JPS6052585B2 - ワイヤボンディング法 - Google Patents
ワイヤボンディング法Info
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- JPS6052585B2 JPS6052585B2 JP53007305A JP730578A JPS6052585B2 JP S6052585 B2 JPS6052585 B2 JP S6052585B2 JP 53007305 A JP53007305 A JP 53007305A JP 730578 A JP730578 A JP 730578A JP S6052585 B2 JPS6052585 B2 JP S6052585B2
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- H01L2224/85181—Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンディング法に関し、主として半導体
装置の電極をワイヤにより超音波接合して組立てる場合
のワイヤボンディングを対象とするものである。
装置の電極をワイヤにより超音波接合して組立てる場合
のワイヤボンディングを対象とするものである。
超音波ワイヤボンディング法は第1図を参照し接合に際
してワイヤを押さえるためのくさび型棒状体であるウェ
ッジを使用し、その押え部をなすピール部(かかと)5
でワイヤ(例えばAl)をアルミニウム電極に押しつけ
た状態で上記ウェッジに超音波振動を与えることにより
行うワイヤボンディング法であり、一般に同図a−fに
示す順序でボンディングが行なわれる。
してワイヤを押さえるためのくさび型棒状体であるウェ
ッジを使用し、その押え部をなすピール部(かかと)5
でワイヤ(例えばAl)をアルミニウム電極に押しつけ
た状態で上記ウェッジに超音波振動を与えることにより
行うワイヤボンディング法であり、一般に同図a−fに
示す順序でボンディングが行なわれる。
aはクランパー6を閉じてワイヤ3を供給する状態、を
はワイヤ3をウェッジ4のピール5で押しつけ、超音波
振動を与えることによりチップ1の電極2にボンディン
グする状態、cはクランパー6を開いたままウェッジ4
をリード7の先端部上に移動している状態、dは再びワ
イヤ3をウェッジ4のピール5で押しつけ、超音波振動
を与えることによりりード7にボンディングする状態、
eはクランパー6を閉じた状態で、クランパー6を後に
引いてワイヤ3を切離す状態、fはウェッジ4、クラン
パ−6を一体に上昇した状態をそれぞれ示すものである
。fに示す状態からaに示す状態に移行し、これら一連
の動作が繰返されることになる。ところで、従来におい
て、第1図aに示すワイヤ3の供給をする動作で、第2
図に示すようにウェッジ4のピール5の角部をあるいは
ワイヤ供給孔の角部aにワイヤ3の先端があたり、ワイ
ヤが正しく供給されないことがあつた。
はワイヤ3をウェッジ4のピール5で押しつけ、超音波
振動を与えることによりチップ1の電極2にボンディン
グする状態、cはクランパー6を開いたままウェッジ4
をリード7の先端部上に移動している状態、dは再びワ
イヤ3をウェッジ4のピール5で押しつけ、超音波振動
を与えることによりりード7にボンディングする状態、
eはクランパー6を閉じた状態で、クランパー6を後に
引いてワイヤ3を切離す状態、fはウェッジ4、クラン
パ−6を一体に上昇した状態をそれぞれ示すものである
。fに示す状態からaに示す状態に移行し、これら一連
の動作が繰返されることになる。ところで、従来におい
て、第1図aに示すワイヤ3の供給をする動作で、第2
図に示すようにウェッジ4のピール5の角部をあるいは
ワイヤ供給孔の角部aにワイヤ3の先端があたり、ワイ
ヤが正しく供給されないことがあつた。
これは、ワイヤ3の先端に曲りcができる場合に多く起
き、その結果、ボンディングされないという不良あるい
は圧着不良が発生した。元来、ワイヤはワイヤ供給孔内
の遊びを利用して、より水平に近い角度で供給すること
が望ましい。
き、その結果、ボンディングされないという不良あるい
は圧着不良が発生した。元来、ワイヤはワイヤ供給孔内
の遊びを利用して、より水平に近い角度で供給すること
が望ましい。
すなわち、クランプ6によつて供給されたワイヤをウェ
ッジで押さえるためにウェッジが下降する際、ワイヤ供
給孔内をワイヤが若干上昇する(戻る)という現象が起
き(このときはクランプは開いているからワイヤ3の先
端が電極2の表面に押さえられた状態になるため起きる
)、ウェッジ4のピール5で押さえられる面積が不充分
となる場合があるが、ワイヤをより水平に近い向きにす
ればする程その傾向が小さくなるからであり、−また、
ワイヤの向きをより水平に近い向きにする程テールの長
さが短かくすることができるからである。しかるに、ワ
イヤを水平に近づけた(寝かせた)方向で供給すればす
る程、ワイヤの先端が角部aあるいはbでひつかかる可
能が多くなる。
ッジで押さえるためにウェッジが下降する際、ワイヤ供
給孔内をワイヤが若干上昇する(戻る)という現象が起
き(このときはクランプは開いているからワイヤ3の先
端が電極2の表面に押さえられた状態になるため起きる
)、ウェッジ4のピール5で押さえられる面積が不充分
となる場合があるが、ワイヤをより水平に近い向きにす
ればする程その傾向が小さくなるからであり、−また、
ワイヤの向きをより水平に近い向きにする程テールの長
さが短かくすることができるからである。しかるに、ワ
イヤを水平に近づけた(寝かせた)方向で供給すればす
る程、ワイヤの先端が角部aあるいはbでひつかかる可
能が多くなる。
したがつて、ひつかかりをなくすこととワイヤのもどり
をなくすことは二律背反の関係にあつた。したがつて本
発明はかかるワイヤのひつかかりをなくすことを目的と
するもので、その一つの実施例はワイヤ供給孔内を通し
てワイヤを供給するときにウエツジに対して振動を与え
ることにある。これを詳細に述べれば、ワイヤ供給孔内
を通してクランプによりワイヤを供給する際にウエツジ
に対して振動を与えれば、例え一時的にワイヤの先端が
角部A,bにひつかかつても振動によりすぐはずれ、ク
ランプによつて正しくワイヤが供給されるのである。
をなくすことは二律背反の関係にあつた。したがつて本
発明はかかるワイヤのひつかかりをなくすことを目的と
するもので、その一つの実施例はワイヤ供給孔内を通し
てワイヤを供給するときにウエツジに対して振動を与え
ることにある。これを詳細に述べれば、ワイヤ供給孔内
を通してクランプによりワイヤを供給する際にウエツジ
に対して振動を与えれば、例え一時的にワイヤの先端が
角部A,bにひつかかつても振動によりすぐはずれ、ク
ランプによつて正しくワイヤが供給されるのである。
この振動は、従来において一回のワイヤボンデイングで
超音波振動が2回ウエツジに加えられた(そえは2回の
圧着工程の際に加えられた)のを1回増やし、ワイヤ供
給時〔第1図aに示す動作時〕にも超音波振動を加える
ことによつて与えることができる。
超音波振動が2回ウエツジに加えられた(そえは2回の
圧着工程の際に加えられた)のを1回増やし、ワイヤ供
給時〔第1図aに示す動作時〕にも超音波振動を加える
ことによつて与えることができる。
