JPS6046270A - サ−マルヘツド - Google Patents
サ−マルヘツドInfo
- Publication number
- JPS6046270A JPS6046270A JP58155257A JP15525783A JPS6046270A JP S6046270 A JPS6046270 A JP S6046270A JP 58155257 A JP58155257 A JP 58155257A JP 15525783 A JP15525783 A JP 15525783A JP S6046270 A JPS6046270 A JP S6046270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- protective layer
- heat generating
- protective
- generating resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
この発明は感熱記録紙上に画像を再生するサーマルヘッ
ドに関する。
ドに関する。
（従来技術）
サーマルヘッドを用いた感熱記録方式は、無騒音、無臭
、取扱い容易な記録方式として種々の分野で応用が進め
られている。
、取扱い容易な記録方式として種々の分野で応用が進め
られている。
サーマルヘッドの発熱抵抗体部分のパターン例を第１図
に示す。蛇行した形状の複数個の発熱抵抗体１が互いに
平行に、かつサーマルヘッドの長手方向（図では縦方向
）に沿って配列され、各発熱抵抗体１の一端が共通の電
極２に接続され、かつ各発熱抵抗体１の他端がそれぞれ
に対応する電極３に接続されている。
に示す。蛇行した形状の複数個の発熱抵抗体１が互いに
平行に、かつサーマルヘッドの長手方向（図では縦方向
）に沿って配列され、各発熱抵抗体１の一端が共通の電
極２に接続され、かつ各発熱抵抗体１の他端がそれぞれ
に対応する電極３に接続されている。
第１図のＡＡ’線断面図の従来の一例を第２図に示す。
４はセラミック等からなる基板で、その基板上面にグレ
ーズ層６が形成され、このグレーズ層６上にＴａ２０５
層６゛を設け、さらにその上にＴａ２Ｎ層からなる発熱
抵抗体パターン１が形成され、その発熱抵抗体パターン
の後絞部上面に電極層７が形成されている。電極層７と
発熱抵抗体パターン１の上面にはＳｉ、Ｎ４にてなる保
護層１０が形成され、さらにその上面にＳ ｉ Ｏ２層
８゜Ｔａ２０５層９が形成される。
ーズ層６が形成され、このグレーズ層６上にＴａ２０５
層６゛を設け、さらにその上にＴａ２Ｎ層からなる発熱
抵抗体パターン１が形成され、その発熱抵抗体パターン
の後絞部上面に電極層７が形成されている。電極層７と
発熱抵抗体パターン１の上面にはＳｉ、Ｎ４にてなる保
護層１０が形成され、さらにその上面にＳ ｉ Ｏ２層
８゜Ｔａ２０５層９が形成される。
このような従来のサーマルヘッドにおいては、第３図に
示すように印加パルス数に対する発熱抵抗体の抵抗の変
化率ΔＲ／Ｒが大きく、抵抗体の信頼性が低下するとい
う欠点があった。
示すように印加パルス数に対する発熱抵抗体の抵抗の変
化率ΔＲ／Ｒが大きく、抵抗体の信頼性が低下するとい
う欠点があった。
さらに上述のいずれの場合でも発熱抵抗体の上下に設け
られる保護層は材質が異なるので発熱抵抗体１のパター
ンのない部分で０．上下の保護層の接触がはがれて、パ
ターンに沿った亀裂が生じ、耐パルス特性が悪化すると
いう問題があった。
られる保護層は材質が異なるので発熱抵抗体１のパター
ンのない部分で０．上下の保護層の接触がはがれて、パ
ターンに沿った亀裂が生じ、耐パルス特性が悪化すると
いう問題があった。
（目的）
この発明は上述の問題を解決するためになされたもので
あって、サーマルヘッドの発熱抵抗体の両側の保護層を
同じ材質とすることにより保護層間の亀裂を防ぎ、耐パ
ルス特性のすぐれたサーマルヘッドを提供することを目
的とするものである。
あって、サーマルヘッドの発熱抵抗体の両側の保護層を
同じ材質とすることにより保護層間の亀裂を防ぎ、耐パ
ルス特性のすぐれたサーマルヘッドを提供することを目
的とするものである。
（構成）
以下にこの発明の一実施例を図面とともに説明する。な
お第４図において、第１図と第２図に示したものと均等
な部分には同一の符号を付した。
お第４図において、第１図と第２図に示したものと均等
な部分には同一の符号を付した。
第４図においてグレーズ層６上にたとえばＳｉ。
Ｎ４にてなる第１保護層１１が、たとえばスパッタ法に
より約２０００〜３００ＯＡ程度の厚さで形成される。
より約２０００〜３００ＯＡ程度の厚さで形成される。
次に第１保護層１１上に発熱抵抗体層１としてＴａ２Ｎ
をスパッタ法により約２０００Ａの厚さで形成し、その
上に電極層７を形成する。そしてフォトリソグラフ処理
により抵抗体パターンと電極パターンを形成する。さら
にその上に第２保護層１２をスパッタ法により約２００
０〜３００ＯＡ程度の厚さで形成する。第２保護層１２
の材料は第１保護層１１の材料と同じであり、たとえば
Ｓｉ３Ｎ、が用いられる。第１保護層に用いた他の材料
も用いることがで終る。
をスパッタ法により約２０００Ａの厚さで形成し、その
上に電極層７を形成する。そしてフォトリソグラフ処理
により抵抗体パターンと電極パターンを形成する。さら
にその上に第２保護層１２をスパッタ法により約２００
０〜３００ＯＡ程度の厚さで形成する。第２保護層１２
