JPS605076B2 - 半導体受光素子 - Google Patents

半導体受光素子

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JPS605076B2
JPS605076B2 JP50016301A JP1630175A JPS605076B2 JP S605076 B2 JPS605076 B2 JP S605076B2 JP 50016301 A JP50016301 A JP 50016301A JP 1630175 A JP1630175 A JP 1630175A JP S605076 B2 JPS605076 B2 JP S605076B2
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JP
Japan
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JP50016301A
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JPS5192190A (en
Inventor
光男 吉田
啓二 鎌崎
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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Priority claimed from DE2551943A external-priority patent/DE2551943C3/de
Publication of JPS5192190A publication Critical patent/JPS5192190A/ja
Publication of JPS605076B2 publication Critical patent/JPS605076B2/ja
Expired legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/0072—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks of microelectro-mechanical resonators or networks
    • H03H3/0076—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks of microelectro-mechanical resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficients
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
    • B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
    • B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
    • B07C5/34—Sorting according to other particular properties
    • B07C5/344—Sorting according to other particular properties according to electric or electromagnetic properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/351—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for trimming or tuning of electrical components
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H13/00—Measuring resonant frequency
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
    • G04D3/00—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials
    • G04D3/0002—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for mechanical working other than with a lathe
    • G04D3/0035—Watchmakers' or watch-repairers' machines or tools for working materials for mechanical working other than with a lathe for components of the regulating mechanism
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04D—APPARATUS OR TOOLS SPECIALLY DESIGNED FOR MAKING OR MAINTAINING CLOCKS OR WATCHES
    • G04D7/00—Measuring, counting, calibrating, testing or regulating apparatus
    • G04D7/12—Timing devices for clocks or watches for comparing the rate of the oscillating member with a standard
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
    • G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
    • G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
    • G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
    • G04F5/063—Constructional details