その結果、ボンデイングされないという事故、あるいは
ワイヤ供給量不足が原因となる圧着形状不良が極めて少
なくなつた。
ワイヤ供給量不足が原因となる圧着形状不良が極めて少
なくなつた。
また、それに伴つて、ワイヤ供給孔内の遊びを最大限に
利用してワイヤをより水平に近い方向で供給できるよう
になり、その結果、ワイヤのテールの長さが従来よりも
加μm短かくなり、配線短絡事故が少なくなつた。
利用してワイヤをより水平に近い方向で供給できるよう
になり、その結果、ワイヤのテールの長さが従来よりも
加μm短かくなり、配線短絡事故が少なくなつた。
第1図a−fは一回のワイヤボンデイング作業における
各動作を順番に示す断面図、第2図は従来の問題点を示
す断面図である。 1・・・・・・チツプ、2・・・・・・電極、3・・・
・・・ワイヤ、4001ウエツジ、5″″EOI″ピー
ル、ト0′EOlクランパ−、7・・・・・・リード、
A,b・・・・・・角部、c・・・・・・りードの曲り
。
各動作を順番に示す断面図、第2図は従来の問題点を示
す断面図である。 1・・・・・・チツプ、2・・・・・・電極、3・・・
・・・ワイヤ、4001ウエツジ、5″″EOI″ピー
ル、ト0′EOlクランパ−、7・・・・・・リード、
A,b・・・・・・角部、c・・・・・・りードの曲り
。
Claims (1)
- 1 ワイヤ押付具に設けたワイヤ供給孔内を通してワイ
ヤを供給するワイヤボンディング法において、上記ワイ
ヤ供給孔内を通してワイヤを供給するときに上記ワイヤ
押付具に対してボンディングの際に用いる超音波振動を
与えることを特徴とするワイヤボンディング法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP53007305A JPS6052585B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ワイヤボンディング法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP53007305A JPS6052585B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ワイヤボンディング法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60095501A Division JPS60242629A (ja) | 1985-05-07 | 1985-05-07 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS54101668A JPS54101668A (en) | 1979-08-10 |
JPS6052585B2 true JPS6052585B2 (ja) | 1985-11-20 |
Family
ID=11662292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53007305A Expired JPS6052585B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ワイヤボンディング法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6052585B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3537850A1 (en) | 2018-03-08 | 2019-09-11 | LG Electronics Inc. | Induction heating device having improved indicator structure |
EP3654735A1 (en) | 2018-11-19 | 2020-05-20 | LG Electronics Inc. | Induction heating device having improved structure for compact arrangement of components and ease of assembling |
WO2020213947A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
WO2020213951A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
WO2020213948A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60242629A (ja) * | 1985-05-07 | 1985-12-02 | Hitachi Ltd | ワイヤボンデイング装置 |
JPH0628345Y2 (ja) * | 1985-09-06 | 1994-08-03 | 帝人製機 株式会社 | クローラ駆動装置 |
-
1978
- 1978-01-27 JP JP53007305A patent/JPS6052585B2/ja not_active Expired
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3537850A1 (en) | 2018-03-08 | 2019-09-11 | LG Electronics Inc. | Induction heating device having improved indicator structure |
EP3654735A1 (en) | 2018-11-19 | 2020-05-20 | LG Electronics Inc. | Induction heating device having improved structure for compact arrangement of components and ease of assembling |
US11140753B2 (en) | 2018-11-19 | 2021-10-05 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device having improved component arrangement structure and assemblability |
WO2020213947A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
WO2020213951A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
WO2020213948A1 (en) * | 2019-04-18 | 2020-10-22 | Lg Electronics Inc. | Induction heating device providing improved user experience and user interface |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS54101668A (en) | 1979-08-10 |
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