の材料は第１保護層１１の材料と同じであり、たとえば
Ｓｉ３Ｎ、が用いられる。第１保護層に用いた他の材料
も用いることがで終る。
上述の構成により、発熱抵抗体１の周囲のパターンのな
い部分では、第１保護層１１と第２保護層１２とが同材
料であるために確実に結合して、はがれ難いものとする
ことがで終る。
い部分では、第１保護層１１と第２保護層１２とが同材
料であるために確実に結合して、はがれ難いものとする
ことがで終る。
第２保護層１２上にＳｉＯ２にてなる約３μｍ厚さの酸
化防止膜８、さらにその上にＴａ２ｏ５にてなる耐摩耗
層９が形成される。面保護層１１と１２とが相互にはが
れないで、発熱抵抗体に沿って保護層に亀裂が生じるの
も防止され、耐パルス特性を良好なものとすることがで
きる。
化防止膜８、さらにその上にＴａ２ｏ５にてなる耐摩耗
層９が形成される。面保護層１１と１２とが相互にはが
れないで、発熱抵抗体に沿って保護層に亀裂が生じるの
も防止され、耐パルス特性を良好なものとすることがで
きる。
第１保護層１１．第２保護層１２の材料としてＳ ｉ＝
Ｎ、の代りにＳｉＣを用いてもよい、さらにＡＩＮ、Ｂ
ＩＬＴａ２０ｓ等を用いることもできる。
Ｎ、の代りにＳｉＣを用いてもよい、さらにＡＩＮ、Ｂ
ＩＬＴａ２０ｓ等を用いることもできる。
第５図に本発明のサーマルヘッドにおける印加パルス数
に対する発熱抵抗体１の抵抗値Ｒの変化ΔＲ／Ｒを示す
。
に対する発熱抵抗体１の抵抗値Ｒの変化ΔＲ／Ｒを示す
。
第５図がら明らかなように、この発明のように発熱抵抗
体の両側の保護層に同じ材料を用いることに上り印加パ
ルス数に対する発熱抵抗体１の抵抗値の変化ΔＲ／Ｒを
、保護層の材料を異にする場合に比して小さくすること
ができる。
体の両側の保護層に同じ材料を用いることに上り印加パ
ルス数に対する発熱抵抗体１の抵抗値の変化ΔＲ／Ｒを
、保護層の材料を異にする場合に比して小さくすること
ができる。
（効果）
以上詳述したように、この発明はサーマルヘッドの発熱
抵抗体と両側の保護層を同じ材料とすることによって、
面保護層の接触部分で相互にはがれるのを有効に防止で
き、発熱抵抗体の動作を安定化し、信頼性を向上するこ
とができる。
抵抗体と両側の保護層を同じ材料とすることによって、
面保護層の接触部分で相互にはがれるのを有効に防止で
き、発熱抵抗体の動作を安定化し、信頼性を向上するこ
とができる。
第１図はサーマルヘッドの一例を示す平面図、第２図は
従来のサーマルヘッドの断面図、第３図は第２図に示し
た従来のサーマルヘッドの印加パルス数に対する発熱抵
抗体の抵抗値の変化を示すグラフ、第４図はこの発明の
一実施例を示す断面図、第５図は第４図の実施例のサー
マルヘッドの印加パルス数に対する抵抗値の変化率を示
すグラフである。 １・・・・・・発熱抵抗体、６・・・・・・グレーズ層
、１１・・・・・・第１保護層、１２・・・・・・第２
保護層。 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人 弁理士青山葆外１名
従来のサーマルヘッドの断面図、第３図は第２図に示し
た従来のサーマルヘッドの印加パルス数に対する発熱抵
抗体の抵抗値の変化を示すグラフ、第４図はこの発明の
一実施例を示す断面図、第５図は第４図の実施例のサー
マルヘッドの印加パルス数に対する抵抗値の変化率を示
すグラフである。 １・・・・・・発熱抵抗体、６・・・・・・グレーズ層
、１１・・・・・・第１保護層、１２・・・・・・第２
保護層。 特許出願人 株式会社 リ コ − 代理人 弁理士青山葆外１名
Claims (2)
- （１）発熱抵抗体の両面に同じ材料にてなる保護層を設
けたことを特徴とするサーマルヘッド。 - （２）保護層はＳｉＣ，ＡＩＮ、Ｓｉ、ＩＮ、、ＢＮ。 Ｔａ２０５のらちのいずれか１つである特許請求の範囲
第１項記載のサーマルヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58155257A JPS6046270A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | サ−マルヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58155257A JPS6046270A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | サ−マルヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046270A true JPS6046270A (ja) | 1985-03-13 |
Family
ID=15601959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58155257A Pending JPS6046270A (ja) | 1983-08-24 | 1983-08-24 | サ−マルヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046270A (ja) |
-
1983
- 1983-08-24 JP JP58155257A patent/JPS6046270A/ja active Pending
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