の基板表面
を示した平面図である。

この弾性表面波素子は、圧電基板１０の表面に
配設された励振用の電極１とその両側に位置する
２組の反射器２とから構成されている。電極１は
一対のすだれ状導電体１ａと１ｂとから成るもの
である。このすだれ状導電体１ａならびに１ｂ
は、アルミニウムなどの金属を付着させて形成し
たものである。また、反射器２は所定ピツチにて
格子状に配設された複数のストライプ２ａから成
るものである。この格子状ストライプ２ａは圧電
基板１０の表面に溝を形成し、あるいは導電性材
料や誘電体を付着させるなどの手段によつて形成
したものである。

このように構成された弾性表面波素子は共振子
としての機能を発揮するものである。すなわち電
極１ａと１ｂ間に電圧を与え、圧電基板の表面に
弾性表面波を発生させると、この表面波が両側の
反射器２の格子状ストライプ２ａによつて反射さ
れ、且つ同位相に揃えられる。これにより、共振
が行なわれるようになつている。

この種の弾性表面波素子では、圧電基板１０の
表面に導波路モードと呼ばれる不要波が存在し、
電気的特性に悪影響を与えている。また、弾性表
面波は反射器２の端部にて反射された際に圧電基
板１０の肉厚方向へ伝わるバルク波にモード変換
される。このバルク波にモード変換されることに
よつて、エネルギーが損失され電気的特性が劣化
することが知られている。

ここで、従来の不要波対策の一例を説明する。
まず、導波路モードの対策としては、第１図に示
すように、反射器２の格子状ストライプ２ａの長
さ寸法を電極からＡ方向へ離れるに従つて漸減す
るように形成している。また、弾性表面波のバル
ク波への変換を阻止する従来の対策としては、第
２Ａ図、第２Ｂ図に示すような反射器２を採用し
ている。第２Ａ図では、反射器２の格子状ストラ
イプ２ａを圧電基板１０の表面の溝によつて形成
している。そして、溝の深さを電極１に近づくに
従つて（Ｂ方向に向かうに従つて）徐々に浅く形
成している。このように電極１に近い部分の溝を
浅く形成することによつて、反射器２の端部にお
ける表面波のバルク波へのモード変換を抑制した
ものである。また、第２Ｂ図に示すものは、第２
Ａ図に示したものと同じ考えに基づくものであ
り、格子状ストライプ２ａを構成する溝の深さを
電極１に近づくに従つて徐々に浅くし、この溝内
に圧電基板１０と異なる材料３を充填したもので
ある。

〔従来技術の問題点〕

ところが、上記の不要波対策のうち、バルク波
へのモード変換対策では、圧電基板１０の表面に
形成された溝の深さを徐々に変えているが、これ
を実際の弾性表面波素子に実施することは極めて
困難であり、量産性に乏しくコストアツプの原因
になつて民生品に適用できない欠点がある。

〔本考案の目的〕

本考案は上記従来の問題点に着目してなされた
ものであり、簡単な構造にて導波路モードによる
不要波の抑制ならびにバルク波へのモード変換を
同時に阻止できるようにし、しかも量産性があり
低コストにて製作可能な弾性表面波素子を提供す
ることを目的としている。

〔本考案の構成〕

本考案による弾性表面波素子は、圧電基板の表
面に電極が設けられ、この電極の両側に格子状に
配列された複数のストライプより成る反射器が設
けられて共振子などが構成されているものにおい
て、前記反射器を構成しているストライプの長さ
寸法が、電極に近づく方向と電極から離れる方向
との両方向に向かつて徐々に短くなるように形成
されていることを特徴とするものであり、ストラ
イプの長さ寸法を二方向に向けて漸減させること
によつて導波路モードによる不要波と、バルク波
へのモード変換の両方を有効に阻止できるように
したものである。

〔本考案の実施例〕

次に、本考案の実施例を第３図以下の図面によ
つて説明する。第３図は共振子を構成する弾性表
面波素子の基板表面を示す平面図、第４Ａ図、第
４Ｂ図はその一部分の断面を実施例別に示す拡大
図である。

