JPS6046044A - 半導体選別装置 - Google Patents
半導体選別装置Info
- Publication number
- JPS6046044A JPS6046044A JP15387783A JP15387783A JPS6046044A JP S6046044 A JPS6046044 A JP S6046044A JP 15387783 A JP15387783 A JP 15387783A JP 15387783 A JP15387783 A JP 15387783A JP S6046044 A JPS6046044 A JP S6046044A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- characteristic
- standard
- product
- section
- sorting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ハ
本発明はトランジスタ、集積回路等、半導体装置の特性
選別装置に関するものである。
選別装置に関するものである。
従来の特性選別装置は、カタログ等で規定された規格を
基に、半導体装置の特性測定を行ない、から外れた特性
の製品は、規格の中には入っていても、何らかの欠陥を
もっている場合があり、実使用状態で劣化する傾向が多
い。例えば、トランジスタの熱抵抗特性は、チップの素
材ロフトによってきまってくるもので同一素材チップを
測度したトランジスタの熱抵抗特性は、普通規格よりせ
まい範囲で分布する。同一ロットの中で分布から外れた
熱抵抗特性をもったトランジスタは、多くの場合、組立
工程（チップマウント工程）の不具合がその原因であシ
実使用中に劣化する。、その為、まずロフト毎に熱抵抗
特性分布を、抜取ルサンプルの測定によって計算し、そ
の結果を特性選別装置に判定規格として設定するという
作業が必要とされていた。
基に、半導体装置の特性測定を行ない、から外れた特性
の製品は、規格の中には入っていても、何らかの欠陥を
もっている場合があり、実使用状態で劣化する傾向が多
い。例えば、トランジスタの熱抵抗特性は、チップの素
材ロフトによってきまってくるもので同一素材チップを
測度したトランジスタの熱抵抗特性は、普通規格よりせ
まい範囲で分布する。同一ロットの中で分布から外れた
熱抵抗特性をもったトランジスタは、多くの場合、組立
工程（チップマウント工程）の不具合がその原因であシ
実使用中に劣化する。、その為、まずロフト毎に熱抵抗
特性分布を、抜取ルサンプルの測定によって計算し、そ
の結果を特性選別装置に判定規格として設定するという
作業が必要とされていた。
市場の品質信頼性要求が厳しくなるにつれて、以上の理
由により特性値のバラツキを管理する事が重要となって
きて、従来の製品規格だけで良品・不良品を判定するだ
けでは、不充分となってきている。
由により特性値のバラツキを管理する事が重要となって
きて、従来の製品規格だけで良品・不良品を判定するだ
けでは、不充分となってきている。
本発明の目的は、製品規格に加えて、製品ロツト毎に特
性分布に基づいた規格での半導体装置の選別を容易に行
なえ、高品質信頼性の製品を得る事にある。
性分布に基づいた規格での半導体装置の選別を容易に行
なえ、高品質信頼性の製品を得る事にある。
本発明によれば、半導体装置測定部と測定値集計部とを
含み、この測定値集計部では測定部の測定結果に基づき
測定結果の分布状態から良品判定範囲を設定する半導体
装置選別装置を得る。
含み、この測定値集計部では測定部の測定結果に基づき
測定結果の分布状態から良品判定範囲を設定する半導体
装置選別装置を得る。
以下、図面を用いて本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例による選別装置の構成を示す
。半導体装置の挿入部１がら挿入された半導体装置５は
特性測定部２でその電気的特性が測定させ、その測定結
果にもとづいて、分類機構部３で良品・不良品に分類さ
れる。一方、特性測定部２で得られた測定結果から製品
の良否の判定は計算機部４で行われ、この計算機部４で
分類機構部３の動作を指示する。更に計算機部４では特
性測定部２で得られたｌ特性測定結果を集計して分布計
算処理し、その結果にもとづいて自から判定規格を設定
する機能をももっている。すなわち、あらかじめ定めら
れた特性範囲内であっても、その半導体装置５の同一ロ
ット内の分布から特性がかけ離れたものは不良と判定す
る。
。半導体装置の挿入部１がら挿入された半導体装置５は
特性測定部２でその電気的特性が測定させ、その測定結
果にもとづいて、分類機構部３で良品・不良品に分類さ
れる。一方、特性測定部２で得られた測定結果から製品
の良否の判定は計算機部４で行われ、この計算機部４で
分類機構部３の動作を指示する。更に計算機部４では特
性測定部２で得られたｌ特性測定結果を集計して分布計
算処理し、その結果にもとづいて自から判定規格を設定
する機能をももっている。すなわち、あらかじめ定めら
れた特性範囲内であっても、その半導体装置５の同一ロ
ット内の分布から特性がかけ離れたものは不良と判定す
る。
本選別装置の選別作業の一例を第２図を参照して操作手
順に従がって以下説明する。
順に従がって以下説明する。
１゜
料数ｎ（個）と統計計算処理結果を規格値■としてフィ
ードバックする際に必要な標準偏差の倍数〔例えば３（
ｖ））をプログラムする。次に試料ｎ（＠の測定を開始
する。個々の試料である半導体装置５は特性測定部２で
特性測定を行なわれ、その値は、計算機部４に記憶され
ながら統計計算処理され、特性値平均＋ｘｔ 、標準偏
差（Ｖｌの値を算出する。
ードバックする際に必要な標準偏差の倍数〔例えば３（
ｖ））をプログラムする。次に試料ｎ（＠の測定を開始
する。個々の試料である半導体装置５は特性測定部２で
特性測定を行なわれ、その値は、計算機部４に記憶され