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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体受光素子に関するものである。
半導体受光素子としては従来からよく知られているもの
に、ＣｄｓやＣｄＳｅの如くローの族の化合物半導体に
よる光導電素子と、Ｓｉ又はＧのＰ−Ｎ接合又はショッ
トキーバリヤを用いたものがある。後者にはフオトダィ
オード、フオトトランジスタ、フオトＳＣＲなどがある
が、前者と後者を較べた場合、使用上の著しい相違点と
して前者は交流バイアス、直流バイアス両方で用いられ
るのに対して後者は直流バイアスしか用いられない点で
ある。しかるに最近、発光素子と受光素子とを組み合わ
せた光結合素子などの出現により、受光素子の応用分野
が拡大されると共に、交流バイアスで駆動できる受光素
子が要求されるよつうになった。
ところでＣｄＳやＣｄＳｅは応答速度が数ｍｓｅｃ〜数
百ｍｓｅｃと遅いこと、負荷寿命試験で光感度特性が変
動することなどのために、交流駆動可能な受光素子とし
て、必ずしも充分な機能を備えていない。従って本発明
の目的は上述の欠点を除いた交流駆動可能なフオトトラ
ンジスタ等の半導体受光素子を得ることである。
以下本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図、第２図、及び第３図は本発明の一実施例の断面
図である。
第１図において、Ａｓ又はＳｂをヘビー，ドープ（ｈｅ
ａｖｙｄｏｐｅ）させた比抵抗０．０１００伽以下のＮ
型シリコン１を基板とし、その上にホロンをドープ（ｄ
ｏｐｅ）したＰ型の気相成長層２（比抵抗２〜４Ｑ仇、
厚み数れ〜１０数〆）を形成する。このェビタキシャル
ウェハ一を熱酸化し、高温酸化膜Ｓｉ０２３を約１．０
仏成長させ、ホトレジストにより必要な前記ＳｉＱ３を
残した後、リンを拡散し、Ｎ十層４を形成し、Ｐ＋層２
を島状にのこす。次に第２図のようにＳｉ０２を前記ウ
ェハーの図示上面に形成し、Ｐ型の気相成長層２の上部
のータ部に拡散用穴を形成しポロンを拡散しベース電極
の下地Ｐ十層５を形成する。
次に第３図に示すようにＰ十層５の内側のＳｉ０２を取
りのぞき、リンを１〜２仏拡散し、ェミッタ６を形成す
るとともに、この酸化雰囲気により、Ｓｉ０２の反射防
止膜７を形成する。以下裏面はＡｕ等を蒸着アロィによ
りコレクタ電極８とし、表面はェミッタ電極１０及びベ
ース電極９をＮ蒸着及びフオトレジストを用いて形成す
る。この場合、ェミッタ電極は環状にし、ベレットの有
効受光面積を応〈とるようにする。上記の構造のフオト
トランジス外まその一次元方向の不純物濃度分布が第４
図のようにェミッタコレクタ間で対称になっているため
に、電流利得がコレク夕をェミッタとして用いてもほぼ
通常の場合と同様な値になっているために交流駆動が可
能である。
第５図に光電流−コレクタェミツタ電圧及び光電流−ェ
ミッタ，コレクタ電圧の特性を示す。従って以上記載し
たように本発明のフオトトランジスタは、受光素子とし
ての応用面だけでなく、ＧａＡｓ発光ダイオードと組み
合わせてフオトカブラーにも用いられ、出力側の交流駆
動が可能になり、従来のフオトカプラより応用分野が拡
大される。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、及び第３図は本発明の一実施例の断面
図、第４図及び第５図は本発明の−実施例の特性図であ
る。 １・…・・Ｎ型シリコン、２・・・・・・Ｐ型気相成長
層、３……ＳｊＱ、４……Ｎ１層、５……Ｐ層、６……
ェミッタ、７・・・・・・反射防止膜、８・…・・コレ
クタ電極、９・・・…ベース電極、１０・・・・・・ェ
ミツタ電極。 才／図オ２図 オ３図 矛４図 矛Ｊ図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 第１導電形のコレクタ（エミツタ）領域と、この領
    域上に形成された第２導電形の気相成長層からなるベー
    ス領域と、このベース領域上に形成され前記コレクタ（
    エミツタ）領域に対応する不純物濃度が前記ベース領域
    を中心にしてほぼ対称性を有するように形成された第１
    導電形のエミツタ（コレクタ）領域とを具備し、前記ベ
    ース領域に光を受けて光制御交流駆動トランジスタ動作
    を行なうことを特徴とする半導体受光素子。
JP50016301A 1974-12-19 1975-02-10 半導体受光素子 Expired JPS605076B2 (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19742460230 DE2460230C3 (de) 1974-12-19 Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Frequenzabgleich mechanischer Resonatoren durch Materialabtragung mittels Laserbestrahlung
DE19742460258 DE2460258C3 (de) 1974-12-19 Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Frequenzabgleich mechanischer Resonatoren durch Sandstrahlen
DE2504034A DE2504034C3 (de) 1975-01-31 1975-01-31 Vorrichtung zum Sortieren von mechanischen Resonatoren nach ihrer Eigenfrequenz
DE2512911A DE2512911C3 (de) 1975-03-24 1975-03-24 Vorrichtung zum Frequenzabgleich und zum Sortieren mechanischer Resonatoren
DE2551943A DE2551943C3 (de) 1974-12-19 1975-11-19 Anordnung zur Messung der Resonanzfrequenz für eine Vorrichtung zum automatischen Frequenzabgleich mechanischer Resonatoren

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5192190A JPS5192190A (en) 1976-08-12
JPS605076B2 true JPS605076B2 (ja) 1985-02-08

Family

ID=27510380

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP50016301A Expired JPS605076B2 (ja) 1974-12-19 1975-02-10 半導体受光素子

Country Status (13)

Country Link
JP (1) JPS605076B2 (ja)
BE (1) BE836886A (ja)
CH (3) CH602201A5 (ja)
DK (1) DK573875A (ja)
FR (1) FR2295631A1 (ja)
GB (1) GB1532788A (ja)
HU (1) HU177038B (ja)
IE (1) IE42457B1 (ja)
IL (1) IL48689A (ja)
IT (1) IT1050795B (ja)
LU (1) LU74042A1 (ja)
NL (1) NL7514754A (ja)
YU (1) YU37251B (ja)

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Also Published As

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FR2295631B1 (ja) 1979-02-02
HU177038B (hu) 1981-06-28
IE42457L (en) 1976-06-19
CH613821A5 (en) 1979-10-15
YU37251B (en) 1984-08-31
IL48689A0 (en) 1976-02-29
IE42457B1 (en) 1980-08-13
CH602201A5 (ja) 1978-07-31
CH613822A5 (en) 1979-10-15
FR2295631A1 (fr) 1976-07-16
YU325175A (en) 1983-04-27
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BE836886A (fr) 1976-06-21
NL7514754A (nl) 1976-06-22
DK573875A (da) 1976-06-20
GB1532788A (en) 1978-11-22
IT1050795B (it) 1981-03-20
LU74042A1 (ja) 1976-12-31

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