この弾性表面波素子は、圧電基板１０の表面に
電極１１とその両側に位置する反射器１２が設け
られており、共振子として構成されているもので
ある。電極は一対のすだれ状導電体１１ａ，１１
ｂから成るものであり、この導電体１１ａ，１１
ｂはアルミニウムなどの金属が蒸着およびエツチ
ングなどの手段にて付着されて形成されている。
また、反射器１２は格子状のストライプ１２ａが
所定ピツチに配列されて形成されているものであ
り、この格子状ストライプ１２ａは、金属や誘電
体などの異種材料１３が蒸着などによつて付着さ
れて形成されている（第４Ａ図参照）。あるいは、
圧電基板１０の表面に格子状の溝が形成されて上
記のストライプ１２ａが形成されている（第４Ｂ
図）。

この反射器の構成は、まず溝の場合には、溝の
深さが全て同じに形成されている（第４Ｂ図参
照）。そして、格子状のストライプ１２ａの長さ
は、電極１１から離れる方向（Ａ方向）と、電極
１１へ近づく方向（Ｂ方向）の両方向に向けて
徐々に漸減して形成されている。

次に、上記実施例による作用について説明す
る。

電極１１を構成する一対のすだれ状導電体１１
ａと１１ｂに電圧を与えて、圧電基板１０の表面
に弾性表面波を発生させると、この表面波は反射
器１２のストライプ１２ａによつて順次反射さ
れ、この反射波が周期的に配設された複数のスト
ライプ１２ａによつて同位相に揃えられ、共振子
としての機能が発揮される。

このとき、格子状のストライプ１２ａの長さが
電極１１から離れる方向（Ａ方向）に向けて徐々
に漸減して形成されていることにより、導波路モ
ードによる不要波の発生が防止される。また、ス
トライプ１２ａの長さが電極１１へ近づく方向
（Ｂ方向）に向けて徐々に漸減して形成されてい
ることにより、反射器１２の端部における表面波
のバルク波（圧電基板１０の肉厚方向への反射
波）へのモード変換が有効に阻止されることにな
る。

なお、第３図の実施例ではストライプの長さを
曲線的に漸減させているが、これを直線的に漸減
させ、あるいは第３図よりも丸い曲線状に漸減さ
せてもよい。

〔本考案の効果〕

以上のように本考案によれば、反射器を構成し
ている格子状のストライプの長さが、電極から離
れる方向と、電極に近づく方向の両方向において
漸減するように構成されているので、電極から離
れる方向へのストライプの漸減構成により導波路
モードによる不要波が抑圧され、また、電極に近
づくに従つてストライプの長さが漸減する構成に
より、表面波のバルク波へのモード変換が阻止さ
れる。このようにして不要波が阻止されることに
より、素子の電気的特性が向上される。

また、上記の２つのモードの不要波対策が反射
器を構成するストライプの長さを変えることによ
つてのみ行なわれているので、従来の溝の深さを
変える構成と異なり、プレーナ技術などを用いて
量産できるようになる。よつて、電気的特性の優
れた共振子などが低コストにて製作できることに
なる。

また、本考案の構成を、二端子対型や縦続接続
型の狭帯域弾性表面波素子に応用することによ
り、不要波応答の極めて少ない狭帯域弾性表面波
素子を得ることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の弾性表面波素子による共振子の
導波路モードによる不要波対策を示した平面図、
第２Ａ図、第２Ｂ図はバルク波へのモード変換を
阻止する従来の対策を示した部分断面拡大図、第
３図は本考案による弾性表面波素子の一例を示す
基板表面の平面図、第４Ａ図、第４Ｂ図は基板表
面の一部断面を実施例別に示した拡大図である。 １０……圧電基板、１１……電極、１１ａ，１
１ｂ……すだれ状導電体、１２……反射器、１２
ａ……ストライプ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧電基板の表面に電極が設けられ、この電極
   の両側には格子状に配列された複数のストライ
   プより成る反射器が設けられている弾性表面波
   素子において、前記反射器を構成しているスト
   ライプの長さ寸法は、電極に近づく方向と電極
   から離れる方向との両方向に向かつて徐々に短
   くなるように形成されていることを特徴とする
   弾性表面波素子。 (2) ストライプは、圧電基板の表面に付着された
   金属または誘電体によつて形成されている実用
   新案登録請求の範囲第(1)項記載の弾性表面波素
   子。 (3) ストライプは、圧電基板の表面に設けた溝に
   よつて形成されている実用新案登録請求の範囲
   第(1)項記載の弾性表面波素子。