ながら統計計算処理され、特性値平均＋ｘｔ 、標準偏
差（Ｖｌの値を算出する。
その値は、計算機部４内部で特性規格値■としてフィー
ドバックされ、半導体装置の特性規格値は初めにプログ
ラムされた特性規格値Ｉと、試料測定結果から得られた
特性規格値■を加えた特性規格値Ｉとして設定される。
ドバックされ、半導体装置の特性規格値は初めにプログ
ラムされた特性規格値Ｉと、試料測定結果から得られた
特性規格値■を加えた特性規格値Ｉとして設定される。
以降、試料と同一ロットの半導体装置の選別作業を開始
する。半導体装 １置５は選別装置の挿入部１から送シ
込まれて特性測定部２で測定される。測定結果は、計算
機部４で特性規格値■と比較判定され、分類機構部３で
良品、不良品に分類される。
する。半導体装 １置５は選別装置の挿入部１から送シ
込まれて特性測定部２で測定される。測定結果は、計算
機部４で特性規格値■と比較判定され、分類機構部３で
良品、不良品に分類される。
第３図は本発明における特性規格値の設定の仕方を示す
図である。■はカタログなどに基づ〈特性規格値■の良
品範囲を表わす。■は、ｎ（個）の試料の測定によって
得られたロットＡ、ロットＢ、ロットＣ１各ロット毎に
得られた分、布規格（特性規格値■）の例である。■は
以上二つの特性規格値を加えて、得られるそれぞれ、ロ
ットＡ。
図である。■はカタログなどに基づ〈特性規格値■の良
品範囲を表わす。■は、ｎ（個）の試料の測定によって
得られたロットＡ、ロットＢ、ロットＣ１各ロット毎に
得られた分、布規格（特性規格値■）の例である。■は
以上二つの特性規格値を加えて、得られるそれぞれ、ロ
ットＡ。
ロットＢ、ロットＣの最終選別規格（特性規格値ｌ）を
表わす。このように、本発明の選別装置によれば、カタ
ログ規格内であっても、ロフト内の分布からみて特性の
離れたものは不良品として判定されるので、選別された
良品の信頼性は高いものである。
表わす。このように、本発明の選別装置によれば、カタ
ログ規格内であっても、ロフト内の分布からみて特性の
離れたものは不良品として判定されるので、選別された
良品の信頼性は高いものである。
また本選別装置は、分布選別（特性規格■）のみにも使
用可能でちゃ半導体装置以外の他の電子部品を含む各部
品にも適用出来る。
用可能でちゃ半導体装置以外の他の電子部品を含む各部
品にも適用出来る。
第１図は本発明による半導体選別装置の構成を示すブロ
ック図である。 １・・・・・・製品挿入部、２・・・・・・測定部、３
・・・・・・分類機構部、４・・・・・・計算機部。 第２図は計算処理システムのフローチャートである。 第３図は特性規格値の設定の仕方を示す説明図である。 ■・・・・・・特性規格値■（製品規格）、■・・・・
・・特性規格値■（分布規格）、璽・・・・・・特性規
格値Ｉｔ（選別規格）。 第１図 第３図 第２図 ９０
ック図である。 １・・・・・・製品挿入部、２・・・・・・測定部、３
・・・・・・分類機構部、４・・・・・・計算機部。 第２図は計算処理システムのフローチャートである。 第３図は特性規格値の設定の仕方を示す説明図である。 ■・・・・・・特性規格値■（製品規格）、■・・・・
・・特性規格値■（分布規格）、璽・・・・・・特性規
格値Ｉｔ（選別規格）。 第１図 第３図 第２図 ９０
Claims (1)
- 半導体装置の特性測定部と、特性測定部で得られた測定
結果から特性分布を計算処理し、その結果を基に自から
規格設定を行なう計算部と、計算部からの規格に基づい
て良否を判定し、前記半導体装置を分類する分類部とを
有することを特徴とする半導体選別装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15387783A JPS6046044A (ja) | 1983-08-23 | 1983-08-23 | 半導体選別装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15387783A JPS6046044A (ja) | 1983-08-23 | 1983-08-23 | 半導体選別装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6046044A true JPS6046044A (ja) | 1985-03-12 |
Family
ID=15572059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15387783A Pending JPS6046044A (ja) | 1983-08-23 | 1983-08-23 | 半導体選別装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007113968A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 半導体集積回路の検査方法および情報記録媒体 |
-
1983
- 1983-08-23 JP JP15387783A patent/JPS6046044A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007113968A1 (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 半導体集積回路の検査方法および情報記録媒体 |
| US7719301B2 (en) | 2006-03-31 | 2010-05-18 | Panasonic Corporation | Testing method of semiconductor integrated circuit and information recording medium |
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